JPS6163799U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6163799U JPS6163799U JP13252185U JP13252185U JPS6163799U JP S6163799 U JPS6163799 U JP S6163799U JP 13252185 U JP13252185 U JP 13252185U JP 13252185 U JP13252185 U JP 13252185U JP S6163799 U JPS6163799 U JP S6163799U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- power supply
- supply port
- resonance cavity
- waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
第１図はこの考案によるマイクロ波放電光源装
置の一実施例を示す概略断面図、第２図は本出願
人が先に提案したマイクロ波放電光源装置を示す
概略断面図である。 図中、１はマイクロ波発振器、３は導波管、４
はマイクロ波共振空洞、６は無電極放電灯、７は
メツシユ板、１５は給電口。なお、各図中同一符
号は同一または相当部分を示す。
置の一実施例を示す概略断面図、第２図は本出願
人が先に提案したマイクロ波放電光源装置を示す
概略断面図である。 図中、１はマイクロ波発振器、３は導波管、４
はマイクロ波共振空洞、６は無電極放電灯、７は
メツシユ板、１５は給電口。なお、各図中同一符
号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 上面を光放射面とし、かつ側部に給電口を設け
たマイクロ波共振空洞、このマイクロ波共振空洞
内に配設された無電極放電灯、上記マイクロ波共
振空洞に一端が給電口を囲んで接続されて水平方
向に延在する導波管、この導波管の他端の上面部
側に取り付けられたマイクロ波発振器を備えたこ
とを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13252185U JPS6163799U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13252185U JPS6163799U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163799U true JPS6163799U (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=30691083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13252185U Pending JPS6163799U (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6163799U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834356B2 (ja) * | 1972-09-19 | 1983-07-26 | ストルク アムステルダム ピ− ブイ | 物品の熱処理装置 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP13252185U patent/JPS6163799U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5834356B2 (ja) * | 1972-09-19 | 1983-07-26 | ストルク アムステルダム ピ− ブイ | 物品の熱処理装置 |