JPS6150048A - プロ−ブ針昇降装置 - Google Patents
プロ−ブ針昇降装置Info
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- JPS6150048A JPS6150048A JP17155784A JP17155784A JPS6150048A JP S6150048 A JPS6150048 A JP S6150048A JP 17155784 A JP17155784 A JP 17155784A JP 17155784 A JP17155784 A JP 17155784A JP S6150048 A JPS6150048 A JP S6150048A
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- Japan
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
- G01N27/07—Construction of measuring vessels; Electrodes therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、真空、低温の条件下において使用するブロ
ービング装置のプローブ針昇降装置に関する。
ービング装置のプローブ針昇降装置に関する。
「従来の技術Ｊ
従来、半導体ウニ／％−の回路の導通を一対のブロービ
ング針によりチェックするブロービング装置としては、
大別して次の二種が使用されている。
ング針によりチェックするブロービング装置としては、
大別して次の二種が使用されている。
一般に、大気、常温中で使用する自動ブロービング装置
としであるものは、マニビュＬ／−’ｙｆ固定し、ウェ
ハーがＸＹ方向に移動し、また、上下に昇降するように
なっているが、ウェハーを水平状態で昇降させるために
複雑な機構を必要としている。
としであるものは、マニビュＬ／−’ｙｆ固定し、ウェ
ハーがＸＹ方向に移動し、また、上下に昇降するように
なっているが、ウェハーを水平状態で昇降させるために
複雑な機構を必要としている。
また、真空、低温中で使用する手動ブロービング装置は
、ウェハーを低温例えば約−２００℃まで直接冷却する
のでウェハーを動かすことが体性であるため、第３図に
示すようにウェハーＷを本体Ｈに固定し、プローブ針Ｐ
を把持するマニピュレータＭを真空容器Ｓの外方へ突出
したつまみＴを操作して移動させ、上部！Ｅｉ微鏡Ｋに
よりプローブ針Ｐの位置を確認しつつ送りねじ等（図示
省略）を利用して前記マニピュレータＭを昇降させてウ
ェハーＷの回路導通チェックを実施している。
、ウェハーを低温例えば約−２００℃まで直接冷却する
のでウェハーを動かすことが体性であるため、第３図に
示すようにウェハーＷを本体Ｈに固定し、プローブ針Ｐ
を把持するマニピュレータＭを真空容器Ｓの外方へ突出
したつまみＴを操作して移動させ、上部！Ｅｉ微鏡Ｋに
よりプローブ針Ｐの位置を確認しつつ送りねじ等（図示
省略）を利用して前記マニピュレータＭを昇降させてウ
ェハーＷの回路導通チェックを実施している。
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、このような従来の手動ブロービンダ装置
に３いては、マニピュレータを真空容器外から機械的機
構によって動作する構成としであるため、真空容器内へ
大気が浸入することを阻止するのに回動部分で遮断する
機構を必要とし、また、チェックに際しても作業者は、
上部顕微鏡によりプローブ針の位置を確認しながらマニ
ピュレータと顕微鏡の両者を移動させなければならず、
作業能率が悪いものであった。
に３いては、マニピュレータを真空容器外から機械的機
構によって動作する構成としであるため、真空容器内へ
大気が浸入することを阻止するのに回動部分で遮断する
機構を必要とし、また、チェックに際しても作業者は、
上部顕微鏡によりプローブ針の位置を確認しながらマニ
ピュレータと顕微鏡の両者を移動させなければならず、
作業能率が悪いものであった。
「問題点を解決するだめの手段」
この発明は、叙上の問題点に鑑みてなされたもので、真
空容器内に設置したＸＹテーブル装置の移・助合に載設
するプローブ針昇降装置において、プローブ針を具備す
るマニピュレータを、熱変化により変形をする特性を有
する部桐、例えば、ノくィメタルや形状記憶合金などの
熱応動部材を用いたアクチュエータにより昇降させる構
成とすることによって、これらの問題点を解決したもの
である。
空容器内に設置したＸＹテーブル装置の移・助合に載設
するプローブ針昇降装置において、プローブ針を具備す
るマニピュレータを、熱変化により変形をする特性を有
する部桐、例えば、ノくィメタルや形状記憶合金などの
熱応動部材を用いたアクチュエータにより昇降させる構
成とすることによって、これらの問題点を解決したもの
である。
「作用」
アクチュエータに付設した加熱手段であるニクローム線
に通電し加熱すると、該アクチュエータは、温度上昇に
伴なって徐々に湾曲し、一対の・平行板ばねによって弾
性的に支持されたマニピュレータを上昇、又は下降させ
るので、プローブ針は、ウェハーに対し、離脱、又は当
接する。
に通電し加熱すると、該アクチュエータは、温度上昇に
伴なって徐々に湾曲し、一対の・平行板ばねによって弾
性的に支持されたマニピュレータを上昇、又は下降させ
るので、プローブ針は、ウェハーに対し、離脱、又は当
接する。
「実施例」
以下、この発明の第一実施例を第１図に基づいて説明す
る。
る。
まず、構成を述べる。
プローブ針１は、メスピン２に保持され、真空容器（図
示省略）ｆ、貫通して導入された信号線３に連結してい
る。４は、マニピュレータの一部のアームで、下端部に
胴めにメスビン２が貫設されている。アーム４の上方に
は一対の平行板はね５のうち下部板ばね５にの先端部が
スリーブ７に挾まれて固着されている。スリーブ７の上
端には上部板ばね５ｊが当接し止ねじ６で取り付けてい
る。
示省略）ｆ、貫通して導入された信号線３に連結してい
る。４は、マニピュレータの一部のアームで、下端部に
胴めにメスビン２が貫設されている。アーム４の上方に
は一対の平行板はね５のうち下部板ばね５にの先端部が
スリーブ７に挾まれて固着されている。スリーブ７の上
端には上部板ばね５ｊが当接し止ねじ６で取り付けてい
る。
また１図示を省略した、ＸＹテーブル装置の移動台に載
設される取付台８には、複数の昇降調節゛ねじ９により
高さ調節可能にベースブロック１０が取付けられてχす
、ベースブロック１０にはアーム４０ＩＩＩに突出した
突起１１ｔを設けた支柱部１１が形成されている。該突
起１１ｔにはバイメタル１３の一方の端部がビス１２に
よりビス止めされバイメタル１３の他方の端部である先
端部には。
設される取付台８には、複数の昇降調節゛ねじ９により
高さ調節可能にベースブロック１０が取付けられてχす
、ベースブロック１０にはアーム４０ＩＩＩに突出した
突起１１ｔを設けた支柱部１１が形成されている。該突
起１１ｔにはバイメタル１３の一方の端部がビス１２に
よりビス止めされバイメタル１３の他方の端部である先
端部には。
切込み１３ｋが刻設されていて該切込み１３には、前記
スリーブ７に設けた縮径部γＳの段部γｄに隣接した状
態でスリーブ７に嵌め込まれている。
スリーブ７に設けた縮径部γＳの段部γｄに隣接した状
態でスリーブ７に嵌め込まれている。
そして、バイメタル１３の表面には、真空容器を貫通し
て導入した電線１４に連結した加熱手段であるニクロー
ム線１５が載設しである。
て導入した電線１４に連結した加熱手段であるニクロー
ム線１５が載設しである。
更に、上部板ばね５Ｊ及び下部板ばね５にの基端ば、そ
れぞれ支柱部１１の頂面及びベースブロック１０の内底
面角に刻設された凹部１０ｈにビス１６．１７（第２図
参照）により固定されている。すなわち、前記アーム４
は、一対の平行板ばね５によりベースブロック１０に昇
降可能に弾性支持されているわけである。
れぞれ支柱部１１の頂面及びベースブロック１０の内底
面角に刻設された凹部１０ｈにビス１６．１７（第２図
参照）により固定されている。すなわち、前記アーム４
は、一対の平行板ばね５によりベースブロック１０に昇
降可能に弾性支持されているわけである。
なお、１８は、真空容器の底板（図示せず）中央に設定
された半導体ウェハーでおる。
された半導体ウェハーでおる。
板ばね２１は、支柱部１１の突起１１ｔの上方に同方向
に突設されたバランス用突起１１ｂの根元に刻設した取
付溝１１ｍに基端を挿入固着され、先端は、スリーブ７
に付設した係止具２２の下面に当接して該スリーブ７、
すなわち、アーム４などの可動部を一ヒ方へ付勢してい
る。また、２３は、バランス調節ボルトで、バランス用
突起１１ｂの下面から上方へ貫通して螺入され、先端は
バランス調節用板ばね２１の基端部下面に当接している
。
に突設されたバランス用突起１１ｂの根元に刻設した取
付溝１１ｍに基端を挿入固着され、先端は、スリーブ７
に付設した係止具２２の下面に当接して該スリーブ７、
すなわち、アーム４などの可動部を一ヒ方へ付勢してい
る。また、２３は、バランス調節ボルトで、バランス用
突起１１ｂの下面から上方へ貫通して螺入され、先端は
バランス調節用板ばね２１の基端部下面に当接している
。
そして、前記調節ボルト２３を回すことにより杉板ばね
２１の湾曲度を変更することにより、前記可動部の重ｒ
代を打ち消すバランスｉＬ’ｄ整を行う。
２１の湾曲度を変更することにより、前記可動部の重ｒ
代を打ち消すバランスｉＬ’ｄ整を行う。
なお、２４は、調節ボルト２３の回り止めナツトである
。
。
また、可動部の重量は少し増加するが、・くランス調節
用板ばね２１をアーム４に固着し、支柱部１１に係止す
るようにしても良いし、・くランス調；窄用ばねとして
コイルスプリングを用いるようにすることもできる。
用板ばね２１をアーム４に固着し、支柱部１１に係止す
るようにしても良いし、・くランス調；窄用ばねとして
コイルスプリングを用いるようにすることもできる。
次に、作用を述べる。
最初に、紙上のプローブ針昇降装置をＸＹテーブル装置
を操作して半導体ウニ、、−１８の上部に配置し、プロ
ーブ針１が規定圧で該クエ、１−１８面に当接するよう
に昇降調節ねじ９を回して核外１の高さを調整する。
を操作して半導体ウニ、、−１８の上部に配置し、プロ
ーブ針１が規定圧で該クエ、１−１８面に当接するよう
に昇降調節ねじ９を回して核外１の高さを調整する。
次に、ニクローム線１５に通電すると、バイメタル１３
が加熱されて上方へ湾曲するようにしであるので、該バ
イメタル１３の先端部は段部７ｄに当接し、アーム４を
押し上げ、したがってプローブ針１ば、前記ウェハー１
８から離れる。
が加熱されて上方へ湾曲するようにしであるので、該バ
イメタル１３の先端部は段部７ｄに当接し、アーム４を
押し上げ、したがってプローブ針１ば、前記ウェハー１
８から離れる。
また、電流を切ると、バイメタル１３の温度は下降する
ので、バイメタル１３は下方へ湾曲し、その先端部は段
部７ｄから離れるため、プローブ針１は、平行板ばね５
の釣り合いにより規定圧で前記ウェハー１８面に当接す
る。
ので、バイメタル１３は下方へ湾曲し、その先端部は段
部７ｄから離れるため、プローブ針１は、平行板ばね５
の釣り合いにより規定圧で前記ウェハー１８面に当接す
る。
そこで、プローブ針１．メスピン２．信号線３からなる
プローブ針ユニット１９をアーム４に隣接し増設すれば
、紙上の動作により半導体ウェハー１８の回路の導通を
チェックすることができる。
プローブ針ユニット１９をアーム４に隣接し増設すれば
、紙上の動作により半導体ウェハー１８の回路の導通を
チェックすることができる。
なお、申すまでもなくバイメタル１３の湾曲方向は、上
記の逆方向でも差支えない。
記の逆方向でも差支えない。
また、バイメタル１３の代りに二方向性形状記憶合金を
使用してもよい。
使用してもよい。
「発明の効果」
以上説明してきたようにこの発明は、ＸＹテーブル装置
の移動台に載設するブロービング装置において、プロー
ブ針昇降装置を、ペースブロックに上下に平行して基端
を固着した板はねの先端部により、プローブ針ユニット
を保持するアームを弾性的に支持するとともに、熱変化
に伴ない変形する特性を有する熱応動部材とこの熱応動
部材に熱を与える加熱手段を用いてアクチュエータを構
成してアームに固定したプローブ針ユニットを昇降させ
るようにしたから、大気、常温中は申すまでもなく、・
！“１；空、低温の特殊環境下においても容易に使用が
でき、しかも真空容器に設置する場合は器内への貫入部
材は機械的に外部より作動させるものがないので、その
気密保持手段も簡単となり、また、大気中からの遠隔操
作も極めて容易である。
の移動台に載設するブロービング装置において、プロー
ブ針昇降装置を、ペースブロックに上下に平行して基端
を固着した板はねの先端部により、プローブ針ユニット
を保持するアームを弾性的に支持するとともに、熱変化
に伴ない変形する特性を有する熱応動部材とこの熱応動
部材に熱を与える加熱手段を用いてアクチュエータを構
成してアームに固定したプローブ針ユニットを昇降させ
るようにしたから、大気、常温中は申すまでもなく、・
！“１；空、低温の特殊環境下においても容易に使用が
でき、しかも真空容器に設置する場合は器内への貫入部
材は機械的に外部より作動させるものがないので、その
気密保持手段も簡単となり、また、大気中からの遠隔操
作も極めて容易である。
な方、プローブ針の針圧は、アームを保持する一対の平
行板はねにより、前記特性を有する部材とは無関係であ
るので、周囲の温度変化やニクローム線の電流値のバラ
ツキ等に基づく針圧変化を生ずることがなく、針圧は常
に一定にできる。そのうえプローブ針の昇降動作は徐々
に行なわれるので、プローブ針やウェハーを痛めること
もない。
行板はねにより、前記特性を有する部材とは無関係であ
るので、周囲の温度変化やニクローム線の電流値のバラ
ツキ等に基づく針圧変化を生ずることがなく、針圧は常
に一定にできる。そのうえプローブ針の昇降動作は徐々
に行なわれるので、プローブ針やウェハーを痛めること
もない。
しかもプローブ針は、平行板はねによりウェハーに対し
て直角方向にその先端を昇降するので、正確にウェハー
に当接させることができ、位置決めも迅速容易となると
いう効果がある。
て直角方向にその先端を昇降するので、正確にウェハー
に当接させることができ、位置決めも迅速容易となると
いう効果がある。
更に、バランス調節用板ばねにより可動部の重）１；を
打ち消すようにしたものでは、平行板ばねのはね定数を
小さくすることができ、したがって。
打ち消すようにしたものでは、平行板ばねのはね定数を
小さくすることができ、したがって。
ペースブロックとウェハー面との高さのバラツキによる
針圧変化も小さくなり、また、前記調節用板ばねの調整
により、平行板ばねの負荷を減少するので、プローブ針
の昇降動作をより安定させることができるという効果が
ある。
針圧変化も小さくなり、また、前記調節用板ばねの調整
により、平行板ばねの負荷を減少するので、プローブ針
の昇降動作をより安定させることができるという効果が
ある。
第１図は、この発明のプローブ針昇降装置の実施例を示
す斜視図、第２図は、第１図の装置の側面図、第３図は
、従来の手動ブロービング装置のＪｌ！１Ｆ、要を示す
斜視図である。 １・・・・・・・・・プローブ針 ４・・・・・・・・・アーム ５・・・・・・・・平行板ばね ８・・・・・・・・・取付台 １０・・・・・・ペースブロック １３・・・・・・バイメタル １５・・・・・・ニクローム線 １９・・・・・・プローブ針ユニット ２１・・・・・・バランス調節用板はね第１図 第２図 第３図′
す斜視図、第２図は、第１図の装置の側面図、第３図は
、従来の手動ブロービング装置のＪｌ！１Ｆ、要を示す
斜視図である。 １・・・・・・・・・プローブ針 ４・・・・・・・・・アーム ５・・・・・・・・平行板ばね ８・・・・・・・・・取付台 １０・・・・・・ペースブロック １３・・・・・・バイメタル １５・・・・・・ニクローム線 １９・・・・・・プローブ針ユニット ２１・・・・・・バランス調節用板はね第１図 第２図 第３図′
Claims (2)
- （１）取付台に高さ調節可能に設けられたベースブロッ
クと、該ベースブロックに上下に平行して基端部を固着
した一対の平行板ばねを有する弾性支持手段と、該弾性
支持手段の前記板ばねの先端部に支持されプローブ針ユ
ニットを保持するアームと、熱変化に伴ない変形する特
性を有し前記ベースブロックと前記アームとの間に介在
させた熱応動部材と、該熱応動部材に熱を与える加熱手
段とを有し、前記アームを熱応動部材の変形により昇降
させるようにしたプローブ針昇降装置。 - （２）前記弾性支持手段は前記アームの重量を打ち消す
弾力調整可能なバランス調整用ばねを具えている前記特
許請求の範囲第１項記載のプローブ針昇降装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17155784A JPS6150048A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | プロ−ブ針昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17155784A JPS6150048A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | プロ−ブ針昇降装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150048A true JPS6150048A (ja) | 1986-03-12 |
Family
ID=15925338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17155784A Pending JPS6150048A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | プロ−ブ針昇降装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150048A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124576U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 | ||
| JPH0284749A (ja) * | 1988-06-03 | 1990-03-26 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JP2010056553A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Jason C Caudill | プローブ先端 |
| WO2024081107A1 (en) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | Voice coil leaf spring prober |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP17155784A patent/JPS6150048A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124576U (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 | ||
| JPH0284749A (ja) * | 1988-06-03 | 1990-03-26 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JP2010056553A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Jason C Caudill | プローブ先端 |
| WO2024081107A1 (en) * | 2022-10-12 | 2024-04-18 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | Voice coil leaf spring prober |
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