JPH06509883A - 交互配置されたローカル・アノードを有する電気泳動表示パネル - Google Patents

交互配置されたローカル・アノードを有する電気泳動表示パネル

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JPH06509883A
JPH06509883A JP5504489A JP50448993A JPH06509883A JP H06509883 A JPH06509883 A JP H06509883A JP 5504489 A JP5504489 A JP 5504489A JP 50448993 A JP50448993 A JP 50448993A JP H06509883 A JPH06509883 A JP H06509883A
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クルソス,デニス,エイ.
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コピイテル,インコーポレイテッド
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電気泳動表示パネル装置および同装置の製造法に関する。さらに詳細 にいえば、本発明は、色素粒子の移動と配置との制御を支援するために、この表 示装置のグリッド素子と交互配置される素子を備えたローカル・アノードをfr する、電気泳動表示パネルに関する。
IT景技術 電気泳動表示装置(EPIDS)は、今では、よく知られた装置である。表示装 置の種々の様式および特徴か、本発明式、すなわち、Frank J。
DiSantoおよびDenis A、Krusos、の名前て発行され、そし て、本発明の壌渡人、ずなわち、Copytele、Inc、ofHuntin gton 5tation、New York、に譲渡された、いくつかの特許 に開示されている。例えば、ELECTOROPHORETICDISPLAY  PANELS AND ASSOCIATEDMETHODSの名称をおのお のか有する米国特許第4,655.897号および第4,732,830号は、 電気泳動表示装置の基本的動作と構成を開示している。ELECTOROPHO RETICD[5PLAY PANELSAND METHODS THERE FORの名称の米国特許第4. 742. 345号は、改良された位置整合性 とコントラストを有する表示装置を開示している。このような表示装置に関する 他の多くの特許かCopytele、Inc。
に譲渡されている。本発明に関連する1つの出願中特許は、DUALANODE FLAT PANEL ELECTOROPHORETICDISPLAY A PPARATUSの名称の出願中特許、出願番号第07/345.825号であ る。これらの特許の内容は下記で説明されるであろう。
1111記特許に開示されている表示パネルは、同し基本原理に基づいて動作す る。
ずなわぢ、誘電体の流体の中の帯電した色素粒子の懸濁液にもし電界が加えられ るならば、色素粒子は電界の作用により流体の中を移動するであろう。誘電体流 体の色とは異なる色の色素を有する粒子の事実上均一な懸濁液が与えられるなら ば、もし加えられた静電界の領域か局所的であれば、局在した色素粒子の移動を 目で見て観察することができるであろう。局在した色素粒子の移動により、電界 の符号および方向に応答して、および、色素粒子の電荷に応答して、局在した領 域に粒子か集中化するかまたは稀薄化するかのいずれかが起こる。前記米国特許 に開示されている電気泳動表示装置は、ガラスの観察用スクリーンの1つの表面 上に水平に配置された、複数個の独立しかつ平行な、カソードの行導電体素子ま たは「ライン」を存する、川・リオ−1・形」表示装置である。カソード素子の 上に配置され、かつ、カソード素子に直角に配置された複数個の絶縁体ストリッ プを得るためにカソード素子にまで光エッチングされた、絶縁性フォトレジスト 材料の層が、垂直方向に走る複数個の独立しかつ平行な、列導電体素子またはグ リフ1〜導電体素子または「ライン」のための、基板を形成する。ガラスのキャ ップ部品により、流体の懸濁液を入れるために、このキャップの周縁の端部に沿 って観察用窓と共に流体に対し気密な封止が作成され、および、このガラスのキ ャップ部品はまた、このキャップの内側の平らな表面の上に配置されたアノード 板に対する基板の作用をする。キャップか所定の位置に配置される時、アノード の表面は、カソード素子とグリッド素子との両方に対し、間隔を有して離れかつ 平行な関係にある。特定の粒子の懸濁液が与えられるならば、色素粒子を吸引す るまたは反発する静電荷の符号が分かるであろう。カソードに特定の電圧が加え られおよびグリッドに他の電圧が加えられる時、それらの交差点の近傍の領域が 誘電性流体中の懸濁液の中の色素粒子を吸引するまたは反発するのに十分な正味 の電荷となるように、カソード素子電圧とアノード電圧とグリッド素子電圧とを 決定することができる。多数のカッ−1・線およびグリッド線が用いられるから 、多数個の交差点が存在し、これらの交差点は、カソード素子とグリッド素子の 電圧を変えることにより、色素の集中化および稀薄化した、そして、目で見える 局在した、領域が生ずるように制御することができる。その時、本質的には、カ ソードとグリッドの両方の動作電圧は、論理値1と論理値ゼロとに対応する少な くとも2つの状態をとることか可能でなければならない。カソードに対する論理 値lは、色素の吸引または反発のいずれに対応しても良い。典型的には、特定の 交差点て両方か論理値1である時にのみ、色素粒子の移動によって表示装置の上 に、情報の可視ヒソ1−の書き込みを行うのに十分な静電界がその交差点に存在 するように、カソード電圧とグリッド電圧が選定される。例えば、アノードとカ ソードとの間の消去電圧勾配に調整された交差点て極性の反転および論理値ゼロ −セロ状態が起こると、このビットを消去することができる。このようにして、 ディジタル化されたデータを電気泳動表示装置に表示することができる。
また別のEPID1M造体か、前記の出願中特許、出願番号第07/345゜8 25号に開示されている。この特許は、独立てかつ個別に呼び出し可能な複数個 の「ローカル」アノード線が、1・りオード形表示装置に見られるようなカッ− 1・/グリソトのマトリックスの上に配置された、電気泳動表示装置に関する。
ロー)Jル・アノード線は、グリソト線の上に、かつ、グリッド線に沿って、配 置される。ローカル・アノード線は、フォトレジストの介在線により、グリッド 線から絶縁される。ローカル・アノード線は「遠隔」アノードに加えて、トリオ −1・表示装置におけるように、アノード面板またはキャップの上に配置される 層である。前記のデュアル・アノード構造体により、フレームの間の表示の明る さの好ましくない変動を消去することにより、高性能な動作が得られ、表示装置 のスピー1−か増大し、書き込みサイクルおよびホールド・サイクルの期間中に 必要なアノード屈圧か減少する。これらはすべて、出願中特許、出願番号第07 /345゜825号に開示されている。この特許の内容は、本発明の中に取り込 まれている。
出願中特許、出願番号第07/345,825号は、そこで用いられているロー カル・アノード構造体が、クロムのような第1金属で作成されたグリッド素子の 上に、フォトレジストの層を加えることにより、実現されることを開示している 。例えば、ニッケルまたはアルミニウム、のような第2金属の層が、フオ1〜レ ンスl−1−の」二にイー1曲される。フォトレジストのまた別の層が第2金属 習の上に付和され、そしてその後、グリッド素子・と同し形にマスクされ、そし て露光され、ぞして現像される。次に、第2金属層か適切な溶液の中でエツチン グされる。次に、第1金属層と第2金属層との間の7オ]・レンズ1−に、プラ ズマ・エツチングか行わ第1る。その後、?!)られた構造体の上に、S 第0 2の層か配置される。
本発明の1つの目的は、出願中特許、出願番号第07/345,825号に開示 されている構造体とは別の構造体と、および、遠隔アノード/カソード/クリソ t’のマトリックスの製造法とを得ることである。
発明の開示 従来の電気泳動表示装置にイ」随する問題点および欠点は、本発明により解決さ れる。本発明は、与えられた方向に配列した複数個の平行な線を存するカソード ・マトリックスと、カソード・マトリックスから絶縁されかつX−Yアドレス指 定マトリックスを形成するように各々がカソード線に垂直であるような複数個の 平行な線を有するグリッド・マトリックスと、X−Yマトリックスから分離され た通常型のアノード電極と、を備えた形式の電気泳動表示装置を有する。アノー ド電極とX−Yマトリックスとの間の空間には、流体の中に懸濁した色素粒子を 仔する電気泳動分散液が収容される。その改良点は、おのおのがグリフ1〜線に 付随しかつグリフ1−線から絶縁された複数個の平行な線を有する付加的アノー ド電極である。付加的アノ−I−電極は、グリッド・マトリックスにより共存さ れる1つの平面の中に配置され、および、色素粒子のX−Yマトリックスへの経 路およびX−Yマトリックスからの経路を制御するように動作し、および、過剰 の色素を通常型のアノード電極に残すことか可能なように動作する。
図面の簡単な説明 本発明をさらによく理解するために、添付図面を参照して、例示された実施例を 下記において詳細に説明する。
第1図は、本発明の1つの例示された実施例による電気泳動表示装置の分解立体 図。
第2図は、第1図に示されたのと同し1つの例示された実施例により、選定され たグリフ]・素子と交互配置された選定されたローカル・アノード素子の拡大平 面図。
第3図は、第1図に示された電気泳動表示装置の、横断線lll−Hに沿って取 られたそして矢印の方向から見た、分解されていない状態の横断面図。
第4図は、本発明式による出願中特許、出願番号第07/345,825号に開 示された選定されたグリノト素r構造体、および/または、アノード素子構造体 の拡大平面図。
第514は、出願中特許、出願番号第07/345,825号による、および、 第41Jに示された素子構造体を取り入れた、電気泳動表示装置の横断面部分図 。
本発明を実施する最良のモード 第1図は、本発明による電気泳動表示装置10を示す。表示装置10は、アノー ド面板I2およびカッ−1へ面板14を有する。これらの面板は介在するスペー 4月6の両側に気密に接着され、それにより、誘電体/色素粒子または電気泳動 流体(図示されていない)の入る気密な容器か構成される。面板12および14 は、典型的には、その]二に導電体か配置された平らなガラス板である。これら の導電体に静電荷がrr、在することにより、電気泳動流体の中で運動か誘起さ れる。
これらの面板の上に導電体素−rを作成するのに用いられる技術、材料および寸 法ど、El’)IDSの製造法一般は、米国特許第4.655.897号、第4 ,732.830号および第4,742,345号に開示されている。これらの 特許の内容は、参考として本発明の中に取り込ま第1ている。
本発明では、第1図に示されているように、独立していて導電性を有する複数個 のカッ−1−線18が、従来のデポフシ9ン技術およびエツチング技術を用いて 、力′ノート面板14のLに配置される。これらのカソード線18は、第1図で は、水平な行の線として示されている。もちろん、カッ−1−線の向きは、スク リーンの向きによって変わる。もしスクリーンを90度回転するならば、力゛ノ ート線の向きは垂直になるであろう。したかつて、カッ−1・素子は水平である としておこう。カッ−1・素子18は、米国特許第4.742,345号に開示 されているように、インジウム・スズ・酸化物(ITO)で作成される。力゛ノ ード素子18の十に、独立した複数個のグリソト4電体線20か垂直方向に重ね られ、すなわち、それらとは直角Jj向に重ねられ、そして、介在するフォトレ ジスト層22(第2図を見よ)によりそれらから絶縁される。グリソト素P20 は、スパッタリング技術またはそれと同等な技術を用いて、フォトレジスト層2 2をニッケルのような’a?IAて岐覆し、ぞしてその後、マスクを作成しそし て選択的にエツチングを行うことにより、第1図に示されたような交差している か絶縁された構造体を作成することかできる。カソード素子18およびグリッド 素子20のおのおの1つの端部は、それぞれ、接触体パッド24cおよび24g に終端する、または、そうでない場合には、表示装置の駆動装置(図示されてい ない)に接続することができる。アノード26は、アノード面板12の内側表面 にクロムのような導電体材料の薄い層をメッキすることにより作成さ第1る。
前記部品は従来の特許および本出願人の出願中特許に開示されているけれとも、 本出願は新規なローカル・アノード28構造体を有している。前記説明のように 、ローカル・アノードを有するEPIDの利点および動作は、本出願人による出 願中特許、出願番号第07/345,825号に開示されおよび説明されている 。
けれとも、従来、ローフ1ル・アノ−1−線は、グリフ1−素子の上にグリッド 素子と位置合わせして作成され、そして、フォトレノスト絶縁体の介在層(第5 図を見よ)により、グリッド素子から分離して作成されている。本発明では、ロ ーカル・アノード線は、グリッド素子20と同し平面内に、かつ、同し材料で、 かつ、同時に作成される。このことは、ローカル・アノード28とグリッド20 とを交互配置することにより達成される。したがって、複数個のグリッド線を作 成するのに用いられたマスクか、複数個のグリッド線と複数個のアノード線とが 、単一のマスクで同時に作成されるように変更される。作成の後、5j02の被 覆体が、前記の出願中特許、出願番号第07/345,825号に開示されてい るように、グリッド/ローカル・アノード/カソードの複合体の上に作成される 。この表示装置はまた、前記出願中特許の表示装置と同しように動作する。
?PJ2図は、1個のグリッド線20と、1個のローカル・アノード線28と、 それらか交互配置された構造体の1つの例を示した図である。前記で説明したよ うに、フォーク状素子のようなグリッド線が、すなわち、複数個の平行な共存す るフ才一り体30を有する素子のようなグリッド線が、グリッド接触体パッド2 4gのような共通領域から突き出ている構造体であることにより、米国特許第4 ゜742.345号に開示されているように、表示装置の明るさが改善される。
第2図に示された実施例では、ローカル・アノード28は、接触体パッド部分2 4Iaから突き出た1個の細長い部分32を有するとして示されている。ローカ ル・アノード28の細長い部分32は、グリッド線2oのフォーク体3oの間に 延長されており、そしてこの意味において、グリッド線2oと交互配置されてい る。
ローカル・アノード28はまた、り′リノ)・線20と同しようにフォーク体て ありことかてきる。ぞの場合には、グリッド・フォーク体とローノJル・アノー ド・フす−ク体とを交代する形式で交互配置することかできることを断っておく 。実際、)L意の数のグリッド・フォーク体30(細長い部分)と、任意の数の ローカル・アノ−I・・フ(−り体、すなわち、細長い部分32とを用いること ができる。けれども、ニオ1らか相互に絶縁されていることか必要であり、およ び、カソード線18に沿−ってグリノ1へ線か規定された位置に正しく配置され るために、これらが相互に事実−1−平行であり、かつ、カノート線18に事実 上垂直でなければならない。第2図に示されたローカル・アノード線28の幅は 約30ミクロンであることか好ましく、かつ、ローカル・アノード28の細長い 部分32とグリッド線20のフォーク体30との間の分離距離は12ミクロンで あることが好ましく、かつ、グリノ1〜・フォーク体30の幅は約10ミクロン であることが好ましくおよびフォーク体間距離は12ミクロンであることか好ま しい。これらの寸法により、グリッド・フォーク体30よりも幅の大きいローカ ル・アノード28か得られ、それによI)、ちっと細いローカル・アノードか用 いられる場合よりもさらによい色素間両を得ることかできる。全体的にいえば、 これらの寸法を存して構成されたグリノト素子−とローカル・アノード素子との 交互配置体において、閉じた領域に対する開いた領域の比は約4096である。
これは通常のトリオードEPIDSの範囲内にあり、ぞして、これらの寸法に従 って製造された画面は通常の表示装置の明るさを有する。画面の明るさか適切で あるためには、開いた領域の比率は30oθないし609石の範囲内になければ ならない。
第1図に示されたようなEPIDを作成するためには、これらの部品が組み立て られ、そして、炉の中に入れられて焼き出しを行えばよい。その場合、スペーサ I6は、隣接する素rと接触する表面上か、焼き出し温度でプラスチックになる t林1、例えはエポキシ、て被覆されるであろう。焼き出しの際、溶融可能な材 料は流動し、そして、冷却するとこれらの素子は薄板になる。もちろん、図面に 示さ第1たEPIDの素rを組立てるために、通常の当業音か所有している他の 方法、例えは、接着のような方法かある。EPID素子か薄板になることにより 、誘電体流体/色素粒子懸濁液を入れるための容器か形成される。
第3図は、第2因に示された交互配置構造体を用いて組立てられた第1図の電気 泳動表示装置の横断面図である。図面に示された実施例のアノード26は、前記 特許および本出願人の出願中特許に開示されているように、カソード/グリッド /ローカル・アノードのマトリックスの長さおよび幅と事実上整合した、すなわ ち、このマトリックスと同一の広がりを持つ、長さおよび幅を有する導電体材料 の板状領域である。前記開示とは異なり、本発明は、グリッド素子20(個々の フォーク体30はその横断面が示されている)と同じ平面内に、および、グリッ ド素子20と同し製造段階により、フォトレジスト層22の上に配置されたロー カル・アノード28素子を存する。すべての導電体素子は非常に薄いから、特に 手段を講しなくても、それらは介在するスペーサ16の下に存在し、そして、そ の少なくとも1つの端部が、表示装置の駆動回路(図示されていない)に接続す るために、容器の外部にある端子になる。
第1図〜第3図に示されたグリッド線とローカル・アノード線との比率は、図示 の都合により変えである。すなわち、細長い部分はカソード面板14の事実上全 体の高さにまで延長されるのに十分に長く、一方、個々の線の幅は8’XIO″ スクリーンの上に2,200本の程度の線を収容するのに十分なように小さいて あろう。したがって、実際の表示装置では、グリッド線およびローカル・アノ− 1’線は、非常に細くかつ非常に長い。作動可能なパネルは、非常に多数個の交 差点を存するであろう。例えば、2,200Xl、700個の交差点、すなわち 、総計3.740,000個のア1〜レス可能な交差点を有するであろう。図面 に示すのが容易であるように、数個のカソード線と、数個のグリッド線と、数個 のローカル・アノ−I・線とだけが示されている。電気泳動表示装置とそれらの 部品および電気回路のさらに詳細な実例は、米国特許第4,742,345号お よび第4.772,820号に開示されている。これらの特許はいずれも本出願 人に認可されたものである。これらの特許の内容は、本発明の中に取り込まれて いる。
第4図および第5図は、出願中特許、出願番号第07/345,825号におい て本出願人により開示されたEPIDSの一定の特徴を示した図であり、本発明 との比較を行う目的で記載さ第1た。本発明の対応する素子と本質的に同し形状 および機能を(fする素子には、同し参照番号か付されている。先行技術のEP IDSは本発明では変更されているが、この先行技術のEPIDSの中の共通す る素f゛−は、F(・1き添字rpa4に、より示されている。第4図は、出願 中特許、出願番を第(・7:Li2、:625翼i:+ii+記で聞手された二 ″寸−′7体グリッド(およびローカル・アノード)素1’20paの構成体を 示す。本発明により開示されたグリソト素子20構成体と比較をすれば、フォー ク状構造体が保持されているけれとも、交互配置されたアノード線を中央に収容 するための間隔距離を備えていなければならないことが分かるはずである。
第5図は、遠隔アノ−1〜およびローカル・アノードを有するEPIDSの中に 、従来の出願人により用いられた、グリフ)パ素子20paの上にローカル・ア ノード素子28paを積層した、積層体の図面である。この積層構造体は複数個 の段階で製造されること、および、効果的に動作するために、ローカル・アノー ド28paはグリソト素子20paと精密に整合していなければならないこと、 が分かるはずである。本発明では、これらはいずれも要請されない。本発明と第 5図に示された構造体どのまた別の相違点は、本発明のローカル・アノード28 が、グリッドとローカル・アノードの面内の色素粒子の分布を変えることである 。第5図に示された装置では、それどは異なり、ローカル・アノードはグリッI S℃位置の色階位置に影響を与えて、色素をグリソトから離れた面に引き寄せる 。
前記て説明された実施例は単に例示されたものであって、当業者にとっては、本 発明の範囲内において、多くの変更および修正の可能であることが理解されるは ずである。
フロントページの続き

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一定の方向に配列された複数個の平行な線を有するカソード・マトリック スと、各々が前記カソード線に垂直である複数の平行線を含みかつ前記カソード ・マトリックスから絶縁されたグリッド・マトリックスとを有して、それらがX Yアドレッシングマトリックスを構成して通常型アノード電極が前記XYアドレ ッシングマトリックスと間隔をなしており、前記間隔には流動体中に懸濁された 色素粒子を含む電気泳動分散液が収容されるような型の電気泳動表示装置であっ て、 各々が前記グリッド線に付随しかつ前記グリッド線から絶縁された複数個の平行 な線を有し、かつ前記グリッド線から絶縁された複数個の平行な線を有し、かつ 、前記グリッド・マトリックスと共有する平面の中に配置され、かつ、前記色素 粒子の前記X−Yマトリックスヘの経路および前記X−Yマトリックスからの経 路を制御するように動作し、かつ、過剰な色素を前記通常型のアノード電極に残 すことが可能なように動作する、付加的アノード電極をさらに有する、前記電気 泳動表示装置。
  2. (2)請求項1記載の表示装置において、前記付加的アノード線が予め定められ た繰り返しパターンで前記グリッド線の間におよび前記平面の中に分布した、前 記表示装置。
  3. (3)請求項2記載の表示装置において、1つの前記グリッド線が前記付加的ア ノード線の各々に付随する、前記表示装置。
  4. (4)請求項3記載の表示装置において、前記グリッド線および前記付加的アノ ード線の各々が表示装置駆動回路に接続するための1つの端部、および、1つの 自由端部を有し、かつ、付随するグリッド線および付加的アノード線の各々の前 記接続端部が相互に離れて配置される、前記表示装置。
  5. (5)請求項4記載の表示装置において、前記グリッド線の各々が前記接続端部 から離れた位置で少なくとも2個のフォーク体にさらに分割され、かつ、付随す る付加的アノード線の各々の前記自由端部が前記フォーク体の間に配置される、 前記表示装置。
  6. (6)請求項5記載の表示装置において、前記少なくとも2個のフォーク体の個 数が4個であり、かつ、付随するさらに分割された前記グリッド線の2組の2個 のフォーク体のほぼ中央に前記付随する付加本的了ノード線か配置される、前記 表示装置。
  7. (7)請求項6記載の表示装置において、前記ローカル・アノード線が前記フォ ーク体よりも多くの色素粒子を不可視に(obscure)するように、前記ロ ーカル・アノード線の幅が前記グリッド線の前記フォーク体の幅よりも大きい、 前記表示装置。
  8. (8)請求項7記載の表示装置において、前記X−Yマトリックスおよび前記付 加的アノード・マトリックスがともに合わせて約30%ないし60%の開放領域 比を有する、前記表示装置。
  9. (9)請求項1記載の表示装置において、前記付加的アノード線および前記グリ ッド線の各々が同じ材料で作成される、前記表示装置。
  10. (10)(イ)少なくとも部分的に透明な一部分を備えた、流体に対し気密な容 器と、 (ロ)前記容器の中に入り、かつ、その中に懸濁した色素粒子を有する、電気泳 動流体と、 (ハ)第1平面の中に配置されかつ前記容器の中に少なくとも部分的に入ってい る、細長く事実上平行な複数個の水平導電体素子と、(ニ)前記容器の中に少な くとも部分的に入りかつ前記水平素子から電気的に絶縁されかつ第2平面の中に 配置された細長く事実上平行な複数個の第1垂直導電体素子と、および、前記第 1平面と前記第2平面が事実上平行でありかつ相互に近接しており、かつ、前記 第1平面および前記第2平面に垂直なラインに沿って見る時複数個の前記水平素 子および複数個の前記垂直素子が複数個の交差点を有するマトリックスを形成し 、 (ホ)前記容器の中に少なくとも部分的に入り、かつ、前記水平素子および複数 個の前記第1垂直素子から電気的に絶縁され、かつ、前記第2平面の中に配置さ れた、細長く事実上平行な複数個の第2垂直導電体素子と、(へ)前記第2平面 の近傍でかつ前記第2平面に事実上平行な第3平面の中に配置され、かつ、前記 容器の中に少なくとも部分的に入った事案上平面の導電体部品と、および、前記 第1および前記第2の複数個の垂直素子の各々が前記流体の中の前記粒子の移動 を誘起するために選択的に電気的に帯電可能であり、かつ、前記粒子が前記容器 の前記透明部分を通して見ることができる、を有する電気泳動表示装置。
  11. (11)請求項10記載の表示装置において、前記第2の複数個の垂直素子が前 記第1の複数個の素子の間に交互配置された前記第2平面の中に繰り返すパター ンで分布し、かつ、前記第1の複数個の素子の各々が前記第2の複数個の対応す る素子に付随する、前記表示装置。
  12. (12)請求項11記載の表示装置において、前記第1および第2の複数個の素 子の各々がフォトレジストの層の上に保持される、前記表示装置。
  13. (13)請求項12記載の表示装置において、前記第1および第2の複数個の素 子の各々が表示装置駆動回路に接続するための1つの端部、および、1つの自由 端部とを有し、かつ、前記第1の榎数個の素子の各々前記接続用端部が前記第2 の複数個の素子の対応する素子の前記接続用端部に対し離れた位置に配置され、 かつ、前記第1の複数個の素子の各々素子が前記接続用端部に対し離れた位置で 少なくとも2つのフォーク体にさらに分割され、かつ、前記第2の複数個の素子 の対応する素子の前記自由端部が前記フォーク体の間に挿入された、前記表示装 置。
  14. (14)請求項13記載の表示装置において、前記第1および第2の複数個の素 子の各々かクロムで作成される、前記表示装置。
  15. (15)請求項13記載の表示装置において、前記第1および第2の複数個の素 子の各々がアルミニウムで作成される、前記表示装置。
  16. (16)請求項13記載の表示装置において、前記表示装置がトリオード形表示 装置であり、かつ、複数個の前記水平素子がカソードであり、かつ、前記第1の 複数個の垂直素子がグリッドであり、かつ、前記第2の複数個の垂直素子がロー カル・アノードであり、かつ、前記平面部品が遠隔アノードである、前記表示装 置。
  17. (17)(イ)前記カソード面板の上に複数個のカソード線を作成する段階と、 (ロ)前記カソード線の上にフォトレジストの第1層を配置する段階と、(ハ) フォトレジストの前記第1層を導電体材料で被覆する段階と、(ニ)前記導電体 材料をフォトレジストの第2層で被覆する段階と、(ホ)複数個のローカル・ア ノード線と交互配置された複数個のグリッド線の形状に対応したマスクでフォト レジストの前記第2層をマスクする段階と、(へ)前記マスクによりフォトレジ ストの前記第2層を露出する段階と、(ト)フォトレジストの前記第2層を現像 する段階と、(チ)現像の後に残るフォトレジストの前記第2層により被覆され ない前記前記導電体材料被覆体を酸エッチングする段階と、(リ)前記酸エッチ ングの段階の後に残る前記前記導電体材料により被覆されないフォトレジストの 前記第1層および前記第2層をプラズマ・エッチングする段階と、 を事実上記載の順序で実行する、デュアル・アノード電気泳動表示装置のカソー ド面板の上にカソード/グリッド/ローカル・アノードのマトリックスを製造す る製造法。
  18. (18)請求項17記載の製造法において、前記プラズマ・エッチングの段階の 後、前記カソード/グリッド/ローカル・アノードのマトリックスの上にSiO 2を付加する段階をさらに有する、前記製造法。
  19. (19)請求項18記載の製造法において、導電体材料で被覆する前記段階がフ ォトレジストの前記第1層の上にクロムの層をスパッタリングする段階を有する 、前記製造法。
  20. (20)請求項18記載の製造法において、導電体材料で被覆する前記段階がフ ォトレジストの前記第1層の上にアルミニウムの層をスパッタリングする段階を 有する、前記製造法。
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