JPS60177458U - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents

マイクロ波放電光源装置

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JPS60177458U
JPS60177458U JP6629784U JP6629784U JPS60177458U JP S60177458 U JPS60177458 U JP S60177458U JP 6629784 U JP6629784 U JP 6629784U JP 6629784 U JP6629784 U JP 6629784U JP S60177458 U JPS60177458 U JP S60177458U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
source device
discharge light
microwave
microwave discharge
Prior art date
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Pending
Application number
JP6629784U
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English (en)
Inventor
馬込　一男
勲 正田
児玉　仁史
大貫　一志
弘 伊藤
憲治 吉沢
小村　宏次
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP6629784U priority Critical patent/JPS60177458U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のヤイクロ波放電光源装置の構成′図、第
２図ばこの考案による一実施例を示す構成図、第３図は
他の実施例の構成図である。 １・・・・・・マグネトロン、５・・曲マイクロ波空胴
、６・・・・・・給電口、７・・・・・・無電極放電ラ
ンプ、９・・・・・・ファン、１１・・・・・・透光性
部材、１３・・回通風孔。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）壁面が金属メツシュからなるヤイクロ波空胴内に
    無電極放電ランプを配置し、この空胴内に発生するマイ
    クロ波電磁界によって上記ランプを発光させるようにし
    たマイクロ波放電光源装置において、上記マイクロ波空
    胴の内、外側のいずれかに剛体からなる透光性部材を設
    けたことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
  2. （２）透光性部材が耐熱ガラスからなることを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電
    光源装置。
  3. （３）透光性部材がアルミナからなることを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第１項記載のマイクロ波放電光
    源装置。
JP6629784U 1984-05-07 1984-05-07 マイクロ波放電光源装置 Pending JPS60177458U (ja)

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JP6629784U JPS60177458U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 マイクロ波放電光源装置

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JP6629784U JPS60177458U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 マイクロ波放電光源装置

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JPS60177458U true JPS60177458U (ja) 1985-11-25

Family

ID=30599068

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JP6629784U Pending JPS60177458U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 マイクロ波放電光源装置

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