JPS5834357U - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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JPS5834357U
JPS5834357U JP12895581U JP12895581U JPS5834357U JP S5834357 U JPS5834357 U JP S5834357U JP 12895581 U JP12895581 U JP 12895581U JP 12895581 U JP12895581 U JP 12895581U JP S5834357 U JPS5834357 U JP S5834357U
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JP
Japan
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light source
source device
waveguide
discharge light
microwave discharge
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Pending
Application number
JP12895581U
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English (en)
Inventor
和生 伴
大貫　一志
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はマイクロ波放電光源装置の全体構成を示す概略
断面図、第２図は従来のマグネトロンと導波管の接続部
分を示す斜視図、第３図は本考案の一実施例を示すマイ
クロ波放電光源装置の要部の分解斜視図である。 図中、１はマグネトロン、３は導波管、４はマイクロ波
共振空胴、６は放電灯、１７は導波管着脱部、１９は導
波管本体を示す。なお、各図中、同一符号は同一または
相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マグネトロン、このマグネトロンにより発振されたマイ
    クロ波を導く導波管、この導波管に給電口を通じて接続
    され、−面にマイクロ波を遮断し光を透過する部材を有
    するマイクロ波空胴共振器、この共振器内に配設された
    無電極放電灯からなるマイクロ波放電光源装置において
    上記導波管を導波管本体と、この導波管本体に着脱自在
    に装着される着脱部とで構成し、その着脱部にマグネト
    ロンを取着したことを特徴とするマイクロ波放電光源装
    置。
JP12895581U 1981-08-31 1981-08-31 マイクロ波放電光源装置 Pending JPS5834357U (ja)

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JPS5834357U true JPS5834357U (ja) 1983-03-05

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ID=29922634

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