JPS6111155U - 基板現像機 - Google Patents

基板現像機

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JPS6111155U
JPS6111155U JP9556684U JP9556684U JPS6111155U JP S6111155 U JPS6111155 U JP S6111155U JP 9556684 U JP9556684 U JP 9556684U JP 9556684 U JP9556684 U JP 9556684U JP S6111155 U JPS6111155 U JP S6111155U
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JP
Japan
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substrate
developing machine
temperature
cleaning water
substrate developing
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JP9556684U
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JPH0249707Y2 (ja
Inventor
喜英 荒川
Original Assignee
日本コロムビア株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案の一実施例を示すブロック図である。 １・・・原盤、２・・・ノズル、３・・・温度検出器、
５・・・純水供給器、６・・・現像液タンク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板を回転させて、基板の上より現像液および、洗浄水
    を射出して現像し水洗する現像機において、常時基板の
    温度より第１の所定値だけ高い温度の洗浄水を供給する
    温度調節手段と、基板の温度が第２の所定値になると洗
    浄水の供給を停止する手段とを有する基板現像機。
JP9556684U 1984-06-26 1984-06-26 基板現像機 Granted JPS6111155U (ja)

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JP9556684U JPS6111155U (ja) 1984-06-26 1984-06-26 基板現像機

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JP9556684U JPS6111155U (ja) 1984-06-26 1984-06-26 基板現像機

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Publication Number Publication Date
JPS6111155U true JPS6111155U (ja) 1986-01-23
JPH0249707Y2 JPH0249707Y2 (ja) 1990-12-27

Family

ID=30654759

Family Applications (1)

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JP (1) JPS6111155U (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62244843A (ja) * 1986-04-15 1987-10-26 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62249852A (ja) * 1986-04-23 1987-10-30 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62250346A (ja) * 1986-04-23 1987-10-31 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62250347A (ja) * 1986-04-23 1987-10-31 Toyo Commun Equip Co Ltd カットシートの重送及び異種シート混入検出方式

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62244843A (ja) * 1986-04-15 1987-10-26 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62249852A (ja) * 1986-04-23 1987-10-30 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62250346A (ja) * 1986-04-23 1987-10-31 Toyo Commun Equip Co Ltd カツトシ−トの重送及び異種シ−ト混入検出方法
JPS62250347A (ja) * 1986-04-23 1987-10-31 Toyo Commun Equip Co Ltd カットシートの重送及び異種シート混入検出方式

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Publication number Publication date
JPH0249707Y2 (ja) 1990-12-27

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