JPS6136627B2

JPS6136627B2 -

Info

Publication number: JPS6136627B2
Application number: JP55052779A
Authority: JP
Inventors: James I. Bradshaw
Original assignee: Reliability Inc
Current assignee: Reliability Inc
Priority date: 1979-07-05
Filing date: 1980-04-21
Publication date: 1986-08-19
Also published as: JPS5611372A; US4374317A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は全面的に制御された環境および負荷条
件のもとで、電子部品に物理的及び電気的限界の
応力を加えるバーンイン装置に関し、特にこの部
品を保持するボードを制御回路及び電源に接続す
るための装置に関する。

今日、最も急速に進歩している工学分野の１つ
である電子工学は、半導体、特に集積回路を中心
とした分野である。今日の技術によつて、半導体
は量産され、非常に精密で複雑なかつ高価な機器
内に取り付けられる。多くの量産品と同じく、半
導体も多くの場合、作動開始数千時間内で故障を
起しやすい。

この半導体が取り付けられた機器の複雑さのた
めに、この様な取付後の故障は、非常に望ましく
ない。例えば、機器が最終の検査段階に入つてか
ら半導体の故障が検出されると、試験と修理に高
い技術を要求されるので、製造コストを著しく高
くする結果となる。更に製品が市場に出回り、保
証修理などの技術サービスをする必要があるとき
は、それにかかる費用は、利益の上で著しい影響
を生じる。従つて、電子機器メーカーは、商品的
に高品質、高耐久性の半導体を要求している。

作動開始数時間内に故障を起す傾向のあるこれ
ら半導体を、電子機器に取り付ける前に検出する
ことによつて、この様な品質と耐久性が高められ
る。このような検出をする最も効果的な方法の１
つに「バーンイン」があげられる。このバーンイ
ン操作によつて、半導体は取付前に、その物理的
及び電気的限界内で応力をかけられ、それによつ
て完成した機器内で早期故障を起こすおそれのあ
る半導体を見つけ出すことができる。更に詳細に
述べれば、バーンイン操作は以下の工程からな
る。即ち、多数の半導体を１個以上のプリント回
路板（「部品板」）の上に装着する工程、このよう
な半導体を装着した部品板を、環境特に温度が調
節できるチヤンバ内に載置する工程、各部品板の
各半導体にDCバイアス電流を供給する工程（で
きるだけ多くの半導体の接続部に、逆バイアス電
流、ときには順バイアス電流を供給する）、及
び／又は各半導体をクロツクする工程、及び／又
は各半導体の出力を最大定格状態まで負荷させる
工程（このDCバイアス電流、クロツク信号、負
荷の供給は、各半導体に実質的に同時に行なわれ
る）、半導体にチヤンバの環境条件下で所定の時
間、バイアス電流、クロツク信号及び負荷をかけ
た後、部品板をチヤンバから取り出す工程、およ
び半導体を部品板から取りはずす工程とからな
る。次いでその半導体は、重要DCパラメータ、
例えば入力電流及びスレツシユオールド、出力電
圧及び電流の室温試験によつて、ならびにデジタ
ル部品の場合は、真理値表性能を実証するため機
能試験によつて電気的に試験をすることができ
る。この様にしてバーンイン中に故障を生じる半
導体は検出され、故障しない半導体と区別され
る。バーンイン処理中、故障しない半導体は、実
際のストレスに耐えたのであるから、この様な半
導体は高い耐久性を有し、非常に複雑な装置に
も、半導体が早期に故障を起すことはない、とい
う確信をもつて取り付けることができる。

バーンインに際しては、バーンイン・チヤンバ
内の環境をかなり高温（しばしば約150℃）に維
持し、かつチヤンバ内の温度勾配を近似的に零
（即ちチヤンバ内全体が均一な温度）に維持する
必要がある。チヤンバ内が高温になるため、チヤ
ンバ内は通常、窒素ガスなどの不活性ガスで飽和
され、集積回路の導線の汚損を最小にする。

更に、このチヤンバ内部の高温のために、バー
ンインされる半導体にDCバイアス電流、クロツ
ク信号及び／又は負荷を供給するに際し、使われ
る電源と回路部品（「クロツク部品」）を損傷し、
及び／又はその耐久年数を縮めるので、このよう
な電源とクロツク部品は、通常チヤンバの外側に
配置され、チヤンバの壁面から伸びた連結装置で
部品板を電源とクロツク部品に連結する。先行技
術において、この様な連結装置は、チヤンバの壁
の内側に取付けられたカード・エツジ・コネクタ
と、このコネクタの電源接続部と外部にある電源
とをつなぐケーブル又はバスバーと、同コネクタ
の信号回路接続部と外部にあるクロツク部品とを
つなぐ複数のワイヤ又はその他の信号伝送回線と
から成つている。従つて部品板は、チヤンバ内部
のカード・エツジ・コネクタに挿入することによ
り電源とクロツク部品に接続される。

この連結装置に関し、クロツク部品は、通常１
個以上のプリント回路板（クロツク板）上に取り
付けられる点に留意すべきである。

こうしてクロツク部品は、バーンイン・チヤン
バの外側にでているカード・エツジ・コネクタの
信号回路接続部に接続することもできた。コネク
タの種類を区別するために、チヤンバ内部のコネ
クタは、部品板コネクタと呼び、チヤンバ外部の
コネクタは、クロツク板コネクタと呼ぶ。

このように呼んでも、コネクタの形態に差異が
あるわけではなく、またこれらのコネクタが単一
で一体の装置の一部分であることを否定するもの
でもない。

従来の連結装置には、主な難点が２カ所ある。
第１に、チヤンバ内部の高温のために、部品板コ
ネクタが非常に早く劣化し、定期的に変換する必
要がある。このことは、コネクタの費用と交換に
かかる時間的ロスの点から、バーンイン費用を増
やすことになる。更に、この劣化は、バーンイン
時の部品板コネクタの故障の原因ともなる。従つ
て、各稼動前に、このコネクタの点検をしなくて
はならないので、更に、バーンイン費用を増やす
ことになる。第２に、ケーブル及びカード・エツ
ジ・コネクタが、チヤンバの壁を貫通している点
の周囲とチヤンバとの間の完全なシールを維持す
ることが難しい。その結果、チヤンバのその点付
近の温度が他の部分の温度より低くなりやすいの
で、チヤンバ内部の温度勾配を零に維持できな
い。

本発明はバーンイン装置であり、特に上記の従
来欠点を解消するために、主としてカード・エツ
ジ・コネクタ及びこのコネクタがバーンインチヤ
ンバの壁を通して取付けられる後壁部の構造を改
良したものである。すなわち本発明は基本的に、
電子部品を出し入れ可能に収容する空間をほぼ断
熱壁で囲んで形成されたチヤンバと、このチヤン
バ内の温度を所定の高温に維持するためチヤンバ
の内外に付設された環境制御機構と、多数の電子
部品を装着された後端にそのエツジ接続部を備え
てチヤンバ内に並列状に収容される複数の部品板
と、部品板のエツジ接続部と取外し可能に結合す
る部品板コネクタを内側に有しかつチヤンバ外に
ある応力制御用クロツク板の接続部と取外し可能
に結合するクロツク板コネクタを外側に有するチ
ヤンバ内外の信号回路用接続ユニツトと、チヤン
バの後壁を二重構造としてその間の空洞内に少な
くとも前記部品板のエツジ接続部と前記接続ユニ
ツトの部品板コネクタとを配置可能として内側の
空洞カバー板と外側の空洞基板により形成された
チヤンバ内温度の遮断機構とより成り、前記空洞
カバー板は、チヤンバの両側壁に連結された空洞
側の剛性リアパネルにチヤンバ内の空間に面する
剛性固定板が弾性ガスケツトを挟んで取付けられ
て３層状をなしかつ前記の各部品板のエツジ接続
部を挿通可能に剛性のリアパネルと固定板にはス
ロツトを、弾性ガスケツトには開閉自在のスリツ
トを互いに整列させて備え、また前記空洞基板
は、チヤンバの両側壁に連結されかつ適所にコネ
クタ用の開口部を有する背板で形成され、この開
口部に前記接続ユニツトを複数個有する母板ユニ
ツトが取外し可能に取付けられ、さらに母板ユニ
ツトに前記空洞内に位置した接続部材の劣化を防
止するための低温ガスを通すガス供給機構が設け
られている。

さらに本発明のバーンイン装置においては、部
品板上の電子部品を電源に接続するために、部品
板の前記エツジ接続部の隣接領域に数種の電源へ
の接続端子を備えるとともに、これらの端子に接
続されるクリツプを内側に有しかつチヤンバ外部
の数種の電源に接続される複数のバスバーを外側
に有する電源接続ユニツトを前記の空洞基板に取
付け、部品板上の電源接続端子と電源接続ユニツ
ト上の少なくともクリツプ部分とを低温ガスの通
気可能な前記空洞内に配置する構成を併せ有する
ことができる。

このようにして、本発明のバーンイン装置にお
いては、多数の電子部品を装着された複数の部品
板を接続ユニツトの部品板コネクタに接続した状
態でチヤンバ内に並列状に収容し、チヤンバ内の
温度を環境制御機構を用いて所定の高温に維持
し、チヤンバ外のクロツク板等からすでに接続済
みの内外回路の接続ユニツトを通じて応力制御信
号をチヤンバ内の電子部品に伝え、各半導体の出
力を例えばその最大定格状態まで負荷させること
ができ、これによつて多数の電子部品中から耐性
不十分のものを容易に検出することができる。ま
たこのバーンイン操作中、従来装置ではとかく高
温にさらされて、早期に劣化した部品板のエツジ
接続部及び接続ユニツト（カードエツジコネク
タ）のチヤンバ側部分は、いずれもチヤンバ内の
高温度から遮断され、さらに低温ガスの供給され
るチヤンバ後壁の新たな空洞内に配置されること
によつて、その耐用命数を延長し、かつ接触不良
を生じないというすぐれた効果を伴つている。

以下、本発明の好適な実施例を図面を参照して
詳細に説明する。

第１図〜第４図において、バーンイン装置は、
一部を鋼鉄製パネルで囲われた、溶接された鋼鉄
製フレームからなるキヤビネツト２０を有する。
キヤビネツト２０は計器及び電源部１２とチヤン
バ部１１を有する。更に、バーンイン装置はキヤ
ビネツト２０のチヤンバ部１１のすぐ後３に付設
されたリア・キヤビネツト３４を有する。

チヤンバ部１１は、チヤンバ壁１３によつて周
囲６面を全面的にかこまれたチヤンバ１０を有す
る。壁１３は、１インチ（約25mm）厚のマリナイ
ト（marinite）絶縁材でできていることが好まし
い。壁１３の前部には、チヤンバ１０の内部への
出入口となるアクセス・オープニング１５，１７
がある。アクセス・オープニング１５，１７は、
それぞれ扉１９，２１によりおおわれている。そ
して扉１９，２１が閉まると、チヤンバ１０は周
囲のキヤビネツト２０から熱的にほぼ絶縁され
る。チヤンバ１０は、チヤンバ１０の中央にほぼ
直立した中央仕切板５０により、左区画４６と右
区画４８に分離されている。中央仕切板５０は、
チヤンバ１０のほぼ全高にわたり直立している
が、その仕切板の頂部とチヤンバ１０の頂部との
間隙で、アツパーダクト５８が形成され、仕切板
の底部とチヤンバ１０の底部との間隙で、ロワー
ダクト５６が形成されている。第５図に示す様
に、中央仕切板５０は平行な直立パネル５１，５
３からなり、両パネルはブラケツト５５によりチ
ヤンバ壁１３の後壁３３に結合されている。ブラ
ケツト５５はチヤンバ壁１３の後壁３３の内面に
取り付けられている。

チヤンバ部１１は、チヤンバ１０の内部を加熱
するためのヒータ２４と、チヤンバ１０の内部の
空気を循環させるための空気循環器２６とを有す
る。ヒータ２４としては、チヤンバ１０の左区画
４６の頂部に、８個の600Wのヒータエレメント
を取り付けることが好ましい。このヒータ・エレ
メントは、変換可能である。空気循環器２６は、
アルミ鋳造の羽根車を有し、アツパーダクト５８
に取り付けられて、空気をヒータ２４を通つて左
区画４６内の下方へ送り、ロワーダクト５６を通
り、右区画内を上方へ送風する。空気循環器２６
は、約30ft/sec（約9.2mm/sec）の速度で送風す
ることが好ましい。この様な空気の流速によつ
て、チヤンバ内にバーンインする部品を一杯に、
詰め込んだ状態においても、チヤンバ内の温度差
が微少に保たれる。

更に、チヤンバ１０は、チヤンバ壁１３の後壁
３３に取り付けられた連結装置２７，２９，３１
を有する。連結装置２７，２９，３１はチヤンバ
１０の内部で、第１０図について後述するように
各部品板を互いにある間隔をへだてて保持し、更
に、チヤンバ壁１３と中央仕切板５０とからもあ
る間隔をへだてて保持し、それらの間を空気が流
れる様に配置されている。更に、連結装置は、チ
ヤンバ１０の後外側に１個以上のクロツク板を保
持する。更に、部品板と、クロツク板と電源を電
気的に接続する連結機構を備えている。電源は、
後述する様に計器及び電源部１２の一部である。
連結装置２７，２９，３１は、互いに同一であ
り、互いに垂直方向に間隔をへだてていて取り付
けられ、チヤンバ１０の下部の約2/3を占める。

第５図〜第１０図は、代表的な連結装置組立の
各種図面であり、各連結装置組立は、チヤンバ壁
１３の後壁３３の水平方向の全巾にわたつて、空
洞１０１を有する。空洞１０１は、空洞基板１０
３によつて後面の境界をなし、空洞カバー板１０
５，１０７及び中央仕切板５０のブラケツト５５
によつて前面の境界をなし、サイドブラケツト１
０９，１１１によつて側面の境界をなしている。

サイドブラケツト１０９は、チヤンバ壁１３の
右側部分３７の外表面に取り付けられ、チヤンバ
１０の全高にわたつて直立している側部１１３
と、側部１１３の後端からそれに垂直にかつチヤ
ンバの外方向へ伸びている後部１１５からなる。
同様にサイドブラケツト１１１は、チヤンバ壁１
３の左側部分３５の外表面に取り付けられ、チヤ
ンバ１０の全高にわたつて直立している側部１１
７と、側部１１７の後端からそれに垂直にかつチ
ヤンバの外方向へ伸びている後部１１９からな
る。サイドブラケツト１０９，１１１の各後部１
１５，１１９の各後面は、チヤンバ壁１３の後部
３３の外表面と同一平面上にある。

空洞基板組立１０３は、背板１２１、母板ユニ
ツト１２３，１２５及びバスバーユニツト（bus
bar units）１２７〜１３３を有する。背板１２
１はG10又はG11フアイバーグラスの様な堅牢な
耐熱材でできており、空洞１０１の後部全体をカ
バーし、両側部のサイドブラケツト１０９，１１
１の後部１１５，１１９の後面とチヤンバ壁１３
の後部３３の外表面とに取り付けられている。背
板１２１とサイドブラケツト１０９，１１１とチ
ヤンバ壁１３の間に、ガスケツトをはさむことが
好ましい。背板１２１は、チヤンバ１０の左区画
４６の後に左部１３５と、チヤンバ１０の右区画
４８の後に右部１３７を有する。第６図と第１０
図において、背板１２１の左部１３５は、チヤン
バ１０の左区画４６に対しほぼ中央よりで、背板
１２１のほぼ上半分を占める矩形のコネクタ・ア
クセス・オープニング１３６と、このコネクタ・
アクセス・オープニング１３６の下に位置し、背
板１２１上で縦に細長く伸びている電源クリツプ
アクセス・オープニング１４１〜１４６を有す
る。オープニング１４１〜１４６は、互いに等し
い間隔をへだてて配置されている。コネクタ・ア
クセス・オープニング１３６の幅はチヤンバ１０
の左区画４６の幅より小さい。そのため電源クリ
ツプ・アクセス・オープニング１４１〜１４６は
１つも、チヤンバ壁１３の左側部３５又は中央仕
切板５０の後ろに位置しない。背板１２１の右部
１３７は、左部１３５と実質的に同一である。右
部１３７のコネクタ・アクセス・オープニング
は、チヤンバ１０の右区画４８に対し、ほぼ中央
よりに位置し、その幅は右区画４８の幅より小さ
い。そのため右部１３７の電源クリツプ・アクセ
ス・オープニングは１つも、チヤンバ壁１３の右
側部３７又は中央仕切板５０の後ろに位置しな
い。

母板ユニツト１２３は、G10フアイバグラス等
の堅牢な耐熱材でできたボード１４９を有し、ボ
ード１４９はコネクタアクセスオープニング１３
６を全面にカバーする様に、背板１２１の左部１
３５の後面に取り付けられている。母板ユニツト
１２３は、更に、部品板コネクタ１５１〜１５
６、クロツク板コネクタ１５９、及びボード１４
９に取付けられた窒素ノズル１６１を有する。

部品板コネクタ１５１〜１５６は、ボード１４
９に取り付けられた互いに同じプリント回路のエ
ツジコネクタであり、ボードの接続部は、前方の
空洞１０１に面しており、そして接続ラグ又はタ
ーミナルが、ボード１４９の後面にわずかに露出
するようにボード１４９を貫通していることが好
ましい。コネクタ１５１〜１５６は、垂直に向い
ており、それぞれ背板１２１にある電源クリツ
プ・アクセス・オープニング１４１〜１４６と同
一線上に、並んでいる。コネクタ１５１〜１５６
は、コネクタの対応するターミナルが実質的に水
平線上に並ぶように互いに向きをそろえている。
母板ユニツト１２３は、更にボード１４９の後面
上に取り付けられた実質的に水平なプリント回路
ストリツプ１６３を有する。このストリツプは各
コネクタ１５１〜１５６の対応するターミナルを
相互に連結する。即ち、プリント回路エツヂコネ
クタの普通のターミナルの配列割当てに従つて、
例えばコネクタ１５１〜１５６のすべてのＡター
ミナルを一緒に接続し、同様に、コネクタ１５６
〜１５６のすべてのＢターミナルを一緒に接続す
る。適切な電気的接続のために、ボード１４９の
後面に、露出したコネクタ１５１〜１５６のター
ミナル又はラグは、対応するプリント回路ストリ
ツプにはんだ付けされる。

クロツク板コネクタ１５９は、コネクタ１５１
〜１５６と同じプリント回路エツヂ・コネクタで
あり、ボード１４９上に取り付けられ、ボードの
接続部は、ボード１４９の後面から外方へ即ちチ
ヤンバ１０から外方へ向いており、そしてコネク
タ１５９の接続ラグまたはターミナルは、少くと
も部分的にボード１４９を貫通して出ていること
が好ましい。クロツク板コネクタ１５９は垂直に
向けて、部品板コネクタ１５３〜１５４の間に置
かれ、そしてコネクタ１５９のターミナルまたは
ラグが、プリント回路ストリツプ１６３に電気的
に接続できることが好ましい。それによつて例え
ばコネクタ１５９のターミナルＡは、コネクタ１
５１〜１５６のターミナルＡに対応するストリツ
プに接続され、コネクタ１５９のターミナルＢ
は、コネクタ１５１〜１５６のターミナルＢに対
応するストリツプに接続されることが好ましい。

上記の部品板コネクタ１５１〜１５６、クロツ
ク板コネクタ１５９及びプリント回路ストリツプ
１６３の構造によつて明らかなように、コネクタ
１５１〜１５６，１５９のどれか１個のターミナ
ルＡにおける信号が、コネクタ１５１〜１５６，
１５９の残りのターミナルＡに同時に与えられ、
同様にコネクタ１５１〜１５６，１５９のどれか
１個のターミナルＢにおける信号が、コネクタ１
５１〜１５６，１５９の残りのターミナルＢに同
時に与えられる。

窒素ノズル１６１は、空洞１０１に窒素を供給
する手段であり、貫通した通路１６７をもつ本体
１６５と、可とう性の管を挿入し固定するための
管継手部１６９とを有する。管継手部１６９は、
ボード１４９の後面から突出している。本体１６
５はボード１４９を貫通しており、窒素供給管が
管継手部１６９に取り付けられると、窒素が供給
路１６７を通つて、空洞１０１に流入する。

右の母板ユニツト１２５は左の母板ユニツト１
２３と実質的に同じで、背板１２１の右部１３７
のコネクタ・アクセス・オープニング上に取付け
られる。そして、母板ユニツト１２５の部品板コ
ネクタは、背板１２１の右部１３７のそれぞれの
電源クリツプ・アクセス・オープニングの上に中
心線を合わせて並べられている。

各バスバーユニツト１２７−１３３は、導電体
でできた細長いバー１７１を有し、チヤンバ壁１
３の右部３７に接した背板１２１のエツジとその
エツジに最も近い電源クリツプ・アクセス・オー
プニングの間の点から、ほぼ水平に背板１２１を
横切つて、キヤビネツト２０の計器及び電源部１
２に伸びている。バスバーユニツト１２７〜１３
３のバー１７１は、互いに上下に間隔をへだてて
おり、各バー１７１は、背板１２１の各電源クリ
ツプ・アクセス・オープニングの上を通つてい
る。各バー１７１は、このバーと背板１２１の穴
を通した複数の小ねじ１７３によつて背板１２１
に固定され、ナツト１７５で止められている。

各バスバーユニツト１２７〜１３３は、更にこ
のバスバー・ユニツトのバー１７１に取り付けら
れ、電源クリツプ・アクセス・オープニングから
空洞１０１の中に伸びた複数のクリツプ１７７を
有する。このバー１７１がその上を通る各電源ク
リツプ・アクセス・・オープニング１４１〜１４
６は、クリツプ１７７が１個ずつ入る。クリツプ
１７７は、第７図に示すボード１７９の様なプリ
ント回路板を受け入れる様に、作られている。そ
してクリツプ１７７は、この回路板のどちらかの
片面のプリント回路部と電気的に接続される。各
クリツプ１７７は、ねじ１８１とナツト１８３に
より、バー１７１に接続される。そしてこのクリ
ツプは、このクリツプがそこから出ている電源ク
リツプ・アクセス・オープニングに対して中央に
位置する。各クリツプ１７７は、１枚のプリント
回路板が、このクリツプとこのクリツプが出てい
る電源クリツプ・アクセス・オープニングの真上
の部品板コネクタ１５１〜１５６とで同時に受け
られるように、並べなければならない。各クリツ
プ１７７は、取り付けられるバー１７１と良好な
電気的接続を有することが必要である。

バスバーユニツト１２７−１３３に関する上述
の記載から明らかな様に、各バー１７１には、各
部品板コネクタの真下に空洞１０１へ突出した対
応するクリツプ１７７がある。この様に、部品板
コネクタのどれか１つによつて受けられたプリン
ト回路は、各バー１７１に同時に電気的に接続す
ることができる。

第９図に示ように、空洞カバー組立１０７は、
リアパネル１９１、ガスケツト１９３及び固定板
１９５を有する。リアパネル１９１は、チヤンバ
１０の左部４６の後方で、空洞１０１の部分を全
面的にカバーし、一端を中央仕切板５０のブラケ
ツト５５に、他端をチヤンバ壁１３の左部内面に
取り付けられている。パネル１９１は、チヤンバ
壁１３の左部３５への取り付けを容易にするため
サイドフランジ１９７を有する。リアパネルは、
複数のスロツト１９９を有し、各スロツト１９９
は、母板ユニツト１２３の部品板コネクタと中心
線を合わせる。各スロツト１９９は、この部品板
コネクタのレセプタクル頂部より上方の点から、
バスバーユニツト１２７〜１３３の最も低いバー
１７１即ちバスバーユニツト１３３より下方の点
まで縦に伸びている。各スロツト１９９の幅は
0.50インチ（約12.7mm）が好ましい。

ガスケツト１９３が、リアパネル１９１の前面
に重ねて置かれ、すべてのスロツト１９９を完全
にカバーしている。ガスケツト１９３は複数のス
リツト２０１を有する。各スリツト２０１は、リ
アパネル１９１のスロツト１９９の１つと中心線
を合わせて設けられ、このスロツト１９９のほぼ
全長にわたり伸びている。ガスケツト１９３は厚
み0.125インチ（約3.2mm）のシリコンゴム等の可
とう性の材質でできている。そのためプリント回
路板１７９若しくは２２１をスリツトに通しなが
ら、回路板１７９若しくは２２１の周囲を実質的
に気密に保つことができる。

固定板１９５は、ガスケツト１９３をリアパネ
ル１９１に固定し、ガスケツト１９３の可とう性
シール効果を良好にする働きがある。このため、
固定板１９５はガスケツト１９３の形状とほぼ同
じ形状をしており、ガスケツト１９１を全面的に
カバーする様に配置されている。固定板１９５は
固定板１９５、ガスケツト１９３を貫通し、リア
パネル１９１に至るねじにより、ガスケツト１９
３と重ねて固定されている。固定板１９５は複数
のスロツト２０３を有し、各スロツト２０３はス
ロツト１９９の形状とほぼ同じ形状を有し、スリ
ツト２０１を露出させる様にスロツト１９９の１
つと中心線を合わせて置かれる。

空洞カバー組立１０５は、空洞カバー組立１０
７と実質的に同じで、リアパネル２０７、ガスケ
ツト２０９及び固定板２１１を有する。パネル２
０７と固定板２１１の各スロツト及びガスケツト
２０９の各スリツトは、母液１２５の部品板コネ
クタの１つと中心線を合わせて置かれ、この部品
板コネクタより上の点から、最も低いバスバーユ
ニツトのバー１７１より下の点まで伸びている。
リアパネル２０７は、チヤンバ１０の右部４８の
後方で空洞１０１の部分を全面的にカバーし、チ
ヤンバ壁１３の右部３７の内面と、中央仕切板５
０のブラケツト５５の間に結合されている。

第４図に示された連結装置組立２７，２９，３
１に関する上記説明と第１０図から明らかな様
に、部品板２２１はカード・エツジ・コネクタ１
２０と接合するため、その上にエツチングを施こ
したエツジ接続領域２２３と、領域２２３を含む
同じエツジ上にエツチングを施こした電源接続領
域２２５と、領域２２５に隣接して置かれた電源
接続バー２２７を有している。部品板２２１は、
領域２２３，２２５およびバー２２７を有するエ
ツジを、この部品板コネクタと中心線を合わせて
置かれたガスケツト１９３またはガスケツト２０
９のスリツトを通して、接合が確実に行なわれる
まで挿入することによつて、部品板コネクタと、
ならびにこの部品板コネクタの真下に位置する電
源クリツプ・アクセス・オープニングから出てい
るクリツプと接合することができる。その結果、
領域２２３，２２５及びバー２２７を有する部品
板２２１のエツジは、空洞１０１の中にあり、部
品板２２１の残りの部分は、チヤンバ１０の中に
ある。

同様に、エツジ接続領域２３１を有するクロツ
ク板２２９は、このクロツク板とクロツク板コネ
クタ１５９に挿入するだけでクロツク板コネクタ
１５９に接合することができる。クロツクカード
は、特定の母板のクロツクカードコネクタに確実
に接合されると、このクロツクカードは、ストリ
ツプ１６３によつて、この母板の部品板コネクタ
の１つに挿入された各部品板に接続される。

更に、空洞カバー組立のガスケツトは、このガ
スケツトのスリツトに部品板が挿入されているか
どうかにかかわらず、チヤンバ１０とこの空洞カ
バー組立でカバーされた空洞１０１の間の実質的
な空気の流れをシールする。その結果、このガス
ケツトは、チヤンバ１０とこの空洞の間の熱シー
ルをする。そして、この空洞内部の温度は、チヤ
ンバ１０内部の温度より低くなる。連結装置組立
の母板のノズルから、窒素ガスを供給することに
より、この母板に隣接する空洞の温度が、チヤン
バ１０の温度より相当低温に維持される。更に、
この母板に隣接する空洞の雰囲気は、高濃度の窒
素ガスによつて非常に不活性な状態となる。この
様な低温かつ不活性雰囲気の結果、母板の部品板
コネクタの劣化は、もし、この部品板コネクタ
が、チヤンバ１０の内部に直接置かれた場合の劣
化より相当低減する。

リアキヤビネツト３４は、連結装置組立２７，
２９，３１の外部表面と共に、この組立のクロツ
ク板コネクタと接合したクロツク板をカバーす
る。リアキヤビネツト３４は、キヤビネツト２０
の枠材２５１，２５３に固定される。リアキヤビ
ネツト３４は、修理又は調整の必要なクロツク板
及び連結装置組立を出し入れするために、リアキ
ヤビネツトの後面にドアを有することが好まし
い。キヤビネツト３４は、更にキヤビネツト２０
の枠に取り付けられ、連結装置組立２７，２９，
３１に隣接したチヤンバ壁１３の後部３３の外表
面から水平に伸びた、カードトレー２５５を有す
る。このカードトレーは、この連結装置組立のク
ロツク板コネクタと接合しているクロツク板を支
持する様に位置決めされている。

更にキヤビネツト３４は、単一の吸気口と、連
結装置組立２７，２９，３１それぞれの各母板に
向いた排気口とをもつガスマニホールドを有す
る。吸気口は、調節器を介して、ホースで窒素ガ
ス又は空気等の他のガスの供給源へ連結されてい
る。ガス供給源は、キヤビネツト２０の計器及び
電源部の後ろ側に収納されている。各排気口は、
管によつて連結装置組立２７，２９，３１の母板
の各ノズルに連結されている。こうしてガスが、
このガス供給源から調節器を介してガスマニホー
ルドに供給されると、このガスは、連結装置組立
２７，２９，３１の部品板コネクタに隣接する各
組立の空洞に流入する。

キヤビネツト２０の計器・電源部１２は、チヤ
ンバ１０の内部環境を制御し、クロツク板と部品
板に電力を供給し、かつ電力供給を制御するラツ
ク付装置を有する。前記した様に、計器・電源部
は、一般に調節器をとり付けたタンク状の窒素ガ
ス供給源を有する。

ラツク付装置は、ヒータ２４への電力供給を制
御する温度コントローラ３０１（ウエスト・イン
ストルメンツ・スペシヤル400シリーズ温度コン
トローラが、特に最適である。）をもつ環境制御
ユニツト３００と、コネクタ１０の内部の温度
を、時間の経過と共に記録する温度レコーダ３０
３（温度範囲40℃〜220℃、測定期間１週間のパ
ートロー・モデルRFS レコーダが特に最適で
ある）と、チヤンバ１０内の温度が、所定のレベ
ル以上になると、ヒータ２４を、閉止するためレ
コーダの温度センサで作動する温度コントロー
ル・マイクロスイツチと、空気の流量が所定のレ
ベル以下になると、ヒータ２４を閉止（「ロツク
アウト」）して、チヤンバ１０内の空気流量を増
加させる流量スイツチと、装置の状態、即ちスタ
ンバイ（バーンイン準備完了）、ラニング（バー
ンイン稼動中）、ロツクアウトを指示するインジ
ケータ３０９と、稼動開始及び停止あるいは空気
循環器２６の羽根車の速さを調節するためのコン
トロール・スイツチ３１１と、過剰電流が流れる
と、装置の電源を切るためのブレーカ（ラツグサ
ーキツトブレーカに対し、３相、30アンペアが最
適である）とを有するのが好ましい。

更にラツク付装置は、部品板とクロツク板に
DC電力が供給するための電源３２３を内蔵する
電源ユニツト３２１を有する。この電源３２３
は、異なる電圧レベルで、電力を供給する能力を
有するのが好ましい。電源３２３の出力部は、バ
スバーユニツト１２７〜１３３のバー１７１に接
続されており、各バーに供給される実際の電圧
は、使われている部品板とクロツク板の形状に従
つて変化する。電源ユニツト３２１は、更に特定
のDC電圧レベルが電源３２３により供給される
順序と時間を制御する電圧シーケンス装置３２５
を有する。

環境制御ユニツト３００と電源ユニツト３２１
にAC電圧を供給するための制御は、コントロー
ルリレー装置で行なわれる。

本発明は上述の構成のもとに、部品板のエツジ
接続部及びこれを外部のクロツク板に接続する接
続ユニツトの内側部分が高温のチヤンバ内部と遮
断された前記空洞内に置かれることによつて、特
に高温による劣化や接触不良を生ずることがな
い。さらにこの空洞内には通常低温ガス（望まし
くは窒素ガス等の不活性ガス）が供給されるの
で、上記の高温遮断効果を一層強化し、反復使用
される接続ユニツト等の耐久年数を増し、また接
触不良の排除によつてバーンイン操作の能率を大
きく増進する。また前記部品板後端のエツジ接続
部が、接続ユニツトの部品板コネクタに取外し可
能に結合されるために空洞内に挿入される部位に
は、空洞カバー板に設けられた弾性ガスケツトが
あり、このガスケツトのスリツトが板状のエツジ
接続部の出し入れに際して密封性を保つて開閉す
るので、チヤンバ内と空洞との間の連通は最小限
に抑えられ、部品板挿入後の密封性が良好で上記
低温ガスの損失もない。さらに本発明においては
空洞基板に取付けられる母液ユニツトに複数個の
内外接続ユニツトを設けることによつて同時に多
数の部品板をチヤンバ外の応力制御用クロツク板
に接続することができ、大量の電子部品を同じ温
度及び電気的負荷条件でバーンインテスト可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、バーンインを行なう装置の正面図、
第２図は、第１図のバーンイン装置の側面図、第
３図は、第１図のバーンイン装置の上面図、第４
図は、第３図の４−４線部分断面図、第５図は、
本発明の連結装置を示す第４図の５−５線断面
図、第６図は、第５図の６−６線部分背面図、第
７図は、第６図の７−７線拡大部分断面図、第８
図は、バーンイン装置のチヤンバの後面を示す第
５図の８−８線矢視立面図、第９図は、第５図の
部分９の拡大図、第１０図は、第５図の１０−１
０線部分拡大縦断面図で、部品板コネクタ及びク
ロツク板コネクタにそれぞれ挿入する直前の部品
板及びクロツク板を示す。１０……バーンイン・チヤンバ、１１……チヤ
ンバ部、１２……計器・電源部、１５，１７……
アクセス・オープニング、２４……ヒータ、２６
……空気循環器、２７，２９，３１……連結装置
組立、５０……中央仕切板、１０１……空洞、１
０３……空洞ベース、１０５，１０７……空洞カ
バー、１０９，１１１……サイドブラケツト、１
２１……背板、１２３，１２５……母板ユニツ
ト、１２７，１２８，１２９，１３０，１３１，
１３２，１３３……バスバーユニツト、１３６，
１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４
６……アクセス・オープニング、１４９……ボー
ド、１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，
１５６……コネクタ、１５９……クロツク板コネ
クタ、１６１……窒素ノズル、１９３……ガスケ
ツト、１９５……プレート、１９９，２０３……
スロツト、２２１……部品板、２２９……クロツ
ク板、３００……環境制御ユニツト、３２３……
電源。

Claims

【特許請求の範囲】１制御された温度環境及び負荷条件のもとで、
多数の電子部品に物理的、電気的限界の応力を同
時に加えるバーンイン装置であつて、電子部品を
出し入れ可能に収容する空間をほぼ断熱壁で囲ん
で形成されたチヤンバと、このチヤンバ内の温度
を所定の高温に維持するためチヤンバの内外に付
設された環境制御機構と、多数の電子部品を装着
され後端にそのエツジ接続部を備えてチヤンバ内
に並列状に収容される複数の部品板と、部品板の
エツジ接続部と取外し可能に結合する部品板コネ
クタを内側に有しかつチヤンバ外にある応力制御
用クロツク板の接続部と取外し可能に結合するク
ロツク板コネクタを外側に有するチヤンバ内外の
信号回路用接続ユニツトと、チヤンバの後壁を二
重構造としてその間の空洞内に少なくとも前記部
品板のエツジ接続部と前記接続ユニツトの部品板
コネクタとを配置可能として内側の空洞カバー板
と外側の空洞基板により形成されたチヤンバ内温
度の遮断機構とより成り、前記空洞カバー板は、
チヤンバの両側壁に連結された空洞側の剛性リア
パネルにチヤンバ内の空間に面する剛性固定板が
弾性ガスケツトを挟んで取付けられて３層状をな
しかつ前記の各部品板のエツジ接続部を挿通可能
に剛性のリアパネルと固定板にはスロツトを、弾
性ガスケツトには開閉自在のスリツトを互いに整
列させて備え、また前記空洞基板は、チヤンバの
両側壁に連結されかつ適所にコネクタ用の開口部
を有する背板で形成され、この開口部に前記接続
ユニツトを複数個有する母板ユニツトが取外し可
能に取付けられ、さらに母板ユニツトに前記空洞
内に位置した接続部材の劣化を防止するための低
温ガスを通すガス供給機構が設けられていること
を特徴とするバーンイン装置。２前記の部品板及びクロツク板がプリント回路
板である特許請求の範囲第１項記載のバーンイン
装置。３前記の剛性リアパネル及び剛性固定板がフア
イバーグラス製耐熱板である特許請求の範囲第１
項記載のバーンイン装置。４前記の接続部材の劣化防止用ガスが窒素ガス
である特許請求の範囲第１項記載のバーンイン装
置。５前記母板ユニツトがその母板内表面に複数の
部品板コネクタを横方向にほぼ一定間隔で並列状
に取付けかつその母板外表面に少なくとも１個の
クロツク板コネクタを備え、各部品板コネクタの
母板を貫いて外表面まで延びた複数の端子がそれ
ぞれ、母板外表面に沿つて横方向にプリントされ
た複数の回路ストリツプを介してクロツク板コネ
クタの対応する端子に連結されて成る特許請求の
範囲第１項記載のバーンイン装置。６制御された温度環境及び負荷条件のもとで、
電子部品に物理的、電気的限界の応力を加えるバ
ーンイン装置であつて、電子部品を出し入れ可能
に収容する空間をほぼ断熱壁で囲んで形成された
チヤンバと、このチヤンバ内の温度を所定の高温
に維持するためチヤンバの内外に付設された環境
制御機構と、多数の電子部品を装着されその後端
にそのエツジ接続部を備えかつその隣接領域に数
種の電源への接続端子を有してチヤンバ内に並列
状に収容される複数の部品板と、部品板のエツジ
接続部と取外し可能に結合する部品板コネクタを
内側に有しかつチヤンバ外にある応力制御用クロ
ツク板の接続部と取外し可能に結合するクロツク
板コネクタを外側に有するチヤンバ内外の信号回
路用接続ユニツトと、部品板の各電源接続端子に
接続されるクリツプを内側に有しかつ外部の数種
の電源に接続される複数のバスバーを外側に有す
る電源接続ユニツトと、チヤンバの後壁を二重構
造としてその間の空洞内に前記部品板のエツジ接
続部と電源接続端子、信号回路用接続ユニツトの
部品板コネクタ及び電源接続ユニツトのクリツプ
を配置可能として内側の空洞カバー板と外側の空
洞基板により形成されたチヤンバ内温度の遮断機
構とより成り、前記空洞カバー板は、チヤンバの
両側壁に連結された空洞側の剛性リアパネルにチ
ヤンバ内の空間に面する剛性固定板が弾性ガスケ
ツトを挟んで取付けられて３層状をなしかつ前記
の各部品板のエツジ接続部と電源接続端子とをそ
れぞれ挿通可能に剛性のリアパネルと固定板には
スロツトを、弾性ガスケツトには開閉自在のスリ
ツトを互いに整列させて備え、また前記空洞基板
は、チヤンバの両側壁に連結されかつ適所にコネ
クタ及び電源クリツプ用の開口部を有する背板で
形成され、この開口部に前記接続ユニツトを複数
個有する母板ユニツトと電源接続ユニツトとがそ
れぞれ取付けられており、さらに母板ユニツトに
前記空洞内に位置した接続部材の劣化を防止する
ための低温ガスを通すガス供給機構が設けられて
いることを特徴とするバーンイン装置。