JPS6138512A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPS6138512A JPS6138512A JP16308785A JP16308785A JPS6138512A JP S6138512 A JPS6138512 A JP S6138512A JP 16308785 A JP16308785 A JP 16308785A JP 16308785 A JP16308785 A JP 16308785A JP S6138512 A JPS6138512 A JP S6138512A
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- code mark
- mark
- scale
- scanning
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は測定方向においてスケールの目盛に溢って設け
られ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のため
に、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマー
クがそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと
、目盛、参照マーク及び評価装置と接続しでいる所属の
コードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの
対象物の相対位置の測定のための測定装置に関する。
られ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のため
に、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマー
クがそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと
、目盛、参照マーク及び評価装置と接続しでいる所属の
コードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの
対象物の相対位置の測定のための測定装置に関する。
この種の測定装置では参照マークで発生した電気的制御
信号は種々の方法、例えはカクンタにおけるゼロ位置の
再現のため、測定のはじめに所定の位置にセットするた
め及び妨害パルスの制御のため、並びに後続の制御装貌
の附勢のために使用さｎる。
信号は種々の方法、例えはカクンタにおけるゼロ位置の
再現のため、測定のはじめに所定の位置にセットするた
め及び妨害パルスの制御のため、並びに後続の制御装貌
の附勢のために使用さｎる。
（従来の技術）
西独−特許公報２４１６２１２からスケール上にインク
リメンタル目盛の他に別個のトラック上に参照マークが
設けられているインクリメンタル長さ又は角度測定器が
公知である。この参照マークの絶対値は、個々の参照マ
ークの間の相異なる間隔から決定される。
リメンタル目盛の他に別個のトラック上に参照マークが
設けられているインクリメンタル長さ又は角度測定器が
公知である。この参照マークの絶対値は、個々の参照マ
ークの間の相異なる間隔から決定される。
参照マークの間のこの間隔はインクリメンタル目盛の走
査によって検出される。従って参照マークの絶対的位置
の認識のために常に二つの参照マークが走査されたけれ
ばならない。この方法は、例えば二つの参照マークが相
互にかなシ離れて位置している場合には煩わしくかつ時
間を貸す。
査によって検出される。従って参照マークの絶対的位置
の認識のために常に二つの参照マークが走査されたけれ
ばならない。この方法は、例えば二つの参照マークが相
互にかなシ離れて位置している場合には煩わしくかつ時
間を貸す。
このため二つの参照マークの間のインクリメントの計数
を誤差があると、参照マークの誤った間隔従って誤った
絶対値が検出されうる。
を誤差があると、参照マークの誤った間隔従って誤った
絶対値が検出されうる。
西独−特許公報２９５２１０６に拡インクリメンタル長
さ又は角度測定装置が記載されており、その際スケール
上に目盛の他それぞれ相異なる線群目盛の参照マークが
設けられている。
さ又は角度測定装置が記載されており、その際スケール
上に目盛の他それぞれ相異なる線群目盛の参照マークが
設けられている。
個々の参照マークは走査ユニットにおける走査フィール
ドによって走査され、その際参照マークに各走査フィー
ルドが所属しておシ、参照マークは同一の線群目盛を有
する。
ドによって走査され、その際参照マークに各走査フィー
ルドが所属しておシ、参照マークは同一の線群目盛を有
する。
この配列は比較的コスト高である、そのわけは個々の参
照マークの線群目盛は個々の参照マークの明白な識別を
可能にするために相互にできる限り相違されたければな
らないからである。
照マークの線群目盛は個々の参照マークの明白な識別を
可能にするために相互にできる限り相違されたければな
らないからである。
その除走査ユニントｉ各参照マークにとって同一の走査
フィールドを有する。
フィールドを有する。
西独国特許公開公報３１４４５５４にはインクリメンタ
ル長さ又は角度測定装置が開示されており、その中でス
ケール上にインクリメンタル目盛の細別のトラック上に
識別性参照マークが設けられている。
ル長さ又は角度測定装置が開示されており、その中でス
ケール上にインクリメンタル目盛の細別のトラック上に
識別性参照マークが設けられている。
識別性参照マークの合致のために各コードマークに別の
トランク上のコードマークが並置されている。これらの
コードマークはそれぞれ例えば所定の二進数を示すコー
ドマーク部分から成る。他の二進数は存在しないコード
マーク部分、即ち間隙によって示される。
トランク上のコードマークが並置されている。これらの
コードマークはそれぞれ例えば所定の二進数を示すコー
ドマーク部分から成る。他の二進数は存在しないコード
マーク部分、即ち間隙によって示される。
コードマーク部分及び隙間の形の全コードマークの並列
走査の際両二進数の順序は所属の参照マークの識別のた
めの全コード情報を生ずる。
走査の際両二進数の順序は所属の参照マークの識別のた
めの全コード情報を生ずる。
そのような測定装置では参照マークの絶対値は一般にス
クールのインクリメンタル目盛の目盛ゼロ点に関する値
でちり、従って参照マークは走査ユニットによる目盛の
走査の際参照マークの間の目盛インクリメントの完全な
計数の検査のために閃与しうる、そのわけは参照マーク
の相互間隔は知られているからである。
クールのインクリメンタル目盛の目盛ゼロ点に関する値
でちり、従って参照マークは走査ユニットによる目盛の
走査の際参照マークの間の目盛インクリメントの完全な
計数の検査のために閃与しうる、そのわけは参照マーク
の相互間隔は知られているからである。
しかし個々の参照マークの間には目盛の目盛インクリメ
ントの完全なｔ＋ｔＤのそのような検査はコードマーク
の個々の参照マークに並んで付設サワたコードマーク部
分によってのみ可能であめ。
ントの完全なｔ＋ｔＤのそのような検査はコードマーク
の個々の参照マークに並んで付設サワたコードマーク部
分によってのみ可能であめ。
しかしコードマークの個々のコードマーク部分の間には
多くの隣接した隙間、即ちコードマークのコード情報の
存在する二進数に相応して生じうる、存在しないコード
マーク部分がそのような隙間の内方で目盛の目盛インク
リメントの完全な計数の検査を行い得ない。
多くの隣接した隙間、即ちコードマークのコード情報の
存在する二進数に相応して生じうる、存在しないコード
マーク部分がそのような隙間の内方で目盛の目盛インク
リメントの完全な計数の検査を行い得ない。
（Ｍ決すべき課題］
本発明は前記のａ Ｍの測定装置でコードマークの範囲
におけるスケールの目盛の目盛インクリメントの完全な
計数のできる限シ隙間のない検査を可能にすることを課
題の基礎とする。
におけるスケールの目盛の目盛インクリメントの完全な
計数のできる限シ隙間のない検査を可能にすることを課
題の基礎とする。
（課題の解決のための手段）
上記課題は６二つの可能な位置の各コードマーク部分は
コードマークの内方で、°そのコード情報に相応する一
つの位置を占め、評価装置におケイコードマークの評価
は、コードマーク部分の許容される位置に相応する走査
格子を備えた電子装置によって行われ、そして各コード
マーりのコード情報は評価装置に丸・いて二進数の形で
存在し、その際二進数の値は個々のコードマーク部分の
実際の位置に依存していることによって解決されｏｏ （発明の作用効果ン 本発明によってイＵられる利点は特に参照マークの間の
コードマークのコードマーク部分の構成によって簡単な
方法で、測定装置の測定精度の常に隙間のな１検をが行
われることができ、その結果測定ｉ％ ｆ（＋−の測定
安全性ど６（１１定装置べが使用されることになる工作
機械の運転安全性が一層高められることにある。
コードマークの内方で、°そのコード情報に相応する一
つの位置を占め、評価装置におケイコードマークの評価
は、コードマーク部分の許容される位置に相応する走査
格子を備えた電子装置によって行われ、そして各コード
マーりのコード情報は評価装置に丸・いて二進数の形で
存在し、その際二進数の値は個々のコードマーク部分の
実際の位置に依存していることによって解決されｏｏ （発明の作用効果ン 本発明によってイＵられる利点は特に参照マークの間の
コードマークのコードマーク部分の構成によって簡単な
方法で、測定装置の測定精度の常に隙間のな１検をが行
われることができ、その結果測定ｉ％ ｆ（＋−の測定
安全性ど６（１１定装置べが使用されることになる工作
機械の運転安全性が一層高められることにある。
本発明の有利な（（・Ｖ成は実施態様項から把握される
。
。
（実施例）
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第１図において、電気的インクリメンタル長さ測定装置
が示さ１．でおり、この装置は測定尺Ｍの形のスケール
と走査ユニツ）Ａとから成Ｆ）、走査ユニット打１、各
々図示しない方法で工作機械の機械部分の形の被ｄｊｌ
定物と結合されている。
が示さ１．でおり、この装置は測定尺Ｍの形のスケール
と走査ユニツ）Ａとから成Ｆ）、走査ユニット打１、各
々図示しない方法で工作機械の機械部分の形の被ｄｊｌ
定物と結合されている。
スケールＭ上には線格子（第２ａ図）の形のインクリメ
ンタル目盛Ｔが設けられており、インクリメンタル目盛
は走査ユニットＡによって反射光により光電的に無接触
走査される。側走力向Ｘにおいて目盛ＴＧＣ５ってスケ
ールＭ上に一列の識別参照マークＲｎ （ｎ＝１．２
，３゜・・・）が設けられており、参照マークは公知の
方法で所定の、しかし不規則な線分布をもった識別線群
を有しかつ目盛Ｔに絶対的に付設されている６ １ｒｔ
Ｚ ａ図には二つの隣接した参照マークｌｔｉとＲｋ
が示されている。理解をよくするために参照マークは１
７６ ＊な矩形のマークとして表わされている。
ンタル目盛Ｔが設けられており、インクリメンタル目盛
は走査ユニットＡによって反射光により光電的に無接触
走査される。側走力向Ｘにおいて目盛ＴＧＣ５ってスケ
ールＭ上に一列の識別参照マークＲｎ （ｎ＝１．２
，３゜・・・）が設けられており、参照マークは公知の
方法で所定の、しかし不規則な線分布をもった識別線群
を有しかつ目盛Ｔに絶対的に付設されている６ １ｒｔ
Ｚ ａ図には二つの隣接した参照マークｌｔｉとＲｋ
が示されている。理解をよくするために参照マークは１
７６ ＊な矩形のマークとして表わされている。
目盛Ｔの走査によって生じ、走丘ユニツ）Ａで増巾され
かつ矩形信号Ｓ１’ ｅ Ｓ！’に変形される周期的
走査４６号は評価装置１ｔＷを附勢しかつ後続のカウン
タ２に被測定物の相対位置の位置測定値として示される
。方向弁別のために目盛Ｔは公知の方法で走査フィール
ドＡＴ によって走査され、走査フィールドは格子定数
（ＩＫのＡだけずれた二群ＡＴ１とＡｒ１として配設さ
れている。
かつ矩形信号Ｓ１’ ｅ Ｓ！’に変形される周期的
走査４６号は評価装置１ｔＷを附勢しかつ後続のカウン
タ２に被測定物の相対位置の位置測定値として示される
。方向弁別のために目盛Ｔは公知の方法で走査フィール
ドＡＴ によって走査され、走査フィールドは格子定数
（ＩＫのＡだけずれた二群ＡＴ１とＡｒ１として配設さ
れている。
この方法で相互に位相のずれた走査信号が発生する。参
照マークＲｎで参照信号Ｒ８ｎが発生し、走査二ニット
Ａで増巾され、矩形波Ｒａｎ’に変形され、かつ同様に
評価装置Ｗに供給される。参照信号Ｒ８ｎの発生は走査
板ＡＰに設けられた参照マーク走査フィールドＡＲによ
って行われる。
照マークＲｎで参照信号Ｒ８ｎが発生し、走査二ニット
Ａで増巾され、矩形波Ｒａｎ’に変形され、かつ同様に
評価装置Ｗに供給される。参照信号Ｒ８ｎの発生は走査
板ＡＰに設けられた参照マーク走査フィールドＡＲによ
って行われる。
参照マークＲｎ から得られる参照信号Ｒａｎによって
種々の機能が始動されることができる。
種々の機能が始動されることができる。
各参照マークＲｎ に例えば目盛Ｔの目盛ゼロ点に関す
る絶対的位置を表わす数が所属する。
る絶対的位置を表わす数が所属する。
更に参照マークＲｎ全体から成る特定の参照マークＲｏ
（図示せず〕は特定の参照マークＲＯの発生の際に
カウンタ２を値「ゼロ」ニセットするために役立つこと
ができる。
（図示せず〕は特定の参照マークＲＯの発生の際に
カウンタ２を値「ゼロ」ニセットするために役立つこと
ができる。
しかしこれらの機能は選択された参照マークＲＯが明ら
かに区別さｎることができる場合にのみ実施可能である
。
かに区別さｎることができる場合にのみ実施可能である
。
識別のためにｇ１４２３図によれば各参照マークＲｎ
にコード脅−りＯｎ が所属しており、コードマークＯ
ｎが直列的に設けられており、コードマークはコードマ
ーク部分Ｏｎｍ （ｎ、 ｍ＝ １゜２．３．・・・
）から成る。
にコード脅−りＯｎ が所属しており、コードマークＯ
ｎが直列的に設けられており、コードマークはコードマ
ーク部分Ｏｎｍ （ｎ、 ｍ＝ １゜２．３．・・・
）から成る。
図示の参照マークＲ１とその所属のコードマークＣ１に
ついて説明する。コードマーク部分０１１〜Ｏ１５は参
照マークＲｎ のパターンと同一の輪郭でありかつ同一
の参照マーク走査フィールドＡＲによって走査される。
ついて説明する。コードマーク部分０１１〜Ｏ１５は参
照マークＲｎ のパターンと同一の輪郭でありかつ同一
の参照マーク走査フィールドＡＲによって走査される。
従ってコードマーク部分もここでは簡単化されて矩形マ
ークとして表わされている。
ークとして表わされている。
コードマーク０１ の内方において各コードマーク部分
０１ｍ ｌｄ可能な二つの位ｔＰＯ又はＰｌの一つを占
める。
０１ｍ ｌｄ可能な二つの位ｔＰＯ又はＰｌの一つを占
める。
可能な両位ｆＰＩＰＯ又はＰｌのいずれを各コードマー
ク部分０１ｍが占めるかはコードマークＣ１によって表
わされるべき情報によって特定される。コード情報の評
価では一つのコードマーク部分０１ｍの位置ＰＯから二
進数「０」が導かれるが、コードマーク部分０１ｍは内
方位置Ｐ１を占めると、二進数「１」が認められる。
ク部分０１ｍが占めるかはコードマークＣ１によって表
わされるべき情報によって特定される。コード情報の評
価では一つのコードマーク部分０１ｍの位置ＰＯから二
進数「０」が導かれるが、コードマーク部分０１ｍは内
方位置Ｐ１を占めると、二進数「１」が認められる。
実施例において全コードマーク０１ は５個のコードマ
ーク部分から成シ、Ｃ１１は位置ｐ口内、Ｃ１２はＰ１
上に位置し、Ｃ１３は同様にＰ１上、Ｃ１は再びＰＯ上
、そして０１５はＰＯ上に位置する。こうして二進コー
ド０１１００が導かれ、これはコードマークＣ１のため
の識別キーである。走査のために再び走査板ＡＰが使用
され、その走査フィールドＡＴ１とＡｒ１は目盛Ｔ１そ
の参照マーク走査フィールドＡＲは参照マークＲｎ 及
びコードマークＯｎ を走査する。
ーク部分から成シ、Ｃ１１は位置ｐ口内、Ｃ１２はＰ１
上に位置し、Ｃ１３は同様にＰ１上、Ｃ１は再びＰＯ上
、そして０１５はＰＯ上に位置する。こうして二進コー
ド０１１００が導かれ、これはコードマークＣ１のため
の識別キーである。走査のために再び走査板ＡＰが使用
され、その走査フィールドＡＴ１とＡｒ１は目盛Ｔ１そ
の参照マーク走査フィールドＡＲは参照マークＲｎ 及
びコードマークＯｎ を走査する。
これらの走査板ＡＰＫＵ公知の従って図示しない方法で
光電要素が付設されている。
光電要素が付設されている。
そのようにしてｌｉＪられた信号は評価装ＫＬｗに供給
される。
される。
正の測定方向Ｘ（左から右）へのスケールＭの走査の間
、参照信号）ｔＥ３ｋ 、コード信号０８１１〜０８１
５及び参照信号Ｒ８ｋが発生する。これらの信号は第３
図に図式的に表わされている。
、参照信号）ｔＥ３ｋ 、コード信号０８１１〜０８１
５及び参照信号Ｒ８ｋが発生する。これらの信号は第３
図に図式的に表わされている。
コード信号Ｃ８１１〜Ｃ３ｉ５の二進数０−１−１−〇
−〇を決定するために間隔ａ、ｂ及びｒが知られなけれ
はならない。各コードマーク要素０１ｍの二つの可能な
位置ＰＯとＰｌとの間の間隔は間隔ａで表わされる。
−〇を決定するために間隔ａ、ｂ及びｒが知られなけれ
はならない。各コードマーク要素０１ｍの二つの可能な
位置ＰＯとＰｌとの間の間隔は間隔ａで表わされる。
隣接したコードマーク要素Ｃ１１と０１２、Ｃ１２とＣ
１３等の間の間隔は間隔すで表わされる。最後のコード
マークｉ［ｃ！ｉｓと次の参照マークＲｋ との間の他
の間隔は間隔ｒによって表わされる。前記間隔ｒは走査
間隔が間隔ｂ＋２ ａの和よりも大きくなるや否や認め
られる。間隔ａ。
１３等の間の間隔は間隔すで表わされる。最後のコード
マークｉ［ｃ！ｉｓと次の参照マークＲｋ との間の他
の間隔は間隔ｒによって表わされる。前記間隔ｒは走査
間隔が間隔ｂ＋２ ａの和よりも大きくなるや否や認め
られる。間隔ａ。
）はスケールＭの製作の際に確定されかつ間隔格子とし
てデコーダユニットＷのメモリユニットに記憶される。
てデコーダユニットＷのメモリユニットに記憶される。
参照マークＲ１とＲｋ及びコードマークＯ１ｌ〜Ｃ１５
の走査の際参照信号Ｒ８ｉとコ°−ド信号０８１１〜Ｃ
８１５との間に位置する間隔ａ、ｂ、ｒは一目盛Ｔの目
盛線の数によって検出され、かつ個々のコード信号ＯＦ
；１１〜０８ｉ５の二進コード情報の明らかな認識の定
めに評価装置Ｗ中に記憶された間隔格子と比較される。
の走査の際参照信号Ｒ８ｉとコ°−ド信号０８１１〜Ｃ
８１５との間に位置する間隔ａ、ｂ、ｒは一目盛Ｔの目
盛線の数によって検出され、かつ個々のコード信号ＯＦ
；１１〜０８ｉ５の二進コード情報の明らかな認識の定
めに評価装置Ｗ中に記憶された間隔格子と比較される。
第２ａ図及び第３図による測定方向Ｘにおけるケスール
Ｍの走査の際にまず参照マーク信号Ｒ８ｉが、それから
間隔すにおいて、コード情報「０」を有す／）第一コー
ド信号が、他の間隔（ａ＋ｂ＋ａ）においてコード情報
「１」を有する第二コード信号０８ｉ２ が、他の間
隔（ｂ＋ａ）において、コード情報「１」を有する第三
のコード信号０８ｉ５ が、他の間隔すにおいてはコ
ード情報「０」を有する第四のコード信号Ｃ８１４が゛
、他の間隔（ａ−）−ｂ ）においてはコード情報「０
」を有する第五のコード４Ｑ号ＣＥｌｉ５か゛、そして
続いて他の間隔（ａ＋ｒ ）においては次の参照信号１
（８ｋがｔ！ｉｉ出される。
Ｍの走査の際にまず参照マーク信号Ｒ８ｉが、それから
間隔すにおいて、コード情報「０」を有す／）第一コー
ド信号が、他の間隔（ａ＋ｂ＋ａ）においてコード情報
「１」を有する第二コード信号０８ｉ２ が、他の間
隔（ｂ＋ａ）において、コード情報「１」を有する第三
のコード信号０８ｉ５ が、他の間隔すにおいてはコ
ード情報「０」を有する第四のコード信号Ｃ８１４が゛
、他の間隔（ａ−）−ｂ ）においてはコード情報「０
」を有する第五のコード４Ｑ号ＣＥｌｉ５か゛、そして
続いて他の間隔（ａ＋ｒ ）においては次の参照信号１
（８ｋがｔ！ｉｉ出される。
左カラ右への正の測定方向ＸへのスケールＭを走査ユニ
ットＡが走査すゐと、参照マークＲｋ上にコードマーク
部分Ｏｋｎ＋をイｊする次のコードマークＯｋ が、
そして史に次の参照マークＲｋ＋ １等（第２ ａ図に
は示してない）が続く。
ットＡが走査すゐと、参照マークＲｋ上にコードマーク
部分Ｏｋｎ＋をイｊする次のコードマークＯｋ が、
そして史に次の参照マークＲｋ＋ １等（第２ ａ図に
は示してない）が続く。
一般にコードマークＯｎ はスタート情報と終端情報
を有することができる。スタート情報によって評価装Ｈ
ｗがスタート情報に続いてコード情報が読取られる準備
がなされることができる。
を有することができる。スタート情報によって評価装Ｈ
ｗがスタート情報に続いてコード情報が読取られる準備
がなされることができる。
終端情報は全コード情報が読出されたという確認に役立
つ。
つ。
それによってコード情報の走査中に測定方向Ｘの反転が
認められることができる。
認められることができる。
左から右への正の測定方向Ｘへの走査ユニットＡの運動
の際所属の参照マークＲｎ の走査によるコードマーク
部分Ｏｎｍのコード情報の走査が行われる。右から左へ
の負の測定方向への走査運動では間隔ｒとコード情報の
方向に依存した評価によってコード１−り部分０１ｍの
後に参照マークＲ１が続かねばならないことが認められ
る。
の際所属の参照マークＲｎ の走査によるコードマーク
部分Ｏｎｍのコード情報の走査が行われる。右から左へ
の負の測定方向への走査運動では間隔ｒとコード情報の
方向に依存した評価によってコード１−り部分０１ｍの
後に参照マークＲ１が続かねばならないことが認められ
る。
合目的的にコードマーク部分Ｏｎｍ及び参照マークＲｎ
は整数及び又はインクリメンタル目盛Ｔの格子定数Ｇ
ｋ の整数倍としてスケールＭ上に形成されており、そ
の結果コードマーク部分Ｏｎｍと参照マークＲｎの走査
はインクリメンタル目盛Ｔの走査の周期で行われること
ができる。
は整数及び又はインクリメンタル目盛Ｔの格子定数Ｇ
ｋ の整数倍としてスケールＭ上に形成されており、そ
の結果コードマーク部分Ｏｎｍと参照マークＲｎの走査
はインクリメンタル目盛Ｔの走査の周期で行われること
ができる。
間隔ａ、ｂ、ｒは好ましくけ目盛Ｔの整数倍である。
発生したコード信号１ｎｍ の走査並びに間隔格子と
間隔ａ、ｂ、ｒとの比較は１８択装置を有することがで
きる評価装置Ｗで行われ、選択装置によって予め設定さ
れた参照マークＲｎ が選択されかつ作用状態に持ち来
されることができる。
間隔ａ、ｂ、ｒとの比較は１８択装置を有することがで
きる評価装置Ｗで行われ、選択装置によって予め設定さ
れた参照マークＲｎ が選択されかつ作用状態に持ち来
されることができる。
参照マークＲｎ ０間のコードマークＯｎ のコードマ
ーク部分Ｏｎｍの本発明による連続配列はコードマーク
Ｏｎの範囲においてもスケールＭの目盛Ｔのピッチの完
全な計数の常に殆んど隙間のない鞘査を可能にする。そ
のわけは各コード情報に相応した各コードマーク部分Ｏ
ｎｍのための二つの可能な位ｅＰＯ，Ｐ１の付・設によ
ってコードマークＯｎ の個々のコードマーク部分Ｏｎ
ｍの間には最早よシ大きい隙間は生じ得ない。
ーク部分Ｏｎｍの本発明による連続配列はコードマーク
Ｏｎの範囲においてもスケールＭの目盛Ｔのピッチの完
全な計数の常に殆んど隙間のない鞘査を可能にする。そ
のわけは各コード情報に相応した各コードマーク部分Ｏ
ｎｍのための二つの可能な位ｅＰＯ，Ｐ１の付・設によ
ってコードマークＯｎ の個々のコードマーク部分Ｏｎ
ｍの間には最早よシ大きい隙間は生じ得ない。
発生した各参照信号Ｒ８ｎ及び発生し几各コード信号Ｏ
ｆ３ｎｍ は評価装（Ｂ ｗにおいて相応した参照マー
クｒｔｎ及び相応したコードマーク部分Ｏｎｍの位置と
目盛Ｔのピッチの所属のカンタ−値の間の比較に関与さ
れうる、そのわけは参照マークＲｎ の位置は目盛Ｔに
絶対的に所属しておりかつ参照マークＲｎ０間の個々の
コードマーク部分ａｎｍＯ位置は間隔格子としてメモリ
された間隔ａ、ｂ、ｒによって与えられているからであ
る。この比較でカウタ値と間隔格子との間の差異が生ず
ると、評価装置Ｗによって誤差信号ｒが発せられ、その
結果直ちに誤差のある測定か認められることができる。
ｆ３ｎｍ は評価装（Ｂ ｗにおいて相応した参照マー
クｒｔｎ及び相応したコードマーク部分Ｏｎｍの位置と
目盛Ｔのピッチの所属のカンタ−値の間の比較に関与さ
れうる、そのわけは参照マークＲｎ の位置は目盛Ｔに
絶対的に所属しておりかつ参照マークＲｎ０間の個々の
コードマーク部分ａｎｍＯ位置は間隔格子としてメモリ
された間隔ａ、ｂ、ｒによって与えられているからであ
る。この比較でカウタ値と間隔格子との間の差異が生ず
ると、評価装置Ｗによって誤差信号ｒが発せられ、その
結果直ちに誤差のある測定か認められることができる。
評価装ｆＮ、Ｗにおける間隔格子の記憶のためのメモリ
として合目的的に固定値メモリ（ＲＯＭ又はＦＲＯＭ
） が使用される。相異なるスケール型式の特殊の間
隔格子への評価装置ｗの適合はプログラミング又は固定
値メモリの交換によって−行わ扛ることかできる。大き
な記憶容量を有する固定値メモリには種々のスケールの
ための間隔格子がメモリされることができ、そして利用
されたスケールのだｋ）の各間隔格子はレリえは間隔格
子の所属の間隔ｒによって選択さＪ’Ｌることができる
。
として合目的的に固定値メモリ（ＲＯＭ又はＦＲＯＭ
） が使用される。相異なるスケール型式の特殊の間
隔格子への評価装置ｗの適合はプログラミング又は固定
値メモリの交換によって−行わ扛ることかできる。大き
な記憶容量を有する固定値メモリには種々のスケールの
ための間隔格子がメモリされることができ、そして利用
されたスケールのだｋ）の各間隔格子はレリえは間隔格
子の所属の間隔ｒによって選択さＪ’Ｌることができる
。
記載の間隔ａ、ｂ、ｒとは異なる追加の間隔が−好まし
くはコードマーク部分の間の一他の識別間隔として設定
されることができる。
くはコードマーク部分の間の一他の識別間隔として設定
されることができる。
この追加的識別間隔によって評価が同期され、即ち、コ
ードマーク部分−信号の評価が次の追加の間隔に従って
開始されることができる。この措置によって走査ユニツ
）Ａの方法路程が短縮される、そのわけは間隔ｒは無条
件に求められねばならないのではなく、むしろ間隔ｒで
あれ、追加の間隔であれ、次に位置する距離によって同
期化が行わねばならないからである。
ードマーク部分−信号の評価が次の追加の間隔に従って
開始されることができる。この措置によって走査ユニツ
）Ａの方法路程が短縮される、そのわけは間隔ｒは無条
件に求められねばならないのではなく、むしろ間隔ｒで
あれ、追加の間隔であれ、次に位置する距離によって同
期化が行わねばならないからである。
本発明は光電的走査原理に限られるものではない。
第１図はインクリメンタル長さ測定１Ｌ第２ａ図はスケ
ール、 第２１３図は走査板、そして ・・シ３図に（８照信号とコード信号の信号ダイヤグラ
ムである。 図中符号 Ｏｎ コードマーク Ｏｎｍ コードマーク部分 ＰＯ位置 Ｐｌ 位置 Ｗ 評価装置
ール、 第２１３図は走査板、そして ・・シ３図に（８照信号とコード信号の信号ダイヤグラ
ムである。 図中符号 Ｏｎ コードマーク Ｏｎｍ コードマーク部分 ＰＯ位置 Ｐｌ 位置 Ｗ 評価装置
Claims (9)
- （１）測定方向においてスケールの目盛に沿つて設けら
れ、目盛に絶対的に付設されており、かつ識別のために
、複数のコードマーク部分から成る個々のコードマーク
がそれぞれ直列的に付設されている識別参照マークと、
目盛、参照マーク及び評価装置と接続している所属のコ
ードマークの走査のための走査装置とを備えた二つの対
象物の相対位置の測定のための測定装置において、各コ
ードマーク部分 （Ｃｎｍ）はコードマーク（Ｃｎ）の内方の可能な二つ
の各位置（Ｐ０又はＰ１）のうちそのコード情報に相応
して一つの位置（Ｐ０又はＰ１）を占め、評価装置（Ｗ
）におけるコードマーク（Ｃｎ）の評価は、コードマー
ク部分（Ｃｎｍ）の許容される位置（Ｐ０及びＰ１）に
相応する走査格子を備えた電子装置によつて行われ、そ
して各コードマーク（Ｃｎ）のコード情報は評価装置（
Ｗ）において二進数の形で存在し、その際二進数の値は
個々のコードマーク部分（Ｃｎｍ）の実際の位置（Ｐ０
又はＰ１）に依存していることを特徴とする測定装置。 - （２）コードマーク部分（Ｃｎｍ）の許容される位置（
Ｐ０及びＰ１）の間の間隔（ａ）、隣接したコードマー
ク部分（Ｃｎｍ及びＣｎｍ＋１）の間の間隔（ｂ）、並
びに参照マーク（Ｒｎ）と次のコードマーク部分（Ｃｎ
ｍ）との間のスケールに固有の特性間隔（ｒ）をメモリ
することにより好ましくは固定値メモリに間隔格子が予
め設けられている、特許請求の範囲第１項記載の測定装
置。 - （３）参照マーク（Ｒｎ）とコードマーク（Ｃｎ）のコ
ードマーク部分（Ｃｎｍ）の連続した走査のために走査
板（ＡＰ）が光電要素の付設された共通の走査フィール
ド（ＡＲ）を有する、特許請求の範囲第１項記載の測定
装置。 - （４）走査格子によつて予め与えられた間隔（ａ、ｂ、
ｒ）が評価装置（Ｗ）においてスケール（Ｍ）の目盛（
Ｔ）の目盛インクリメントのカウント数と比較可能であ
る、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の測定装置。 - （５）目盛インクリメントのカウント数と走査格子によ
つて予め与えられた間隔（ａ、ｂ、ｒ）との間に差があ
る場合、評価装置（Ｗ）によつて誤差信号（Ｆ）が発生
する、特許請求の範囲第４項記載の測定装置。 - （６）コードマーク（Ｃｎ）のコードマーク部分（Ｃｎ
ｍ）が所属の参照マーク（Ｒｎ）の識別のためのコード
情報の外に少なくとも完全認識のための情報をも有する
、特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 - （７）コードマーク（Ｃｎ）のコードマーク部分（Ｃｎ
ｍ）及び参照マーク（Ｒｎ）がスケール（Ｍ）の目盛（
Ｔ）の格子定数（ＧＫ）の整数分の一又は整数倍として
形成されている、特許請求の範囲第１項記載の測定装置
。 - （８）間隔格子の間隔（ａ、ｂ、ｒ）がスケール（Ｍ）
の目盛の格子定数（Ｇｋ）の整数分の一又は整数倍であ
る、特許請求の範囲第２項記載の測定装置。 - （９）相異なるスケール（Ｍ）のために間隔格子が評価
装置（Ｗ）にメモリされている場合、使用されたスケー
ル（Ｍ）のための各間隔格子が間隔（ｒ）に基いて選択
可能である、特許請求の範囲第２項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843427411 DE3427411A1 (de) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | Messeinrichtung |
| DE3427411.1 | 1984-07-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138512A true JPS6138512A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0548841B2 JPH0548841B2 (ja) | 1993-07-22 |
Family
ID=6241530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16308785A Granted JPS6138512A (ja) | 1984-07-25 | 1985-07-25 | 測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4701615A (ja) |
| EP (1) | EP0172323B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6138512A (ja) |
| AT (1) | ATE34043T1 (ja) |
| DE (2) | DE3427411A1 (ja) |
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-
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- 1985-05-25 EP EP85106497A patent/EP0172323B1/de not_active Expired
- 1985-05-25 AT AT85106497T patent/ATE34043T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-05-25 DE DE8585106497T patent/DE3562531D1/de not_active Expired
- 1985-07-17 US US06/755,928 patent/US4701615A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-07-25 JP JP16308785A patent/JPS6138512A/ja active Granted
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| US4701615A (en) | 1987-10-20 |
| JPH0548841B2 (ja) | 1993-07-22 |
| DE3562531D1 (en) | 1988-06-09 |
| DE3427411A1 (de) | 1986-02-06 |
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| ATE34043T1 (de) | 1988-05-15 |
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