JPS61287021A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61287021A JPS61287021A JP12804885A JP12804885A JPS61287021A JP S61287021 A JPS61287021 A JP S61287021A JP 12804885 A JP12804885 A JP 12804885A JP 12804885 A JP12804885 A JP 12804885A JP S61287021 A JPS61287021 A JP S61287021A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- substrate
- head
- magnetic elements
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、フロッピー・ディスク等のように記録媒体に
ディジタル信号を記録、再生若しくは消去したり、オー
ディオ・テープレコーダ等のように記録媒体にアナログ
信号を記録、再生、消去するための薄膜磁気ヘッドに関
するものである。
ディジタル信号を記録、再生若しくは消去したり、オー
ディオ・テープレコーダ等のように記録媒体にアナログ
信号を記録、再生、消去するための薄膜磁気ヘッドに関
するものである。
（従来の技術）
従来、磁気ヘッドの磁気エレメント１は、基本的に、磁
気ギャップ２を設けたコア３と、このコア３に巻き付け
たコイル４と、このコイル４の引出端子５とで構成され
ている（第５図参照）が、磁気エレメント１の数、その
機能及びその具体的な構造は用途によっ゛て異なる。
気ギャップ２を設けたコア３と、このコア３に巻き付け
たコイル４と、このコイル４の引出端子５とで構成され
ている（第５図参照）が、磁気エレメント１の数、その
機能及びその具体的な構造は用途によっ゛て異なる。
例えば、フロッピー・ディスク用の磁気ヘッドは、１つ
の書込み・読取磁気エレメント６の後位両側に２つの消
去磁気エレメント７を一体に設けたもので、書込み・読
取トラックの両側に消去トラックを隣接させてフロッピ
ー・ディスクに記録することにより、トレーシング精度
を向上させている（第６図参照）。
の書込み・読取磁気エレメント６の後位両側に２つの消
去磁気エレメント７を一体に設けたもので、書込み・読
取トラックの両側に消去トラックを隣接させてフロッピ
ー・ディスクに記録することにより、トレーシング精度
を向上させている（第６図参照）。
又、ハードディスク用の磁気ヘッドは、コアとなる磁性
薄膜、コアの磁気ギャップ材となる非磁性薄膜、コイル
となる導電性薄膜を蒸着やスパッタリング等の薄膜形成
手段で形成すると共に、フォトエツチングで加工して、
基板の一方の面にのみ書込み・読取磁気エレメントを設
けた薄膜磁気ヘッドで、この薄膜磁気ヘッドにより高密
度記録を行なっているが、書込み・読取磁気エレメント
のトレーシング精度が良いので、消去磁気エレメントは
不要である。
薄膜、コアの磁気ギャップ材となる非磁性薄膜、コイル
となる導電性薄膜を蒸着やスパッタリング等の薄膜形成
手段で形成すると共に、フォトエツチングで加工して、
基板の一方の面にのみ書込み・読取磁気エレメントを設
けた薄膜磁気ヘッドで、この薄膜磁気ヘッドにより高密
度記録を行なっているが、書込み・読取磁気エレメント
のトレーシング精度が良いので、消去磁気エレメントは
不要である。
更に、オーディオ用の磁気ヘッドは、薄膜コア、薄膜コ
イルからなる誘導型の薄膜磁気ヘッド８と磁束応答型の
磁気抵抗効果ヘッド９とを一体に積層した積層複合型磁
気ヘッド（第７図参照）で、記録は薄膜磁気ヘッド８で
行ない、再生は磁気抵抗効果ヘッド９で行なっているが
、消去は他の独立した消去ヘッド（図示しない）で行な
っている。ところで、磁気抵抗効果ヘッド９はヘッドと
磁気テープとの間の相対速度に無関係に一定レベルの高
出力が得られるので、磁気テープの再生を考慮した場合
、磁気抵抗効果ヘッド９を一体に積層した積層複合型磁
気ヘッドは有利である。
イルからなる誘導型の薄膜磁気ヘッド８と磁束応答型の
磁気抵抗効果ヘッド９とを一体に積層した積層複合型磁
気ヘッド（第７図参照）で、記録は薄膜磁気ヘッド８で
行ない、再生は磁気抵抗効果ヘッド９で行なっているが
、消去は他の独立した消去ヘッド（図示しない）で行な
っている。ところで、磁気抵抗効果ヘッド９はヘッドと
磁気テープとの間の相対速度に無関係に一定レベルの高
出力が得られるので、磁気テープの再生を考慮した場合
、磁気抵抗効果ヘッド９を一体に積層した積層複合型磁
気ヘッドは有利である。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、フロッピー・ディスク用の磁気ヘッドに
おいては、各エレメント６及び７の作成するのに、磁性
体個片及びコイル巻線を使用しているので、トラック幅
を小さくするのに限界があり、そのトラック密度は１５
０〜２００７ＰＩ程度で、記録密度を向上させることが
できないという問題があった。
おいては、各エレメント６及び７の作成するのに、磁性
体個片及びコイル巻線を使用しているので、トラック幅
を小さくするのに限界があり、そのトラック密度は１５
０〜２００７ＰＩ程度で、記録密度を向上させることが
できないという問題があった。
又、オーディオ用の磁気ヘッドにおいては、薄膜磁気ヘ
ッド８と磁気抵抗効果ヘッド９との積層技術がかなり難
しい上、消去ヘッドが独立しているので、一体に形成さ
れた薄膜磁気ヘッド８及び磁気抵抗効果ヘッド９と消去
ヘッドとの位置精度が出し難く、又１位置精度を上げよ
うとすると、組合せ加工がかなり難しいという問題があ
った。
ッド８と磁気抵抗効果ヘッド９との積層技術がかなり難
しい上、消去ヘッドが独立しているので、一体に形成さ
れた薄膜磁気ヘッド８及び磁気抵抗効果ヘッド９と消去
ヘッドとの位置精度が出し難く、又１位置精度を上げよ
うとすると、組合せ加工がかなり難しいという問題があ
った。
更に、薄膜磁気ヘッド８及び磁気抵抗効果ヘッド９が一
体に形成されていると、記録と再生とが同時にできない
ため、記録しながら再生するモニタリングができないと
いう問題があった。
体に形成されていると、記録と再生とが同時にできない
ため、記録しながら再生するモニタリングができないと
いう問題があった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、磁
気エレメントの寸法精度及び設置位置精度が高く、高密
度記録が容易で、而も、製造価格が安い薄膜磁気ヘッド
を提供することを目的としている。
気エレメントの寸法精度及び設置位置精度が高く、高密
度記録が容易で、而も、製造価格が安い薄膜磁気ヘッド
を提供することを目的としている。
（問題点を解決するための手段）
磁性薄膜からなる磁気コア、磁気コアの先端の所定の位
置に所定のトラック幅で設けた非磁性薄膜からなる磁気
ギャップ、薄膜コイル、それ等を覆う保護層等を蒸着、
スパッタリング、エツチング等の薄膜形成手段で順次形
成してなる磁気エレメントを基板の両面にそれぞれ少な
くとも１つずつ設けたものである。
置に所定のトラック幅で設けた非磁性薄膜からなる磁気
ギャップ、薄膜コイル、それ等を覆う保護層等を蒸着、
スパッタリング、エツチング等の薄膜形成手段で順次形
成してなる磁気エレメントを基板の両面にそれぞれ少な
くとも１つずつ設けたものである。
（作用）
磁気エレメントが蒸着、スパッタリング、エツチング等
の薄膜形成手段で形成されるので、１つの基板への複数
の磁気エレメントの形成が容易で、而も、磁気エレメン
トの寸法精度及び設置位置精度が高くなるため、トラッ
ク密度を高くできると共に、磁気エレメントの位置調整
が不要になる。
の薄膜形成手段で形成されるので、１つの基板への複数
の磁気エレメントの形成が容易で、而も、磁気エレメン
トの寸法精度及び設置位置精度が高くなるため、トラッ
ク密度を高くできると共に、磁気エレメントの位置調整
が不要になる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例の構成を示すもの
で、１０は両面を研磨した厚さ０．５６＋ｓａ＋、幅５
＋ｓｍ、奥行１０ｍｍのアルミナからなる基板、１１は
基板１０の両面にそれぞれ着膜した厚さ１０ｊ１１０の
パーマロイ膜をパターンエツチング・して形設した内側
磁気コア、１２は内側磁気コア１１を形設した基板１ｏ
の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ１μｍのＳｉｏ、か
らなる絶縁膜で、この絶縁膜１２は磁気ギャップとして
も機能する。１３は図中上端より０．２ａ＋ｗ程度下げ
て絶縁膜１２の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ２μ園
のフォトレジスト硬化膜からなる内側レジスト絶縁膜、
１４は内側レジスト絶縁膜１３の表面にそれぞれ着膜し
た厚さ２μｍのＣｕをパターンエツチングして形設した
ピッチ５０μ■、線幅２５μｍ１．１６ターンの渦巻状
の薄膜コイル、１５は薄膜コイル１４を形設した内側レ
ジスト絶縁膜１３の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ２
μｍのフォトレジスト硬化膜からなる外側レジスト絶縁
膜、 １６は外側レジスト絶縁膜１５にそれぞれ着膜し
た厚さ１０ｐｍのパーマロイ膜をパターンエツチングし
て外側レジスト絶縁膜１５の図中上部に形設した外側磁
気コアで、この外側磁気コア１６は絶縁膜１２、内側レ
ジスト絶縁膜１３及び外側レジスト絶縁膜１５の下部に
穿設した貫通穴１７を通して内側磁気コア１１に着膜し
て両者が−４となり、絶縁膜１２による磁気ギャップを
挾んで断面がコの字状のコアが形成される。１８は外側
磁気コア１６と共に外側レジスト絶縁膜１５の図中下部
に形設した薄膜コイル１４の引出端子で、この引出端子
１８は外側レジスト絶縁膜１５の貫通穴１９を通して薄
膜コイル１４に着膜して両者が一体となり、引出端子１
８に通電すると薄膜コイル１４に電流が流れる。
で、１０は両面を研磨した厚さ０．５６＋ｓａ＋、幅５
＋ｓｍ、奥行１０ｍｍのアルミナからなる基板、１１は
基板１０の両面にそれぞれ着膜した厚さ１０ｊ１１０の
パーマロイ膜をパターンエツチング・して形設した内側
磁気コア、１２は内側磁気コア１１を形設した基板１ｏ
の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ１μｍのＳｉｏ、か
らなる絶縁膜で、この絶縁膜１２は磁気ギャップとして
も機能する。１３は図中上端より０．２ａ＋ｗ程度下げ
て絶縁膜１２の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ２μ園
のフォトレジスト硬化膜からなる内側レジスト絶縁膜、
１４は内側レジスト絶縁膜１３の表面にそれぞれ着膜し
た厚さ２μｍのＣｕをパターンエツチングして形設した
ピッチ５０μ■、線幅２５μｍ１．１６ターンの渦巻状
の薄膜コイル、１５は薄膜コイル１４を形設した内側レ
ジスト絶縁膜１３の表面全体にそれぞれ着膜した厚さ２
μｍのフォトレジスト硬化膜からなる外側レジスト絶縁
膜、 １６は外側レジスト絶縁膜１５にそれぞれ着膜し
た厚さ１０ｐｍのパーマロイ膜をパターンエツチングし
て外側レジスト絶縁膜１５の図中上部に形設した外側磁
気コアで、この外側磁気コア１６は絶縁膜１２、内側レ
ジスト絶縁膜１３及び外側レジスト絶縁膜１５の下部に
穿設した貫通穴１７を通して内側磁気コア１１に着膜し
て両者が−４となり、絶縁膜１２による磁気ギャップを
挾んで断面がコの字状のコアが形成される。１８は外側
磁気コア１６と共に外側レジスト絶縁膜１５の図中下部
に形設した薄膜コイル１４の引出端子で、この引出端子
１８は外側レジスト絶縁膜１５の貫通穴１９を通して薄
膜コイル１４に着膜して両者が一体となり、引出端子１
８に通電すると薄膜コイル１４に電流が流れる。
２０は外側磁気コア１６及び引出端子１８を形設した外
側レジスト絶縁膜１５の表面に、引出端子１８が図中下
端部において露出するようにして、それぞれ着膜した厚
さ３０μ−の５ｉｎ２からなる保護膜であり、磁気エレ
メント２１は内側磁気コア１１．絶縁膜１２、内側レジ
スト絶縁膜１３．薄膜コイル１４、外側レジスト絶縁膜
１５．外側磁気コア１６、引出端子１８及び保護膜２０
で構成される。
側レジスト絶縁膜１５の表面に、引出端子１８が図中下
端部において露出するようにして、それぞれ着膜した厚
さ３０μ−の５ｉｎ２からなる保護膜であり、磁気エレ
メント２１は内側磁気コア１１．絶縁膜１２、内側レジ
スト絶縁膜１３．薄膜コイル１４、外側レジスト絶縁膜
１５．外側磁気コア１６、引出端子１８及び保護膜２０
で構成される。
このように構成された本実施例では、基板１０の一方の
面に互いに接続された内側磁気コア１１及び外側磁気コ
ア１６と絶縁膜１２とで頂部に双頭のギャップが形成さ
れており、ギャップ−空間−ギャップの各幅が５０μｍ
−５０μｔａ−５０μＩあるギャップは消去ギャップと
して機能する６又、基板１０の他方の面に互いに接続さ
れた内側磁気コア１１及び外側磁気コア１６と絶縁膜１
２とで頂部に単頭のギャップが形成されており、２つの
消去ギャップの間に位置するように設けた幅が５０１Ｊ
ｍあるギャップは書込み、読取゛ギャップとして機能す
る。そこで、この薄膜磁気ヘッドをフロッピー・ディス
ク装置に用いると、トラック幅が５０ｐ１１、トラック
ピッチが１２７μｍ、トラック隙間が７６μｍとなって
、トラック密度が少なくとも２００ＴＰＩとなる。
面に互いに接続された内側磁気コア１１及び外側磁気コ
ア１６と絶縁膜１２とで頂部に双頭のギャップが形成さ
れており、ギャップ−空間−ギャップの各幅が５０μｍ
−５０μｔａ−５０μＩあるギャップは消去ギャップと
して機能する６又、基板１０の他方の面に互いに接続さ
れた内側磁気コア１１及び外側磁気コア１６と絶縁膜１
２とで頂部に単頭のギャップが形成されており、２つの
消去ギャップの間に位置するように設けた幅が５０１Ｊ
ｍあるギャップは書込み、読取゛ギャップとして機能す
る。そこで、この薄膜磁気ヘッドをフロッピー・ディス
ク装置に用いると、トラック幅が５０ｐ１１、トラック
ピッチが１２７μｍ、トラック隙間が７６μｍとなって
、トラック密度が少なくとも２００ＴＰＩとなる。
第３図及び第４図は本発明の他の実施例の構成を示すも
ので、その構成は第１図及び第２図に示した実施例と同
一であるが、本実施例では、基板１０の両面に内側磁気
コア１１及び外側磁気コア１６と絶縁膜１２とで頂部に
単頭のギャップが形成されており、幅が５０μｍあるギ
ャップはそれぞれ記録ギャップ及び再生ギャップとして
機能する。
ので、その構成は第１図及び第２図に示した実施例と同
一であるが、本実施例では、基板１０の両面に内側磁気
コア１１及び外側磁気コア１６と絶縁膜１２とで頂部に
単頭のギャップが形成されており、幅が５０μｍあるギ
ャップはそれぞれ記録ギャップ及び再生ギャップとして
機能する。
尚、基板１０に設ける磁気エレメントは前述のような誘
導型の磁気ヘッドのみの組合せでなく、磁束応答型の磁
気抵抗効果ヘッドと組み合わせてもよい。
導型の磁気ヘッドのみの組合せでなく、磁束応答型の磁
気抵抗効果ヘッドと組み合わせてもよい。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、磁気エレメント
を蒸着、スパッタリング、エツチング等の薄膜形成手段
で形成するので、１つの基板への複数の磁気エレメント
の形成が容易で、而も、磁気エレメントの寸法精度及び
設置位置精度が高くなるため、トラック密度が２００Ｔ
ＰＩ以上に容易に高くできると共に、磁気エレメントの
位置調整が不要になって、製造価格が安くなるという効
果がある。
を蒸着、スパッタリング、エツチング等の薄膜形成手段
で形成するので、１つの基板への複数の磁気エレメント
の形成が容易で、而も、磁気エレメントの寸法精度及び
設置位置精度が高くなるため、トラック密度が２００Ｔ
ＰＩ以上に容易に高くできると共に、磁気エレメントの
位置調整が不要になって、製造価格が安くなるという効
果がある。
第１図は本発明の一実施例の正面図、第２図は第１図に
示した本発明の一実施例の一部を破断したときの斜視図
、第３図は本発明の他の実施例の正面図、第４図は第３
図に示した本発明の他の実施例の一部を破断したときの
斜視図、第５図は磁気ヘッドの基本構成を示す斜視図、
第６図は従来のフロッピー・ディスク用の磁気ヘッドの
基本構成を示す正面図、第７図は従来のオーディオ用の
磁気ヘッドの基本構成を示す正面図である。 １０・・・基板、２１・・・磁気エレメント。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第３図 ｎ 第５図 第６図 第７図
示した本発明の一実施例の一部を破断したときの斜視図
、第３図は本発明の他の実施例の正面図、第４図は第３
図に示した本発明の他の実施例の一部を破断したときの
斜視図、第５図は磁気ヘッドの基本構成を示す斜視図、
第６図は従来のフロッピー・ディスク用の磁気ヘッドの
基本構成を示す正面図、第７図は従来のオーディオ用の
磁気ヘッドの基本構成を示す正面図である。 １０・・・基板、２１・・・磁気エレメント。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第３図 ｎ 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- 磁気エレメントが基板の両面にそれぞれ少なくとも１つ
ずつ設けられていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12804885A JPS61287021A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12804885A JPS61287021A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61287021A true JPS61287021A (ja) | 1986-12-17 |
Family
ID=14975212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12804885A Pending JPS61287021A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61287021A (ja) |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP12804885A patent/JPS61287021A/ja active Pending
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