JPS61502927A - 伝導により冷却されるレ−ザ−ロッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 伝導により冷ｆＪ］されるレーザーロッド発明の背景 １、発明の分野 本発明はレーザーに関し、特に、改良されたレーザーロッドの冷ＦＡ装置を有す るレーザーに関する。

２、先行技術についての説明 固体レーザロッドは、電６ｔ［Ｉ射を行なう前には、外部のエネルギ源によって 励起されなければならない。このエネルギ源は可視光あるいは近可視光を放射し 、それはレーザーロッドによってレーザービームに変換される。固体レーザーロ ッドは一般に比較的効率が悪い。従って、吸収されたエネルギの比較的僅かの部 分がレーザービームに変換される。残りのエネルギのほとんどは熱に変換される 。はとんどの同体レーザーロッドの効率は温度と共に低下するので、レーザーが 外部エネルギ源を効率的に利用できないことにより発生する余分な熱がレーザー の非効率な動作を増長する。このようにして、これらの熱と、関連する非効率な 動作の問題を乗越えるために、熱は除去されなければならない。発生した熱を放 熱するために非常に多くの先行技術が利用されてきた。例えば、熱が約３ワツト 以上ならば、ロッドはその上に液体あるいは圧縮ガスのような流体を流すことに よって冷却される。

流体は熱交換機を経由して再利用される。そのようなダイナミック冷却システム は種々の欠点を有する。圧縮ガスの場合では、主な問題は、ランプから光を放出 している間に循環冷却ガスをシールするのに非常にコス１−がかかるということ である。液体システムでは、ランプが露光しているとき、即ちランプが点灯して いるとき、関心事は流動性の究極的な低下である。

これらの問題のために、他の努力は熱伝導によって消極的にロッドを冷却するこ とに関する。この技術はアメリカで例証されている。バークハート（Ｂ　ｕｒｋ ｈａｒｔ　）らによる米国特許４，２１０，３８９では、ロッドはその片側がヒ ートシンクに半田ずけされ、その片側には反射性の金属層を蒸着することにより 冷却される。この技術では少なくとも２つの主な理由でロッドの光学的性質をか なり歪めることが知られてきた。第１に、ロッドは熱伝導のよい支持にしっかり と保持されており、２つは異なる熱膨張率を有するので、ボンピングと冷却の間 に応力が加わる。このためロッドはその支持から異なる割合いで伸びる。この異 なる膨張のため応力が発生する。第２に、ロッドはその円周上の一部だけでその 長さ方向に沿って支持部によって支持されている。この結果、ロッド内に熱勾配 を生じ、結果的に均一な冷却がなされない。従って、ロッドに光学的収差が生じ る。

タイナイ（Ｔａｊｎａｉ　）らによる米国特許４，１８１，９００１．１　ハま た、伝導性のよい冷却ポンプの空洞が述べられている。それでは、レーザーロッ ドはヒートシンクに固定されている。タイナイらのシステムは、ロッドの円周全 体に渡って熱的に接触していないので、レーザーロッドを満足できるように冷却 できない。その結果は、米国特許４．２１０，３８９と同様に、不均一な冷却と なり、熱による応力を生じる。ざらに、固定することにより、機械的な応力を生 じる。

このように、上述のような欠点がなく、レーザーロッドを伝導性よく冷却する改 良された技術が望まれていた。

発明の概要 本発明はレーザーリボンピング空洞中に置かれたレーザーロッドを伝導的に冷却 するための改良された技術を提供することである。特に、熱伝導性を有する支持 部がロッドを全体的に囲み、ロッドと支持部の間にある熱伝導性の柔軟な材料が 、実質的に長さ方向全体に渡って完全に熱的に接触するように２つを接合する。

柔軟な材料と支持部の両方は空洞のランプによって放出された光に透明である。

透明な支持部は、熱交換システムの一部であるヒートシンクに熱的に接合される 。

ランプからのボンピング光は、透明で熱伝導性の支持部と柔軟な材料を介してレ ーザーロッドに伝送され、支持部と柔軟な材料はロッドで発生された熱を運び去 る。

実施倒において、柔軟な材料はシリコンゲルのようなゲルである。ゲルは半液体 状態で存在するので、ロッドの冷却によって生じた機械的応力はロッドあるいは 支持部には伝達されない。むしろ、応力はゲルを自由に膨張させ、ロッドと支持 部の開放端から引き出される。ゲルはロッドから支持部に一様に熱を伝導するの で、熱応力はまた、最少とされる。その支持部は熱を外部のヒートシンクに伝導 する。外部ヒートシンクはそれに取付けられたフィンによって、あるいはもつと 都合のよい熱交換標に熱を運ぶために流体を使用して冷却される。

このように本発明は前述の先行システムの欠点を改良して、伝導によりレーザー ロッドを冷却するための技術を提供する。

特に、ロッドの膨張時に、熱伝導性を有する柔軟な材料により、必然的に全ての 機械的応力が除かれる。さらに、ロッドからの熱は均一に柔軟な材料に、そこか らヒートシンクに伝達されるので、レーザーロッドに熱的に誘起される応力は最 少にされる。このようにして、本発明は実質的に応力に起因するロッドの複屈折 を減少させ、レーザーロッドが最少の光学的擾乱で、申越したコリメーション特 性を有するビームを発生することを可能とする。

図面の簡単な説明 発明の特徴と目的と同様に、発明をよりよく理解するために、添附図面を参照し て以下の記述がなされる。ここで、第１図は本発明を説明するレーザーポンプヘ ッドの斜視図である。第２図は第１図のレーザポンプヘッドを２−２で切取った ときの内部断面図である。第３図は第２図で３−３で切取られた断面図である。

第４図から第７図はレーザーロッドを冷却するための他の実施例を示す。

同じ参照番号は各図において同じ構成物を示す。

発明の詳細な説明 最初に第１図から第３図を参照して、レーザーポンプヘッド１０は分割可能な部 分１３と１４とからなるハウジング１１を有する。さらに、その部分１４は一対 の部分１４ａと１４ｂとからなる。

液体の冷却媒体が流れるチャンネル１Ｇ、１９、および２０は各々ハウジングの 部分１３と部分１４ａと１４ｂとを介して伸びている。

ハウジング部は各々内部に反射表面２４と２６を有し、それらによりレーザーポ ンプ空洞、ずなわちチャンバー１５が形成される。空洞１５はレーザー動作に適 した構造を有している。例えば、表面２４は楕円であり、下側の表面２６は一般 に正方形である。ボンピングチャンバー１５とそのハウジングは、よい熱伝導性 を有する金属、例えばアルミニウムのような、レーザーのための空洞構造を提供 し、ヒートシンクとして動く材料で構成される。レーザーロッド１８を有する望 ましいレーザー構造がチャンバー１５の下側部分に取付けられている。ロッドは ルビー、あるいはＮｄ　：　ＹＡＧ、あるいは染料コンテナーのようなレーザー 結晶材料からなる。

フラッシュランプ１２はレーザーロッド１８の近接した側面に置かれ、それによ り、ロッドは励起状態にポンピングされる。

チャンバー１５のレーザーロッドの取付は部は例えばサファイアのような透明な 熱伝導のよい支持部２２を有し、それはロッドの長さ方向に沿って伸びる。

柔軟な熱伝導のよい材料２１のクッションがロッド１８の外部表面と支持部２２ の内部表面との間に置かれていて、ロッド１８の長さ方向全体に沿って伸びてい る。これ以降に詳細に述べるように、レーザーロッド１８の両端はオーブンであ り、ロッド１８と支持部２２の間で異なる熱膨張と収縮を起こす間に、材料２１ は押出されるが、支持部２２から外部方向に移動したり、支持部２２に引戻され たりするような弾性記憶を有する。

フラッシュランプ１２によって作られる熱は、フラッシュランプ１０と表面２４ との間にある詰められた粉体２７によってすぐ回りの範囲から除かれる。詰めら れた粉体２７は硫酸バリウム、アルミナ、ベリリア、あるいはセラミックのよう な適当な材料からなる。

詰められた粉体はいくつかの特徴を有する。それは、フラッシュランプによって 発生された熱を表面２４とヒートシンクに運ぶことができるように十分に高い熱 伝導度を有する。それはまた、高い乱反射性能を有し、紫外線を通さない性質を 有する。それはまた、フラッシュランプによって作られた高温にたえつる。フラ ッシュランプ１２を冷却するためにそのような粉体の材料を使用することの詳細 は、米国特許４，０９６，４５０に詳細に述べられている。

冷却媒体はチャンネル１６．１９、と２０を流れ、ハウジングから熱を除去する ための熱交換機として働く。しかしながら、他に種々の熱交換機が利用されてい る。

本発明の重要な点はその長さ方向全体に渡ってロッド１８を包む柔軟で透明な材 料２１を使用することにある。レーザーロッドの冷却に特に有効である材料２１ の一般的特性は、次のようなことである。（１）ロッド１８と熱伝導性の支持部 ２２との間に柔軟な、すなわち柔らかくクッションのようなカップリングを設け ること。（２）ランプ１２からの光をロッド１８に伝送すること。（３）ロッド から熱を奪い去ること。

柔軟な材料２１は、シリコン、水、あるいは炭素ゲルのどれかの半液体のゲル材 料からなる。ダウコーニング社で製造されているダウコーニング３−６５２７Ａ と８いう番号の添加剤を混合したシリコンゲルが使用された結果が良かった。本 発明で特に有効なシリコンゲル、および他のゲル材料は、２つの成分が混合され たとき、クッションのような弾力のあるゲル状の塊を形成する。そのようなゲル は変形でき、弾性記憶特性を有し、それにより押出されても回復可能である。調 合されたゲルは、応力をなくすという液体の特性の多くを有している。すなわち 、それは、介在物として使用されるとき、異なる熱膨張と収縮により生じる機械 的応力に対する保護となる。

また、固体弾性材としての形状の安定性と流れないという特性を有する。さらに 、それは、その接触表面上に永久接合を形成する。

特に、ゲルはロッド１８と透明な熱伝導性の支持部２２との間に形成された僅か な間隙に注入される。その膨張特性により、ロッド１８や熱伝導体２２より速く 膨張する。しかしながら、ロッド１８、支持部２２、およびゲル２１の異なる膨 張と収縮のために生じる応力は、ゲルに伝えられ、ゲルはロッド１８と両端が開 放となっている支持部２２との間の間隙を押出されたり、引込められたりする。

このようにして、ロッドには応力が掛からない。ロッド１８の回りの材料２１の 最少の厚さは０．００２インチ（０，０５ｍｍ）から０．００５インチ（０，１ ３ｍｍ）である。一般にゲルは熱伝導性が悲いが、必要とされるゲルの厚さが比 較的薄いということにより、温度勾配は比較的小さくてすみ、従って、必要な熱 転道をそれほど妨げないので、その潜在的な絶縁特性が避けられている。

サファイアは、比較的安く、高い熱伝導率を有づるので、支持部２２の材料とし て適している。伯の材料としてはガラス、ベリリウム酸化物の単結晶、ＹＡＧ、 およびガーネッ１へがある。明らかに、選択された材料はランプ１０から放射さ れた光を透過させる。

ロッド１８、柔軟な材料２１、および熱伝導体２２からなるレーザーロッド冷Ｗ アッセンブリ（図示せず）を形成する方法は、伝導体２２の穴を混合された添加 剤で満たし、その中にロッド１８を挿入することである。１８と２２の間の距離 はシームによって保たれる。液体がゲル状になった後、シームは除かれ、アッセ ンブリはハウジング部１４に置かれる。機械的圧力により、熱伝導性の支持部２ ２とロッド１８はハウジング１４の中に保持される。

支持部２２は、ヒートシンクとして働くハウジング１４と熱的に接続されている 。例えば、それはアルミニウムでできていて、内部表面の金層によって、ボンピ ングのための光はロッド１８に伝送される。アルミニウムのピー１〜シン９部１ ２．１４ａと、１４ｂは、各々冷却媒体チャンネル１６．１９と、２０によって 冷Ｎ］される。

製造上の都合から、支持部２２は楕円ではない。すなわち、それは、最終的な形 は変更されるが、３つの平らな面と、１つの曲面とを有づる。金層は光学的に反 射するので、ランプ１２からの光を効率的に支持部２２からロッド１８に導くよ うな次のステップが必要である。材料２２（例えばサファイア）の表面が磨かれ る代わりに粗く研磨されると、乱反射を生じ、ランプからの光はロッド全体にい きわたり、レーザーロッドの効率を増加させることが分った。また、ゲル材料２ １とロッドの表面どの間の屈折率をだいたい同じにすることにより、ロッド１８ の境界面は、ロッドの普通の乱反射面によって、ロッドの内部よりもさらに多く の割合いでランプからの光でロードされ、このようにして、レーザービームは望 まれるよりも広く拡散されるということが分った。一般にレーザーのユーザによ って要求されるような、かなり絞りこまれた出力ビームをつくるためには、ロッ ド１８の中心部での光強度を高める必要があるので、その中心部に光の大部分を 集めるために、ロッドの表面はかなり磨かれる。例えば、ロッド表面の最終的な 特性に関係なく、拡散されたビームを提供するように例えば、望遠鏡を介して、 レーザー出力ビームは伝送されるということに注意ずべきである。

以上述べられた概念によ′す、一様にレーザ−ロッドを冷ｆｌＪするための手段 と方法が提供され、熱的、結果的には機械的な応力は最少にされ、ロッドは光学 的擾乱が最少であるような出力ビームを生じる。切断面４２はアルミニウムのヒ ートシンク１４の所にあり、バネが１４ａと１４ｂに取りつけられることにより 支持部２２とヒートシンク１４の間の別様的接触は良くなっている。これにより 、熱的接触も良くなっている。さらに、Ｎｄ：ＹＡＧ３レーザーロンドの場合に は、サマリウムガラスのフィルター４４（第３図を見よ）が、ロッド１８に蓄え られたエネルギを使い尽くすことを防ぎ、レーザーロッド１８の両端から放射さ れるレーザー光の量を最大にするために、空洞１５の中に挿入される。

第４図に他の構成が示される。ここにおいて、第１図から第３図までの１つの熱 伝導性の支持部がロッド１８を楽に組込むために、そしてゲル２１より弾性の少 ない材料が使用されることができるように、４つの支持部２２′　に分割されて いる。

ここで、ダウコーニング　９３−５００のシリコンゴムのようなスポンジ状の光 学材料２１′　が柔軟な熱的材料として利用され、その月利はロッド１８の回り だけでなく、分ｖ１された支持部２２′　の間の間隙５４にもまた入れられる。

レーザーロッド１８は熱伝導性の支持部２２′　と同じに膨張し、一方、柔軟な 材料２１′　は１０倍の速さで膨張すが、必要な程度にまでレーザーロッドの両 端で膨張ツ”ることかできないので、ゴム２１′　の膨張を吸収するために支持 部２２′　に間隙５４が必要とされる。

この実施例はレーザー動作の間にレーザーロッド１８の熱的Ｊ５よび１械的応力 を最少するけれでも、支持部２２　の分割により第４図のレーザー構造は製造す るために、より複雑で高価になる。

望まれるならば、第３図と第４図の実施例において、熱的伝導性支持部２２ある いは２２′　とヒートシンク１４の近くの内部表面との間に、その下部と同じく らい速く支持部２２あるいは２２′　の上部を冷却させるための間隙を設けるこ とができる。

第５図に示される実施例を参照して、ハウジング１１１は、熱交換層１１６によ って囲まれる部分１１３と１１４を含む。第１図から第３図のように、ハウジン グ部１１４は分割部１１４ａと１１４ｂとを有し、両部１１３と１１４は楕円形 状の内部表面１２６と１２８を有する。支持部１２２の材料はフラッシュランプ １１２からの光に透明であり、熱的に伝導性であり、その支持部１２２はその支 持部の密着するための外部表面を有する。レーザーロッド１１８は柔軟な材料１ ２２によって支持部１２１の中に支持される。この実施例では、材料１２１は市 販されているシリコンゴムからなり、それはロッド１１８および支持部１２２と 熱的に接触する状態にある。材料１２１の付加的な層がランプ１１２とロッド１ １８の間に介在される。支持部１２２は柔軟な材料１３０によってハウジング部 １１３と１１４の表面に熱的に接続されている。その柔軟な材料１３０は硫酸バ リウム、酸化マグネシウムなどのような反射性の粉体と混合されたエポキシから なり、熱伝導性と光反射性を有する。３つの方法で、すなわち、柔軟な材料１３ ０を用いることにより、支持部１２２の中に分割部１２２ａを用意することによ り、および、ハウジング部１１４の中に分割部１１４ａと１１４ｂを使用するこ とにより、レーザーロッド１１８に応力が掛からないようにするために、第５図 に示される実施例では、レーザーロッドのアッセンブリの別々の膨張を吸収する 。膨張の割合いは３つ全ての特徴を利用することによって最大とされるけれども 、分割部１２２ａあるいは１１４ａと１１４ｂを使用すると十分に良い結果が得 られる。

ロッド１１８がＮｄ３　ＹＡＧであるとき、］す−ンリウムガラスでできたフィ ルタ１３６は、フラッシュランプ１１２とロッド１１８の間に置かれ、Ｓｍ２０ ｑｔＧ）体はレーザー側面に沿ってレーザーによって発生される１、０６μｍの 波長を押えるために材料１３０に加えられる。このＪ：うにして、材料１３０は ２つの機能を提供する。すなわら、その柔軟さは前述のようにレーザーロッドの 応力を最少にするための別の技術°を提供し、その反（ト）特性はランプ１１２ のボンピング効率を向上させる。支持部１２２が第３図と第４図に示される実施 例と同様に実質的に等しい厚さでレーザーロッド１１８を完全に包めば、一様で 円形の等４線がロッド内に形成され、ロッドが高性能レンズのようになるという ことを示す。

第６図は本発明の他の実施例を示す。ここにおいて、支持部２２２はハウジング ２１４によって囲まれたロッド２１８を包む。

シリコンゴムのような柔軟で透明な材料２２１の層がロッド２１８と支持部２２ ２どの間にクッション状の接合として使用される。銅ウールのＷＩ２３０が支持 部２２２とハウジング２１４の間に介在される。支持部２２２は４つの分割部か らなり、引用番号２３０によって指定された銅ウールは支持部２２２とハウジン グ２１４の間に置かれるので、第６図に示される実施例はハウジングを分割する 必要がない。銅ウール２３０は支持部２２２からハウジング２１４に熱を伝導し 、一方、異なる熱膨張を許す。

保護用のアルミニウム塗料を重ね塗りすることにより形成される銀の３Ｉ１２４ ０は支持部２２２の外部表面に適用され、ボンピング源からＯラド２１８にエネ ルギを反射することによりボンピング効率を向上させる。ハウジング２１４は第 ３図あるいは第５図に示されるタイプの外部熱交換機によって冷却される。

レーザーロッド２１８による望まれない側面からの放射を押えるために３ｍガラ スフィルタ２３６が、必要により示されるように提供される。

非常に少ない聞の支持部の材料ですむレーザーロッド冷却の実施例が第７図に示 される。この実施例では、支持部３２２はロッド３１８のボンピング源に面して いる側にだけ置かれている。支持部３２２の分割された部分にロッド３１８の半 分がおかれ、他の半分が柔軟な材料３３０によってハウジング３１４に直接熱的 に接合されるならば、シリコンゲル（シリコンタイプのゴムンのｗｉ３２ｔが、 利用されることができる。ここで、等４線は円形となり、レーザーロッド３１８ は他の実施例のように光学的に機能しないが、使用される支持部材料３２２が少 なくてすみ、サファイアとベリリウム酸化物の場合には、茗しくコストが低下す るので、多ぐの実際の例では十分に有効である。ロッド３１８の全体の半分の部 分に柔軟な材料３２１の層があるだけなので、レーザーロッド２１８とハウジン グ２１４の間に２つの間隙が存在する第６図に示される実施例より熱の除去がよ い。このようにして、レーザーロッド３１８は他の実施例の場合より幾分冷却さ れ、従って、高いボンピングレベルで使用される。

反射法が使用されるとの決定はレーザーロッドで望まれるゲインの断面積に依存 する。第６図で述べられた反射法は、その反射能力に加えて、銅ウールを使用し てレーザーロッドの応力をさらに減少させることができると共に熱を除去するこ とができる。また、このようにして、望ましい反射材料である。

このように本発明は、従来の装置を著しく改善するレーザーロッドの冷却のため の技術を提供する。柔軟で熱伝導性のクッションを、ロッドとしつかり取付けら れた支持部の間に提供することにより、従来の装置において、熱的および殿様的 応力のために光学的ビーム特性が比較的低下することを避けることができるよう になる。さらに、レーザーロッドと支持部の膨張特性が柔軟なりッションの熱特 性と一致する必要がなくなった。さらに、柔軟なりッションはロッドの長さ方向 全体に渡って、そのロッドを包むように配置され、ロッドを不均一に冷却するこ とにより生じる光学的収差を避けることができる。

本発明の原理による装置は、レーザー材料としてＮｄ：ＹＡＧを、柔軟なりッシ ョンとしてダウコーニングの３−６５２７のＡとＢの添加剤を、および中間支持 部としてサファイアを使用して、研究室で調べられた結果は成功であった。伝導 性の冷却されたフラッシュランプとロッドアッセンブリを使用するレーザーは、 約１００　ｒＲ間連続的に２５０Ｗ　（３０Ｈｚ　テ８．２Ｊ　）で成功裡に動 作した。伝導性の冷却されたフラシュランプとロッドアッセンブリは、有害な影 響なしで、１２，４Ｊ／シヨツトで、および１３パルス／秒で１００万回に渡っ て調べられ、出力レーザービームの光学的擾乱は最少であった。

本発明は実施例を参照して説明されたが、本発明の範囲の真意から離れることな く変更および素子が置き換えられるということは、５業の熟練者によって理解さ れるであろう。さらに、本発明の必須技術から離れることなく、発明の技術の特 別の場合、あるいは材料を用いた多くの変形例が成されることができる。

国際調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　Ｔ）ＩＥ　ＩＮτ三ＲＮＡＴ工０ＮＡＬ　Ｓｉ：ＡＲＣＨＲ ＥＰＯＲＴ　０ＮＵＳ−Ａ−４２１０３８９０ｎ１０７／８０　Ｎｏｎｅ

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザーポンピングのエネルギ源と、レーザーロッドと、熱伝導性の支持 部と、および支持部から熱を除去するための冷却システムを有するレーザーポン ピング空洞において、前記支持部を前記レーザーロッドに熱的に接続するクッシ ョンを有し、前記レーザーロッドに及ぼされた機械的、および熱的応力を最少に するために、熱的変化に応答して前記ロッドと前記支持部の間の別々の動きを吸 収できる材料からなることを特徴とする改良されたレーザーポンピング空洞。
2. （２）前記レーザーロッドの両端で前記クッションが自由に動くことを可能とす るための手段を含むことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞 。
3. （３）前記クッションはゲルからなることを特徴とする請求の範囲第２項に記載 のポンピング空洞。
4. （４）前記クッションはシリコンゲルからなることを特徴とする請求の範囲第２ 項に記載のポンピング空洞。
5. （５）前記支持部は前記ロッドを完全に囲み、前記エネルギに透明である材料か らなることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
6. （６）前記支持部材料は形を加工されたサファイアからなることを特徴とする請 求の範囲第５項に記載のポンピング空洞。
7. （７）前記支持部はヒートシンク手段に熱的に接続されていることを特徴とする 請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
8. （８）前記クッションは前記レーザーロッドから均一に熱を除くように構成され ることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
9. （９）前記レーザーロッドは滑らかに磨かれた表面を有することを特徴とする請 求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
10. （１０）前記支持部は前記ロッドと前記冷却システムに近い表面を有し、前記表 面は前記ロッドに前記エネルギを効率よく散乱し、導くために粗く研磨されてい ることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
11. （１１）前記支持部はヒートシンクに接続され、前記ヒートシンクは前記レーザ ーロッドと、前記支持部と、および前記ヒートシンクとの間の異なる熱膨張を許 すために、前記クッションの材料によって結合された複数の分割部からなること を特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
12. （１２）前記支持部は前記レーザーロッドと、および前記熱伝導性の支持部との 間の異なる熱膨張を許すために、前記クッションの材料によって結合された複数 の分割部からなることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
13. （１３）前記クッションはシリコンゴムからなることを特徴とする請求の範囲第 １２項に記載のポンピング空洞。
14. （１４）前記支持部は前記源によって発生されたエネルギに透明であることを特 徴とする請求の範囲第１項に記載のポンピング空洞。
15. （１５）熱伝導性支持部にレーザーロッドを包むことと、前記支持部の中の前記 ロッドを熱的に接続し、およびクッションを利かすこととからなるボンブ空洞内 のレーザーロッドを冷却する方法。
16. （１６）前記支持部はレーザーポンピングエネルギに透明であるように形成され ることと、前記支持部の中に前記ロッドを完全に包むことから、さらに構成され る請求の範囲第１５項に記載の方法。
17. （１７）前記熱的接続とクッションを利かすステップは、前記ロッドと前記支持 部の間にゲルをいれることからさらに構成される請求の範囲第１５項に記載の方 法。
18. （１８）前記熱的接続とクッションを利かすステップは、前記ロッドと前記支持 部の間にシリコンゲルをいれることからさらに構成される請求の範囲第１５項に 記載の方法。