JPS61500799A

JPS61500799A - ウエハ処理機

Info

Publication number: JPS61500799A
Application number: JP60500399A
Authority: JP
Inventors: デイモツク，ジヤツク・エイ; クラーク，ピーター・ジエイ
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1983-12-22
Filing date: 1984-12-20
Publication date: 1986-04-24
Also published as: EP0168437A1; EP0168437A4; WO1985002868A1; DE168437T1; US4522697A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ウェハ処理機発明の背景本発明は一般にウェハ茄工機、殊にスパッタ被覆機の如き減圧下において作業する性質の機械に関する。

従来技術の叙述従来から特殊なウェハキャリア内に内蔵さｒＬタウエバがエレベータ羽根によってスパッタ仮覆機の塔載ロック機簿内へ連続的に持ち上げられるようなスパッタ被覆機が提案されてきた。ウェハは羽根によりドアの一部を構成する真窒チャック上へ塔載され巽仝呈の搭載ロック部分へ同かう。ドアは旋回して閉じ、ウェハを保持するチャックは排気された室内のドロしたレイジースーザン型の回転部材から搬送される辺縁把狩りリップ坏内ヘウエハを並進させる。搭載ロックステーションに対向スるレイジースーザンプレート内の開口はプランジャーにより封止され、塔載ロック部分は比較的シζ低い圧力まで荒引きポンプにより排気される。適当な低圧状態が得られると封止プランジャーは開いて、高真窒ポンプと連通した排気された呈の処理部分に対してウェハ上さらす。その後圧力は比較的低圧に１で下がり、１０−３トールのスパッタ圧力までアルゴンで満尺される。レイジースーザンが回転すると、それは先に塔載され念ウェハをスパッタガンに対同するスパッタ位置内へ前進させ、該スパッタガンはその後スパッタ作用によって先に塔載されたウエハ全被覆するＣと：てｌる。先に塔載されｔウエノ・を被覆した後、レインースーザンは伝火され之つエノ・全塔載ロック内へ回転させ、その後レイジースーザン内の開口は呈の処理部分から冨封され１合載ロック部分は大気圧にまで引さ上げられる。この時点で真空チャックはクリップ体内へ並進し、被覆されたウエノ・を拾い上げる。ドアは開放状態のま＼旋回し、羽根はウェハ？チャックから拾い上げ被覆され之つエノ・をウニ・・キャリヤの元の位置に戻ス。レイジースーザンは、ウェハ被覆ｉｔ去る前にウェハが加熱され一連の異なる材料でスパッタ被覆されることができるように一連の異なるステーションｔ −Ｗえ℃いる。

かかるウェハ被覆機は１９８２年１月１９日発行の米国特許明細書簡４，３１１，４２７号に開示されており、同書はここにその全部を＃考用として編入されている。

従来技術によるスパッタ被覆機がかかえる問題点の一つはそれが比Ｖβつ複雑でろるため割高で信頒住が低いことである。ウニ・・全その辺碌部で保持するためのばねクリップ構成はウェハに対して望ましくない応力を生じさせ機械の不当な破損と休止時間をもたらす虞れがある。

それ故、もつと複雑でない割安でより信頼性のらるウェハ被覆機全提供することが望まれる。

本発明の摘要不発明の主文る目的は改良されたウエノ・処理機、殊にウニ・・被覆機の如き減圧下で９作業する処理機を提供することでるる。

不発明の特長の一つく工、開放した底部を経てキャリヤ内に通過し、キャリヤ内でウエノ・と係合し僅かにウエノ・ｔｉち上げて、ウニ・・キャリヤ内のウニ・・の位置全正確に決定する鋸歯′＄、荷造体、（よって標準同ウニ・・キャリヤのスロット内でウエノ・が正確（で割出さｎることでろる。

本発明のもう一つの特長、ま排気可能なウエノ・処理室の搭載ロック部分がゲート弁によって排気可能な里のウェハ処理もしくは被覆部分から隔離され、ウエノ・が該ゲート弁の開放したのど部を経て排気可能な室のウニ／・処理部分内へ並進できろようになつ℃いろことでるる。

本発明のもう一つの特長は、ウエノ・を処理チャックに締め付けるためのウエノ・編付手段がウエノ・からそむぎ被覆材料源１同へ同かい、その結果面付は構造体の被覆された部分が容易に取除かれ掃除が容易になるような着脱自在の面？備えていることである。

本発明のもう一つの特長はスパッタ遮へい体がスパッタガンとウエノ・−との間に配置され、ガンから突き出され工作物により収集されない飛ばされた材料を収集し、使用中に里の望ましくない部分からウエノ・上に材料が再び飛ぶことが除去されるという点でるる。

本発明のもう一つの特長は、スパッタ遮へい体がガンから隔った中央部を開口した端部閉鎖壁を備え、被覆されるウエノ・が中央開口領域とほぼ同一空間に位置決めされ、被覆されるウエノ・もしくはスパッタ遮へい体上の何れかに飛ばされ之材料を（ミぼすべて収集することができるようになっていることである。

本発明のもう一つの特長は、排気可能な室内の点検ポートｔ−閉じで封するカバーから被覆ガンが搬送され、冷却フィンガがカバーから搬送され室内へ延び水蒸気やその他の凝縮物をその上に凝縮させるようになっている点である。

本発明のもう一つの目的は該冷却フィンガがほぼ弧状となっていて点検ポートのカバーから搬送さ几る仮積ガ／と（・１ぼ同心円状にかつ該被覆ガンの外側に配置されるという点である。

本発明のその他の特長ならび−Ｃ利点は添附図面と共に以下の明細Ｗ’に精読することによって明らかとなろう。

図面の簡単な説明第１図は本発明の特長を徂み込んだウェハ被覆機の腑視竜略図、＄２図は２−２線で示したＭ１図の構造体部分の横断面図、第３図は３−３線に沿い矢印方向に描い７を第２凶の構造の弧太図、第４凶は４−４線に沿い矢印方向疋描いた第２図の構造の一部の斜視狐犬図、第５図は５−５　＠に沿って矢印方向に描いた第２図の構造の一部の拡大図、第６囚は本発明の被覆機のウエノ・エレベータ羽根組成坏の側面図、第７図は第１図の被覆機の真空室の塔載ロックならびに蒸着部分のエム太断面図、第９図は本発明の蒸着室の一部の長手方向？ｉ、断面図、第１０口は被覆＠の点検と保守つために垂下スパッタガンが勤ぎ出た点検カバーを描いた本発明の被覆機の一部の斜視図。

実施例の説明さて第１図には、本発明による特長を組込んだスパッタ被覆機１１が示され℃いる。殊に該′ｌＪ覆磯はフランジのつい之カバー１３により一端を閉じられ之円筒形の処理室部分１２を備えており、該カバー１３；工処理呈の内側ヘスバッタ ″Ｊｆｔ覆ガンを支え搬送する。処理室１２の他端部は中央に開口部？備え九端部閉鎖壁１４てより閉じられる。該中央開口は処理室の処理部分全処理機の塔載ロック部分から遮断するためのゲート弁組成体１５により閉じられる。軸方向に並進するドア１６がゲート弁１５ののど部の他端を閉め切る。ターボ分子真空ポンプ１７が処理室１２の頂部に座し、導管１８を介してその内部と連通している。

ドア１６下万に該ドア１６に隣接してウエノ・キャリッジ体１９が配置される。

ウエノ・処理機１１により処理されるウェハ２１は標準的なウエノ・キャリヤ２２内に搬送され、ウェハキャリッジ体２３内の凹所内へ挿入されるが、該ウェハキャリッジ体２３はエレベータ羽根２４に対して軸方向に並進し、該エレベータ羽根２４はウエトキャリャ２２の底部を経て上へ通過し頂部全通過してそれぞれのウニ・・を持ち上げ塔載ロックドア１６の内側から搬送され之つエノ・チャックへ隣妥するように位置決めする。ウェハキャリッジ２３は一対の水平案内ロッド２５上全摺動し、モータ、駆動によるねじ２６：でよって案内ロッド２５に沿い勘かされウェハのそれぞれを羽根２４上に連続的に前進させウエノ・処理機１１の間を征復搬送する。

今度は第２図についてのべると、ウェハキャリッジ組成体■９の詳細が示されている。ウェハキャリッジ体１９はキャリッジ部材２７を備えて２つ、該部材２７はウェハ処理機１１をフロアから叉えるフンーム得造にその端部を固定され次一対の案内ロッド２５上を軸方向に並進する。駆動ねじ２６はキャリッジ２７と螺合し、キャリッジ２７を案内ロッド２５上で駆動させる。駆動ねじ２６は従来のステップモータにより回転させられる。

キャリッジ部材２７は矩形の凹所２８ｔ−備え、従来のウェハキャリヤ２２のほぼ矩形の下方ファーム部分を収容するウェハ受は口部分を備えている。典型的な実施例のばめい、ウェハキャリヤ２２は５“ウェハについてはＰ　Ａ　７２−５０　Ｍ型でろるか、フルオロウニイブ（Ｆｌｕｏｒｏｗａｖｅ　）社から市販入手可能な４“ウェハについてＷ１ＰＡ７２−４０ＭＦＪｌでめる。ウェハキャリヤ２２はその内部にシリコンウェハ３２を軸方向に繁合し軸方向に間隔を２いて配置して収容しかつ保持するために形成されたー別のウェハ収納スロット列３１全備えた外測に曲がった側壁部分２９を備えている。典型的な実施例のばめい、ウェハ間の中心と中心の間の軸方向間隔は０．１８７“でウェハは０．０２６“ の厚さを備えている。

標準的なウェハキャリヤ２２では、個々のウエノ＼保持スロット３１はほぼ０．０６０″の細万同範囲を個え℃いろ。

それぞれのスロット３１内に個々のウェハ３２を正確に配置してウエノ・間の細万岨旧４が正確に決定され個々つウェハが０．２５０インチの厚さｋＷするエレベータ羽根２４上に垂直に位置合わせされた状態に正確（・て配置することができるようにすることが望ましい。個−のウニ・・３２をそれぞれのスロット３１内に正確に配置するために一対のウェハ割出し羽根３３がキャリッジ部材２７から雌送さｎ、その底部でウエノ・キャリヤ２２０内側壁に隣接して延びる。それぞれの割出し羽根３２の上部辺縁部３４は第３図の参照誉号３５に示した通りほぼ鋸歯状に鋸切りされてそれぞれのウエノ・３２の底縁部と係合し、ウェハキャリヤ２２内で僅かにウェハ金持ち上げるようにする。羽根３３内の鋸歯のピッチはそれぞれのウエノ・３２の望ましい和方向隔りを正確に決定するように大作される。個々のウェハ３２は従来のローラの平行整合手段（■示ぜず）によって時計の６時の位置で大きな整合平担部３６と予め整合する。

ウェハキャリッジ構造体２７は第４図に示した長手方向に向いた薄いフランジ部分３７を備えている。長手方向フランジ３７の外側辺像部は参照番号３８部分に横断方向にスロットを設けられ該スロット３８により形成されたフランジの党学田に透明な部分によって形成された直線状のウエノ・割出し茨示列を形成する。

スロット３８は割出し羽根３３の鋸歯状の辺縁部内のＡ由の間隔もしくはピッチに等しいピッチ、すなわち開講を備えている。光学読取り装量３９はスロットを設けたフランジ３７を１友ぎ、フロアから被覆機１１を叉えるフレームに周定して取りつけられる。ウニ・・キャリッジ組成体２７が、光学的に透明な通路が元学的伝送部分４１と光学読取り装置３９の党学受元部分４２０間に得られるような位置に並進すると、電気回路が完成しウェハキャリッジ２７の並進全停止させるための出力信号金主みだし、それぞれのウェハはエレベータ羽根２４と正薄に垂直整合した位置に運距児的に前進する。

今夏は第２図、第５図、第６図２よび第７図について、ウェハ塔載機構金より詳細に説明することをてする。殊にウェハエレベータ羽根２４（・工それぞれのウェハ３２の底縁部と係合する上部先頭線部４３を儒えている。先頭辺縁部・１３は面取りした部分４４全備えていて、該部分はウェハ３２の辺縁部を面取りした面４４とエレベータ羽根２４の伸ｊ自在部分４６の内側壁４５との間に把持させる。エレベータ羽根２４の側縁部は参照番号４６部分を面取りされ、フレーム構造体５１から支持ブラケット５２を介して心偉４９上に搬送さｎたローラ４８の溝・１７内に羽根４４の辺縁部全璧合させるようにする。ローラ４８は羽根２４の垂面運動を案同する。羽根はフレーム５１に固定して取り付けられるイリノイ州エルンノ・−スト（Ｅｌｍｈｕｓｔ　）のオリガ（０γｉｇα）社により入手可能なロンドレスエアンリンダ５３によって手直に動かされる。羽根２４はステンレス鋼婿により密封されたスロット円上シリンダ５３０軸万同に通過するカップリング部材５４ｉＣよりシリンダ５３円のピストンに取りつげられる。典型的な例ではロッドレスシリンダ５３は羽根２４に対して１４″の垂直な揚程を与える。

羽根２４が上昇すると、それはウニ／・３２の下方辺縁部に拾い上げ、被覆機１１の塔載ロック端に１固定して取り付けられ該４＝ロツク端から搬送さｎるガイドレール５６内に設けられ友案内スロット５５内へ上部万同ヘウエハ３２全搬送する。

エレベータ羽根２４は、ウエノ・３２がウエノ・チャンク５７のウェハ収容保持用の人ぎな面５８上部にＭｔするように位置決めされるまでその上万運動全継萩する。チャックのウェハ受取り面５８はガス源と流体連通式に連結された環状のＶ溝５９を偏えている。ウェハ３２が近接したとぎにＶ溝内へ流入するガスは、ウエノ・をチャック５７０人ぎな面５８万同へ吸入させるベルヌーイ効果をつくりだす。羽根２４の伸縮部分４６がチャック５７の下万円周部と保合するとぎ、該伸縮部分４６ｆ！収縮しウェハ３２がチャック５７に対して完全に支えられた溝底体内へ移動することを可能にする、即ちウエノ・領域はチャックの大きな面５８の領域と完全に同一仝間に広がり、ウェハの円周がチャック５７の外周に対してほぼ０．０２０インチだレナへこむ。羽根２４がその最上域にまで上昇しウニ・・がチャックに対して過当に位置決めされると、ガスのＶ壽へ至る項つ的な流れは過当な升−によって終結し、真仝状態がＶ溝上に引き入れられウェハ３２がチャック５７の大きな面５８に対して保持される。

その後、羽根はウェハキャリヤ’ｔＭて第２品に示すそれの最下方行程範囲まで食方へ撤退する。

真空チャック５７からウェハ３２を取り外すことが望まれるばろいには、エレベータ羽根２４が第７図に示し之その最上部行程範囲にまで上昇し、Ｖ罵５９はガスが流れるように加圧され、羽根２４はＴ１に撤退しウェハ３２は重力によって巣５図に示した保持位置内へと落下する。羽根２４はウェハ３２と共に案内スロット５５を経てウェハキャリヤ２２のそれぞれのスロット３１内へとＴ１に撤退する。

今度は第７図と第８図についてみると、ウェハチャックの働きがより詳細に示されている。殊にチャツク５７−エ円形のドア構造体６１から搬送され、該構造体６１自身はロッド６３を弁して駆動プレート６２から搬送される。

ウェハチャック５７はドア６１内の中央開口を経て軸方向にロッド６４とチャック５７を並進さぜるためのエアシリンダ６５内へ入る軸方向に並進するロッド上に搬送される。作動ロッド６４はＯリング６６を介してドア６１に対して真空封止され、ロッド６４上ｌて乗つドア６１から搬送される直線状ボールベアリング組成体６７によってロッド６４がドア６１に対して正確に軸方向へ並進する作用が得られる。ドア６１と垂下ウェハチャック５７は、駆動ロンドロ９を介して駆動プレート６２上で作業するエアシリンダ６８によって軸方向に並進させられる。作動プレート６２は一対の案内ロッド７１．７２上を案内され、蒸着室１２の塔載ロック端にしっかり取付けられ之プレート７５から搬送される。案内ロッド７１．７２の外側端部は安定プレート７６によって共に連に吉される。

環状の装着プレート７２はゲート弁１５のフランジ付き開ロア９上に封止されＯＩＪング８１によって該開口に封止される。装着板７８は参照省号８２部分を中心部に端ぐりされ、ドア６１を装着プレート７８に対して封止する次めにドア６１により搬送さｒした０リングを収めるための座を提供するようにする。

ゲエハ締付はリング８５（エウェハチャック５７と同心円状に配置されその内部でチャックの円周辺縁部を同心・円状に収納するための端ぐりを３照番号８６部分に備えている。端ぐり領域８６は、ウェハ３２の外周と係合し、チャックが排気された室内で働くことができるばあいにそうでるるように保持溝５９を介して付与され之真窒がないばろいにウェハをチャック５７に対して締め付ける内側唇部分を備えている。締め付はリング８５は直線状のポールベアリング組成体８８を通過する軸方向ンこ向いた複数のステンレス鋼ロッド８７上に搬送され、装着ブＬ／　−ドア　８内のボア内に挿入される。ばね８９はロッド８７を取囲むようにして同軸状に取付けられ、ロッド８７の端内へねじ込まれたねじ９１によってロッドに捕獲される。ばね８９は締付げリング８５をウェハチャック５７の位置方向へばね偏倚させる働きを行う。円筒形キャップ９２はロッド８７上に気密に封止され、装着ブＬ’−ドア８から搬送され、ばね８９と摺動ロッド８７を遁納する。

締め付はリング８５は完全に後退し之位置では装着プレート７８の端ぐり領域９３内に嵌合する。

ウェハチャック５７はカップ状の絶縁部材を弁して外側の環状部分９５から隔った内側環状部分９４を備えている之めチャックの外側部分９５は室とドア６１の電位とは独πした電位で作業することができる。独πの電位をチャック部分９５・に印加するために導電ロッド９７はチャック部分９５から軸方向ボア９８を経て軸方向に同いた気密に封止さｎた円筒形キャップ部分９９内へ軸方向に垂下する。キャップ９９は参照番号１０１部分を横方向に穿孔され、絶縁部キャップ１０２がポア１０１上に封止される。導゛通ロッド１０３は杷縁体本体１０２を、１イて延び、それの内貢端已に４電ブラシ１０４を備えており、該ブラシ１０４はロッド９７上に乗り室内のボアその他の構造体に印加された電位とは独豆に偏倚電位をロッド、従って外側チャック部分９５：／Ｃ印加する。

１９８０年８月２６日発行の米国特許明細書簡４．２１９，３９７号に開示て几だものの如き従来設計によるマグネトロンスパッタガン１０５はここにその全部を参考用として組み込んでいるけれども、チャック５７と軸方向に整合するようにドア６１のそれからゲート弁１５の対同側に呈１２内に配置される。

スパッタガン１０５はガン１ｏ５から飛ばされるはずの材料から成る環状陰極部材１０６を備えてｈる。陰極１０６は地電位に対して−ＶＣの電位で作業する。

ディスク形の陽極１０７は環状の陰極１０６の中央に配置され、地電位に対して＋Ｖαの電位で作業する。絶祿体１０８、ｌＯ９は、それぞれ陽’Ｇｉ　１０７と陰１１０６をガラス球から叉える。ステンレス鋼によるほぼカップ状のスパッタ遮へい゛亀Ｔｉ１ｌＯはスパッタガン１０５上に位置するように配置され、地電位で作業する。スパッタ遮へいは外曲りの唇部分１１１を備え、スパッタガンの従来のカップ状地遮へい電極１１２の前面から搬送される。典型的な笑乃例ではスパッタ遮へい１１’Ｏはステンレス鋼から農作され、カップ状の遮へい部材１１０の底壁内に中火開口部１１３を儂えている。スパッタ遮へい１１０は複数のねじ１１４を介してガン遮へい１１２から搬送される。

ゲート弁１１５はヴイトンボンネット密對材ｆ儒えた１００４６−ＰＥ４０ｓｓ型の如き従来の設計によるもので２４ボルト（厘流〕ソレノイドにより働く。該ゲート弁はコロラド州、ボールダー（Ｂｏｕｌｄｅｒ＋　Ｃｏ１ｏｒａｄｏ　）のＨＦ２社より市販され入手できる。ゲート弁１１５は室の塔載ロック部分１１７と排気室１２のウェハ処理部分１１８との間（（ガス遅過させるためののど部１１６ヲ（Ｉｔｉｊえている。可動式ゲート弁部材１１９は弁本１１１１５ののど部分１１６を経て横断方向へ並進し、ウェハ処理部分１１８から塔載ロック部分１１７を遮断する。

作業中、ゲート弁１５が閉じるとドアは開放位置へ後退し、エアシリンダにより後退させられた垂下チャック５７は完全に後退した位置へ後退する。処理さるべきウェハ３２は先に述べたようにエレベータ羽根２４によってチャック５７のウェハを受け取る大きな面５８上へ塔載され環状ｉｌｌ！５９上に引き込まれた真空を介してそこへ保持される。その後ドア６１はエアシリンダ６８の作用によって閉じられると共にＯす／グ８３は装着プレート７８の凹んだ座部分８２と密封係合しか（して室のドア部分を密封する。ドアが密封され終ると、チャックは室の塔載ロック部分１１７内へ僅かに前進し、締め付はリング８５をしてウェハ３２の周斥部と係合させウェハをチャック５７へ保持させる。チャック５７が締め付はリング８５と締め付は関係に持ち来たされると放射方向（（向いたばね塔載のボールベアリング１５１は、チャック５７の外周縁部で、締め付はリング８５の内側周縁部と参照番号１２２の部分で係合し電気接触する。このことによって碓め付げリング、チャックおよびウェハがプラン１０４を介して印加されたバイアス電位と同じ電位で作業するという効果が保証される。猾め付はリング８５は個々の案内ロッド８７の端部を包囲するようにして配置された絶縁さねたワンヤ１２３を介して室壁と案内ロッド８７から電気的ｔ・て絶縁されるつウェハ３２をチャック５７に締め付けた状態で侵械的荒引きポンプは塔載ロック室１１７内へ連結され、塔載ロック室１１７を減圧にまで排気する。室１１７の塔載ロック部分内に適当な減圧が実現すると、ゲート弁１１５が作動し、ゲート弁部材１１９がのど部分１１６から撤退し、排気管１８を介して室と連通するターボ分子ポンプ１７を介してほぼ高真空状態にまで先に排気されてた室のウェハ処理部分１１８と連通ずるようにのど部を開く。はぼ数秒以内にウェハ処理室１１８と連通塔載ロック部分１１７は５Ｘ１０−’　トールの比較的低圧にまで排気される。

ターボ分子ポンプ１１７は機械的真空ポンプによりバックアップされる。その後、処理室１１８はアルゴンのような適当なスパックガンでほぼ１０−３）−ルのスパッタ圧にまで満たされる。ゲート弁部材１１９がゲート弁１５内１（撤退した後、ウェハチャック５７はエア７リンダ６５とロッド６４によりスパッタ遮へい１１０の中央部を開口した底壁１２５に密接した位置まで前進させられる。典型的な実施例のばあい、クエー・３２から端壁１２５へ至る軸方向間溝はほぼ０．１００インチである。更に、ウェハ３２の領域はスパッタ遮へい１１０内の中央開口１１３の断面領域とほぼ同一空間にあるためスパッタガンから飛ばさ乙た材料がすべてウェハ、締付げリング８５のさらされた部分もしくはスパッタ遮へい１１０の内表面の同れかに収果されるようになる。スパツタ力式では、イオン化プラズマ放電は排気された室内で点火される。プラズマ放電の電位は地て対して僅か（（正で、地電位で作業しプラズマに対してさらされる構造部分がスパッタ作用を経験できるようにしである。構成がスパッタ遮へい１１０を備え、またウェハが遮へい１１０内で中央開口１１３をほぼ閉じ切るように位置決めされると、材料をウェハ上に再び飛ばす作用はほぼ制御される、即ち遮へい１１０の内部から再び飛ばされた材料はウェハ３２上へ飛ばすことが可能になる。このため、バルブ本体１５とその他の部品を含む室の他の部分から再び飛ばされた材料によって飛ばされた材料がウェハ上に汚染する危険が避けられる。

ウェハ３２が所望の厚さにスパッタ被覆され終った後で、プラズマは消されウェハとチャックはエアシリンダ６５と／ギフト６４を介して室の塔載ロック領域１１７内へ撤退する。ゲート弁１５はその後間じて室のウエノ・処理部分１１８内に高真空状態を維持するために閉じられ、真空状態は溝５９を介してチャック５７上に引き入れられる。塔載ロック室は大気圧まで弛緩し、ドア６１は開き先に述べたよ５にウエノ・をウエノ・エレベータ羽根２４上へおろす。典型的な作業順序ではウエノ・は室内へ塔載されスパッタ砥覆され２分経ってウェハキャリヤ２９に復帰することができる。

今度は第９図について述べると真空室１２のウェハ処理部分１１８が示されている。殊に、円筒室１２は参照番号１３＠分で外側に曲がっており点検ポート１２６を提供し、該ポートを経てスパッタガン１０５が室１２内に軸方向に挿入される。点検用ポート１２６は、Ｏリング１２８を担う中央部が凹んだ点検カバーにより閉じられ密封され、フランジ１３に対して空缶性を与える。スパッタガン１０５は凹角のカバープレート１２７の内側端から搬送される。中空の環状冷却フィンガ１２８は、点検カバー１２７の凹角部分を包囲するように室内に配置され、冷却フィンガ１２８０項状の円部と液体窒素の如き冷却液源（図示せず）との間に流体連通を提供する流体導管を介して外側にフランジをつげたカバー１２７の部分から搬送される。導管１２９はカバープレート１２７内の軸方向ボア１８１を通過し、環状の封止ワ７ヤ１３２を介してカバー１２７に気密に封止される。）Ｏリング苫封材１３３．１３４はワ／ヤ１３２を導管１２９に対して、またワシャ１３２をカバー１２７に対してそれぞｎ封止するために設けられるっ作業中、冷却フィンガ１２８は液体窒素で満たされ、フィンガ１２８の外側。

壁の温度を液体窒素温度附近の温度に近づけ水蒸気やその他の凝縮物をその上に凝縮させ、か（してそれらを処理室のウェハ処理部分１１８内の雰囲気から除去する。

今度は第１０図について述べると点検カバー１２７）士その蚕下冷却フィンガ１２８とスパックガン１０５と共（ｃ１直角ブラケット１３６を（径て摺動ブロック１３５がら搬送さｎる。ブラケット１３６の脚部１３７は摺動ブロック１３５に旋回自在にピンで止められ、ビン１３９を通過する垂直＠１３８のまわりに回転する。摺、動ブロック１３５は水平面に配置され、その各々が円筒形室１２と環状フランジ１３の回転軸に平行となっている一対のステンレス鋼製の案内ロッド１４１上を摺動し該ロッド１４１によって案内される。案内ロッド１４１の対内端は支持ブロック１４２によりフレームに係止さｎる。

ウェハ被；７！ｖａｘｌの保守と掃除は、ウェハ処理室を大気圧：・てまで地理させ、点検カバープレート１２７を案内ロッド１４１上で円筒形室１２から摺動し去ることによって容易になる。その後、カバープレートは垂下ガンと共（て軸１３８のまわりに回転させることができるため、スパッタガン１０５に対する接近を容易にし、陰甑を取り替え諸々の部品、殊：・τスパッタ遮へい材１１０と冷却フィンガ１２８を掃除することが容易になる。同様にして今度は第８図について述べると、点検カバー１２７が開くと、締付はリング８５に容易に接近することができる。

締付はリング、殊にスパッタガフ１０５方向に向いたその部分は飛ばされた材料で相当被覆されるため、掃除のために締付はリング８５の被覆された部分を取除くことが望ましい。このことは、締付はリング８５の内側のステンレス泗部分１４３をリング８５の残余部分から取り外すことによって達成できる。ねじ１４４を取外すと掃除と取をえのため（てリング１４３を取外すことが可能（Ｃなる。

本発明によるスパッタ被１磯１１の利点は１、機蝋の動作時間が相当改善されるように保守が容易になる点、２、機械が相当単純化さｎその結果、機械がこｎまでよりも故障しにくくなり、かくして動作時間が改善されそれに付随して製造費が小さくなるという点、である。

１ｇ−５ｉｇ−６Ｆｉｇ−８国際調査報告Ｉｍｗｎ＋ＩＩｏ１１ｍｌＡｌｔｌｌｃａｌｉｗＨ＠ＦＣτ／υＳε４／Ｃ２Ｅ６

Claims

【特許請求の範囲】

１．ウエハ列を軸方向に整合させ軸方向に間隔をとって配置して保持するためのスロットを備えた側壁と、該ウエハの底部と頂部内にウエハ拾い上げ羽根が通過し、ウエハを該ウエハキャリヤの内外へ移動させるための開口を備えた形式のウエハキャリヤカセットであって、該ウエハキャリヤカセットのそれぞれの搬送スロット内にウエハを正確に位置決めするための方法において、該ウエハキャリヤの開いた底部を経て正確に決定されたピッチで手段を挿入して割出しを行ない、該ウエハキャリヤ内の該スロットのそれぞれ一つ内に該ウエハの底縁部を拾い上げて位置決めし、該羽根による該ウエハの運動が使用中容易になるようにしたことを特徴とするウエハ位置決め方法。
２．頂部と底部が開きウエハを保持するために側壁上にスロットを有するウエハキャリヤ内のウエハがウエハ処理ステーションに対してウエハキャリヤ間を往復搬送される形式のウエハ処理機において、底部からウエハキャリヤを横方向に通過しウエハと係合しウエハ処理ステーションに対してウエハを搬送するウエハ拾い上げ手段と、該ウエハキャリヤの底壁を経て延び該ウエハの底縁部と係合し該ウエハを僅かに持ち上げそれぞれのウエハ保持スロット内でそれらの軸方向位置を正確に決定し、その際ウエハ拾い上げ羽根による運動が使用中容易になる割出し手段とから構成されることを特徴とするウエハ処理機。
３．該割出し手段がその上縁に沿い配置された鋸歯状構造を備えた割出し部材を備え、該鋸歯のピッチが鋸歯状構造により係止され持上げられたウエハの軸方向間隔を正確に決定するようなものであることを特徴とする請求の範囲第２項に記載のウエハ処理機。
４．ウエハが減圧下にある排気可能なウエハ処理室内で処理され、該ウエハ処理室がその壁内にウエハ点検ポートを備え形式のウエハ処理機において、ウエハ処理室のウエハ点検ポートを閉じ密封するドア手段と、該ドア手段から搬送されそれと共に運動し処理のためにウエハを所定位置に保持するためにウエハ処理室内で働くウエハチャック手段と、それののど部分を横切ってゲート部材を動かすことによってウエハ処理室の処理部分に対してウエハ処理室の搭載ロック部分を遮断し、該のど部分がウエハ処理室の該塔載ロック部分と処理部分との間に配置される排気可能室内のゲート弁手段と、該ゲート部材を該のど部分から並進させることによって該ゲート弁手段を開かせるための手段と、該チャック手段と作業上関連し該チャック手段とウエハを該室の該塔載ロック部分から該ゲート弁手段の開いたのど部内へ並進させるためのチャック並進手段とから成ることを特徴とするウエハ処理機。
５．該チャック並進手段が該チャックとウエハを該ゲート弁手段の開いたのどを経てウエハ処理室の該処理部分内へ並進させることを特徴とする請求の範囲第４項に記載のウエハ処理機。
６．材料を該チヤツク手段から搬送されたウエハ上へ飛ばすためのウエハ処理室の該処理部分内のスパツタガン手段を備えることを特徴とする請求の範囲第４項に記載のウエハ処理機。
７．ウエハが減圧下にある排気可能なウエハ処理室内で処理され、該ウエハ処理室がその壁内にウエハ点検ポートを備えている形式のウエハ処理機において、ウエハ処理室のウエハ点検ポートを閉じ密封するドア手段と、減圧下にあるウエハ処理室内にイオン化するプラズマ放電をつくり出すための陽極と陰極を備え、材料をそれの該陰極からウエハ処理室内へ飛ばすためのスパツタガン手段と、ウエハ処理室内に工作物を位置決めし該スパツタガン手段から飛ばされた材料の被覆を受けとるチヤツク手段と、ウエハ処理室壁から隔たり、該スパツタガンと該チヤツク手段により位置決めされた工作物との間にプラズマを包囲し、該スパツタガン手段から突出し工作物により収集されない飛ばされた材料を収集するためのスパツタ遮へい手段とから成ることを特徴とするウエハ処理機。
８．該スパツタ遮へい手段が該スパツタガン手段から飛ばされる材料の突出部を包囲し、該スパツタガン手段の末端部にある内側に向いた中央部が開口した端壁部分を備える側壁部分を備え、該チヤツク手段が該遮へい手段内の該中央開口とほぼ同一空間内にあるように工作物を位置決めし、それによつて該スパツタガン手段により飛ばされた材料の優勢な部分が該スパツタ遮へい手段と工作物により収集されることを特徴とする請求の範囲第７項に記載のウエハ処理機。
９．該遮へい手段を該スパツタガン手段から搬送するための手段を備えることを特徴とする請求の範囲第８項に記載のウエハ処理機。
１０．該スパツタ遮へい手段を該スパツタガン手段の該陽極と陰極の電位に対して電気的に絶縁するための電気絶縁手段を備えていることを特徴とする請求の範囲第８項に記載のウエハ処理機。
１１．ウエハが減圧下にある排気可能なウエハ処理室内で被覆される形式のウエハ処理機において、その壁内に点検ポートを備えた該ウエハ処理室と、該点検ポートを閉じ密封するカバー手段と、該カバー手段から搬送されウエハ処理室内へ延び、材料をウエハ処理室内で被覆さるべき工作物上へ突出させるがン手段と、該カバー手段から搬送され該処理室内へ延び、減圧下で作業し室内で水蒸気その他の凝縮物を凝縮させるための冷却フインガ手段と、該カバー手段と連通し冷却液を処理室内の該冷却フインガ手段に供給する流体導管とから成ることを特徴とするウエハ処理機。
１２．該冷却フインガ手段がほぼ孤状で該ガン手段とほぼ同心円状にかつ該ガン手段の外側に配置されることを特徴とする請求の範囲第１１項に記載のウエハ処理機。