JPS6133435U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS6133435U JPS6133435U JP11730784U JP11730784U JPS6133435U JP S6133435 U JPS6133435 U JP S6133435U JP 11730784 U JP11730784 U JP 11730784U JP 11730784 U JP11730784 U JP 11730784U JP S6133435 U JPS6133435 U JP S6133435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- etching solution
- container
- etching
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例を示す構成図てある。
１・・・エッチング液のタンク、２・・・エッチング液
を放出するコック、３・・・基板水洗用シャワー、４・
・・エッチング用ガラス容器、５・・・ＧａＡｓ基板、
６・・・モーター、７・・・ヒーター、８・・・フラス
コ、９・・・真空ポンプ。
を放出するコック、３・・・基板水洗用シャワー、４・
・・エッチング用ガラス容器、５・・・ＧａＡｓ基板、
６・・・モーター、７・・・ヒーター、８・・・フラス
コ、９・・・真空ポンプ。
Claims (1)
- コツチング用容器に、半導体基板をエツチスグ液中で回
転させる回転機構と、容器内からエッチング液を急速に
廃棄するポンプ機構と、基板を水洗するシャワーと、エ
ッチング液温を一定にするヒータとを備えたことを特徴
とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730784U JPS6133435U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730784U JPS6133435U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133435U true JPS6133435U (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=30676221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11730784U Pending JPS6133435U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133435U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6431388U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-27 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11730784U patent/JPS6133435U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6431388U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-27 |
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