JPS6129847A - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

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JPS6129847A
JPS6129847A JP15176884A JP15176884A JPS6129847A JP S6129847 A JPS6129847 A JP S6129847A JP 15176884 A JP15176884 A JP 15176884A JP 15176884 A JP15176884 A JP 15176884A JP S6129847 A JPS6129847 A JP S6129847A
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JP
Japan
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layer
photoreceptor
conductive substrate
intermediate layer
charge
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JP15176884A
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Mochikiyo Oosawa
大澤 以清
Isao Doi
勲 土井
Toshiya Natsuhara
敏哉 夏原
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Minolta Co Ltd
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Minolta Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
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    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08214Silicon-based
    • G03G5/08235Silicon-based comprising three or four silicon-based layers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はグロー放電分解法により生成されるa−8i光
導電層を有する電子写真感光体に関するものである。
従来技術 a  Si及び/又はaSi:Geは、従来の感光体に
比べ環境汚染性、耐熱性、表面硬度、摩耗性、光感度特
性に優れている。特に、 a  Si/a−8i:Ge
積層型の場合、a−Si1:Cie層のエネルギーギャ
ンプがa  Siに比べ小さいため、長波長光に対する
吸収係数が増大し、その結果、光導電特性を長波長側に
延ばすとい)効果が期待できる。
しかしながら、逆にエネルギーギャンプが小さいだけに
aSi:Geの暗抵抗率もa  Siに比べると低く、
従って、a−8iにa−Si1:Geを積層した場合、
感光体としての電荷保持力が低下するという問題が生じ
る。また一方、長波長増感を目的とし、a−Si1にG
eを混入するに当り、まず、asi:Ge層厚一定の場
合、Ge低濃度では長波長光の吸収が不充分であるため
、あまり増感が期待できず、またGe高濃度では吸収が
充分ではあるものの、発生したキャリアのμτ積が減少
し、その結果、走行性の劣化を招く。逆に、Ge濃度一
定の場合も同様に、a−8i:Ge層厚が薄いと長波長
光の吸収が不充分であるため、あまり増感が期待できな
い。また、厚すぎると、吸収が充分ではあるものの、キ
ャリアのμτFがa−Si1:C:e層厚よりも小さく
なり、その結果、残留電位が上昇する。従って、最も有
効に長波長増感を図るため、Ge濃度とa−Si1:G
e層厚との間で最適設計を図る必要かある。
また、一方、 a−Si1、  a−Si1 : Ge
は暗抵抗率が低く、そのままでは電荷保持層を兼ねた光
導電層としては使用できないという欠点があるため、酸
素や炭素、窒素を含有させ、その暗抵抗率を向」−させ
ることが提案されているが(特開昭54、−14.55
39号公報、特開昭54.−145540号公報)、逆
に含有量の増加と共に光感度特性が劣化するという欠点
が生じ、その含有量にもかなりの制限を要する。このこ
とから、導電性基板」二に多量の酸素や窒素、炭素を含
む高抵抗のa−Si1層を形成し、導電性基板からの電
荷注入を阻止することにより、電荷保持力の向」二を図
る方法が提案されている(特開昭57−5218(1号
公報、特開昭57−58160号公報、特開昭57−6
3546号公報)。しかし、このような感光体の場合、
電荷保持力は向上するものの、導電性基板にに酸素や窒
素、炭素含有惜の多いa −Si1層が設けであるため
、光導電層において発生したキャリアか導電性基板側へ
抜は外れず、その結果、残留電位が」二昇し、画像上、
所謂′°カブリ゛が発生する。
発−明−の」げ剣 本発明は以」二の事実に鑑みて成されたもので、その目
的とするところは、光導電性、電荷保持性、表面硬度を
含む電子写真特性全般に優れ、特に光導電特性において
は、可視光領域はもとより、近赤外領域でも高感度の電
子写真感光体を提供することにある。
4町徊皓 本発明は、光導電層中に少なくともa−8i−:Ge 
(0,07≦dx2≦0.90、dはa−8i:Ge層
厚を示す)を含むa−Si1感光体において、該光導電
層と導電性基板との間に少なくとも酸素又は酸素と炭素
を含有し、更に帯電により導電性基板側に誘導される電
荷とは、逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したa−8i中間層を設けたことを特徴とする感光体
である。
本発明を第1図にもとづき詳細に説明する。
第1図は、本発明に係る感光体の構成を示し、少なくと
もa−8i を含む光導電層(4)中に、少なくともa
−Si1−:Ge  層(5)を含み、導電性基板(1
)との間に、少なくとも酸素を含有してなるa−8i 
中間層(2)、または少なくとも酸素と炭素を含有して
なるa−8i中間層(2)から成るものである。a−S
i1層中のa−8i:Cre層(5)の位置は任意であ
り、その両側または片側にa−8i層(3)および/ま
たは(6)を有していてもよい。
該中間層(2)は、例えばグロー放電分解法により、約
30人〜2μm、好適には5 (l −5rl 00人
、最適には100〜2 +100人の厚さに生成される
。中間層(2)は少なくとも酸素を含有し、更に帯電に
より導電性基板(1)側に誘導される電荷と逆極性の電
荷が多数キャリアとなるように極性調整されたもので、
a−(Si  O−)  I(X IX y ビy に極性調整の物質(好ましくは、正帯電の場合、硼素、
負帯電の場合、硼素あるいは燐)を添加してなるもので
ある。酸素の含有量は、約O0(’11〜4.Oat%
が好ましく、含有により中間層(2)の暗抵抗率が著し
く」−列し、導電性基板(1)からの電荷注入が有効に
防止される。また、導電性基板(1)との被覆性ならび
にレベリング化にも有効である。更に、導電性基板(1
)との接着性を向上させる一Lでも有効である。但し、
酸素のみの含有では残留電位が」−昇するため、本発明
では酸素に加えて極性調整物質、好ましくは正帯電の場
合、硼素を10〜20000ppm、負帯電の場合、硼
素を211ppmまで、又は燐を50ppmまで含有し
ている。極性調整物質の含有は、光導電層(4)で発生
するキャリアの導電性基板側への移動を許容し、残留電
位の」二昇を防止する。酸素含有量を約0゜01〜40
at%とするのは、+1.01at%以下では中間層の
高抵抗化が図れず、また40at%以」二では硼素含有
にもかかわらず、残留電位が−L昇し、画像カブリが発
生するためである。硼素又は燐の含有量は、帯電により
導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極性の電荷を多
数キャリアとするための含有量であり、また、硼素20
 (10(1ppm以」二、燐50ρplf1以上では
、感光体の電荷保持力が急激に低下する。
中間層(2)は酸素に加え少なくとも炭素を含有しても
よい。更に、帯電により導電性基板側(1)に誘導され
る電荷と逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したもので、a−(Si−1×−y CO)   Hに極性調整の物質(好ましく× y ビ
Z  z は、正帯電の場合硼素、負帯電の場合硼素あるいは燐)
を添加してなり、やはり同様の効果が得られる。炭素の
含有量は5〜60at%、酸素は40at%までで、こ
れらの含有により中間層の暗抵抗率が着しく上昇し、導
電性基板からの電荷注入を有効に防止する。また、導電
性基板(1)との被覆性とレベリング性が向」ニし、更
には接着性の向」二にも有効である。更に、極性調整物
質、好ましくは正帯電の場合、硼素を10〜20000
 ppm、負帯電の場合硼素を2(lppmまで、又は
燐を50ppmまで含有することにより、中間層におけ
るキャリアの移動をより容易とし、残留電位の−に昇を
防止する。炭素含有量を5〜60at%とする理由は、
5i1%以下では中間層の高抵抗化が図れず、主た60
a1%以」−では画像カブリが発生するためである。更
に酸素の含有量は4.Oat%以」二で、残留電位が」
二列し、画像カブリが発生する。硼素又は燐の含有量は
、帯電により導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極
性の電荷を多数キャリアとするための含有量であり、ま
た、硼素20000.ρl1111−に、燐50 pp
I++以−1−では、感光体の電荷保持力が急激に低下
するためである。
中間層(2)の上に形成される、少なくともa −Si
1 を含む光導電層(4)は、やはり同様に例えばグロ
ー放電分解法により、5〜100μ111、好ましくは
10〜60μmlこ生T&される。更に光導電層(4)
中にはa  (Si −Ge  )  H層(5)が1
 ×   ×  1−y   y少な(とも一層形成されている。層(5)は、その主
たる目的が長波長光に対するキャリアの発生であり、従
って、充分な吸収量を得るために100六〜20μm、
好ましくは0.5〜10μinに形成され、且つ、Ge
組成比にとの開には、0.07 ≦d×2 ≦ 0.9
0   ・・・・・・(1)(dは a  Sj  :
 Ge  層の厚さを示す)の関係が成り立つように設
定されている。これは長波長増感を目的としてa−Si
1  :Ge  層を1−x   x 積層する際の最も有効な設定条件を表わすものである。
即ちa−8i:Ge  層厚dが一定の場ビ×  × 合、Ge組成比Xが小さすぎる(dx2<0.07)と
長波長光の吸収が不充分であるため、あまり増感は期待
で外ず、逆にXが太きすぎる(dx2>0.90)と吸
収が充分ではあるものの、発生したキャリアのa−8i
  :Ge  層でのμτ積が減少し、1−X   X その結果、走行性が劣化する。又、Ge組成比×が一定
の場合も同様に、a−8i−:Ge  層厚dが薄すぎ
る(dx2<0.07)と、長波長光の吸収が不充分で
あるため、あまり増感は期待できず、逆にdが厚すぎる
(dx2> (’)、 9 (1)とキャリアのμτE
がa−8i−:Ge  層厚よりも小さく(μτE/E
/d<1 )なり、その結果、残留電位が一ヒ列する。
更にdに2が0.07より小さいと、長波長光が充分吸
収されず、その結果、光導電層内において干渉現象が発
生し、画像上不都合を生じる。
又、0.90以上では、電荷保持力が急激に減少する。
即ち、以」二のことから、aSi:Ge1−× の層厚dと、Ge組成比×の2乗との積に、」二記に示
す上限(=o、9o)及び下限(=0.07)を設けて
やることにより、a−8i   :Ge  層のビ× 
  × 最適化設計を図ることがで鰺る。又、a−8i:Ge層
全体が(1)式を満足すれば、光導電層(4)を多層に
設けてやってもよい。
以上の構成の感光体においては、必要に応じて、光導電
層(4)上に表面保護層として少なくとも炭素又は、炭
素及び酸素を含有してなるa−Si1 オーバー・コー
ト層を形成してもよい。
発を辺漿果 本発明によれば、光導電性、電荷保持性、表面硬度いず
れにおいても優れた電子写真感光体が得られる。特に可
視光領域および近赤外領域いずれにおいても高感度の電
子写真感光体を得ることができる。
発考事111〜3 常法に従いグロー放電によりa−Si1/a−Si1:
Ge型多層感光体を三種製造した。
各層の反応条件を表−1に示す。
表−1 感光体A、B、Cは各//a−8i:Ge層がdx2=
0.(145,(1,450,1,250となるように
、G e H=の仕込み量(G e H< / S i
 H4+G e H4)及びa−Si1:Ge層厚を設
定し作製したものである。各々の試料に対する静電特性
(D、D、Ro:暗滅貸率、L、D、C8:光減衰曲線
(777nm))を第2図に示す。
上記結果から明らかなごとく、dx2が大島<(0,0
45→0.4.50→1.250)なると電荷保持力が
低下し、更にr)、D、R,も増大する。特にdx2=
1.250となるようa−8i:Ge層を設定した感光
体Cの場合、その傾向が顕著である。
さらに、dx2=0 、045となるようa−9i:G
e層を設定した感光体Aの場合、電荷保持力、D、D、
R,共に実用上問題のないレベルにあるが、通常のp、
p、c、用a−8i感光体に比べ、あまり長波長感度は
向上せず、更に干渉現象による画像上の不都合が生じる
。一方、0.07≦dx2≦0.90内にa−8i:G
e層を設定した感光体B(dx2=0.450)の場合
、感光体Aに比べ電荷保持力、D、D、R,共にやや劣
化の傾向を示すが、長波長感度が向上し、更に干渉現象
による画像上の不都合も生じない。
火施L1および2 常法に従い表−2に示す条件で、二種の感光体りおよび
Eを製造した。感光体りは第1図に示すごとき構成であ
り、感光体Eは第1図のa−8i層(3)を有さず、a
−8i層(6)を厚くした態様である。
感光体D:  a−Si1/a−Si1 : Ge/a
−8i/a  S i(02>/ AI 感光体E:  a−8i/a−Si1 : Ge/a−
8i(0゜)/Aρ 表−2 感光体り、Eに対する静電特性(D、D、R,とり。
r)、C,)を第3図に示す。
第3図から明らかなごとく、感光体りおよびEは感光体
Bに比べ、導電性基板からの電荷の注入が有効に阻止で
きるため、電荷保持力が向上し、更にり、D、R,も回
復(小さくなる)する。長波長感度においても、感光体
B と略同程度と優れ、干渉現象に基づく画像」二の不
都合も全く生じない。
ス施tg都よび4 実施例1における感光体りの構成(第1図に示す構造)
において、a  5i(02)中間層(2)の02含有
量を増大したもの(感光体F)と、その感光体Fのa−
8i(02)中間層(2)Iこおける8 2H6量を増
大したもの(感光体G)を表−3に示す条件下に作製し
た。
感光体FおよびGに対する静電特性(D、D。
RoとL 、 D 、 C、)を第4図に示す。
=15− 表−3 第4図から明らかなごとく、電荷保持力及びり。
D、Roは、感光体FおよびG共に感光体りと略同程度
に優れているが、感光体Fの場合、残留電位が上昇し、
画像上刃ブリを生ずる。一方、感光体Fの中間層のB2
H6量を11000ppに増大した感光体Gの場合、残
留電位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に感
光体りと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象にもと
づく画像上の不都合も全く発生しない。
実施例5 実施例1における感光体りのa  5l(021層(第
1図(2))に代えて、表−4に示す条件でC+02系
a−8i中開層を設けたもの(感光体H)を作製した。
表−4 感光体I]に対する静電特性(D、l)、Roとり、D
C1)を第5図に示す。
第5図の結果から明らかなごとく、感光体Bに比べ、a
−Si1中間層を設けた感光体I」は、導電性基板から
の電荷の注入が有効に阻1にできるため、電荷保持力が
向−にL、更にり、D、R1も回復(小さくなる)する
。長波長感度においても、感光体Bと略同程度と優れ、
干渉現象に基づく画像上の不都合も全く生じない。
寒施億tぢ主計 実施例5における感光体I」の構成において、C+02
系a−Si1中開層の02含有量を増大したもの(感光
体I )と、その感光体■ の中間層におけるB 21
−16量を増大したもの(感光体、J )を表−5に示
す条件で作製した。
感光体T、Jに対する静電特性(D、D、R,と1−。
C0D、)を第5図に示す。
表−5 第5図から明らかなごとく、電荷保持力及びり。
D、Roは感光体■、J共に感光体I4と略同程度に優
れているが、感光体■の場合、残留電位が上昇し、画像
上刃ブリが生ずる。一方、感光体Iの中間層のB2H6
量を1500ppmに増大した感光体Jの場合、残留電
位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に、感光
体Hと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象に基づく
画像上の不都合も全く発生しない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明感光体の基本構成を示す図、第2図から
第5図は本発明感光体の静電特性を示すグラフである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、光導電層中に少なくともa−Si_1_−_x:G
    e_x(0.07≦dx^2≦0.90、dはa−Si
    :Ge層厚を示す)を含むa−Si感光体において、該
    光導電層と導電性基板との間に少なくとも酸素又は酸素
    と炭素を含有し、更に帯電により導電性基板側に誘導さ
    れる電荷とは逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極
    性調整したa−Si中間層を設けたことを特徴とする電
    子写真感光体。
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