JPS6083240U - スピン現像機 - Google Patents

スピン現像機

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Publication number
JPS6083240U
JPS6083240U JP17654083U JP17654083U JPS6083240U JP S6083240 U JPS6083240 U JP S6083240U JP 17654083 U JP17654083 U JP 17654083U JP 17654083 U JP17654083 U JP 17654083U JP S6083240 U JPS6083240 U JP S6083240U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
developing machine
spin
spin developing
spin chuck
lower cup
Prior art date
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Granted
Application number
JP17654083U
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English (en)
Other versions
JPH0132360Y2 (ja
Inventor
和也 渡辺
末武　幹雄
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスピン現像機要部の一部切欠した側面図
、第２図は本考案に係わるスピン現像機要部の一部切欠
した側面図である。 １・・・ウェハ、２．１２・・・スピンチャック、３・
・・現像液ノズル、４・・・二重管、５・・・現像液、
６，７・・・枝管、１３・・・下部カップ、１４．１７
・・・防水カバー、１５・・・給水管、１６・・・放出
口、１８・・・排水口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スピンチャックと、該スピンチャックに保持される試料
    に処理液を滴下する手段と、下部カップと、上記スピン
    チャックに向は恒温水を放水する手段とを具備すること
    を特徴とするスピン現嫌機。
JP17654083U 1983-11-15 1983-11-15 スピン現像機 Granted JPS6083240U (ja)

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JP17654083U JPS6083240U (ja) 1983-11-15 1983-11-15 スピン現像機

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JP17654083U JPS6083240U (ja) 1983-11-15 1983-11-15 スピン現像機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6083240U true JPS6083240U (ja) 1985-06-08
JPH0132360Y2 JPH0132360Y2 (ja) 1989-10-03

Family

ID=30383796

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17654083U Granted JPS6083240U (ja) 1983-11-15 1983-11-15 スピン現像機

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6178123A (ja) * 1984-09-26 1986-04-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の表面処理装置
JPS6373523A (ja) * 1986-09-16 1988-04-04 Daikin Ind Ltd レジスト現像方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5868749A (ja) * 1981-10-21 1983-04-23 Toshiba Corp レジスト現像装置
JPS58128441U (ja) * 1982-02-24 1983-08-31 富士通株式会社 現像装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5868749A (ja) * 1981-10-21 1983-04-23 Toshiba Corp レジスト現像装置
JPS58128441U (ja) * 1982-02-24 1983-08-31 富士通株式会社 現像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6178123A (ja) * 1984-09-26 1986-04-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の表面処理装置
JPS6373523A (ja) * 1986-09-16 1988-04-04 Daikin Ind Ltd レジスト現像方法

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Publication number Publication date
JPH0132360Y2 (ja) 1989-10-03

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