JPS61288610A - 管状圧電振動子の周波数調整方法 - Google Patents
管状圧電振動子の周波数調整方法Info
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- JPS61288610A JPS61288610A JP13109085A JP13109085A JPS61288610A JP S61288610 A JPS61288610 A JP S61288610A JP 13109085 A JP13109085 A JP 13109085A JP 13109085 A JP13109085 A JP 13109085A JP S61288610 A JPS61288610 A JP S61288610A
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- Japan
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- vapor
- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は管状圧電振動子のｆ調力法に関するＯ〔発明の
概要〕 本発明は管状圧電振動子のｆ調力法において管状圧電振
動子の端面から蒸着することにより、正確な発振周波数
の圧電振動子を提供するものであるＯ 〔従来の技術〕 従来の管状圧電振動子のｆ調力法を特願昭６０−４４０
３１の矩形状ＡＴ水晶振動子を例として、第２図（ａ）
ｓ （ｂ） ｓ （６）の工程図で説明する。２１は
矩形状ＡＴ水晶発振片で表面に励振電極２２ 、２２’
を有し端面まで延長されている。矩形状ＡＴ水晶発振片
２１は端面で発振回路２３の端子２４゜２４′に接続し
発振させ、励振電極２２ 、２２’上にＡｆ、Ａ％、Ａ
ｆｉ等の金属２５を蒸着し、発振周波数が設定値となっ
た時点で、蒸着をやめｆ調していた。その後管状容器２
６にバネ２７ 、２７’で固着して圧電振動子を完成し
ていた。
概要〕 本発明は管状圧電振動子のｆ調力法において管状圧電振
動子の端面から蒸着することにより、正確な発振周波数
の圧電振動子を提供するものであるＯ 〔従来の技術〕 従来の管状圧電振動子のｆ調力法を特願昭６０−４４０
３１の矩形状ＡＴ水晶振動子を例として、第２図（ａ）
ｓ （ｂ） ｓ （６）の工程図で説明する。２１は
矩形状ＡＴ水晶発振片で表面に励振電極２２ 、２２’
を有し端面まで延長されている。矩形状ＡＴ水晶発振片
２１は端面で発振回路２３の端子２４゜２４′に接続し
発振させ、励振電極２２ 、２２’上にＡｆ、Ａ％、Ａ
ｆｉ等の金属２５を蒸着し、発振周波数が設定値となっ
た時点で、蒸着をやめｆ調していた。その後管状容器２
６にバネ２７ 、２７’で固着して圧電振動子を完成し
ていた。
・〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし先
行の管状圧電振動子のｆ調力法によれば、圧電発振片単
品でｆ調するために、発振回路に接続する際に、圧電発
振片に応力が加わり、発振周波数がずれる０またｆ調装
に管状容器に固着するため、固着条件により発振周波数
がずれるため、完成品の発振周波数が大きくずれるとい
う問題点を有する＠ 本発明は以上の問題点を解決するためになされたもので
あり、その目的とするところは、正確な発振周波数の管
状圧電振動子を得るｆ開方法を提供することである。
行の管状圧電振動子のｆ調力法によれば、圧電発振片単
品でｆ調するために、発振回路に接続する際に、圧電発
振片に応力が加わり、発振周波数がずれる０またｆ調装
に管状容器に固着するため、固着条件により発振周波数
がずれるため、完成品の発振周波数が大きくずれるとい
う問題点を有する＠ 本発明は以上の問題点を解決するためになされたもので
あり、その目的とするところは、正確な発振周波数の管
状圧電振動子を得るｆ開方法を提供することである。
本発明の管状圧電振動子のｆ開方法は、圧電発振片の固
着された管状圧電振動子の端面から蒸着することを特徴
とする。
着された管状圧電振動子の端面から蒸着することを特徴
とする。
以上に示す本発明の管状圧電振動子のｆ開方法によれば
、圧電発振片の固着された管状圧電振動子の端面から蒸
着することにより、ｆ調時に圧電発振片に応力が加わる
ことがなく、また、先に圧電発振片が固着されているた
め、正確な発振周波数の管状圧電振動子が得られる。
、圧電発振片の固着された管状圧電振動子の端面から蒸
着することにより、ｆ調時に圧電発振片に応力が加わる
ことがなく、また、先に圧電発振片が固着されているた
め、正確な発振周波数の管状圧電振動子が得られる。
本発明の管状圧電振動子のｆ開方法を第１図の断面図で
説明する。１は管状圧電振動子であり、管状容器２の端
面に支持板３．３′を固着し、表裏に励振電極４．４′
と端面まで接続する接続電極５．５′をＡｕ、Ａｓ’、
Ａｊｌ等の金属もしくは絶縁物等を蒸着、スパッタ等の
方法で設けた圧電発振片６を支持板３．６′に導電性接
着剤、半田等のろう材によるろう付は等７，７′により
固定されている。
説明する。１は管状圧電振動子であり、管状容器２の端
面に支持板３．３′を固着し、表裏に励振電極４．４′
と端面まで接続する接続電極５．５′をＡｕ、Ａｓ’、
Ａｊｌ等の金属もしくは絶縁物等を蒸着、スパッタ等の
方法で設けた圧電発振片６を支持板３．６′に導電性接
着剤、半田等のろう材によるろう付は等７，７′により
固定されている。
管状圧電振動子１の支持板６，６′に発振回路８を接続
して発振させ、管状圧電振動子１の端面方向に設けられ
た蒸着源９からＡｒ、Ａｓ、Ａｆｉ等の金属もしくは絶
縁物等の蒸気１０を圧電発振片６の励振電極４，４′上
に蒸着し、発振周波数が設定値に達した時、制御回路１
１により遮蔽板１２を蒸着経路に作動させ、圧電発振片
６上への蒸着を終了し、所定の発振周波数にｆ調するも
のである。
して発振させ、管状圧電振動子１の端面方向に設けられ
た蒸着源９からＡｒ、Ａｓ、Ａｆｉ等の金属もしくは絶
縁物等の蒸気１０を圧電発振片６の励振電極４，４′上
に蒸着し、発振周波数が設定値に達した時、制御回路１
１により遮蔽板１２を蒸着経路に作動させ、圧電発振片
６上への蒸着を終了し、所定の発振周波数にｆ調するも
のである。
なおマスク１３を圧電発振片６の中心線上に設置し表裏
の励振電極４，４′が蒸着時にショートすることを防ぐ
ために設けておく必要がある。
の励振電極４，４′が蒸着時にショートすることを防ぐ
ために設けておく必要がある。
またｆ調のすんだ管状圧電振動子１は両端面にキャップ
（図示せず）を嵌合して完成する。
（図示せず）を嵌合して完成する。
本発明の管状圧電振動子のｆ開方法によれば、圧電発振
片の固着された管状圧電振動子の端面から金属等を蒸着
することにより、圧電発振片は先に管状容器に固着され
ているため、７１１時に圧電発振片を発振させるための
発振回路は、管状圧電振動子の支持板に接続される結果
、圧電発振片に応力が加わることがなく正確な発振周波
数にｆ調することができる。また、両端にキャップを嵌
合して管状圧電振動子を完成する際も、すでに管状容器
に支持板で安定に圧電発振片が固定されているため、キ
ャップ嵌合による発振周波数の変化は、はとんどなく、
ｆ調時の発振周波数が完成品の発振周波数となる。
片の固着された管状圧電振動子の端面から金属等を蒸着
することにより、圧電発振片は先に管状容器に固着され
ているため、７１１時に圧電発振片を発振させるための
発振回路は、管状圧電振動子の支持板に接続される結果
、圧電発振片に応力が加わることがなく正確な発振周波
数にｆ調することができる。また、両端にキャップを嵌
合して管状圧電振動子を完成する際も、すでに管状容器
に支持板で安定に圧電発振片が固定されているため、キ
ャップ嵌合による発振周波数の変化は、はとんどなく、
ｆ調時の発振周波数が完成品の発振周波数となる。
第１図は本発明の管状圧電振動子のｆ開方法を示す断面
図。 第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は従来の管状圧
電振動子のｆ開方法を示す工程図・ １・・・・・・管状圧電振動子 ２・・・・・管状容器
６．３′・・・・・・支持板 ４，４′・・・・・
・励振電極５．５′・・・・・接続電極 ６・・・・
・・圧電発振片７．７′・・・・・・ろう材 ８・
・・・・・発振回路９・・・・・蒸着源 １０・
・・・・・金属蒸気１１・・・・・・制御回路
１２・・・・・・遮蔽板１３・・・・・・マスク ２１・・・・・・矩形状ＡＴ水晶発振片２２ 、２２’
・・・・・・励振電極 ２３・・・・・・発振回路２４
、２４’・・・・・・端子 ２５・・・・・・金
属２６・・・・・・管状容器 ２７ 、２７’・
・・・・・バネ以 上
図。 第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は従来の管状圧
電振動子のｆ開方法を示す工程図・ １・・・・・・管状圧電振動子 ２・・・・・管状容器
６．３′・・・・・・支持板 ４，４′・・・・・
・励振電極５．５′・・・・・接続電極 ６・・・・
・・圧電発振片７．７′・・・・・・ろう材 ８・
・・・・・発振回路９・・・・・蒸着源 １０・
・・・・・金属蒸気１１・・・・・・制御回路
１２・・・・・・遮蔽板１３・・・・・・マスク ２１・・・・・・矩形状ＡＴ水晶発振片２２ 、２２’
・・・・・・励振電極 ２３・・・・・・発振回路２４
、２４’・・・・・・端子 ２５・・・・・・金
属２６・・・・・・管状容器 ２７ 、２７’・
・・・・・バネ以 上
Claims (1)
- 圧電発振片の固着された管状圧電振動子の端面から蒸
着することを特徴とする管状圧電振動子の周波数調整方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13109085A JPS61288610A (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 管状圧電振動子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13109085A JPS61288610A (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 管状圧電振動子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61288610A true JPS61288610A (ja) | 1986-12-18 |
Family
ID=15049742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13109085A Pending JPS61288610A (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 管状圧電振動子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61288610A (ja) |
-
1985
- 1985-06-17 JP JP13109085A patent/JPS61288610A/ja active Pending
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