JPS6136999U - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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Publication number
JPS6136999U
JPS6136999U JP12210884U JP12210884U JPS6136999U JP S6136999 U JPS6136999 U JP S6136999U JP 12210884 U JP12210884 U JP 12210884U JP 12210884 U JP12210884 U JP 12210884U JP S6136999 U JPS6136999 U JP S6136999U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
source device
opening
cavity wall
microwave
Prior art date
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Pending
Application number
JP12210884U
Other languages
English (en)
Inventor
勲 正田
仁史 児玉
一男 馬込
一志 大貫
茂 名取
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP12210884U priority Critical patent/JPS6136999U/ja
Publication of JPS6136999U publication Critical patent/JPS6136999U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図、
第２図は本考案の第１の実施例に係るマイクロ波放電光
源装置を示す断面図、第３図は本考案の第２の実施例を
示す第２図と同様な断面図である。 １・・・マグネトロン、２・・・マグネトロンアンテナ
、３・・・導波管、４・・・マイクロ波空胴共振器、５
・・・底板、８・・・無電極放電ランプ、５１・・・マ
イクロ波空胴共振器、５２．６２・・・空胴壁。 なお、図中同一符号は同一部分又は相当する部分を示す
。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）一側部に開口部を有する光透過性部材からなる空
    胴壁および該空胴壁の前記開口部を塞ぐように取付けら
    れ且つ該開口部に整釡する給電口を有する底板で構成さ
    れたマイクロ波空胴共振器と、該マイクロ波空胴共振器
    内に配設された無電極放電ランプと、前記空胴壁外に配
    設された光反射板とを含み、前記空胴壁が錐形または錐
    台形に形成されていることを特徴とするマイクロ波放電
    光源装置。
  2. （２）前記空胴壁がその前記開口部側を最小寸法とする
    錐台形に形成されていることを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項に記載のマイクロ波放電光源装置。
  3. （３） 前記空胴壁がその前記開口部側を最大寸法と
    する錐形に形成されていることを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第１項に記載のマイクロ波放電光源装置。
JP12210884U 1984-08-09 1984-08-09 マイクロ波放電光源装置 Pending JPS6136999U (ja)

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JP12210884U JPS6136999U (ja) 1984-08-09 1984-08-09 マイクロ波放電光源装置

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JP12210884U JPS6136999U (ja) 1984-08-09 1984-08-09 マイクロ波放電光源装置

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JPS6136999U true JPS6136999U (ja) 1986-03-07

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