JPS6133868U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS6133868U JPS6133868U JP11723584U JP11723584U JPS6133868U JP S6133868 U JPS6133868 U JP S6133868U JP 11723584 U JP11723584 U JP 11723584U JP 11723584 U JP11723584 U JP 11723584U JP S6133868 U JPS6133868 U JP S6133868U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bell jar
- vapor phase
- phase growth
- arm
- growth apparatus
- Prior art date
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- Granted
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示・丈もので、第1図1・・
・ベルジャー(反応室形成部材)7、2・・・基台、3
・・・被碑膜形成部材(ウェハー)、8・・・反応室、
9・・・昇降装置、10・・・昇降軸、1F・・アーム
、12・・・被支持部(保持枠)、12a・・・嵌合部
、13・・・係合部、13a・・・位置合せ用の凹線”
部、13b・・・位二合せ用あ凸線部。
・ベルジャー(反応室形成部材)7、2・・・基台、3
・・・被碑膜形成部材(ウェハー)、8・・・反応室、
9・・・昇降装置、10・・・昇降軸、1F・・アーム
、12・・・被支持部(保持枠)、12a・・・嵌合部
、13・・・係合部、13a・・・位置合せ用の凹線”
部、13b・・・位二合せ用あ凸線部。
Claims (2)
- (1) 基台およびこの上に載置されたべルジャーに
よって被薄膜形成部材を収容する反応室を構成するとと
もに前記反応室を開放すべくベルジャーを昇降装置によ
って昇降きせるようにした気相成長装置であPて、不ル
ジャーの上方に伸びる前記昇降装置のアームとべルジャ
ーの頂部に形成された被支持部とを、移動可能でかつ上
下方向に隙間が生じるように形成された嵌合部によって
遊嵌させ、前記アームの昇降動作に伴つてベルジャーを
昇降させる構成としたことを特継とする気相成長装置。 - (2) アームとベルジャーに形成された被支持部の
嵌合部との相左接竺部5アーム−と直角で水平&ヨ伸び
る位置合せ昂の凹凸騨部からなる係合部が形成されてい
ることを特徴とする実用新案翠録請求の範囲第1項記載
の気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11723584U JPS6133868U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11723584U JPS6133868U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 気相成長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6133868U true JPS6133868U (ja) | 1986-03-01 |
JPH017726Y2 JPH017726Y2 (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=30676149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11723584U Granted JPS6133868U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6133868U (ja) |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11723584U patent/JPS6133868U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH017726Y2 (ja) | 1989-03-01 |
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