JPS6142603A - 光学部品及びその製造方法 - Google Patents

光学部品及びその製造方法

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JPS6142603A
JPS6142603A JP16468484A JP16468484A JPS6142603A JP S6142603 A JPS6142603 A JP S6142603A JP 16468484 A JP16468484 A JP 16468484A JP 16468484 A JP16468484 A JP 16468484A JP S6142603 A JPS6142603 A JP S6142603A
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JP
Japan
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coated
optical
wet process
cloth
process etching
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JP16468484A
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JPH0469362B2 (ja
Inventor
Shigeru Kirino
桐野 茂
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Horiba Ltd
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Horiba Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、測定機器等における窓材、レンズ等の光学部
品及びその製造方法1ζ関する。
この種光学部品の側部周面は、窓面やレンズ表面と異な
ってあまり寸法精度が必要とされないため、通常は粗仕
上げされている。
しかるに、粗仕上げの場合、微視的にみると第1図に示
すように側部周面(1)に多数のマイクロクラック(2
)・・・・・・を生じているため、例えばピンセット(
3)等が触れるとその部分が局部的に冷却し、熱収縮に
よる歪を生じてマイクロクラックが拡大し、割れに至る
ことがある。
また、熱収縮による正置外にも、レーザー加工機の窓材
として用いられる場合のように、窓材内外で圧力差があ
ったり、側部周面を強(加圧したりすると、マイクロク
ラックが拡大し、割れを生じることがある。
本発明は仁のような点にあって、光学部品の側部周面の
仕上げ手法を工夫する仁とによって熱収縮歪や圧力等化
よるマイクロクラックの拡大、割れの発生を防止しよう
とするものである。
而して、本発明に係る光学部品は、側部周面を鏡面状に
仕上げてあることを要旨としている。
また、本発明に係る光学部品の製造方法は、光学部品の
側部周面を湿式腐蝕又はラフ研磨により鏡面状に最終仕
上げするようにしたことを要旨としている。
次に本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第2図は本発明にかかる光学部品を製造する工程を示し
たもので、先ず、光学部品の側部周面(1)を粗研磨し
、次いで粗研磨表面に湿式腐蝕液を塗り、粗研磨表面を
適当厚み(1)だけ溶解させてマイクロクラック(2)
を解消する。
−湿式腐蝕液は光学部品を溶解させるものであ・ればよ
(、光学部品がアルカリハライドの場合、湿式腐蝕液は
水若しくは水とアルコールの混合液、光学部品がガラス
、ゲルマニウム、シリコンの場合にはフッ酸、また光学
部品がフッ化カルシウム及びフッ化バリウムの場合は後
述する合成バット布(8)(第3図参照)に研磨剤を塗
りつけ、ラフ研磨すればよい。
湿式腐蝕液によって溶解される厚み(1)は、光学部品
の材質や粗加工の度合に応じて定めればよく。
通常10μ〜200μの範囲とするのが良い。
上記湿式腐蝕液を光学部品の側部周面に塗るには、例え
ば第30に示す如き装置を用いることができる。図中、
(4)# (4)は光学部品(5)を挾持する円筒状の
治具で、テフロン及びステンレスで構成しである。この
治具(4)# (4)の端部であって光学部品(5)と
当接する部分(6L (6)はシリコンゴム及びテフロ
ンで溝成しである@ (7)# (7)は治具(4)#
 (4)を支承する枢軸、(8)は湿式腐蝕液を浸潤さ
せた合成バット布で、その表面は前記光学部品(5)の
側部周面(1)と接触していると共に、容器(9)に入
れた湿式腐蝕液QOに浸漬させである。(ロ)はモータ
である。ξのモータ(ロ)によって合成バット布(8)
が吻2)まわりに回転駆動され、それに従動して治具(
4L (4)及び光学部品(5)が回転する。光学部品
の回転に伴ない、その側部周W (1)全局に合成バッ
ト布(8)から湿式腐蝕液αQが塗布される。これによ
って光学部品の側部周面(1)が湿式腐蝕により鏡面状
に最終仕上げされる。尚、湿式腐蝕に代えラフ研磨によ
り鏡面状に最終仕上げしてもよい。この場合、合成バッ
ト布(8)に研磨剤を塗りつ1ナモータ(ロ)を回転さ
せラフ研磨する。
以上説明したように本発明は、光学部品の側部周面を鏡
面状に仕上げたものであるから、粗加工によって側部周
面に生じているマイクロクラックを取り除(ことができ
、熱収縮歪、圧力歪によるマイクロクラックの拡大、割
れの発生を効果的に防止することができ、この結果、光
学部品の長寿命化が図れるし、欠陥品が少なくなるとこ
ろから製造原価を安く押えてコストダウンを図ることが
できる等といった効果がある。
また、湿式腐蝕によつて光学部品の側部周面を適当厚み
溶解させてしまうので、荒削り、研磨中の汚れも同時に
取り除く仁とができるといった効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光学部品の側部周面を示す図、第2図は
本発明の光学部品を製造する工程を示す図、第3図は本
発明方法を実施するための装+iii示す図である。 (1)・・・側部周面、(6)・・・光学部品。 第1図 第2図 第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)側部周面を鏡面状に仕上げてあることを特徴とす
    る光学部品。
  2. (2)光学部品の側部周面を湿式腐蝕又はラフ研磨によ
    り鏡面状に最終仕上げするようにしたことを特徴とする
    光学部品の製造方法。
JP16468484A 1984-08-04 1984-08-04 光学部品及びその製造方法 Granted JPS6142603A (ja)

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JPS6142603A true JPS6142603A (ja) 1986-03-01
JPH0469362B2 JPH0469362B2 (ja) 1992-11-06

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49135895U (ja) * 1972-08-19 1974-11-22
JPS53125048A (en) * 1977-02-18 1978-11-01 Minnesota Mining & Mfg Nooreflection optical element

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49135895U (ja) * 1972-08-19 1974-11-22
JPS53125048A (en) * 1977-02-18 1978-11-01 Minnesota Mining & Mfg Nooreflection optical element

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JPH0469362B2 (ja) 1992-11-06

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