JPS6136574A - 流量調整弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は流量＋５１９１弁、特に全く漏れがなく、かつ
外部から微細な流量ｌｌ１ｉ整を行うことができる流量
調整弁に関するものである。

〔発明の背景〕

従来、流量の調整を行う場合１例えば特開昭４９−（１
７３２７号公報および同昭５１−４６２６号公報に示さ
れるように、Ｗ１磁コイルを用いた電磁弁が使用されて
いることは公知である。これらの電磁弁は、流路の構造
が複雑であり、かつ内部に任意数のよどみを生じ、しか
も分解しないで内部を完全に洗浄することが困難である
ばかりでなく、外部への貫通部を有するからシールを設
けているが、完全に漏洩を防止することは不可能である
。

〔発明の目的〕

本発明は上記１−かんがみ、外部への漏洩を皆無とし、
かつ外部から流量を微細に調整することができ、しかも
分解することなく内部を洗浄することができる流４ｉ調
整弁を提供するごとを目的とするものである。

〔発明の概要〕

本発明は上記目的を達成するため、非磁性のケーシング
内に収納され、かつ強磁性体を内蔵する浮子と、そのケ
ーシングの内の内側または外側に取付けた永久磁石と、
前記ケーシングの外側に取付けた制御電磁石および浮子
位置検出器とを備え。

この浮子位置検出器の出力により前記電磁石の電磁力を
調節し、浮子をケーシング内の任意の位置に保持して流
路面積を調整するようにしたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面について説明する。

第１図において、１は非磁性体で作られたケーシングで
、このケーシング１には空室ＩＡと、この空室ＩＡの両
＃（図では上・下部）に連通する流路ＩＣ，ＩＢが設け
られている。２は前記空室ＩＡ内に上下動可能に収納さ
れた砲弾状浮子で、この浮子２内の上部および中間部に
強磁性体ヨーク３および強磁性体コア（フェライトコア
）５Ａがそれぞれ取付けられると共に、浮子２の下端に
ヨーク４が取付けられている。５Ｂはケーシング１の外
側に前記コア５Ａと対向するように取付けられ、浮子２
の軸方向の位置を検出するセンサコイルで、このセンサ
コイル５ＢはコントローラｌＯに接続され、前記コア５
Ａと共に差動トランス、すなわち浮子位置検出器５を構
成している。

６．７は前記流路ＩＣの外側のケーシング１内壁に取付
けられた永久磁石およびヨークで、この永久磁石６はヨ
ーク７を介して浮子２の上部に取付けたヨーク３を常時
吸引している。８はケーシング１の下部に取付けられ、
コイル９を内蔵する制御電磁石で、そのコイル９はコン
トローラ１０に接続されている。

次に上記のような構成からなる本実施例の作用について
説明する。

浮子位に検出器５により検出された浮子２の位置情報は
コントローラ１０に入力され、この入力４ｎ号により制
御電磁石コイル９に流れる電流がコントロールされる。

これにより制御ｆｌ！磁石８が浮子２の下部に取付けら
れたヨーク４に及ぼす吸引力をｔｇ１減し、ケーシング
１の上部に設けた永久磁石２の吸引力とバランスする点
で、ケーシング１内の任意の位置に浮子２が浮上支持さ
れる。その結果、浮子２の位置によって、バルブシート
１２と浮子２の頂部との間の間隙（流路）１３は任意に
ＩＩＩＩＩされるので、その流路１３を流通する流量を
コントロールすることができる。

このコントロールの精度は前記間隙１３の調整精度によ
り決定されるが、これは浮子位置検出器５の精度によっ
て決まり、一般的にはμｍオーダでの１４ｖＩが可能で
ある。

本実施例によれば、外部との貫通部が全く存在しないた
め、流体が外部へ漏洩する恐れは全熱なく、かつ制御電
磁石８の電流コントロールにより。

微細な流量調整が可能である。また浮子２を第１図に示
すような砲弾状に形成すれば、ケーシング１と浮子２と
の間の流路を流れる流体に全くよどみを生ぜず、流体（
例えば薬液）を交換する際には、洗浄液を循環させるこ
とにより簡単に内部を洗浄することができる。

第２図は第２実施例を示したもので、この実施。

例はケーシング１の内側に一対のバルブシート１２ａ、
１２ｂを取付け、この両バルブシート１２ａ、１２ｂ間
に強磁性を有する球体からなる浮子２Ａを移動自在に設
け、この浮子２Ａに対向するケーシング１の外周面の上
部に制御電磁石８を、同下部に永久磁石６と浮子位置検
出器１４をそれぞれ取付け、その制御電磁石８のコイル
８ａおよび浮子位置検出器１４をコントローラ１ｏに接
続して構成されている。

上記のような構成からなる第２実施例の作用について説
明する。

制御電磁石８が作動していない時（消磁時）には、浮子
２Ａは下部の永久磁石６に吸引され、破線で示す開状態
に保持される。逆に制御電磁石８が作動している時（励
磁時）には、浮子２Ａは制＠１１１！磁石に吸引され実
線で示す閉状態に保持される。その浮子２Ａの浮上位置
は浮子位置検出器１４により検出さ九、この検出信号は
コントローラ１０に入力される。ついで、このコントロ
ーラｌＯからの出力信号により、制御１１１石８の吸引
力は１ｓ１１整されるので、浮子２Ａをケーシング１内
の任意の位置に非接触で浮上支持させることができる。

このため、浮子２Ａとバルブシート１２ａとの間に形成
される流路面積は変化するから流量をＷ３Ｓｉすること
が可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、浮子をケーシン
グ内に非接触で浮上支持することにより、外部との貫通
部が全く存在しないため、−外部への漏洩は皆無である
。また浮子の浮上位置をμｍｍオクタ検出器精度）で任
意にコントロールすることにより、浮子とバルブシート
間の流路面積を微細に調整できるから、微量の流量調整
が可能である。さらに、流路内によどみを生ずる恐れが
ないため、洗浄剤をｔＪａ環させることにより、分解す
ることなく内部洗浄を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の流量＠整弁の各実施例を
示す正面図である。 １・・・ケーシング、２，２Ａ・・・浮子、５．１４・
・・浮子位置検出器、５Ａ・・・強磁性体、６・・・永
久磁石、８・・・制御電磁石、１３・・・流路。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．非磁性のケーシング内に収納され、かつ強磁性体を
   内蔵する浮子と、そのケーシングの内側または外側に取
   付けた永久磁石と、前記ケーシングの外側に取付けた制
   御電磁石および浮子位置検出器とを備え、この浮子位置
   検出器の出力により前記制御電磁石の電磁力を調節し、
   浮子をケーシング内の任意の位置に保持して流路面積を
   調整するようにしたことを特徴とする流量調整弁。
2. ２．上記浮子は強磁性を有する球体からなることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の流量調整弁。