JPS6129847A - 電子写真感光体 - Google Patents
電子写真感光体Info
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- JPS6129847A JPS6129847A JP15176884A JP15176884A JPS6129847A JP S6129847 A JPS6129847 A JP S6129847A JP 15176884 A JP15176884 A JP 15176884A JP 15176884 A JP15176884 A JP 15176884A JP S6129847 A JPS6129847 A JP S6129847A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract description 9
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 claims description 48
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 63
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 16
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010070834 Sensitisation Diseases 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000008313 sensitization Effects 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910008310 Si—Ge Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
-
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08214—Silicon-based
- G03G5/08235—Silicon-based comprising three or four silicon-based layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はグロー放電分解法により生成されるa−8i光
導電層を有する電子写真感光体に関するものである。
導電層を有する電子写真感光体に関するものである。
従来技術
a Si及び/又はaSi:Geは、従来の感光体に
比べ環境汚染性、耐熱性、表面硬度、摩耗性、光感度特
性に優れている。特に、 a Si/a−8i:Ge
積層型の場合、a−Si1:Cie層のエネルギーギャ
ンプがa Siに比べ小さいため、長波長光に対する
吸収係数が増大し、その結果、光導電特性を長波長側に
延ばすとい)効果が期待できる。
比べ環境汚染性、耐熱性、表面硬度、摩耗性、光感度特
性に優れている。特に、 a Si/a−8i:Ge
積層型の場合、a−Si1:Cie層のエネルギーギャ
ンプがa Siに比べ小さいため、長波長光に対する
吸収係数が増大し、その結果、光導電特性を長波長側に
延ばすとい)効果が期待できる。
しかしながら、逆にエネルギーギャンプが小さいだけに
aSi:Geの暗抵抗率もa Siに比べると低く、
従って、a−8iにa−Si1:Geを積層した場合、
感光体としての電荷保持力が低下するという問題が生じ
る。また一方、長波長増感を目的とし、a−Si1にG
eを混入するに当り、まず、asi:Ge層厚一定の場
合、Ge低濃度では長波長光の吸収が不充分であるため
、あまり増感が期待できず、またGe高濃度では吸収が
充分ではあるものの、発生したキャリアのμτ積が減少
し、その結果、走行性の劣化を招く。逆に、Ge濃度一
定の場合も同様に、a−8i:Ge層厚が薄いと長波長
光の吸収が不充分であるため、あまり増感が期待できな
い。また、厚すぎると、吸収が充分ではあるものの、キ
ャリアのμτFがa−Si1:C:e層厚よりも小さく
なり、その結果、残留電位が上昇する。従って、最も有
効に長波長増感を図るため、Ge濃度とa−Si1:G
e層厚との間で最適設計を図る必要かある。
aSi:Geの暗抵抗率もa Siに比べると低く、
従って、a−8iにa−Si1:Geを積層した場合、
感光体としての電荷保持力が低下するという問題が生じ
る。また一方、長波長増感を目的とし、a−Si1にG
eを混入するに当り、まず、asi:Ge層厚一定の場
合、Ge低濃度では長波長光の吸収が不充分であるため
、あまり増感が期待できず、またGe高濃度では吸収が
充分ではあるものの、発生したキャリアのμτ積が減少
し、その結果、走行性の劣化を招く。逆に、Ge濃度一
定の場合も同様に、a−8i:Ge層厚が薄いと長波長
光の吸収が不充分であるため、あまり増感が期待できな
い。また、厚すぎると、吸収が充分ではあるものの、キ
ャリアのμτFがa−Si1:C:e層厚よりも小さく
なり、その結果、残留電位が上昇する。従って、最も有
効に長波長増感を図るため、Ge濃度とa−Si1:G
e層厚との間で最適設計を図る必要かある。
また、一方、 a−Si1、 a−Si1 : Ge
は暗抵抗率が低く、そのままでは電荷保持層を兼ねた光
導電層としては使用できないという欠点があるため、酸
素や炭素、窒素を含有させ、その暗抵抗率を向」−させ
ることが提案されているが(特開昭54、−14.55
39号公報、特開昭54.−145540号公報)、逆
に含有量の増加と共に光感度特性が劣化するという欠点
が生じ、その含有量にもかなりの制限を要する。このこ
とから、導電性基板」二に多量の酸素や窒素、炭素を含
む高抵抗のa−Si1層を形成し、導電性基板からの電
荷注入を阻止することにより、電荷保持力の向」二を図
る方法が提案されている(特開昭57−5218(1号
公報、特開昭57−58160号公報、特開昭57−6
3546号公報)。しかし、このような感光体の場合、
電荷保持力は向上するものの、導電性基板にに酸素や窒
素、炭素含有惜の多いa −Si1層が設けであるため
、光導電層において発生したキャリアか導電性基板側へ
抜は外れず、その結果、残留電位が」二昇し、画像上、
所謂′°カブリ゛が発生する。
は暗抵抗率が低く、そのままでは電荷保持層を兼ねた光
導電層としては使用できないという欠点があるため、酸
素や炭素、窒素を含有させ、その暗抵抗率を向」−させ
ることが提案されているが(特開昭54、−14.55
39号公報、特開昭54.−145540号公報)、逆
に含有量の増加と共に光感度特性が劣化するという欠点
が生じ、その含有量にもかなりの制限を要する。このこ
とから、導電性基板」二に多量の酸素や窒素、炭素を含
む高抵抗のa−Si1層を形成し、導電性基板からの電
荷注入を阻止することにより、電荷保持力の向」二を図
る方法が提案されている(特開昭57−5218(1号
公報、特開昭57−58160号公報、特開昭57−6
3546号公報)。しかし、このような感光体の場合、
電荷保持力は向上するものの、導電性基板にに酸素や窒
素、炭素含有惜の多いa −Si1層が設けであるため
、光導電層において発生したキャリアか導電性基板側へ
抜は外れず、その結果、残留電位が」二昇し、画像上、
所謂′°カブリ゛が発生する。
発−明−の」げ剣
本発明は以」二の事実に鑑みて成されたもので、その目
的とするところは、光導電性、電荷保持性、表面硬度を
含む電子写真特性全般に優れ、特に光導電特性において
は、可視光領域はもとより、近赤外領域でも高感度の電
子写真感光体を提供することにある。
的とするところは、光導電性、電荷保持性、表面硬度を
含む電子写真特性全般に優れ、特に光導電特性において
は、可視光領域はもとより、近赤外領域でも高感度の電
子写真感光体を提供することにある。
4町徊皓
本発明は、光導電層中に少なくともa−8i−:Ge
(0,07≦dx2≦0.90、dはa−8i:Ge層
厚を示す)を含むa−Si1感光体において、該光導電
層と導電性基板との間に少なくとも酸素又は酸素と炭素
を含有し、更に帯電により導電性基板側に誘導される電
荷とは、逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したa−8i中間層を設けたことを特徴とする感光体
である。
(0,07≦dx2≦0.90、dはa−8i:Ge層
厚を示す)を含むa−Si1感光体において、該光導電
層と導電性基板との間に少なくとも酸素又は酸素と炭素
を含有し、更に帯電により導電性基板側に誘導される電
荷とは、逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したa−8i中間層を設けたことを特徴とする感光体
である。
本発明を第1図にもとづき詳細に説明する。
第1図は、本発明に係る感光体の構成を示し、少なくと
もa−8i を含む光導電層(4)中に、少なくともa
−Si1−:Ge 層(5)を含み、導電性基板(1
)との間に、少なくとも酸素を含有してなるa−8i
中間層(2)、または少なくとも酸素と炭素を含有して
なるa−8i中間層(2)から成るものである。a−S
i1層中のa−8i:Cre層(5)の位置は任意であ
り、その両側または片側にa−8i層(3)および/ま
たは(6)を有していてもよい。
もa−8i を含む光導電層(4)中に、少なくともa
−Si1−:Ge 層(5)を含み、導電性基板(1
)との間に、少なくとも酸素を含有してなるa−8i
中間層(2)、または少なくとも酸素と炭素を含有して
なるa−8i中間層(2)から成るものである。a−S
i1層中のa−8i:Cre層(5)の位置は任意であ
り、その両側または片側にa−8i層(3)および/ま
たは(6)を有していてもよい。
該中間層(2)は、例えばグロー放電分解法により、約
30人〜2μm、好適には5 (l −5rl 00人
、最適には100〜2 +100人の厚さに生成される
。中間層(2)は少なくとも酸素を含有し、更に帯電に
より導電性基板(1)側に誘導される電荷と逆極性の電
荷が多数キャリアとなるように極性調整されたもので、
a−(Si O−) I(X IX y ビy に極性調整の物質(好ましくは、正帯電の場合、硼素、
負帯電の場合、硼素あるいは燐)を添加してなるもので
ある。酸素の含有量は、約O0(’11〜4.Oat%
が好ましく、含有により中間層(2)の暗抵抗率が著し
く」−列し、導電性基板(1)からの電荷注入が有効に
防止される。また、導電性基板(1)との被覆性ならび
にレベリング化にも有効である。更に、導電性基板(1
)との接着性を向上させる一Lでも有効である。但し、
酸素のみの含有では残留電位が」−昇するため、本発明
では酸素に加えて極性調整物質、好ましくは正帯電の場
合、硼素を10〜20000ppm、負帯電の場合、硼
素を211ppmまで、又は燐を50ppmまで含有し
ている。極性調整物質の含有は、光導電層(4)で発生
するキャリアの導電性基板側への移動を許容し、残留電
位の」二昇を防止する。酸素含有量を約0゜01〜40
at%とするのは、+1.01at%以下では中間層の
高抵抗化が図れず、また40at%以」二では硼素含有
にもかかわらず、残留電位が−L昇し、画像カブリが発
生するためである。硼素又は燐の含有量は、帯電により
導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極性の電荷を多
数キャリアとするための含有量であり、また、硼素20
(10(1ppm以」二、燐50ρplf1以上では
、感光体の電荷保持力が急激に低下する。
30人〜2μm、好適には5 (l −5rl 00人
、最適には100〜2 +100人の厚さに生成される
。中間層(2)は少なくとも酸素を含有し、更に帯電に
より導電性基板(1)側に誘導される電荷と逆極性の電
荷が多数キャリアとなるように極性調整されたもので、
a−(Si O−) I(X IX y ビy に極性調整の物質(好ましくは、正帯電の場合、硼素、
負帯電の場合、硼素あるいは燐)を添加してなるもので
ある。酸素の含有量は、約O0(’11〜4.Oat%
が好ましく、含有により中間層(2)の暗抵抗率が著し
く」−列し、導電性基板(1)からの電荷注入が有効に
防止される。また、導電性基板(1)との被覆性ならび
にレベリング化にも有効である。更に、導電性基板(1
)との接着性を向上させる一Lでも有効である。但し、
酸素のみの含有では残留電位が」−昇するため、本発明
では酸素に加えて極性調整物質、好ましくは正帯電の場
合、硼素を10〜20000ppm、負帯電の場合、硼
素を211ppmまで、又は燐を50ppmまで含有し
ている。極性調整物質の含有は、光導電層(4)で発生
するキャリアの導電性基板側への移動を許容し、残留電
位の」二昇を防止する。酸素含有量を約0゜01〜40
at%とするのは、+1.01at%以下では中間層の
高抵抗化が図れず、また40at%以」二では硼素含有
にもかかわらず、残留電位が−L昇し、画像カブリが発
生するためである。硼素又は燐の含有量は、帯電により
導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極性の電荷を多
数キャリアとするための含有量であり、また、硼素20
(10(1ppm以」二、燐50ρplf1以上では
、感光体の電荷保持力が急激に低下する。
中間層(2)は酸素に加え少なくとも炭素を含有しても
よい。更に、帯電により導電性基板側(1)に誘導され
る電荷と逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したもので、a−(Si−1×−y CO) Hに極性調整の物質(好ましく× y ビ
Z z は、正帯電の場合硼素、負帯電の場合硼素あるいは燐)
を添加してなり、やはり同様の効果が得られる。炭素の
含有量は5〜60at%、酸素は40at%までで、こ
れらの含有により中間層の暗抵抗率が着しく上昇し、導
電性基板からの電荷注入を有効に防止する。また、導電
性基板(1)との被覆性とレベリング性が向」ニし、更
には接着性の向」二にも有効である。更に、極性調整物
質、好ましくは正帯電の場合、硼素を10〜20000
ppm、負帯電の場合硼素を2(lppmまで、又は
燐を50ppmまで含有することにより、中間層におけ
るキャリアの移動をより容易とし、残留電位の−に昇を
防止する。炭素含有量を5〜60at%とする理由は、
5i1%以下では中間層の高抵抗化が図れず、主た60
a1%以」−では画像カブリが発生するためである。更
に酸素の含有量は4.Oat%以」二で、残留電位が」
二列し、画像カブリが発生する。硼素又は燐の含有量は
、帯電により導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極
性の電荷を多数キャリアとするための含有量であり、ま
た、硼素20000.ρl1111−に、燐50 pp
I++以−1−では、感光体の電荷保持力が急激に低下
するためである。
よい。更に、帯電により導電性基板側(1)に誘導され
る電荷と逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極性調
整したもので、a−(Si−1×−y CO) Hに極性調整の物質(好ましく× y ビ
Z z は、正帯電の場合硼素、負帯電の場合硼素あるいは燐)
を添加してなり、やはり同様の効果が得られる。炭素の
含有量は5〜60at%、酸素は40at%までで、こ
れらの含有により中間層の暗抵抗率が着しく上昇し、導
電性基板からの電荷注入を有効に防止する。また、導電
性基板(1)との被覆性とレベリング性が向」ニし、更
には接着性の向」二にも有効である。更に、極性調整物
質、好ましくは正帯電の場合、硼素を10〜20000
ppm、負帯電の場合硼素を2(lppmまで、又は
燐を50ppmまで含有することにより、中間層におけ
るキャリアの移動をより容易とし、残留電位の−に昇を
防止する。炭素含有量を5〜60at%とする理由は、
5i1%以下では中間層の高抵抗化が図れず、主た60
a1%以」−では画像カブリが発生するためである。更
に酸素の含有量は4.Oat%以」二で、残留電位が」
二列し、画像カブリが発生する。硼素又は燐の含有量は
、帯電により導電性基板側に誘導される電荷とは、逆極
性の電荷を多数キャリアとするための含有量であり、ま
た、硼素20000.ρl1111−に、燐50 pp
I++以−1−では、感光体の電荷保持力が急激に低下
するためである。
中間層(2)の上に形成される、少なくともa −Si
1 を含む光導電層(4)は、やはり同様に例えばグロ
ー放電分解法により、5〜100μ111、好ましくは
10〜60μmlこ生T&される。更に光導電層(4)
中にはa (Si −Ge ) H層(5)が1
× × 1−y y少な(とも一層形成されている。層(5)は、その主
たる目的が長波長光に対するキャリアの発生であり、従
って、充分な吸収量を得るために100六〜20μm、
好ましくは0.5〜10μinに形成され、且つ、Ge
組成比にとの開には、0.07 ≦d×2 ≦ 0.9
0 ・・・・・・(1)(dは a Sj :
Ge 層の厚さを示す)の関係が成り立つように設
定されている。これは長波長増感を目的としてa−Si
1 :Ge 層を1−x x 積層する際の最も有効な設定条件を表わすものである。
1 を含む光導電層(4)は、やはり同様に例えばグロ
ー放電分解法により、5〜100μ111、好ましくは
10〜60μmlこ生T&される。更に光導電層(4)
中にはa (Si −Ge ) H層(5)が1
× × 1−y y少な(とも一層形成されている。層(5)は、その主
たる目的が長波長光に対するキャリアの発生であり、従
って、充分な吸収量を得るために100六〜20μm、
好ましくは0.5〜10μinに形成され、且つ、Ge
組成比にとの開には、0.07 ≦d×2 ≦ 0.9
0 ・・・・・・(1)(dは a Sj :
Ge 層の厚さを示す)の関係が成り立つように設
定されている。これは長波長増感を目的としてa−Si
1 :Ge 層を1−x x 積層する際の最も有効な設定条件を表わすものである。
即ちa−8i:Ge 層厚dが一定の場ビ× ×
合、Ge組成比Xが小さすぎる(dx2<0.07)と
長波長光の吸収が不充分であるため、あまり増感は期待
で外ず、逆にXが太きすぎる(dx2>0.90)と吸
収が充分ではあるものの、発生したキャリアのa−8i
:Ge 層でのμτ積が減少し、1−X X その結果、走行性が劣化する。又、Ge組成比×が一定
の場合も同様に、a−8i−:Ge 層厚dが薄すぎ
る(dx2<0.07)と、長波長光の吸収が不充分で
あるため、あまり増感は期待できず、逆にdが厚すぎる
(dx2> (’)、 9 (1)とキャリアのμτE
がa−8i−:Ge 層厚よりも小さく(μτE/E
/d<1 )なり、その結果、残留電位が一ヒ列する。
長波長光の吸収が不充分であるため、あまり増感は期待
で外ず、逆にXが太きすぎる(dx2>0.90)と吸
収が充分ではあるものの、発生したキャリアのa−8i
:Ge 層でのμτ積が減少し、1−X X その結果、走行性が劣化する。又、Ge組成比×が一定
の場合も同様に、a−8i−:Ge 層厚dが薄すぎ
る(dx2<0.07)と、長波長光の吸収が不充分で
あるため、あまり増感は期待できず、逆にdが厚すぎる
(dx2> (’)、 9 (1)とキャリアのμτE
がa−8i−:Ge 層厚よりも小さく(μτE/E
/d<1 )なり、その結果、残留電位が一ヒ列する。
更にdに2が0.07より小さいと、長波長光が充分吸
収されず、その結果、光導電層内において干渉現象が発
生し、画像上不都合を生じる。
収されず、その結果、光導電層内において干渉現象が発
生し、画像上不都合を生じる。
又、0.90以上では、電荷保持力が急激に減少する。
即ち、以」二のことから、aSi:Ge1−×
の層厚dと、Ge組成比×の2乗との積に、」二記に示
す上限(=o、9o)及び下限(=0.07)を設けて
やることにより、a−8i :Ge 層のビ×
× 最適化設計を図ることがで鰺る。又、a−8i:Ge層
全体が(1)式を満足すれば、光導電層(4)を多層に
設けてやってもよい。
す上限(=o、9o)及び下限(=0.07)を設けて
やることにより、a−8i :Ge 層のビ×
× 最適化設計を図ることがで鰺る。又、a−8i:Ge層
全体が(1)式を満足すれば、光導電層(4)を多層に
設けてやってもよい。
以上の構成の感光体においては、必要に応じて、光導電
層(4)上に表面保護層として少なくとも炭素又は、炭
素及び酸素を含有してなるa−Si1 オーバー・コー
ト層を形成してもよい。
層(4)上に表面保護層として少なくとも炭素又は、炭
素及び酸素を含有してなるa−Si1 オーバー・コー
ト層を形成してもよい。
発を辺漿果
本発明によれば、光導電性、電荷保持性、表面硬度いず
れにおいても優れた電子写真感光体が得られる。特に可
視光領域および近赤外領域いずれにおいても高感度の電
子写真感光体を得ることができる。
れにおいても優れた電子写真感光体が得られる。特に可
視光領域および近赤外領域いずれにおいても高感度の電
子写真感光体を得ることができる。
発考事111〜3
常法に従いグロー放電によりa−Si1/a−Si1:
Ge型多層感光体を三種製造した。
Ge型多層感光体を三種製造した。
各層の反応条件を表−1に示す。
表−1
感光体A、B、Cは各//a−8i:Ge層がdx2=
0.(145,(1,450,1,250となるように
、G e H=の仕込み量(G e H< / S i
H4+G e H4)及びa−Si1:Ge層厚を設
定し作製したものである。各々の試料に対する静電特性
(D、D、Ro:暗滅貸率、L、D、C8:光減衰曲線
(777nm))を第2図に示す。
0.(145,(1,450,1,250となるように
、G e H=の仕込み量(G e H< / S i
H4+G e H4)及びa−Si1:Ge層厚を設
定し作製したものである。各々の試料に対する静電特性
(D、D、Ro:暗滅貸率、L、D、C8:光減衰曲線
(777nm))を第2図に示す。
上記結果から明らかなごとく、dx2が大島<(0,0
45→0.4.50→1.250)なると電荷保持力が
低下し、更にr)、D、R,も増大する。特にdx2=
1.250となるようa−8i:Ge層を設定した感光
体Cの場合、その傾向が顕著である。
45→0.4.50→1.250)なると電荷保持力が
低下し、更にr)、D、R,も増大する。特にdx2=
1.250となるようa−8i:Ge層を設定した感光
体Cの場合、その傾向が顕著である。
さらに、dx2=0 、045となるようa−9i:G
e層を設定した感光体Aの場合、電荷保持力、D、D、
R,共に実用上問題のないレベルにあるが、通常のp、
p、c、用a−8i感光体に比べ、あまり長波長感度は
向上せず、更に干渉現象による画像上の不都合が生じる
。一方、0.07≦dx2≦0.90内にa−8i:G
e層を設定した感光体B(dx2=0.450)の場合
、感光体Aに比べ電荷保持力、D、D、R,共にやや劣
化の傾向を示すが、長波長感度が向上し、更に干渉現象
による画像上の不都合も生じない。
e層を設定した感光体Aの場合、電荷保持力、D、D、
R,共に実用上問題のないレベルにあるが、通常のp、
p、c、用a−8i感光体に比べ、あまり長波長感度は
向上せず、更に干渉現象による画像上の不都合が生じる
。一方、0.07≦dx2≦0.90内にa−8i:G
e層を設定した感光体B(dx2=0.450)の場合
、感光体Aに比べ電荷保持力、D、D、R,共にやや劣
化の傾向を示すが、長波長感度が向上し、更に干渉現象
による画像上の不都合も生じない。
火施L1および2
常法に従い表−2に示す条件で、二種の感光体りおよび
Eを製造した。感光体りは第1図に示すごとき構成であ
り、感光体Eは第1図のa−8i層(3)を有さず、a
−8i層(6)を厚くした態様である。
Eを製造した。感光体りは第1図に示すごとき構成であ
り、感光体Eは第1図のa−8i層(3)を有さず、a
−8i層(6)を厚くした態様である。
感光体D: a−Si1/a−Si1 : Ge/a
−8i/a S i(02>/ AI 感光体E: a−8i/a−Si1 : Ge/a−
8i(0゜)/Aρ 表−2 感光体り、Eに対する静電特性(D、D、R,とり。
−8i/a S i(02>/ AI 感光体E: a−8i/a−Si1 : Ge/a−
8i(0゜)/Aρ 表−2 感光体り、Eに対する静電特性(D、D、R,とり。
r)、C,)を第3図に示す。
第3図から明らかなごとく、感光体りおよびEは感光体
Bに比べ、導電性基板からの電荷の注入が有効に阻止で
きるため、電荷保持力が向上し、更にり、D、R,も回
復(小さくなる)する。長波長感度においても、感光体
B と略同程度と優れ、干渉現象に基づく画像」二の不
都合も全く生じない。
Bに比べ、導電性基板からの電荷の注入が有効に阻止で
きるため、電荷保持力が向上し、更にり、D、R,も回
復(小さくなる)する。長波長感度においても、感光体
B と略同程度と優れ、干渉現象に基づく画像」二の不
都合も全く生じない。
ス施tg都よび4
実施例1における感光体りの構成(第1図に示す構造)
において、a 5i(02)中間層(2)の02含有
量を増大したもの(感光体F)と、その感光体Fのa−
8i(02)中間層(2)Iこおける8 2H6量を増
大したもの(感光体G)を表−3に示す条件下に作製し
た。
において、a 5i(02)中間層(2)の02含有
量を増大したもの(感光体F)と、その感光体Fのa−
8i(02)中間層(2)Iこおける8 2H6量を増
大したもの(感光体G)を表−3に示す条件下に作製し
た。
感光体FおよびGに対する静電特性(D、D。
RoとL 、 D 、 C、)を第4図に示す。
=15−
表−3
第4図から明らかなごとく、電荷保持力及びり。
D、Roは、感光体FおよびG共に感光体りと略同程度
に優れているが、感光体Fの場合、残留電位が上昇し、
画像上刃ブリを生ずる。一方、感光体Fの中間層のB2
H6量を11000ppに増大した感光体Gの場合、残
留電位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に感
光体りと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象にもと
づく画像上の不都合も全く発生しない。
に優れているが、感光体Fの場合、残留電位が上昇し、
画像上刃ブリを生ずる。一方、感光体Fの中間層のB2
H6量を11000ppに増大した感光体Gの場合、残
留電位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に感
光体りと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象にもと
づく画像上の不都合も全く発生しない。
実施例5
実施例1における感光体りのa 5l(021層(第
1図(2))に代えて、表−4に示す条件でC+02系
a−8i中開層を設けたもの(感光体H)を作製した。
1図(2))に代えて、表−4に示す条件でC+02系
a−8i中開層を設けたもの(感光体H)を作製した。
表−4
感光体I]に対する静電特性(D、l)、Roとり、D
。
。
C1)を第5図に示す。
第5図の結果から明らかなごとく、感光体Bに比べ、a
−Si1中間層を設けた感光体I」は、導電性基板から
の電荷の注入が有効に阻1にできるため、電荷保持力が
向−にL、更にり、D、R1も回復(小さくなる)する
。長波長感度においても、感光体Bと略同程度と優れ、
干渉現象に基づく画像上の不都合も全く生じない。
−Si1中間層を設けた感光体I」は、導電性基板から
の電荷の注入が有効に阻1にできるため、電荷保持力が
向−にL、更にり、D、R1も回復(小さくなる)する
。長波長感度においても、感光体Bと略同程度と優れ、
干渉現象に基づく画像上の不都合も全く生じない。
寒施億tぢ主計
実施例5における感光体I」の構成において、C+02
系a−Si1中開層の02含有量を増大したもの(感光
体I )と、その感光体■ の中間層におけるB 21
−16量を増大したもの(感光体、J )を表−5に示
す条件で作製した。
系a−Si1中開層の02含有量を増大したもの(感光
体I )と、その感光体■ の中間層におけるB 21
−16量を増大したもの(感光体、J )を表−5に示
す条件で作製した。
感光体T、Jに対する静電特性(D、D、R,と1−。
C0D、)を第5図に示す。
表−5
第5図から明らかなごとく、電荷保持力及びり。
D、Roは感光体■、J共に感光体I4と略同程度に優
れているが、感光体■の場合、残留電位が上昇し、画像
上刃ブリが生ずる。一方、感光体Iの中間層のB2H6
量を1500ppmに増大した感光体Jの場合、残留電
位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に、感光
体Hと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象に基づく
画像上の不都合も全く発生しない。
れているが、感光体■の場合、残留電位が上昇し、画像
上刃ブリが生ずる。一方、感光体Iの中間層のB2H6
量を1500ppmに増大した感光体Jの場合、残留電
位も実用上問題のないレベルにまで減少し、更に、感光
体Hと略同程度に長波長感度に優れ、干渉現象に基づく
画像上の不都合も全く発生しない。
第1図は本発明感光体の基本構成を示す図、第2図から
第5図は本発明感光体の静電特性を示すグラフである。
第5図は本発明感光体の静電特性を示すグラフである。
Claims (1)
- 1、光導電層中に少なくともa−Si_1_−_x:G
e_x(0.07≦dx^2≦0.90、dはa−Si
:Ge層厚を示す)を含むa−Si感光体において、該
光導電層と導電性基板との間に少なくとも酸素又は酸素
と炭素を含有し、更に帯電により導電性基板側に誘導さ
れる電荷とは逆極性の電荷が多数キャリアとなるよう極
性調整したa−Si中間層を設けたことを特徴とする電
子写真感光体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15176884A JPS6129847A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 電子写真感光体 |
US06/753,586 US4686164A (en) | 1984-07-20 | 1985-07-10 | Electrophotosensitive member with multiple layers of amorphous silicon |
DE19853525908 DE3525908A1 (de) | 1984-07-20 | 1985-07-19 | Lichtempfindliches element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15176884A JPS6129847A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 電子写真感光体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6129847A true JPS6129847A (ja) | 1986-02-10 |
Family
ID=15525866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15176884A Pending JPS6129847A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 電子写真感光体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4686164A (ja) |
JP (1) | JPS6129847A (ja) |
DE (1) | DE3525908A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625255A (ja) * | 1985-07-01 | 1987-01-12 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
US4749636A (en) * | 1985-09-13 | 1988-06-07 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
US4741982A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-03 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having undercoat layer of amorphous carbon |
US5166018A (en) * | 1985-09-13 | 1992-11-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
US4743522A (en) * | 1985-09-13 | 1988-05-10 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member with hydrogen-containing carbon layer |
US4738912A (en) * | 1985-09-13 | 1988-04-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member having an amorphous carbon transport layer |
JPH0670717B2 (ja) * | 1986-04-18 | 1994-09-07 | 株式会社日立製作所 | 電子写真感光体 |
JPS62289848A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-16 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
US5000831A (en) * | 1987-03-09 | 1991-03-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Method of production of amorphous hydrogenated carbon layer |
US20070059616A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Xerox Corporation | Coated substrate for photoreceptor |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4471042A (en) * | 1978-05-04 | 1984-09-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Image-forming member for electrophotography comprising hydrogenated amorphous matrix of silicon and/or germanium |
US4394426A (en) * | 1980-09-25 | 1983-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoconductive member with α-Si(N) barrier layer |
US4409308A (en) * | 1980-10-03 | 1983-10-11 | Canon Kabuskiki Kaisha | Photoconductive member with two amorphous silicon layers |
JPS57115552A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Electrophotographic receptor |
JPS5888753A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 電子写真感光体 |
US4490450A (en) * | 1982-03-31 | 1984-12-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoconductive member |
US4491626A (en) * | 1982-03-31 | 1985-01-01 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Photosensitive member |
JPS58189643A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-11-05 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
JPS58154850A (ja) * | 1983-02-18 | 1983-09-14 | Hitachi Ltd | 記録用部品 |
-
1984
- 1984-07-20 JP JP15176884A patent/JPS6129847A/ja active Pending
-
1985
- 1985-07-10 US US06/753,586 patent/US4686164A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-07-19 DE DE19853525908 patent/DE3525908A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3525908A1 (de) | 1986-01-30 |
US4686164A (en) | 1987-08-11 |
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