JPS6129732A - Mtf測定装置 - Google Patents

Mtf測定装置

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JPS6129732A
JPS6129732A JP15079584A JP15079584A JPS6129732A JP S6129732 A JPS6129732 A JP S6129732A JP 15079584 A JP15079584 A JP 15079584A JP 15079584 A JP15079584 A JP 15079584A JP S6129732 A JPS6129732 A JP S6129732A
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JP
Japan
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image
mirror
light
lens
mtf
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Application number
JP15079584A
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English (en)
Inventor
Yasushi Nakamura
泰 中村
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0292Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明はMTF測定装置に関する。
従来技術 通常、レンズの光学的諸特性の測定には、被検レンズに
よって得られる点俊あるいは線像の光強度分布を光電検
出し、フーリエ変換等の信号処理を行ないMTFを求め
るMTF測定が行なわれている。第2図は、かかる従来
のMTF測定装置の概略構成図を示している。なお、以
下の説明において図示の部材で同一機能を奏する部材等
には同一符号を付し、その説明を省略する。
図中、1は被検レンズ、2はチャート板、3は光源、2
4はスクリーン、5m 、5bは受光素子、6a 、6
bは受光素子の周辺回路をそれぞれ示している。チャー
ト板2とスクリーン24は被検レンズ1を介して互いに
対向して配置され、チャート板2のレンズの反対側に配
置された光源3は、チャート板2上の第1のスリン) 
22a及び第2のスリン) 22bを照明し光路27a
、27bに従い被検レンズ1を介してスクリーン24上
に各々のスリット像28m 、28bを投影する。スク
リーン24上に配設される受光素子5a 、5bは光軸
に垂直な面上を走査出来る走査機構を具備しあるいはC
CD素子のごとく自己査定形の受光素子で構成され、ま
た、該受光素子の周辺回路6a 、8bは、受光素子の
駆動回路、検出増幅回路、A/D 禁換回路、記憶回路
等により構成されるものである。
しかるに、上記従来のMTF測定装置によれば、レンズ
口径が大きくかつ、拡大倍率が大きい場合、 には、ス
クリーンが大形化し装置の大形化をまねくのみならず、
被検レンズの測定精度を高める為に多数点でのMTF測
定をする場合には、測定点数と同数の受光素子及び各受
光素子に対応した数の周辺回路を具備する必要がありM
TF装置の構成が極めて複雑となる欠点を有している。
更に、多数配設された受光素子間の素子特性のバラツキ
等に起因したいわゆる機差な生じやすく、機差補正等を
行う為には更に複雑な回路構成を要する等の多くの問題
点を有するものであった。
発明の目的 本発明は、上記した従来のMTF測定装置が有している
問題点を解消し、多測定点における被検レンズのMTF
測定を高精度に、かつ、簡便に行うことができる使いか
ってのよいMTF測定装置を提供することを目的とする
発明の概要 本発明は、上記目的を達成するために、被検レンズによ
り少なくとも2のスリットやピンホール等のテストパタ
ーンを投影し、その投影像の光強度分布を受光素子によ
って光電変換して検出してその出力により上記被検レン
ズのMTFを測定するMTF測定装置において、前記投
影を1ケ所?=結像する少なくとも1のミラ一手段と、
前記結像する光路の少なくとも1を所望に選択して遮断
もしくは変更させる回避手段を設け、多測定点でのMT
F測定を高精度かつ簡便に行うことができるようにした
ものである。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の構成の概要を示す概略構成図である。
1は被検レンズ、2はスリット、ピンホール等のテスト
パターンを有するチャート板、3は光源、4は結像平面
、5は受光素子、6は受光素子の周辺回路、7a 、 
7bは光路、8は投影像、9はミラー、10は遮光板を
それぞれ示し、チャート板2上のスリン) 2a 、2
b等のテストパターンは光源3によって照明され被検レ
ンズ1を介して受光素子5上に投影するようにミラー9
を設置するとともに、光路の少fx くとも1を遮断す
る遮光板10を設けて構成されている。上記構成によれ
ば、光源3はチャート板2上のmlのスリン)2a及び
第2のスリン) 2bを照明し光路1a及び1bに従い
被検レンズ1を介して結像平面4上に各々のスリット像
を投射する。しかるに光路1bは前記被検レンズ1と結
像平面4との中間に配置されるミラー9の介在によって
光路が変更され、他の光路1aにより結像平面4上に投
影されるスリット2aの投影像に重なって像8を結像す
る。遮光板10は図示の矢印方向に適宜移動して光路の
少なくとも1を遮断し、上記型なった像8を分離し、分
離した各りの投影像を受光素子5は得て所望のMTF測
定ができるように作用するものである。なお、前記ミラ
ー9は、上記測定vcilにおいて、例えば、次のよう
にして最適な位置において、例えば、次のようにして最
適な位置に設定することができる。積り、第1のスリッ
ト2a及び第2のスリン) 2b上にそれぞれ仮想点A
及びBを想定する。更に、ミラー9を設置せず、光路1
bは被検レンズ1を通過した後もその光路を屈曲するこ
となく結像平面」二に仮想結像B′を結像すると仮想す
る。前記第1のスリン)2d上の点Aの結像平面上の結
像点にと前記B′点とを結ぶ直線な吊とし、該直線伍に
垂直かつm/2を通過する面が前記光路7bと交わる位
置にミラー9を前記賃に垂直な面と平行に設置して構成
することができる。
実施例 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第3図は、本発明になるMTF測定装置の一実施例を示
す説明図で、被検レンズ1、チャート板2、光源3、結
像平面4、受光素子5、ミラー9及び遮光板10の位置
関係を示している。ミラー9は、結像点にと理想結像点
Wとを結ぶ直線伍の中点Cを通り直線賃に垂直な面で、
第2のスリット2bを通過する光路7bとの交点を通る
直線1に平行かつ点Cから(m−tanα)/2の距離
に配置されるものである。なお、上記αは直線iと、前
記第2のスリン)2bを通過する光路7bとの角度を表
わす。また、光路の少なくとも1を所望に遮断する遮光
板10は、図示の矢印の方向に適宜移動可能に設置され
てなる。上記実施例の構成によれば、遮光板10を適宜
移動して第1のスリン)2a及び第2のスリン)2bの
投影を、第2のスリットについてはミラー9を介して、
単一の受光素子5上に選択して結像し、被検レンズのM
TF測定をなすことができるものである。
第4図は、本発明の第2の実施例の概略構成図を示す。
本実施例においては、チャート板42上に第1のスリン
)2a、第2のスリット2b及び第3のスリンl−2(
1を設けるとともに、第3のスリットを通過する光路7
dの光路な変更する第2のミラー4Bを第1のミラー9
と別に配設して構成したもので、ミラー49は、結像点
A′と理想結像点σとを結ぶ直線五の中点C′を通り直
線五に垂直な面で、第3のスリン)2dを通過する光路
7dとの交点を通る直線kに平行かつ点C′から(′F
&・tanβ)/2の距離に配置されるものである。な
お、上記βは直線五と前記光路7dとのなす角度を示す
。また、遮光板10は、図示の矢印の方向に移動し、前
記第1.第2.第3のスリットを通過する光路7a 、
7b、7dの少なくとも1を選択して遮断し、択一して
各スリットの投影像を単一の受光素子5上に結像し、被
検レンズのMTF測定をなすことができるものである。
なお、上記実施例ではスリットの数を3としたが、3に
限られることなく所望の数のスリットとする事も勿論可
能であり、ミラーの数もそれに対応して2に限られるこ
となく多数のミラーを配設すること等の改変も勿論可能
である。
第5図に、本発明の第3の実施例の概略構成図を示す。
本実施例においては、遮光板10によって適宜選択され
るチャート板2上の第1のスリン)2a及び第2のスリ
ン)2bを通過する光路57m 、57bに各々の光路
な変更するミラー59a及び59bを配設するとともに
、両方のミラー59a。
59bを介して相貫なり合い結像する結像点Eに受光素
子55を配置して構成される。なお、上記ミラー59a
 、59bは、ミラーを配設しない場合の理想像点に又
はB′と結像点Eとをそれぞれ結ぶ直線伍又はゴの中点
C又はσを通り直線迅又はぽに垂直な面で、かつ光路5
7m又は57bとの交点の位置、積り、前記中点C又は
σから1又はi′の位置に配設されるものである。本実
施例によると、ミラー59m及び59bで光路57a及
び57bは光路が変更され、ミラーを有さない場合に比
較して光路が屈曲した公文被検レンズ側に配置される受
光素子上にスリット像を結像できるので、装置構成を更
に小型にできる効果を有すると同時に、受光素子の配置
位置が被検レンズの主軸上に限定されることなく装置構
成上の便利となる効を奏する。
第6図は、本発明の第4の実施例を示す概略構成図であ
る。本実施例においては上記他の実施例のととく遮光板
を有することなく、チャート板2上の第1のスリット2
aを通過する光路67aの被検レンズ1と受光素子5と
の間に適宜回動して光路に介入し光路を変更させるミラ
ー69aと、第2のスリン)2bを通ずる光路67bに
常時介在して適宜回動じて光路の変更角度を可変とする
ミラー69bとを配設して構成したもので、ミラー 6
9a及び69bは、図示の矢印の方向に所望に回動して
、受光素子5上に結像する光路を選択して回避させ、所
望の被検レンズMTF測定を行うことができるものであ
る。本実施例によれば、被検レレズの被測定点数が増加
した場合に、前記他の実施例のごとく遮光板を用いて構
成するに比較して装置の構成が簡単になる効を奏するも
のである。
第7図A、Hに上記実施例において用いるチャート板の
一例を示す。チャート板には図示のごとく少なくとも2
のスリットやピンホール等が配設される。
第8図A、Bは、上記実施例において用いる連光板の一
例を示す。Aは単一の矩形透過孔を有する例、Bは2の
短形透過窓を有する例をそれぞれ示す。
発明の詳細 な説明してきたように本発明によれば、被検レンズのM
TF測定において、被測定点数が多くても単一の受光素
子で結像の強度分布を求めることができるので、多数の
受光素子を用いる従来技術と比較して受光素子特性バラ
ツキの影響を受けず、周辺駆動回路等を単純化できる小
型かつ高精度で使いやすいMTF測定装置を提供するこ
とができる。
なお、上記実施例ではテストパターンの数を2ないし3
の場合について説明したが、それに限られることなく、
また、受光素子は、CCD等の固体撮像素子や撮像管等
の各種の光電変換装置により構成することが可能であり
、これらの改変は本発明の技術的箱別な逸脱するもので
はないこと明らかである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の構成概略図、第2図は従来のMTF測
定装置の概略構成図、第3図は本発明の一実施例を示す
説明図、第4図は本発明の第2実施例を示す概略構成図
、第5図は本発明の第3の実施例を示す概略構成図、第
6図は本発明の第4の実施例を示す概略構成図、第7図
はチャート板の例を示す説明図、第8図は遮光板の例を
示す説明図である。 1 ・・・・・・・・・・・・被検レンズ2 ・・・・
・・・・・・・・チャート板3 ・・・・・・・・・・
・・光源 5 ・・・・・・・・・・・・受光素子7a、7b・・
・・・・光路 9.49,59,69a、69b  −−・  ミ ラ
 −10・・・・・・・・・・・・遮光板 第1図 第2図 第3図 第6図 第6図 第7図 第8図 手続補正書(自発) 1、g件の表列\ 昭#59年 特 g’f#  第150795号2、発
明の名称 MTF測定装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所  東京都渋谷区幡ケ谷2丁目43番2号名 称
  (037)オリンパス光学工業株式会社代表者 下
山敏部 4、代 理 人 6、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄句 7、補正の内容 (1)  別紙の通り「特許請求の範囲」を補正する。 (リ 明細書第5頁第4行目に記載する[前記投影を1
ケ所に」を「前記投影を少なくとも1ケ所に」と補正す
る。 (3)明細書第12頁第4行目に記載する「ても申−の
受光素子で」を「ても少ない受光素子で」と補正を。 する。 (4)明細書第12頁第12行目を下記の通り補正する
。 「れることなく、また、受光素子は、単一の場合につい
て説明したが、第2実施例において理想結像点B′又は
D′に別の受光素子を配設してもよく、さらに、COD
等の固」 8、添付書類の目録 別   紙     1    通 別         紙 2、特許請求の範囲 (1)被検レンズにより少なくとも2のテストパターン
を投影し、該投影像の光強度分布を光電変換してその出
力により、上記被検レンズのMTFを測定するMTF測
定装置において、前記投影をl上玉1ケ所に結像する少
なくとも1のミラーと、前記結像する光路の少なくとも
lを所望に選択して遮断もしくは変更させる回避手段を
有することを特徴とするMTF測定装置。 (2)前記回避手段は、適宜移動して光路の少なくとも
1を所望に選択して遮断する遮光板により構成される特
許請求の範囲第1項記載のMTF測定装置。 (3)前記ミラーは、結像平面に垂直な少なくとも1の
面に配設されてなる特許請求の範囲第1項記載のMTF
測定装置。 (Φ 前記ミラーは、結像平面に垂直な面以外の面をそ
のミラー面として設置されてなる特許請求(5)前記ミ
ラーは、自在に回動して光路の少なくとも1を所望に選
択して光路を変更せしめ、光路を自在に回避する回避手
段を兼ねるミラーにより構成される特許請求の範囲第1
項記載の性エヱ測定装置。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検レンズにより少なくとも2のテストパターン
    を投影し、該投影像の光強度分布を光電変換してその出
    力により、上記被検レンズのMTF測定装置において、
    前記投影を1ケ所に結像する少なくとも1のミラーと、
    前記結像する光路の少なくとも1を所望に選択して遮断
    もしくは変更させる回避手段を有することを特徴とする
    MTF測定装置。
  2. (2)前記回避手段は、適宜移動して光路の少なくとも
    1を所望に選択して遮断する遮光板により構成される特
    許請求の範囲第1項記載のMTF測定装置。
  3. (3)前記ミラーは、結像平面に垂直な少なくとも2の
    面に配設されてなる特許請求の範囲第1項記載のMTF
    測定装置。
  4. (4)前記ミラーは、結像平面に垂直な面以外の面をそ
    のミラー面として設置されてなる特許請求の範囲第1項
    記載のMTF測定装置。
  5. (5)前記ミラーは、自在に回動して光路の少なくとも
    1を所望に選択して光路を変更せしめ、光路を自在に回
    避する回避手段を兼ねるミラーにより構成される特許請
    求の範囲第1項記載のMMF測定装置。
JP15079584A 1984-07-20 1984-07-20 Mtf測定装置 Pending JPS6129732A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20180136079A1 (en) * 2015-05-13 2018-05-17 Trioptics Gmbh Device for measuring an imaging property of an optical system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20180136079A1 (en) * 2015-05-13 2018-05-17 Trioptics Gmbh Device for measuring an imaging property of an optical system
US10386267B2 (en) * 2015-05-13 2019-08-20 Trioptics Gmbh Device for measuring an imaging property of an optical system

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