JPS6133868U - 気相成長装置 - Google Patents

気相成長装置

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JPS6133868U
JPS6133868U JP11723584U JP11723584U JPS6133868U JP S6133868 U JPS6133868 U JP S6133868U JP 11723584 U JP11723584 U JP 11723584U JP 11723584 U JP11723584 U JP 11723584U JP S6133868 U JPS6133868 U JP S6133868U
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JP
Japan
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bell jar
vapor phase
phase growth
arm
growth apparatus
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JP11723584U
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泰山 後藤
公弟 岩田
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示・丈もので、第１図１・・
・ベルジャー（反応室形成部材）７、２・・・基台、３
・・・被碑膜形成部材（ウェハー）、８・・・反応室、
９・・・昇降装置、１０・・・昇降軸、１Ｆ・・アーム
、１２・・・被支持部（保持枠）、１２ａ・・・嵌合部
、１３・・・係合部、１３ａ・・・位置合せ用の凹線”
部、１３ｂ・・・位二合せ用あ凸線部。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１） 基台およびこの上に載置されたべルジャーに
    よって被薄膜形成部材を収容する反応室を構成するとと
    もに前記反応室を開放すべくベルジャーを昇降装置によ
    って昇降きせるようにした気相成長装置であＰて、不ル
    ジャーの上方に伸びる前記昇降装置のアームとべルジャ
    ーの頂部に形成された被支持部とを、移動可能でかつ上
    下方向に隙間が生じるように形成された嵌合部によって
    遊嵌させ、前記アームの昇降動作に伴つてベルジャーを
    昇降させる構成としたことを特継とする気相成長装置。
  2. （２） アームとベルジャーに形成された被支持部の
    嵌合部との相左接竺部５アーム−と直角で水平＆ヨ伸び
    る位置合せ昂の凹凸騨部からなる係合部が形成されてい
    ることを特徴とする実用新案翠録請求の範囲第１項記載
    の気相成長装置。
JP11723584U 1984-07-31 1984-07-31 気相成長装置 Granted JPS6133868U (ja)

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JP11723584U JPS6133868U (ja) 1984-07-31 1984-07-31 気相成長装置

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JP11723584U JPS6133868U (ja) 1984-07-31 1984-07-31 気相成長装置

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JPS6133868U true JPS6133868U (ja) 1986-03-01
JPH017726Y2 JPH017726Y2 (ja) 1989-03-01

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