JPS6131344A - セラミック配線基板の製造方法 - Google Patents
セラミック配線基板の製造方法Info
- Publication number
- JPS6131344A JPS6131344A JP59152926A JP15292684A JPS6131344A JP S6131344 A JPS6131344 A JP S6131344A JP 59152926 A JP59152926 A JP 59152926A JP 15292684 A JP15292684 A JP 15292684A JP S6131344 A JPS6131344 A JP S6131344A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- wiring
- fluorescent material
- wiring layer
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、グリーンシートの製造方法に関するものであ
る。
る。
近年、小型化、高信頼化、高性能化という点から、アル
ミナを主成分とするセラミック配線基板が電子部品や、
ＩＣチップ搭載用、高周波回路基板として広（用いられ
ている。このようなセラミック配線基板の製造方法は以
下の通りである。
ミナを主成分とするセラミック配線基板が電子部品や、
ＩＣチップ搭載用、高周波回路基板として広（用いられ
ている。このようなセラミック配線基板の製造方法は以
下の通りである。
セラミック配線基板の素材は、セラミック粉末を有機樹
脂で結合したグリーンシートと、タングステン、モリブ
デン等の高融点金属粉末を主成分とする導体ペースト、
およびグリーンシートと同じ組成のセラミック粉末から
なる絶縁ペーストである。セラミック配線基板の製造方
法は、＋１１グリーンシートに超硬ドリルまたは金型バ
ンチを使用し貫通孔を加工する、（２）スクリーン印刷
法で、上記グリーンシートの貫通孔に導体ペーストを充
填するとともに、配線バター／を形成する、必要ならば
絶縁ペーストを用いて絶縁層を形成したり配線を多層化
する、（３）上記配線パターンを形成したグリーンシー
トを積み重ね加熱圧着して一体化する、（４）上記で一
体化したものを所定温度で焼成してセラミック配線基板
を得る。
脂で結合したグリーンシートと、タングステン、モリブ
デン等の高融点金属粉末を主成分とする導体ペースト、
およびグリーンシートと同じ組成のセラミック粉末から
なる絶縁ペーストである。セラミック配線基板の製造方
法は、＋１１グリーンシートに超硬ドリルまたは金型バ
ンチを使用し貫通孔を加工する、（２）スクリーン印刷
法で、上記グリーンシートの貫通孔に導体ペーストを充
填するとともに、配線バター／を形成する、必要ならば
絶縁ペーストを用いて絶縁層を形成したり配線を多層化
する、（３）上記配線パターンを形成したグリーンシー
トを積み重ね加熱圧着して一体化する、（４）上記で一
体化したものを所定温度で焼成してセラミック配線基板
を得る。
これらのうち、グリーンシートは、セラミック原料粉末
、有機樹脂、可塑剤、有機溶剤をボールミルで十分混合
してスラリー状とし、続いてドクタープレイド型キャス
ティング装置を用いて薄板状に乾燥成形して作られる。
、有機樹脂、可塑剤、有機溶剤をボールミルで十分混合
してスラリー状とし、続いてドクタープレイド型キャス
ティング装置を用いて薄板状に乾燥成形して作られる。
ところで、セラミック配線基板の配線が高密炭化ととも
に、配線パターンも急速に微細化してきた。その結果、
配線パターンを印刷したグリーンシートの概観検査、特
に配線の断線や短絡の検査、を従来は目視で行ってきた
が、配線パターンの微細化に対応出来なくなり、検査の
自動化が現在盛んに進められている。そして、その検査
方法の原理は、光の反射、散乱を利用して、グリーンシ
ート上の配線パターンを検出する方法である。しかし、
光の反射、散乱はグリーンシートと同様、配線パターン
中のタングステン、モリブデン等の金１６４８子によっ
ても起こるため、配線パターンのみを明確に分離しにく
く、検査工程に長時間を要す、また誤検出が起こる等の
欠点がある。さらに、今後、増々微細化することが予想
される配線層パターンの検査に対し、上記の方法では追
従出来なくなることも考えられる。
に、配線パターンも急速に微細化してきた。その結果、
配線パターンを印刷したグリーンシートの概観検査、特
に配線の断線や短絡の検査、を従来は目視で行ってきた
が、配線パターンの微細化に対応出来なくなり、検査の
自動化が現在盛んに進められている。そして、その検査
方法の原理は、光の反射、散乱を利用して、グリーンシ
ート上の配線パターンを検出する方法である。しかし、
光の反射、散乱はグリーンシートと同様、配線パターン
中のタングステン、モリブデン等の金１６４８子によっ
ても起こるため、配線パターンのみを明確に分離しにく
く、検査工程に長時間を要す、また誤検出が起こる等の
欠点がある。さらに、今後、増々微細化することが予想
される配線層パターンの検査に対し、上記の方法では追
従出来なくなることも考えられる。
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を無くし、配
線層パターンの検査が容易なグリーンシートを提供する
ことにある。
線層パターンの検査が容易なグリーンシートを提供する
ことにある。
以下に本発明の概要について述べる。それは、配線層パ
ターンの検査を従来は可視光を用いて行なっていたのに
対し、グリーンシートに蛍光材料を混合することによっ
て、紫外線を用いて配線層パターンの検査を可能とした
ことにある。
ターンの検査を従来は可視光を用いて行なっていたのに
対し、グリーンシートに蛍光材料を混合することによっ
て、紫外線を用いて配線層パターンの検査を可能とした
ことにある。
すなわち、紫外線を配線層パターンを印刷したグリーン
シートに照射することにより、グリーンシート中の蛍光
材料から蛍光が発する。一方、印刷された配線層パター
ンからは蛍光が発しない。その結果、グリーンシート上
の配線層パターンの濃淡が明確になり、配線層パターン
の検査が容易になる。
シートに照射することにより、グリーンシート中の蛍光
材料から蛍光が発する。一方、印刷された配線層パター
ンからは蛍光が発しない。その結果、グリーンシート上
の配線層パターンの濃淡が明確になり、配線層パターン
の検査が容易になる。
以下、本発明の実施例について説明する。
始めに、従来法によるグリーンシートの製造方法につい
て述べる。
て述べる。
Ａｌｔｏｓを９１重量％、 ８１０！を６重量％、 Ｍ
ｔｏを５重量％の成分を有する粒径５μｍ以下のセラミ
ック粉末をＩ Ｋ９と、結合剤としてのブチラール樹脂
６０２、およびブチルフタリル・ブチルグリコレート等
の可塑剤を３０？、さらにトリクロルエチレン等のアル
コール類を混合した有機溶剤を０．５１を加え合わせ、
アルミナ製の内張り、およびアルミナ製ボールを用いた
ボールミルにて２４時間連続混合を行ない、スラリー状
の混合物を作る。続いて、得られたスラリー状の混合物
から、ドクター・プレイド型キャスティング装置を用い
て約１２０Ｃで乾燥し、厚さ０．２５ｍのグリーンシー
トを作製した。
ｔｏを５重量％の成分を有する粒径５μｍ以下のセラミ
ック粉末をＩ Ｋ９と、結合剤としてのブチラール樹脂
６０２、およびブチルフタリル・ブチルグリコレート等
の可塑剤を３０？、さらにトリクロルエチレン等のアル
コール類を混合した有機溶剤を０．５１を加え合わせ、
アルミナ製の内張り、およびアルミナ製ボールを用いた
ボールミルにて２４時間連続混合を行ない、スラリー状
の混合物を作る。続いて、得られたスラリー状の混合物
から、ドクター・プレイド型キャスティング装置を用い
て約１２０Ｃで乾燥し、厚さ０．２５ｍのグリーンシー
トを作製した。
次に、配線層パターンを形成するためのタングステン粉
末を用いたタングステンペーストの作製方法について述
べる。タングステン粉末として、０５μｍ粉末と３．０
μｍ粉末を重量比で６対７０割合で混合した粉末を８０
重量％、ペースト用バインダーとしてエチルセルロース
ヲ２．５ ｍ ８％、ジエチレングリコールを１７．５
重量％加え合わせ、アルミナ製の乳鉢と乳棒からなるら
いかい機で５時間混合する。続いて、この混合物を３本
ロールで３０分間混練する。次に、ブチルカルピトール
を加えて、粘度を調整し印刷用ペーストとする０ 続いて、本発明による、蛍光材料を添加したグリーンシ
ートの製造方法について述べる。従来のグリーンシート
の製造方法と異なる点は、ボールミル混合時に蛍光材料
を添加することである。本実施例では、一般的な蛍光材
料であるフルオレラセン粉末をセラミック粉末重量に対
し０．００１重量％加えて、蛍光材混合グリーンシート
を前述の従来法と同様の方法にて、厚さ０．２５調のグ
リーンシートを作製した。
末を用いたタングステンペーストの作製方法について述
べる。タングステン粉末として、０５μｍ粉末と３．０
μｍ粉末を重量比で６対７０割合で混合した粉末を８０
重量％、ペースト用バインダーとしてエチルセルロース
ヲ２．５ ｍ ８％、ジエチレングリコールを１７．５
重量％加え合わせ、アルミナ製の乳鉢と乳棒からなるら
いかい機で５時間混合する。続いて、この混合物を３本
ロールで３０分間混練する。次に、ブチルカルピトール
を加えて、粘度を調整し印刷用ペーストとする０ 続いて、本発明による、蛍光材料を添加したグリーンシ
ートの製造方法について述べる。従来のグリーンシート
の製造方法と異なる点は、ボールミル混合時に蛍光材料
を添加することである。本実施例では、一般的な蛍光材
料であるフルオレラセン粉末をセラミック粉末重量に対
し０．００１重量％加えて、蛍光材混合グリーンシート
を前述の従来法と同様の方法にて、厚さ０．２５調のグ
リーンシートを作製した。
次に、上記で作製したグリーンシート、および蛍光材料
混合グリーンシートを、外形寸法１００隔角に切断し、
配線印刷用のグリーンシートとした。続いて、上記で作
製したタングステンペーストを用い、スクリーン印刷法
にて二線幅０．１鵡のラインで構成した８０ｍ角の配線
層ノくターンを、グリーンシートおよび蛍光材料混合グ
リ−ンシート上に形成した。
混合グリーンシートを、外形寸法１００隔角に切断し、
配線印刷用のグリーンシートとした。続いて、上記で作
製したタングステンペーストを用い、スクリーン印刷法
にて二線幅０．１鵡のラインで構成した８０ｍ角の配線
層ノくターンを、グリーンシートおよび蛍光材料混合グ
リ−ンシート上に形成した。
このようにして、配線層パターンを形成したグリーンシ
ート、および蛍光材料混合グリーンシートについて、パ
ターン認識型検査装置を用いて配線パターンの検査を行
なった。検査条件は、蛍光材料混合グリーンシートでは
紫外線を、また従来のグリーンシートでは可視光を用い
た。
ート、および蛍光材料混合グリーンシートについて、パ
ターン認識型検査装置を用いて配線パターンの検査を行
なった。検査条件は、蛍光材料混合グリーンシートでは
紫外線を、また従来のグリーンシートでは可視光を用い
た。
測定用のサンプル数は、各グリーンシートとも１００枚
である。その結果を以下の表に示す。
である。その結果を以下の表に示す。
表
表から、明らかなように、蛍光材料混合グリーンシート
上の配線層パターンの検出精度が高いことがわかる。こ
れは、前述したように検出方法に、蛍光を用いるため、
グリーンシートと配線層パター／の分離度が高いためで
ある。
上の配線層パターンの検出精度が高いことがわかる。こ
れは、前述したように検出方法に、蛍光を用いるため、
グリーンシートと配線層パター／の分離度が高いためで
ある。
以上述べたように、本発明によれば、グリーンシートに
蛍光材料を添加するだけで、配線層パターンの検査が容
易になるグリーンシートを作製できる。
蛍光材料を添加するだけで、配線層パターンの検査が容
易になるグリーンシートを作製できる。
Claims (1)
- セラミック粉末を有機樹脂で結合してなるグリーンシー
トの製造方法において、蛍光材料を含むことを特徴とす
るグリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59152926A JPS6131344A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | セラミック配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59152926A JPS6131344A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | セラミック配線基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6131344A true JPS6131344A (ja) | 1986-02-13 |
| JPH0480865B2 JPH0480865B2 (ja) | 1992-12-21 |
Family
ID=15551159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59152926A Granted JPS6131344A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | セラミック配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6131344A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443278U (ja) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5876743A (ja) * | 1981-10-19 | 1983-05-09 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 残留ガラスの非破壊的検査方法 |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP59152926A patent/JPS6131344A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5876743A (ja) * | 1981-10-19 | 1983-05-09 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 残留ガラスの非破壊的検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443278U (ja) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0480865B2 (ja) | 1992-12-21 |
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