JPS6142872B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6142872B2
JPS6142872B2 JP12547577A JP12547577A JPS6142872B2 JP S6142872 B2 JPS6142872 B2 JP S6142872B2 JP 12547577 A JP12547577 A JP 12547577A JP 12547577 A JP12547577 A JP 12547577A JP S6142872 B2 JPS6142872 B2 JP S6142872B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
emitter layer
thyristor
type
base layer
Prior art date
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Expired
Application number
JP12547577A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5457974A (en
Inventor
Do Nakagawa
Akira Kawakami
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP12547577A priority Critical patent/JPS5457974A/ja
Publication of JPS5457974A publication Critical patent/JPS5457974A/ja
Publication of JPS6142872B2 publication Critical patent/JPS6142872B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/70Bipolar devices
    • H01L29/74Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
    • H01L29/7404Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action structurally associated with at least one other device
    • H01L29/7412Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action structurally associated with at least one other device the device being a diode

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Thyristors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は増幅ゲート付サイリスタに係り、特
にその性能向上を図るための改良に関するもので
ある。
増幅ゲート付サイリスタは、順電流上昇率
(di/dt)耐量特性がすぐれているので、チヨツ
パ、インバータなどの装置に広く使用されてい
る。
以下、従来の増幅ゲート付サイリスタを第1図
に示す断面図で説明する。
図において、1は増幅ゲート付サイリスタ素子
基体である。2はサイリスタ素子基体1のp形の
ベース層、3はp形のベース層に隣接して形成さ
れたn形のベース層、4はn形のベース層3に隣
接して形成されたp形のエミツタ層、5はp形の
ベース層2の主面部の一部を取り囲み露出させて
設けられたn形のエミツタ層、6はn形のエミツ
タ層5に取り囲まれたp形のベース層2の主面部
の一部にn形のエミツタ層5から所定間隔を隔て
て形成されたn形の補助エミツタ層、7はn形の
補助エミツタ層6に取り囲まれたp形のベース層
2の主面部の一部に接触して形成されたゲート電
極、8はn形の補助エミツタ層6の主面上と、こ
のn形の補助エミツタ層6を取り囲み露出したp
形のベース層2の主面上の一部とにまたがり接触
して形成された補助電極、9はn形のエミツタ層
5の主面上に接触して形成されたカソード電極、
10はp形のエミツタ層4の主面部にろう付けさ
れた温度補償体からなるアノード電極である。
このように、増幅ゲート付サイリスタ素子基体
1は、n形の補助エミツタ層6とp形のベース層
2とn形のベース層3とp形のエミツタ層4とを
備えた補助サイリスタT1と、n形のエミツタ層
5とp形のベース層2とn形のベース層3とp形
のエミツタ層4とを備えた主サイリスタT2とで
構成されている。
第2図は上記増幅ゲート付サイリスタの等価回
路を示す回路図である。先ず、ゲート電極7に正
のパルス信号が印加されると、補助サイリスタ
T1がオン状態になり、アノード電極10から補
助電極8を経てp形のベース層2とn形のエミツ
タ層5とで形成さた第1図に示すpn接合J3を横
切り主サイリスタT2のカソード電極9へ電流が
流れる。この電流がpn接合J3を横切つて流れる
ことによつて、pn接合J3が順バイアスされてn
形のエミツタ層5からp形のベース層2へ電子が
注入れ、主サイリスタT2が点弧する。この主サ
イリスタT2の点弧は補助サシリスタの点弧とほ
とんど同時におこる。このように、主サイリスタ
T2の点弧電流が補助サイリスタT1により蔵幅さ
れることから、補助サイリスタT1のn形の補助
エミツタ層6に所定間隔隔てて対向する主サイリ
スタT2のn形のエミツタ5の周縁を大きくし
て、主サシリスタT2の初期点弧面積を増大させ
ることができる。よつて、上記増幅ゲート付サイ
リスタでは、初期点弧面積の増大を図り、その
di/dt耐量の向上を図ることができる利点があ
る。
しかしながら、従来の増幅ゲート付サイリスタ
では、そのdi/dt耐量の向上を図るために、その
主サイリスタT2の初期点弧面積を増加させる
と、主サイリスタT2のn形のエミツタ層5の直
下を除くp形のベース層2の面積が増加するの
で、次に述べるように、その順電圧上昇率
(dv/dt)耐量が低下するという欠点があつた。
すなわち、p形のべース層2とn形のベース3
との間に形成されたpn接合J2に電界の変動があ
ると、この電界の変動により生ずる変位電流IDS
が主サイリスタのpn接合J3をこえてそのn形の
エミツタ層5へ流入する。この変位電流IDSは補
助サイリスタT1により生ずる変位電流IDS1とこ
れを除く変位電流IDS2との和として表われる。
変位流IDS1は補助サイリスタT1により増幅され
たものであるので、高温時に主サイリスタT2
イオン状態に移行させるのに十分な大きさになり
得るためである。
この発明は、上述の欠点に鑑みてなされたもの
で、主サイリスタのpn接合J3をこえてその第1
エミツタ層へ流入する変位電流を減少させるよう
にすることによつて、di/dt耐量の向上を図ると
ともにdv/dt耐量の増大を図り得る増幅ゲート
付サイリスタを提供することを目的とする。
第3図はこの発明による増幅ゲート付サイリス
タの一実施例を説明するための断面図である。
図において、11はn形の補助エミツタ層6と
n形のエミツタ層5とにより取り囲まれ補助サイ
リスタT1と主サイリスタT2とを電気的に接続す
るp形のベース層2の主面の一部にシヨツトキー
接合を形成するとともにカソード電極9に接続さ
れるように設けられた金属層、12は金属層11
とp形の第1のベース層2の主面部との間に形成
されたシヨツトキー接合を示す。
このように、この実施例の増幅ゲート付サイリ
スタでは、主サイリスタT2のpn接合J3にシヨツ
トキー接合12が並列に接続されている。
第4図はシヨツト―接合12およびpn接合J3
の順電圧電流特性の一例を示す特性曲線図であ
る。
図において、横軸は順電圧、縦軸は順電流を示
し、符号aはシヨツトキー接合12の特性曲線、
符号bはpn接合J3の特性曲線、符号Aはこれら
の特曲線a,bの交点を示す。
第4図に示すように、シヨツトキー接合12の
立上り電位はほぼ0.3V程度で、pn接合J3の立上
り電位はほぼ0.5V程度であり、シヨツトキー接
合12のインピーダンスは、pn接合J3のインピ
ーダンスより高いことがわかる。
したがつて、上記実施例の増幅ゲート付サイリ
スタでは、補助電極8からカソード電極9へ流れ
る電流が第4図に示す交点Aをこえないほぼ
1.5A程度以下であるとき、この電流がpn接合J3
をこえてn形の第1のエミツタ層6へ流入するこ
ともなく、主サイリスタT2が点弧するようなこ
ともない。よつて、変動電圧印加時に補助サイリ
スタT1により増幅された約1A程度の変位電流
DS1では、主サイリスタT2がオン状態に移行す
ることがないので、主サイリスタT2の初期点弧
面積の増加を図りdi/dt耐量の増大を図り得ると
ともにdv/dt耐量の向上を図ることができる。
また、補助サイリスタT1の変位電流による影響
を除去することができるので、同一の電圧変動率
であれば、従来例に比べて、ターンオフ時間を短
かくすることができる。
上記実施例では、金属層11を直接n形のエミ
ツタ層5の主面上に形成されたカソード電極9に
接続するようにしたが、必ずしもその必要はな
く、他の導電層を介して接するようにしてもよ
い。
なお、これまで、センターゲート構造のサイリ
スタを例にとり説明したが、この発明はこれに限
らず、この他のコーナーゲート構造のサイリスタ
にも適用できることは言うまでもない。
以上、詳細に述べたように、この発明によれ
ば、主サイリスタの第1の伝導形の第1エミツタ
層とこの第1エミツタ層から所定間隔隔てた補助
サイリスタの第1の伝導形の補助エミツタ層とが
それぞれ主面部に形成された第2の伝導形の第1
ベース層の上記第1エミツタ層と補助エミツタ層
との間に露出する主面部の一部に上記第1ベース
層との間にシヨツトキー接合を形成するように金
属層が設けられ、この金属層が直接もしくは他の
導電層を介して上記第1エミツタ層にオーミツク
接触するようにして、上記金属層が形成するシヨ
ツトキー接合を上記第1エミツタ層と上記第1ベ
ース層との間に形成された接合に並列になるよう
に構成されているので、次のように効果がある。
すなわち、変動電圧印加時に上記補助サイリス
タにより増幅された変位電流が上記接合を越えて
第1エミツタ層へ流入しないように上記シヨツト
キー接合によりバイパスすることができるので、
上記変位電流により上記主サイリスタがオン状態
に移行するのを防止することができる。
よつて、この発明による増幅ゲート付サイリス
タでは、上記主サイリスタの初期点弧面積の増加
を図りdi/dt耐量の増大を図り得るとともに、
dv/dt耐量の向上を図ることができる。また、
上記補助サイリスタの変位電流による影響を除去
することができるので、同一の電圧変動率であれ
ば、従来例に比べて、ターンオフ時間を短かくす
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の増幅ゲート付サイリスタを説明
するための断面図、第2図は上記従来例の等価回
路図、第3図はこを発明による増幅ゲート付サイ
リスタの一実施例を説明するための断面図、第4
図は上記実施例のシヨツトキー接合とpn接合J3
の順電圧電流特性を示す特性曲線図である。 図において、1はn形基板、2はp形の(第
1)ベース層、3はn形の(第2)ベース層、4
はp形の第2のエミツタ層、5はn形の(第1)
エミツ層、6はn形の補助エミツタ層、7はゲー
ト電極、8は補助電極、9はカソード電極、10
はアノード電極、J1,J2,J3はそれぞれpn接合を
示す。なお、図中同一符号は夫々同一または相当
部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 第1の伝導形の第1エミツタ層とこの第1エ
    ミツタ層が主面部の一部に形成された第2の伝導
    形の第1ベース層とこれに接する第1の伝導形の
    第2ベース層と更にこれに接する第2の伝導形の
    第2エミツタ層との4層で構成された主サイリス
    タと、この主サイリスタの第1エミツタ層から所
    定間隔隔てて上記第1ベース層に設けられた第1
    の伝導形の補助エミツタ層と上記第1のベース層
    と上記第2ベース層と上記第2エミツタ層との4
    層で構成された補助サイリスタとを備えたものに
    おいて、上記第1エミツタ層上にカソード電極
    を、また上記補助エミツタ層上と第1エミツタ層
    と補助エミツタ層との間に露出する第1ベース層
    の主面部上とに跨がつて補助電極を、さらに補助
    エミツタ層に対して第1エミツタ層と反対側の第
    1ベース層上にゲート電極を、またさらに第2ベ
    ース層と反対側の第2エミツタ層とにアノード電
    極をそれぞれ形成するとともに、上記第1エミツ
    タ層と補助エミツタ層との間に露出する上記第1
    ベース層の主面部におけるゲート電極と反対側の
    第1エミツタ層寄りの箇所とカソード電極とに跨
    がついて金属層を形成し、おの金属層と第1ベー
    ス層の主面部とはシヨツトキー接触を成すように
    したことを特徴とする増幅ゲート付サイリスタ。
JP12547577A 1977-10-18 1977-10-18 Thyristor with amplifying gate Granted JPS5457974A (en)

Priority Applications (1)

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JP12547577A JPS5457974A (en) 1977-10-18 1977-10-18 Thyristor with amplifying gate

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JPS5457974A JPS5457974A (en) 1979-05-10
JPS6142872B2 true JPS6142872B2 (ja) 1986-09-24

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5832663U (ja) * 1981-08-27 1983-03-03 東洋電機製造株式会社 サイリスタのゲ−ト電極構造
EP0926740A3 (en) * 1997-12-23 1999-08-25 National University of Ireland, Cork A transient voltage suppressor

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JPS5457974A (en) 1979-05-10

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