JPS61500080A - 小型流路サイズの渦計器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 小型流路サイズの渦計器 本発明は流体の流量測定装置に係る。詳しくは、管内の液体又はガス体の流れの 速度の測定に使用する高分離タイプの測定装置に係る。

先行技術の説明 非流線形の障害物を通り越して流れる流体中に渦が発生発展することは長年にわ たり知られている。又、特種な構成を用いた場合、障害物の対向縁より一定間隔 をおいて交互に分離され同じ渦の列を形成することにより渦が発生展開されるこ とも知られている。このような渦はいわゆるカルマンの「渦の列」を形成するも のであり、これは流れと一緒に走行する等間隔渦の２つの殆ど平行状の列よりな る安定せる渦形態である。

カルマンの渦列においては、１つの列の渦は他の列の渦に対して相次ぐ渦の間隔 のほぼ半分だけ食い違っている。各列における連続する渦のへだたりは一定の流 量範囲にわたり殆ど一定であり、従って渦形成の頻度は流体の速さに比例する。

そこで、高分離の頻度のこの目的のための装置はしばしば渦計器と称せられる。

各種型式の渦計器が数年市販されている。かかる計器は基本的に過圧力変動を検 出するためのセンサーと一緒に高分離ボディを流路管内に取付けて設けている。

一般に、この高分離ボディには流れてくる流体に面と向った鐘状表面がある。き わめて優れた作動をするセンサーの場合、ピエゾ電気水晶が使用され過圧変動を 検出し対応する電気パルスを発生する。このような水晶は可撓性の金属製ダイヤ フラムを介して圧力変動を受けるシールを施せる油充満空所内に取付けられるこ とが望ましい。この種の特に好適な装置は米国特許第４．０８５，６１４号（キ ュラン、Ｃｕｒｒａｎその他）に示されている。

上記キュランその他の特許の第６図に示す圧電気センサーは流路管の全直径を横 切り垂直に普通延びる鐘状ボディの過分離面のすぐ後に位置している。この形態 はほぼ商業的に成功せるものと判明しているが、これは主として直径５．０８ｃ ｍ　（２″）以上の流路管をもつ比較的大型の計器に適している。小径の計器即 ち直径３．８１ｃｍ　（１，５″）−以下の管をもついわゆる流路サイズの計器 に対しては、流路管の外側にセンサーを取付けるのが望ましい。

流路管の外側に少なくとも渦センサーの部分を取付けることがかつて提案された 。例えば、上記キュランその他の特、許の第１３図において圧電水晶部材は流路 管の外側に位置し、渦分離ボディの内部のダイヤフラムシールのチャンバにそれ ぞれ接続した毛細管サイズの導管を通じて圧力パルスを受けとる。しかしながら 、このような構成の場合、毛細管導管により圧力パルス信号が減衰され高水準の 性能発揮が妨げられるので完全には満足すべきものではなかった。

米国特許第３．７２２，２７３号には流路管の外側におかれたセンサー要素を有 する渦計器のもう一つの例が示されている。渦分離ボディの内部に形成したチャ ンバの両側に接続した小導管を通じ熱的「熱線」センサ部材が流体圧信号を受け る。この一般タイブのその他のセンサー形態は米国特許第３．７７７．５６３号 の第１６図より第１８図に示されている。しかしながら、上記２点の特許に記載 せるセンサー構成は、本発明によりとり上げられる問題に対する解決法としては 受け入れられない重大な実用面の欠点をともなっている。

発明の要約 以下詳述する本発明の一つの好適実施例において、全体にＴ字型横断面の細長い バーの形態をした高分離部材を有する小直径の流路管を含む流路サイズの渦計器 が提供されている。渦分離バーは端部を流路管の壁に一体に形成した状態で液体 の流れの方向に直角に取付けられている。渦分離具の鐘状面（即ちｒ　１−４の ト持表昭６１−５０００８０　（４） ツブ）は上流に面し、後部弓状部（よ下流側に延びている。

渦分離バーの一端近くの流路管の壁は孔が明けられ、バーの後部弓状部の対向側 を中心として対称状におかれた２つの大面積のインパルスボートを形成している 。

これらボートは断面がほぼ半円形であり、流路管の壁と一体の外部センサーハウ ジング内に位置する同じ断面形状の対応する圧力チャンバの端部を画成する。

バーの縁部から分離した渦は流路管壁のインパルスボート近くで強力な圧力パル スを展開する。これらのパルスはインパルスボートを通り目立った減衰をともな うことなくそれぞれの圧力チャンバに導かれる。

この２つの圧力チャンバ間に一対のたわみダイヤフラムのそれぞれをチャンバの １つにさらけ出した取付けたセンサーボディが設けられている。これらのダイヤ フラムはこれに加わる差圧信号に応答して電気信号を発信するよう構成された圧 電クリスタルを保持するシール封印の油充満カプセルの一部を形成している。

圧電クリスタルは圧力チャンバ内の渦誘導による圧力変動に応答し流路管内の渦 の分離に相当する適宜強力な電気パルスを発展し広範囲にわたる流量及び条件に おいて正確な流量測定信号を作り出すことができる。

上記構成の更に利点とする所は、外部センサーボディを点検保守や交換のためこ れを流量計より容易に取外しができる戸にある。計器バイパスループの利用によ っかかる取外し作業は現場において行うことができる。ダイヤフラムは計量流体 の流れから効果的に隔離され、従って流体中の粒子よりの侵食作用を受けない。

流倒訓は液体やガス体又は蒸気の測定に使用できる。

従って、本発明の目的は小寸法の改良せる渦計器の提供にある。本発明のもう一 つの目的はさまざまな条件の下で正確な測定ができしかも適度のコストでこれを 製作できるような流量計を得ることにある。更に他の諸口的、特徴ならびに利点 については添付図面参照による好適実施例の下記詳細説明により一部示され又一 部明白にされる。

図面の説明 第１図は本発明により作られた流量計の斜視図、第２図は第１図の線２−２によ る垂直断面図、第３図は第１図の線３−３による横断面図、第４図はセンサーボ ディの斜視図、 第５図は第２図の線５−５による水平断面図、第８図は第７図のガスケットの横 断面図、第９図はシール圧を加えた後における第７図のガスケツ１〜の横断面図 を示す。

好適実施例の説明 第１図に本発明による流量計を斜視図示している。

第２図及び第３図も参照づ−ると、流量計は基本的には直径２．５４．ｃｍ　（ １″）の小径流路管１０を有し、この管は垂直状の高分離部材１２及び外部ゼン サーハウジング１４と一体に形成されている。高分離部材（よ第５図の点線に示 す如くほぼＴ字型横断面をもつ細長いバー状部材である。この１−Ｔ」のトップ は接近する流体に面する表面１６を形成し、バーの残余は上流側に延びる後部弓 状部１８よすなっている。（この一般タイブの渦分離ボディの詳細特徴は１９７ ８年４月２５日キュランその他に付与された米国特許第４．０８５．６１４号に 記載されでいる）流路管１０にはその両端に装着フランジ２０．２２が保持され ている。以下詳）ホするもこれらのフランジはポルト２４及びガスケツＩ・２６ によりモニター１べき流体の流れ装置系の一部を形成する対応フランジ２８．３ ０に取付【Ｊられるようになっている。、次に、第３図（１′８おいて、流路管 １００１〜ツブ壁は渦分離バー１２のＬ端近くの２個所３２．３４で几明けされ てお、す、２つの大面積のインパルスポー１゛−を形成している。又、第６図に Ｉｊ３いて、Ｊれらの孔は横断面より見て円の等面積弓状部はぼ半円形をしてい る。この弓状部の弧部３６．３８の上流部分は後部弓状部１８（第６図の面上に 突起して）のそれぞれの側面にそい対称状にかつこれと平行にａ３かれ、残りの 弦部分は後部弓状部の端部を超えて更に下流側に僅かな距離紙びている。好適実 施例における弓状弧部は長さが約１　、５８ｃｍ　（５／８　”　）でそれぞれ の弓状部の高さは約０．１８ｃｍ　（３／１６″）　テアル。

再び第３図において、インパルスポート３２，３４は対応する対になった圧力チ ャンバ４０．４２の下端を画成しチャンバは流路管１０より上方にがなりの距離 にわたりに延びセンサーハウジング内に形成されている。これらの圧力チャンバ は上端をシールされている。第５図に示すように、これらの圧力チャンバの横断 面形状ならびに寸法はインパルスポートの形状及び寸法と同じで、本例の場合円 のほぼ半円形の弓状部である。

圧力チャンバ４０．４２の間にセンサーボディ４４（第４図も参照のこと）が取 付けられている。このボディは形状がほぼ矩形であり、圧力チャンバ４０゜４２ にそれぞれ面した可撓性の金属製ダイヤフラム４６．４８が取付けられている。

これらのダイヤフラムは油充満のシールを施した空所を形成するカプセルの側壁 を形成している。この空所内に圧電クリスタル（図示省略）が取付けられダイヤ フラムに加わる差圧信号に応答して電気信号を発生する。

垂直状のバー形部材１２を通過する流体の流れにより周知の如く、流体の流れと 共に走行する２つのほぼ平行な列をなす均等間隔なるも食い違いの組の渦の分離 が行われる。これらの渦はインパルスポート３２゜３４近くで強力な圧力パルス を展開することが判明している。このような圧力パルスはボートを通過し圧力チ ャンバ４０．４２により画成された行きづまり領域に直接導かれ、そこで差圧パ ルスとして交互に可撓性ダイヤフラム４６，４８に加えられる。

これらの差圧パルスはセンサーボディ４４にある圧電クリスタルに加えられ、こ のクリスタルは対応する電気信号を′発信する。この電気信号は、上述のキュラ ンその他の特許に記載の如くクリスタルの側壁上の普通の電極によりピックアッ プされセンサーの外部の同軸ケーブル５０に導かれる。このケーブルは、産業プ ロセス計装装置系に使用できるようになった測定信号を周知の如く発生するよう 働く適宜エレクトロニック信号調整回路（図示省略）に通じている。

圧電クリスタルにより得られる信号は、比較的に述べると又特に組込まれたさま ざまな流量計部材の小寸法から考えて全く強烈である。かがる強烈な信号は、ダ イヤフラム４６．４８において強力な圧力パルスが発展するという事実に帰因す る。これは大きい横断面積をもつインパルスポート３２．３４の設置ならびに圧 力チャンバ４０．４２のための同じ横断面積の使用に一部帰因している。更に、 インパルスポートとダイヤフラム４６，４８’との間にきわめて短い距離を形成 する設計特徴により改良が行われる。好適実施例において、インパルスポートと センサーボディ４４の底部との間のへだたりはできる限り小さく、例えば流路管 壁片５２の厚みは僅かＱ、２５ｃｍ　（０，１″）程又はそれ以上である。

再び第５図を参照すると、センサーハウジング１４は鋳造時に全体として５３で 示す凹所が形成されている。前記凹所５３は横断面がほぼ円形であるが、センサ ーボディ４４が嵌合される長方形区画部が同時に形成されている。このセンサー ボディ４４は必要部材付ユニットで、差圧パルスを検知しかつそれに対応した電 気信号パルスを発生させるために必要なすべての部材を含む。本流量計構造の重 要な利点は保守および修理作業のために、センサーボディ４４が容易に取外すこ とができることである。

さらに第４図を参照すると、センサーボディ４４にＵ字形ガスケット５６を支持 するみぞ５４が、２個の側縁部および底縁部に沿って形成されている。このガス ケット５６により２個の圧力チャンバ４０．４２間相互で効果的に圧力的絶縁が なされ、センサーボディ４４の各縁部のまわりで発生する漏れによる圧力パルス 強さの損失を防止する。

センサーボディ４４の上方部分に、段差付取付具６ｏを支持する円形シールプレ ート５８が固定されている。前記圧電結晶体から出る電気信号を同軸ケーブル５ ０に伝達するために使用される連続部材（図示せず）を保護するための剛性チュ ーブ６２がこの段差付取付具６ｏに溶接で連結される。円形ガスケット７０（第 ３図）が前記円形シールプレート５８とセンサーハウジング１４の上方シール面 ７２との間に配置されている。前記上方シール面７２に向けてシールプレート５ ８および円形ガスケット７０に相当な押圧力を加えるために、円形シールプレー ト５８の上に接して長方形取付板７４がボルト止めされて圧力チャンバー４０． ４２の上端部からの計量流体密封を確保する。

前記長方形取付板７４はまた流量計の電子部材（図示せず）を支持する支柱７６ を有する。

特に非常に効果的密封を確保するために、ガスケット７０の構造は、第７図およ び第８図に示すものが好ましいことが判った。このガスケット７０は例えばステ ンレス鋼のような金属製で、かつ深さが０．３０ｓ〜２．．０３２ｍ　（０，０ １２″〜０．０８″）　、好ましくは０．３８Ｍ　（０，０１５″）の深さの別 々の円形Ｖみぞ７８がその頂面と底面とに刻まれている。外方頂点間でみた前記 ■みぞ７８の幅は約０．３６ｍｍ〜０．５６ｍｍ　（０，０１”Ｉ″〜０．０２ ２″）であってもよい。ガスケット７０の頂面および底面（即ち■みぞ）は、例 えば■みぞ７８深さの２０％以下の厚さの、テフロンの極薄コーディング８０で 被覆されている。

図示した実施例では好ましくは０．０２５ｍｍ〜０．０５１ｍ１１１（０，００ １″〜０．００２″）の厚さを有する。。

長方形取付板７２にシール圧力が加えられると、Ｖみぞ７８の鋭いエツジをした 尖端部は隣接する金属表面に切り込む。十分な力が加えられると、Ｖみそ７８の 前記尖端部は図で示すと第９図の８２のように幾分押しつぶされるであろう。例 えば最初のＶみぞ深ざ０．３８ｍ　（０，０１５”　）は０．３０ｍ（０，０１ ２”）程度までまたはそれ以下まで減少させられることができる。

かかる押しつぶし作用があるときは、テフロンコーディング８ｏは■みぞ７８の 残余の部分にその幾分かが再配置されるであろう。前記隣接する金属表面に半径 方向掻き傷またはツールマーク８４のような半径方向不足部分があるときは、前 記Ｖみぞ尖端部上のテフロンコーティング８０は、隣接する金属部分と係合する ようにかかる半径方向不足部分（８６で示づような）内に延在することができる 。半径方向クラックまた（よ割れ目をこのようにして密封することにより、計量 流体が圧力チャンバ４０．４２から外部に漏れることを効果的に防止するであろ う。

ガスケツ１〜７０の一金属材利は、前記計量流体と適合させて選択的に選定でき る。多数の尖端部の巻き（実施例では５個）は密封をより強化する多数の絶縁障 壁装置を形成する。テフロン樹脂は殆どすべての化学薬品および溶剤に対する耐 性を有するのぐ好ましい。本発明に基づくガスケットは、従来品ガスケツ１−の ブスｌへでは破損が起きたような、１６１　ｋｆＪｒ　／ｃｍ２（２３００ｐｓ ｉ）の圧力において、室温でのみならず温度ザイクル（９，９℃から２０４°Ｏ まで叩ら５０’Ｆから４００下まで）の後においても有効な密封を保ちうろこと が判った。

このガスケツ１〜構造は、ガスケツ１〜が最初に取付けられた時また（よイれが 取替えられた時に、ツールマークまたは不適当な取扱いによって発生させられた 表面のきずをプラスチックコーディング（好ましくはテフロン）が密封でること ができる点において特に有用である。前記Ｖみぞ尖端部の巻きはシール圧力が加 えられた後においても、隣接りる部分のシール表面に何の損傷も与えることはな い。

ある種の形式の計量流体を計量する時に、腐蝕等に対して高度の耐性を右するハ ステロイメタルのみと接触するように計量流体が導入されることが重要である。

このためにいままでは計量する流路管およびその端部フランジは、全部がハステ ロイで作られていた。しかしながらハステ［コイは非常に高価であるが故にこの やり方は十分満足できるものではなかった。この問題は本発明の第２発明によっ て解決された。

再度第１図および第２図を参照して詳細寸−ると、本発明の実施例では流路管１ ０はハステロイ（ｈａｓｔｅｌ　ｔｏｙ　）で作られているが、これに対して主 ノランシボディ９０（即ちポルト２４が貫通する部分）はステンレス鋼またはそ の他のハステロイよりより安価な材料で作られている。？ｆｆ１腐食性の要求に 合致させるように、ハステロイ製のほぼ円形リング９２が主フランジボディ９ｏ の外方端部と流路管１０とに溶接で固着されている。このハステロイリング９２ は流路管１０開口部を取囲み、かつ第２図で示すように流路管端部とわずかに重 なり合う。そこで計９流体はハステロイとのみ接触するが、し・かじ本゛から各 フランジの大部分は相対的に７価な材ｒ）τ・作らヤ１て；゛・イ）ので、コス トは相当に減少臀ｔ！′＋３　ｓｔ　７）　０図示′つ′ガ％　’ＩＴ！！では 、ハステロイリング９２（まフランジのＬ二めの隆起し！、二表面１を形成し、 かつ監視さる・・＼きδＮｒ、休流シ体−ｉ、、、　、Ｉｌ、；ｉ“）ｌ入スフ ロイフランジ２８．３０（＋′）車重１’＋５　＋；　７、二ｐＶ改≦（８Ｉ− 囚ｒｌｌＪ　９４と合致４るようらニされている、 イれ故（・−１−上述ｉ−たンｋ）Ｉｎ：’ｊｔ　＆：八へ−７２４□、゛ヌ） １負）こｈ−二ｊ−る二とが理解ざ４する−（・δ）ろう。かかる流率１０２Ｌ はぼ白線状の出力特性をイｌ弓、にｌ　ＩＮなｌｅａ　ａ測゛ｉコ５−寸−り・ １、　！？”ｌの寸ｉ（、Ｈのセンサーボディは一連の流路管寸法のものに、例 えば２５．４８または３８．１ｍｉ　（１”　Ｗ、ｊ゛（１１，５″）の流路ト でにセン１．＋−ボディ寸法をス２え５ことなく使用できる。

センサーボディダイヤフラムに近接した人ｊＩｊ槁インパルスボーｉ・は、強い ）土カハルズを確保ｉ′５を上、かつ前記ポートまたは関連配置された圧力チャ ンバー内に内蔵されるに至った空気泡等があっても直ちに自浄する。

センサー部材が発生する信号は適度に強力で最終測定出力信号に展開する従来技 術で使用できる。

本発明の好ましい実施例について詳細に述べたがこれは単に発明の例示の目的の ためのみであり限定的に解されるべきではない。

請求の範囲内で本発明を実施するときは当業者は多くの変形ができることはいう までもない。

手続補正書（睦） 昭和６０年５月２７日

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. １．流体流量に対応した比率で渦を発生させる渦分離部材を有する流路管を含む 形式の流量計装置において、 前記流路管と一体的に形成されかつ一対の圧力チヤンバーを含む外部ハウジング と、 前記渦分離部材に隣接して穴を設けた前記流路管の壁部であつて、前記渦によつ て発生させられる差圧変動を受容するように配置された並んだ大面積の一対のイ ンパルスポートを形成するようにされた壁部であつて、各前記インパルスポート は各前記圧力チヤンバーとそれぞれ直接に連通して前記渦の圧力エネルギーを各 前記圧力チヤンバー内に過剰な減衰をさせることなく伝達するようにされている 前記壁部と、前記差圧変動に応答するよう前記外部ハウジング内に配置されかつ 充満された液体を内蔵する密封された空胴状部を形成するダイヤフラム装置と、 前記ダイヤフラム装置を介して伝達された前記差圧変動に応答して対応した流量 測定信号を発生させるセンサー部材と、 を含むことを特徴とする流量計装置。
2. ２．請求の範囲第１項に記載の装置において、前記センサー部材はセンサーボデ イ内に内蔵されており、かつ前記センサーボデイは一対の前記圧力チヤンバーの 間に配置されて前記ダイヤフラム装置を自身の壁部部材として含む流量計装置。
3. ３．請求の範囲第２項に記載の装置において、前記外部ハウジングの外側表面か ら下方に前記流路管に向けて延在する凹所であつて、その内側に前記センサーボ デイを挿入することとさらに取外すことが可能にされた前記凹所が形成されてお り、そして前記凹所は前記センサーボデイの両側になるよう前記圧力チヤンバー が配置されるように形成された、流量計装置。
4. ４．請求の範囲第２項に記載の装置において、前記渦分離部材は前記流路管を横 切つて延在するバー状部材であり、 前記外部ハウジングは前記渦分離部材の一端部に隣接して配置された流量計装置 。
5. ５．請求の範囲第４項に記載の装置において、前記渦分離部材は前記流体管内の 流体流れに平行に延在する部分を含み、そして 各前記インパルスポートは前記渦分離部材の前記延在する部分の両側に配置され ている流量計装置。
6. ６．請求の範囲第５項に記載の装置において、前記渦分離部材は入つて来る流体 に面する鈍状部分を含み、そして 前記延在する部分は前記鈍状部分と一体的に形成された後部球状部を含む流量計 装置。
7. ７．請求の範囲第２項に記載の装置において、前記圧力チャンバーそれぞれの各 横断面領域は各前記インパルスポートによって形成された各開口部と寸法および 形状において対応する流量計装置。
8. ８．請求の範囲第７項に記載の装置において、各前記インパルスポートによって 形成された各前記開口部はほぼ半円形状をしており、そして 前記半円形状の平行な弦部は直径軸線に対して結果的に均等であるようにされて おりかつ相互に離隔されているが隣接して配置されており、さらに前記流路管の 長手方向軸線に対して共に平行に延在する流量計装置。
9. ９．請求の範囲第８項に記載の装置において、前記渦分離部材の一端部は一つの 部分を有し前記一端部に隣接した前記流路管の前記壁部上の位置で、前記一つの 部分の突出部は前記平行な弦部の間に位置させられている流量計装置。
10. １０．請求の範囲第９項に記載の装置において、前記一端部の前記一つの部分は 入って来る流体に面した鈍状部分から下流側に向けて延在する後部球状部である 流量計装置。
11. １１．請求の範囲第８項に記載の装置において、前記圧力チャンバーの横断面領 域は前記インパルスポートの前記開口部の形状と合致する半円形状をしており、 そして 前記圧力チャンバーの前記半円形状の直径軸線は前記センサーボデイの両側面に よって画成される流量計装置。
12. １２．請求の範囲第１１項に記載の装置において、前記圧力チャンバーは前記流 路管から離隔する方向にかつ前記外部ハウジングに向けて入る方向に延在する方 向に向けて細長であり、そして 前記延在する方向でみた前記圧力チャンバーの軸線は互いに相手方に対して平行 でありかつ前記流路管内を通る流体流れ方向に対して垂直をなす流量計装置。
13. １３．流体流量に対応した比率で渦を発生させる渦分離部材を有する流路管を含 む形式の流量計装置において、 前記流路管と一体的に形成された外方センサーハウジングと、 前記センサーハウジングが含む外方シール面に形成された開口部が画成するセン サー凹所であって、前記外方シール面から前記流路管に向けて下方に延在しかつ 前記センサー凹所内に渦の圧力変動を伝達するように前記流路管の内側と連通さ れた前記センサー凹所と、前記センサー凹所の中央部に延在する必要部材付で取 外し可能なセンサーボデイであって、前記センサー凹所の残余の部分を前記セン サーボデイの両側に位置する圧力チャンバーとして区画するセンサーボデイと、 前記センサーボデイ内に配置されたセンサー部材に前記圧力変動を伝達しさらに それにより対応した流量信号を発生させるように、前記センサーボデイの前記両 側に配置された一対のダイヤフラム装置と、前記センサーボデイの外方端部と前 記外方シール面との間を液密に密封する密封装置と、を含むことを特徴とする流 量計装置。
14. １４．請求の範囲第１３項に記載の装置において、前記センサーボデイはほぼ長 方形状をしておりかつその２個の側縁部および底縁部に沿って延在する連続みぞ が設けられており、そして２個の前記圧力チャンバーを圧力絶縁するようにかつ 保守または修理のために容易に前記センサーボデイを取外すことができるように 前記連続みぞ内に配置されたガスケットを含む流量計装置。
15. １５．請求の範囲第１３項に記載の装置において、前記密封装置は、前記センサ ーボデイの前記外方端部に固定されかつ前記上方シール面をおおうように前記セ ンサー凹所を越えて横方向に延在するシールプレートと、前記上方シール面と前 記シールプレートとの間に配置された密封用ガスケットと、前記ガスケットが液 密な密封をするように前記シールプレートに力を加える加圧装置と、を含む流量 計装置。
16. １６．請求の範囲第１５項に記載の装置において、前記ガスケットはリング形状 をしておりかつその頂面および底面にＶみぞで形成されるぎざぎざが切られてい る流量計装置。
17. １７．請求の範囲第１６項に記載の装置において、前記ガスケットは金属製であ りかつ前記ガスケットの前記頂面および底面に薄いプラスチックコーテイングが 被覆された流量計装置。
18. １８．加圧状態に耐える密封をするに適したガスケットにおいて、 金属製のほぼ円形の帯状体であって、前記帯状体のまわりに沿って延在する複数 個のＶみぞをその頂面と底面とにそれぞれ刻まれた前記帯状体と、前記頂面およ び底面を被覆する薄いプラスチックコーティングと、を含むことを特徴とするガ スケット。
19. １９．請求の範囲第１８項に記載のガスケットにおいて、前記コーティングの厚 さは前記Ｖみぞの深さの２０％より大きくないガスケット。
20. ２０．前記プラスチックはテフロンである請求の範囲第１９項に記載のガスケッ ト。
21. ２１．前記Ｖみぞは０．３０から０．４６ｍｍの深さである請求の範囲第１８項 に記載のガスケット。
22. ２２．２個の表面間を密封するシール方法であって、金属製のほぼ円形の帯状体 の形状をしかつ自身の頂面および底面に複数個のＶみぞからなるぎざぎざが切ら れさらにプラスチックの薄い層を被覆したガスケットを前記２個の表面の間に配 置し、そして前記Ｖみぞがその深さを相当に減少させるよう前記Ｖみぞの外方尖 端部を押しつぶすに十分な密封圧力を前記２個の表面に加えることを特徴とする シール方法。
23. ２３．請求の範囲第２２項に記載の方法において、前記プラスチックの薄い層が 前記２個の表面の何れかに生成された割れ回内に強制的に入れられるに十分な密 封圧力が加えられることを含むシール方法。
24. ２４．前記プラスチックはテフロンである請求の範囲第２３項記載のシール方法 。
25. ２５．流体流システムの管路上に設けたフランジとそれぞれ連結するようにされ たフランジを両端部に取付けた流路管を有する形式の流量計装置において、前記 流路管はハステロイ（ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）で形成されたハステロイ流路管であ り、 前記流路管に取付けた前記フランジは前記ハステロイ流路管を取り囲みかつ非ハ ステロイ材料で形成されており、 前記流路管に取付けた前記フランジの外方端部に固着され、前記フランジの外方 端部開口を取囲み、そして前記ハステロイ流路管と一体的に形成された、リング 状のハステロイ製第１および第２バンドであって、前記バンドから前記フランジ が延在するようにされた前記第１および第２バンドと、を含み、前記ハステロイ 製第１および第２バンドは前記流体流システムのハステロイ製フランジと係合す るように配置され、前記流路管を通過する流体はハステロイ材料のみと接触し、 しかも前記流路管に取付ける前記フランジをハステロイ製とするコストを減少せ しめたことを特徴とする流量計装置。
26. ２６．請求の範囲第２５項に記載の装置において、各ハステロイ製前記バンドは 前記非ハステロイ材料で形成された前記フランジを幾分越えて延在する隆起した 表面を形成しており、 前記隆起した表面を形成する前記バンドは前記流体流システムのハステロイ製フ ランジ上の対応した隆起した表面と係合するようにされた流量計装置。