JPS6132915U - 位置検出機構 - Google Patents
位置検出機構Info
- Publication number
- JPS6132915U JPS6132915U JP11730284U JP11730284U JPS6132915U JP S6132915 U JPS6132915 U JP S6132915U JP 11730284 U JP11730284 U JP 11730284U JP 11730284 U JP11730284 U JP 11730284U JP S6132915 U JPS6132915 U JP S6132915U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feeding device
- workpiece
- sensor mechanism
- backward
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す側面図、第２図は平面
図、第３図は動作前の構成図、第４図はモータ、シリン
ダが動作した状態を示す構成図、第５図は最終的な動作
状態を示す構成図である。 １・・・・・・シリンダ、Ａ・・・・・・センサ機構、
２・・・・・・センサ、３・・・・・・センサ板、４・
・・・・・スライダ、５・・・・・・バネ、６・・・・
・・マガジン、７・・・・・・ワーク、８・・・・・・
エレベータ（送り装置）、９・・・・・・モータ、１０
・・・・・・制御手段。
図、第３図は動作前の構成図、第４図はモータ、シリン
ダが動作した状態を示す構成図、第５図は最終的な動作
状態を示す構成図である。 １・・・・・・シリンダ、Ａ・・・・・・センサ機構、
２・・・・・・センサ、３・・・・・・センサ板、４・
・・・・・スライダ、５・・・・・・バネ、６・・・・
・・マガジン、７・・・・・・ワーク、８・・・・・・
エレベータ（送り装置）、９・・・・・・モータ、１０
・・・・・・制御手段。
Claims (1)
- 基板、ウエハ等の複数個のワークを積み重ねて順次送り
を与える送り装置と、送り装置の送り方向に進退動し、
ワークの送出し基準位置で送り装置によって送り込まれ
たワークの位置を検出するセンサ機構と、ワークを支持
した送り装置を一旦後退させ、センサ機構を前進させて
ワークの送出し基準位置にセットし、その後送り装置を
センサ機構に向けて前進させ、前記基準位置にてワーク
をセンサ機構が検出することにより発せられる信号に基
づき送り装置を停止させ、次いでセンサ機構を後退させ
る制御機能を有する制御部とからなることを特徴とする
位置検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730284U JPS6132915U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 位置検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11730284U JPS6132915U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 位置検出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132915U true JPS6132915U (ja) | 1986-02-27 |
Family
ID=30676216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11730284U Pending JPS6132915U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 位置検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132915U (ja) |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11730284U patent/JPS6132915U/ja active Pending
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