JPS61281404A - 透明導電性フイルム - Google Patents
透明導電性フイルムInfo
- Publication number
- JPS61281404A JPS61281404A JP60122556A JP12255685A JPS61281404A JP S61281404 A JPS61281404 A JP S61281404A JP 60122556 A JP60122556 A JP 60122556A JP 12255685 A JP12255685 A JP 12255685A JP S61281404 A JPS61281404 A JP S61281404A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- formula
- polymer
- conductive film
- transparent conductive
- film
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Organic Insulating Materials (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透明導電性フィルム（本発明においては、膜厚
０，２５ ｍａ＋未満の通常フィルムと呼称されるもの
以外に、膜厚が０．２５ ｍｍ以上の通常シートと呼称
されるものも便宜上フィルムという概念に入れるものと
する）に関する。
０，２５ ｍａ＋未満の通常フィルムと呼称されるもの
以外に、膜厚が０．２５ ｍｍ以上の通常シートと呼称
されるものも便宜上フィルムという概念に入れるものと
する）に関する。
透明導電体は、液晶表示素子、エレクトロ〃ミネッセン
ス表示素子などの各種表示素子類の透明電極や、自動車
・航空機などの防曇用窓ガラスに用いる抵抗発熱体等に
おいて使用されている、ところで透明導電体として従来
から使用されているものの多くは、酸化スズ膜、酸化イ
ンジウム膜などの金！ｌ！醗化物透明導電膜をガラス基
板上に形成したものである。しかしガラスは大面積化に
限界があり、厚みも精々０．５ｍｍ程麿迄しか薄くする
ことができず、重量も重く、脆くて壊れ易く、打ち抜き
や切り抜きなどの加工性も悪く、連続生産性にも難点が
ある。
ス表示素子などの各種表示素子類の透明電極や、自動車
・航空機などの防曇用窓ガラスに用いる抵抗発熱体等に
おいて使用されている、ところで透明導電体として従来
から使用されているものの多くは、酸化スズ膜、酸化イ
ンジウム膜などの金！ｌ！醗化物透明導電膜をガラス基
板上に形成したものである。しかしガラスは大面積化に
限界があり、厚みも精々０．５ｍｍ程麿迄しか薄くする
ことができず、重量も重く、脆くて壊れ易く、打ち抜き
や切り抜きなどの加工性も悪く、連続生産性にも難点が
ある。
そこで近年になりガラスの代わりに高分子フィルムを基
板とした透明導電性フィルムが開発され始めている。こ
の高分子フィルムを基板とする透明導電性フィルムは、
薄くて軽く、割れない、フレキシブルであり、加工性も
よく、大面積化が可能で連続生産性に優れるといった透
明導電性ガラスにない種々の特長を持っている。この透
明導電性フィルムの基板として使用されている高分子フ
ィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートのヨウナ
ポリエステルフイルムが知られている。しかしポリエス
テｌレフィルレムは１強酸や強アＭカリに容易に侵され
るうえ、吸水して加水分解を起こす虞がある。とくに透
明導電性フィルムをディスプレイ用途に用いる場合には
、導電膜を所定形状にパターニング化する必要があり、
従来よりフォトエツチング方式が利用されているが、レ
ジストの剥離液としてアルカリが必要な場合もあるので
耐アルカリ性の欠如は重大な欠点である。また。
板とした透明導電性フィルムが開発され始めている。こ
の高分子フィルムを基板とする透明導電性フィルムは、
薄くて軽く、割れない、フレキシブルであり、加工性も
よく、大面積化が可能で連続生産性に優れるといった透
明導電性ガラスにない種々の特長を持っている。この透
明導電性フィルムの基板として使用されている高分子フ
ィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートのヨウナ
ポリエステルフイルムが知られている。しかしポリエス
テｌレフィルレムは１強酸や強アＭカリに容易に侵され
るうえ、吸水して加水分解を起こす虞がある。とくに透
明導電性フィルムをディスプレイ用途に用いる場合には
、導電膜を所定形状にパターニング化する必要があり、
従来よりフォトエツチング方式が利用されているが、レ
ジストの剥離液としてアルカリが必要な場合もあるので
耐アルカリ性の欠如は重大な欠点である。また。
真空蒸着法やスパッター法などで薄膜形成する際に、ポ
リエステル中の水分は、真空度を上げることを困難にし
、また膜の酸化の程度をコントロールすることを困難に
する問題がある。
リエステル中の水分は、真空度を上げることを困難にし
、また膜の酸化の程度をコントロールすることを困難に
する問題がある。
そこで本発明者らは機械的性質、光学的性質、電気的性
質、熱的性質、化学的性質に優れた透明導電性フィルム
が得られないか鋭意研究を重ねた結果、従来全く知られ
ていない新しいポリマーフィルムを用いれば目的を達成
できることが判明し。
質、熱的性質、化学的性質に優れた透明導電性フィルム
が得られないか鋭意研究を重ねた結果、従来全く知られ
ていない新しいポリマーフィルムを用いれば目的を達成
できることが判明し。
本発明に到達した。
すなわち本発明は、少なくとも式（１）で示されるモノ
マー成分を含む重合体であって、１に合体中において前
記モノマー成分が式（２）で示される構造をとり、１５
５℃、デカリン中で測定した極限粘度〔η） カ０．５
〜２０ｄ＃／ｇである重合体のフィルムの表面に、光透
過率５０メ以上及び比抵抗１０００１以下の導電膜を設
けてなることを特徴とする透明導電性フィルムである。
マー成分を含む重合体であって、１に合体中において前
記モノマー成分が式（２）で示される構造をとり、１５
５℃、デカリン中で測定した極限粘度〔η） カ０．５
〜２０ｄ＃／ｇである重合体のフィルムの表面に、光透
過率５０メ以上及び比抵抗１０００１以下の導電膜を設
けてなることを特徴とする透明導電性フィルムである。
Ｃ式中Ｒ４−”１２は水素、アルキル基又はハロゲンで
あって各回−又は異なっていてもよく、更にＲ９又はＲ
とＲ又はＲ１２は互に環を形成していてもよい。ｎは０
又は１以上の正数であって、Ｒ５−Ｒ８が複数回繰り返
される場合にはこれらは各回−又は異なっていてもよい
。） 〔作 用〕 本発明の透明導電性フィルムの基板となるフィルムを構
成する重合体は、前述した式（１）で示されるモノマー
成分が主として式（２）で示される構造をとっている。
あって各回−又は異なっていてもよく、更にＲ９又はＲ
とＲ又はＲ１２は互に環を形成していてもよい。ｎは０
又は１以上の正数であって、Ｒ５−Ｒ８が複数回繰り返
される場合にはこれらは各回−又は異なっていてもよい
。） 〔作 用〕 本発明の透明導電性フィルムの基板となるフィルムを構
成する重合体は、前述した式（１）で示されるモノマー
成分が主として式（２）で示される構造をとっている。
かかる重合体として好ましい態様は、式（１）のモノマ
ー成分と共にα−オレフィン及び／又は式（１）以外の
環状オレフィンとからなる共重合体が例示でき、取り分
けて好適なものとして重合体の必須成分として式（１）
のモノマー及びエチレンを含むものを挙げることができ
る。
ー成分と共にα−オレフィン及び／又は式（１）以外の
環状オレフィンとからなる共重合体が例示でき、取り分
けて好適なものとして重合体の必須成分として式（１）
のモノマー及びエチレンを含むものを挙げることができ
る。
重合体中１式（１）のモノマー成分は少なくとも２モＩ
し％以上含むべきであるが、エチレンを共存させる場合
にはエチレン／式（１）のモノマー成分のモル比が５７
９５〜９５１５、とくに４０／６０〜９０／１０のｌｉ
Ｊが好ましく、更にエチレン以外のα−オレフィンや鎖
状ジエンあるいは式（１）以外の環状オレフィン等を共
存させる場合にはこれらのモノマー合計量／式（１）の
モノマー成分のモＶ比が５７９５〜９５１５、とくに５
０／７０〜９０／１（］の範囲が好ましい。また本発明
においては式（１）のモノマー成分は単品のみならず１
式（１）で示される複数の成分が混合していてもよいこ
とは勿論である。
し％以上含むべきであるが、エチレンを共存させる場合
にはエチレン／式（１）のモノマー成分のモル比が５７
９５〜９５１５、とくに４０／６０〜９０／１０のｌｉ
Ｊが好ましく、更にエチレン以外のα−オレフィンや鎖
状ジエンあるいは式（１）以外の環状オレフィン等を共
存させる場合にはこれらのモノマー合計量／式（１）の
モノマー成分のモＶ比が５７９５〜９５１５、とくに５
０／７０〜９０／１（］の範囲が好ましい。また本発明
においては式（１）のモノマー成分は単品のみならず１
式（１）で示される複数の成分が混合していてもよいこ
とは勿論である。
式（１）で示されるモノマー成分の具体例を示すと以下
のものを挙げることができるが、ここで示される例は極
めて限定されたものであって、式（１）で示されるもの
であれば如何なるものも本発明のモノマー成分になり得
る。
のものを挙げることができるが、ここで示される例は極
めて限定されたものであって、式（１）で示されるもの
であれば如何なるものも本発明のモノマー成分になり得
る。
Ｈｓ
こｎらの中では式（１）においてｎ ＝ １のもの、す
なわぢ式（５）、 で示されるモノマー成分が、七ツマ−の入手し易さある
いはモノマー合成のし易い面で好ましい。
なわぢ式（５）、 で示されるモノマー成分が、七ツマ−の入手し易さある
いはモノマー合成のし易い面で好ましい。
上述のモノマー成分を製造するには、たとえば米国特許
５５５７０７２号公報（特公昭４６−１４９１０号公報
］や特開昭５７−１５４１５５号公報の方法を適用する
ことができる。たとえば式（５）のモノマー成分を製造
するには、下記式にあるように７〜ボｐネンに対してシ
クロペンタジェンを縮合する。
５５５７０７２号公報（特公昭４６−１４９１０号公報
］や特開昭５７−１５４１５５号公報の方法を適用する
ことができる。たとえば式（５）のモノマー成分を製造
するには、下記式にあるように７〜ボｐネンに対してシ
クロペンタジェンを縮合する。
式（５）以外の式（１）で示されるモノマー成分も基本
的には上記の縮合反応の応用であり、ただ出発原料の違
いだけである。
的には上記の縮合反応の応用であり、ただ出発原料の違
いだけである。
式（１）のモノマー成分と共重合さる得るα−オレフィ
ンとしては、炭素原子数２〜２０、好適には２〜１０の
α−オレフィンであって、たとえばエチレン、プロピレ
ン、１−ブテン、５−メチ／Ｉ／−ｉ−ブテン、１−ペ
ンテン、３−メ千Ａ／−１−ペンテン、４−メ千Ｊｖ−
１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセ
ン、１−ドデセン、１−テトラデセン、１−へキサデセ
ン、１−イコセンなどを例示できる。これらの中ではと
くにエチレンが共重合性の面から好ましく、他のα−オ
レフィン（炭素原子数５以上）あるいは後述する環状オ
レフィンを式（１）のモノマー成分と共重合させる場合
にも、エチレンが存在したほうが共重合性は良好である
。
ンとしては、炭素原子数２〜２０、好適には２〜１０の
α−オレフィンであって、たとえばエチレン、プロピレ
ン、１−ブテン、５−メチ／Ｉ／−ｉ−ブテン、１−ペ
ンテン、３−メ千Ａ／−１−ペンテン、４−メ千Ｊｖ−
１−ペンテン、１−ヘキセン、１−オクテン、１−デセ
ン、１−ドデセン、１−テトラデセン、１−へキサデセ
ン、１−イコセンなどを例示できる。これらの中ではと
くにエチレンが共重合性の面から好ましく、他のα−オ
レフィン（炭素原子数５以上）あるいは後述する環状オ
レフィンを式（１）のモノマー成分と共重合させる場合
にも、エチレンが存在したほうが共重合性は良好である
。
式（１）のモノマー成分と共重合することのできる別の
成分である式（１）以外の環状オレフィンは、架橋のな
いシクロオレフィンやスチレン類かア’）、たトエばシ
クロペンテン、シクロヘキセン、３，４一ジメチＭシク
ロペンテン、５−メチルシクロヘキセン、２−（２−メ
チル１千Ｉし）−１−シクロヘキセン、エチレン、α−
メチルスチレン、２ｊ、５ａ、７ａ−テトラヒドロ−４
，７−メタノ−１Ｈ−インデン、５ａ、５．６．７ｍ−
テトラヒドロ−４，７−メタノ−ＩＨ−インデンなどを
例示できる。ジシクロペンタジェン、エチリデンノＶボ
Ｍネン、ビニＶツルボＭネンといったジエンも同様に共
重合可能である。
成分である式（１）以外の環状オレフィンは、架橋のな
いシクロオレフィンやスチレン類かア’）、たトエばシ
クロペンテン、シクロヘキセン、３，４一ジメチＭシク
ロペンテン、５−メチルシクロヘキセン、２−（２−メ
チル１千Ｉし）−１−シクロヘキセン、エチレン、α−
メチルスチレン、２ｊ、５ａ、７ａ−テトラヒドロ−４
，７−メタノ−１Ｈ−インデン、５ａ、５．６．７ｍ−
テトラヒドロ−４，７−メタノ−ＩＨ−インデンなどを
例示できる。ジシクロペンタジェン、エチリデンノＶボ
Ｍネン、ビニＶツルボＭネンといったジエンも同様に共
重合可能である。
更に以上述べてきたモノマー成分のほかに、他の共重合
可能なモノマー成分を本発明の目的を損わない範囲内で
、重合体中に少量含んでいてもよい。
可能なモノマー成分を本発明の目的を損わない範囲内で
、重合体中に少量含んでいてもよい。
重合体は１以上詳説してきた式（１）のモノマー成分あ
るいは式（１）のモノマー成分及びα−オレフィン及び
／又は環状オレフィンを、周知のチーグラー触媒とくに
バナジウム系の千−グラ−触媒を使用して重合すること
により製造される。より詳しくは、出願人による先行特
許出願（たとえば特願昭’）９−１６９９５号）に開示
されている。重合体の特徴は、式（１）のモノマー成分
が重合体中において主として式（２）で示される構造を
とっていることであり、これにより重合体の沃素価は通
常５以下、多くが１以下である。またこの構造をとるこ
とは”Ｃ−ＮＭＲによっても裏付けられる。
るいは式（１）のモノマー成分及びα−オレフィン及び
／又は環状オレフィンを、周知のチーグラー触媒とくに
バナジウム系の千−グラ−触媒を使用して重合すること
により製造される。より詳しくは、出願人による先行特
許出願（たとえば特願昭’）９−１６９９５号）に開示
されている。重合体の特徴は、式（１）のモノマー成分
が重合体中において主として式（２）で示される構造を
とっていることであり、これにより重合体の沃素価は通
常５以下、多くが１以下である。またこの構造をとるこ
とは”Ｃ−ＮＭＲによっても裏付けられる。
そして本構造をとることにより、重合体は化学的に安定
であって、耐水性及びアＶカリや酸などの耐薬品性に優
れ、更に耐溶剤性、耐熱性、耐候性にも優れる。また極
めて低含水率である。
であって、耐水性及びアＶカリや酸などの耐薬品性に優
れ、更に耐溶剤性、耐熱性、耐候性にも優れる。また極
めて低含水率である。
本発明において最も好適な重合体の態様は、式（１）の
モノマー成分と少なくともエチレンを含み、必要に応じ
て他のα−オレフィンや環状オレフィンを含むものであ
る、この場合１式（１）のモノマー成分／エチレンとの
モＶ比は５／９５〜９５１５、とくには４０／６０〜９
１１／１０の範囲にあるのが好ましく、第５成分すなわ
ち炭素原子数５以上のα−オレフィン及び環状オレフィ
ンが存在する場合には、式（１）のモノマー成分／第５
成分とのモＭ比が５７９５〜９５１５、とくには５０／
７０〜９０／１０の範囲にあるのが好ましい。
モノマー成分と少なくともエチレンを含み、必要に応じ
て他のα−オレフィンや環状オレフィンを含むものであ
る、この場合１式（１）のモノマー成分／エチレンとの
モＶ比は５／９５〜９５１５、とくには４０／６０〜９
１１／１０の範囲にあるのが好ましく、第５成分すなわ
ち炭素原子数５以上のα−オレフィン及び環状オレフィ
ンが存在する場合には、式（１）のモノマー成分／第５
成分とのモＭ比が５７９５〜９５１５、とくには５０／
７０〜９０／１０の範囲にあるのが好ましい。
本発明の透明導電性フィルムを構成する重合体フィルム
は、前記の重合体のうち１５５℃、デカリンで測定した
極限粘度〔η〕が０．５〜２０ａｌ／ｇ、とくに０．５
〜ＩＱｄ／／ｇのものを、必要に応じて耐熱安定剤や耐
候安定剤、滑剤、帯電防止剤などの各ｍ配合剤を添加し
て、押出成形、射出成形、圧縮成形、湿式キャスト等の
公知の成形法によってフィルム（シート）として得る。
は、前記の重合体のうち１５５℃、デカリンで測定した
極限粘度〔η〕が０．５〜２０ａｌ／ｇ、とくに０．５
〜ＩＱｄ／／ｇのものを、必要に応じて耐熱安定剤や耐
候安定剤、滑剤、帯電防止剤などの各ｍ配合剤を添加し
て、押出成形、射出成形、圧縮成形、湿式キャスト等の
公知の成形法によってフィルム（シート）として得る。
かかることにより重合体フィルムはＡＳＴＭ Ｄ１００
５−５２に基づいたヘイズ４０％以下、多くは２０ｑ＆
以下であり、Ａ８ＴＭ Ｄ １’）０に基づいた誘電
率（ＩＫＥ（ｚ）が１．５〜４．ｏ、多くは１．７〜２
，６、誘導正接（ＩＫＥｉｚ） が５Ｘ１０−３−３〜
５×１０−５、多くがＩ Ｘ １０−５〜８×１０ の
範囲にある。またＤＭＡ（動的粘弾性測定計）によるガ
ラス転移温度（Ｔｇ）カ１０〜２２０℃、多くが６０〜
２００”Ｃ。
５−５２に基づいたヘイズ４０％以下、多くは２０ｑ＆
以下であり、Ａ８ＴＭ Ｄ １’）０に基づいた誘電
率（ＩＫＥ（ｚ）が１．５〜４．ｏ、多くは１．７〜２
，６、誘導正接（ＩＫＥｉｚ） が５Ｘ１０−３−３〜
５×１０−５、多くがＩ Ｘ １０−５〜８×１０ の
範囲にある。またＤＭＡ（動的粘弾性測定計）によるガ
ラス転移温度（Ｔｇ）カ１０〜２２０℃、多くが６０〜
２００”Ｃ。
Ａ８ＴＭ Ｄ ５４２に基づいた屈折率（ｎ”）力月、
４７〜１．５８、多くが１．４９〜１．５６の範囲にあ
る。
４７〜１．５８、多くが１．４９〜１．５６の範囲にあ
る。
更に別の性質としてＴＧＡｃ熱天びん）による熱分解温
度（Ｔｄ）が５５０〜４２０℃、多くが５７０〜４１０
℃の範囲にある。尚ここでＴｄは、重合体フィルムをＮ
２気流下、 ＩＱ”Ｃ／ｍｉｎの速麿で昇温し、減量を
開始した温度をＴｄとした。
度（Ｔｄ）が５５０〜４２０℃、多くが５７０〜４１０
℃の範囲にある。尚ここでＴｄは、重合体フィルムをＮ
２気流下、 ＩＱ”Ｃ／ｍｉｎの速麿で昇温し、減量を
開始した温度をＴｄとした。
ＡＳＴＭ Ｄ １５１１５に基づく密度は０．８６〜１
．５０ｇ／ｆｆ３、多くが０．９ Ｑ 〜１．１０ ｇ
／ａｘ ｃ７）範囲内ニアル。
．５０ｇ／ｆｆ３、多くが０．９ Ｑ 〜１．１０ ｇ
／ａｘ ｃ７）範囲内ニアル。
前記の重合本フィルムに設ける導電膜は、可視光透過率
すなわちＪＩＳ Ｋ ６７１４に単拠して測定した値が
５０％以上、とくに７０％以上で、比抵抗が１０００α
以下、とくに５００１以下のものである。
すなわちＪＩＳ Ｋ ６７１４に単拠して測定した値が
５０％以上、とくに７０％以上で、比抵抗が１０００α
以下、とくに５００１以下のものである。
より具体的にはＡｕ、 Ａｇ、Ｃｕ、 Ｐｔ、 ｋｇ、
Ｃｒ、 Ｐｈなどの金属薄膜、Ｉｎ Ｏ（Ｓｎ）、 Ｆ
３ｎ０２（Ｂｂ）。
Ｃｒ、 Ｐｈなどの金属薄膜、Ｉｎ Ｏ（Ｓｎ）、 Ｆ
３ｎ０２（Ｂｂ）。
Ｓｎ０２（Ｆｅ）、ｃａｏ、Ｃｄ２Ｏ３、Ｃｄ Ｓ ｎ
Ｏａ 、Ｔ ｉ ０２、Ｚ ｒ Ｏ２、ＣｕＩなどの
半導体及び酸化物半導体薄膜、ＴｉＯｘ／Ａｇ／Ｔｉ０
ｘ（ｘく２ ）などの多層Ｎ膜、ポリビニＭベンジｖト
リメ千Ｖアンモニウムクロライド、オリゴ（ポリ）スチ
レンスフレホン酸塩などの高分子電解質薄膜系、ポリア
ニリン類、ポリチオフェン類、ポリピロール類などの導
電性高分子等を挙げることができる。これらの導ＮＭは
、スプレー法、プラズマ法、気相反応系（ｃｖｎ）、塗
布法（ＣＬＤ）、真空蒸着法、ＲＦ又はＤＣスパッタリ
ング法、イオンブレーティング法、電解重合法等の周知
の方法でもって重合本フィルム上に積層される、また導
電性高分子は、電解重合法又は気相法によってフィルム
中内部に形成することもできる。また、ＴＴＦ−ＴＣＮ
Ｑ（テトラ千オフ／Ｌ／バレンーテトラシアノキノジメ
タン）などの錯体を含浸させることによって導電性を発
現させることもできる。
Ｏａ 、Ｔ ｉ ０２、Ｚ ｒ Ｏ２、ＣｕＩなどの
半導体及び酸化物半導体薄膜、ＴｉＯｘ／Ａｇ／Ｔｉ０
ｘ（ｘく２ ）などの多層Ｎ膜、ポリビニＭベンジｖト
リメ千Ｖアンモニウムクロライド、オリゴ（ポリ）スチ
レンスフレホン酸塩などの高分子電解質薄膜系、ポリア
ニリン類、ポリチオフェン類、ポリピロール類などの導
電性高分子等を挙げることができる。これらの導ＮＭは
、スプレー法、プラズマ法、気相反応系（ｃｖｎ）、塗
布法（ＣＬＤ）、真空蒸着法、ＲＦ又はＤＣスパッタリ
ング法、イオンブレーティング法、電解重合法等の周知
の方法でもって重合本フィルム上に積層される、また導
電性高分子は、電解重合法又は気相法によってフィルム
中内部に形成することもできる。また、ＴＴＦ−ＴＣＮ
Ｑ（テトラ千オフ／Ｌ／バレンーテトラシアノキノジメ
タン）などの錯体を含浸させることによって導電性を発
現させることもできる。
実施列１
攪拌翼を備えた２１ガラス製重合器を用いて、連続的に
エチレンと２−メチ／Ｉ／−１、４，５１８−ジメタノ
−Ｌ２１５１４ｅ４＆１５，８１８＆−オクタヒドロナ
フタレンＣ以下１４−１４−１）と略）の共重合反応を
行った。すなわち、重合器上部から重合器内でのＭ −
ＤＭＯＮ濃度がｂｎｇ／１１となるようにＭ−ＤＭＯＮ
のトＭエン溶液を毎時０．９４、重合器内でのバナジウ
ム濃度が、１１．５ ｍｍｎ１ ／ ｌとなるようにＶ
Ｏ（ＯＣ２Ｈｓ ）Ｃｌのトルエン溶液を毎時０．７
１１重合器内でのアルミニ示ム濃彦が２ｍｍｎ１／ｄと
なるように二千ルアルミニウムセスキクロリド（Ａｌ１
（Ｃ２ＦＩ５ ）１．５Ｆ’１．５ ）のトルエン溶液
を毎時０．４４の速度で、各重合器中に連続的に供給し
た。一方重合器下部から、重合器中に重合液が常に１４
になるように連続的に抜き出す。また、重合器上部から
エチレンを毎時Ｓ５１、窒素を毎時８０１の速度で供給
する。共重合反応は、冷媒を用いることにより、１０°
Ｃにコントロールして行った０重合器下部から抜き出し
たポリマー重合液にメタノールを少量添加して重合反応
を停止させ、大量のイソプロピＭアルコール中に投入し
て生成共重合体を析出させ、イソプロピＩレアＩレコー
ルで洗浄した。この時共重合体は毎時５０閾の連関で得
られた。１００℃で一昼夜減圧乾燥した後、安定剤とし
て、イルガノックス■１０１０を０，１ｗｔ％、ステア
リン酸亜鉛を０，０７ｗｔ％添加し、サーモプラス千ツ
ク社製２０）φ押出機で２６０℃で造粒した。
エチレンと２−メチ／Ｉ／−１、４，５１８−ジメタノ
−Ｌ２１５１４ｅ４＆１５，８１８＆−オクタヒドロナ
フタレンＣ以下１４−１４−１）と略）の共重合反応を
行った。すなわち、重合器上部から重合器内でのＭ −
ＤＭＯＮ濃度がｂｎｇ／１１となるようにＭ−ＤＭＯＮ
のトＭエン溶液を毎時０．９４、重合器内でのバナジウ
ム濃度が、１１．５ ｍｍｎ１ ／ ｌとなるようにＶ
Ｏ（ＯＣ２Ｈｓ ）Ｃｌのトルエン溶液を毎時０．７
１１重合器内でのアルミニ示ム濃彦が２ｍｍｎ１／ｄと
なるように二千ルアルミニウムセスキクロリド（Ａｌ１
（Ｃ２ＦＩ５ ）１．５Ｆ’１．５ ）のトルエン溶液
を毎時０．４４の速度で、各重合器中に連続的に供給し
た。一方重合器下部から、重合器中に重合液が常に１４
になるように連続的に抜き出す。また、重合器上部から
エチレンを毎時Ｓ５１、窒素を毎時８０１の速度で供給
する。共重合反応は、冷媒を用いることにより、１０°
Ｃにコントロールして行った０重合器下部から抜き出し
たポリマー重合液にメタノールを少量添加して重合反応
を停止させ、大量のイソプロピＭアルコール中に投入し
て生成共重合体を析出させ、イソプロピＩレアＩレコー
ルで洗浄した。この時共重合体は毎時５０閾の連関で得
られた。１００℃で一昼夜減圧乾燥した後、安定剤とし
て、イルガノックス■１０１０を０，１ｗｔ％、ステア
リン酸亜鉛を０，０７ｗｔ％添加し、サーモプラス千ツ
ク社製２０）φ押出機で２６０℃で造粒した。
１３Ｃ−ＮＭＲ分析による共重合体のエチレン組成は６
５モル％、１５５℃デカリン中で測定した極限粘度〔η
〕は０．９２ｄ１７ｇ、デュポン社製Ｉ）ｙｎａｍｉｃ
ＭｅｃｂＰＬｎｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｅｒ （ＤＭＡ
）によるガラス転移温度が１２７℃、誘電率と誘電正
接が各２．１及び１．５×１０ であり、アツベの屈折
率計（Ｄ線）で測定した屈折率が１．５５５であった。
５モル％、１５５℃デカリン中で測定した極限粘度〔η
〕は０．９２ｄ１７ｇ、デュポン社製Ｉ）ｙｎａｍｉｃ
ＭｅｃｂＰＬｎｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｅｒ （ＤＭＡ
）によるガラス転移温度が１２７℃、誘電率と誘電正
接が各２．１及び１．５×１０ であり、アツベの屈折
率計（Ｄ線）で測定した屈折率が１．５５５であった。
また、 １ ｍｍプＶＸシー）で、ＡＳＴＭ Ｄ １０
０５−５２にＩＩ拠した霞度（ヘイズ）計で透明性を測
定したところ３．１％であった。
０５−５２にＩＩ拠した霞度（ヘイズ）計で透明性を測
定したところ３．１％であった。
このようにして得られた樹脂を、サーモプラスチック製
５０＋ｎｍφ、Ｔダイ成形機により樹脂温度２８０℃で
厚さ０．１ｍ１Ｉ＋、巾２０ａＩＫの均一で透明ナフィ
ルムを作製した。
５０＋ｎｍφ、Ｔダイ成形機により樹脂温度２８０℃で
厚さ０．１ｍ１Ｉ＋、巾２０ａＩＫの均一で透明ナフィ
ルムを作製した。
２４ｉ＠マグネトロンスパツター（日電アネルバ）によ
り、ｉ５，５６ＭＦ（ｚの高周波電源を弔い、基板温度
５０℃、ターゲットはＩｎ／５ｎ＝９／１合金ターゲッ
トを用い、反応ガＸ Ｏ２／ Ａ ｒ ＝５０ ／ ７
０ ％）、スパッター圧力４ Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ、
ＲＦ出カ５０Ｗ、スパッター速度５０Ｘ／ｍｉｎでＩ
ＴＯ膜を形成した。フイｔＶム性能は、タイリーステッ
プＣＴａｙｌｎｒＦｉｏｂｓｏｎ製）により測定したＩ
ＴＯ膜厚５５００＾、四探針法により測定した比抵抗２
×１００・口。
り、ｉ５，５６ＭＦ（ｚの高周波電源を弔い、基板温度
５０℃、ターゲットはＩｎ／５ｎ＝９／１合金ターゲッ
トを用い、反応ガＸ Ｏ２／ Ａ ｒ ＝５０ ／ ７
０ ％）、スパッター圧力４ Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ、
ＲＦ出カ５０Ｗ、スパッター速度５０Ｘ／ｍｉｎでＩ
ＴＯ膜を形成した。フイｔＶム性能は、タイリーステッ
プＣＴａｙｌｎｒＦｉｏｂｓｏｎ製）により測定したＩ
ＴＯ膜厚５５００＾、四探針法により測定した比抵抗２
×１００・口。
自己分光光置針ＵＶ５６５ （高滓製作所）で測定した
光透過率（４００ｎｍ〜７５０ｎｍ）は７５％であり、
良好な導電性フィルムが得られた。
光透過率（４００ｎｍ〜７５０ｎｍ）は７５％であり、
良好な導電性フィルムが得られた。
実施例２
実施例１と同様にして、エチレンと６−ニチルビシクロ
（２，２，１）ヘプト−２−二ン（ＭＢＨと略）の共重
合反応、それにつづく精製、造粒を行った。共重合体の
エチレン含量は６２モル％、極限粘度は１，７９６ｉ／
に、ガラス転移温度１００℃、誘電率２．４、誘電体正
接２，０Ｘ１１１ 、屈折率１．５１９であった。ま
た−ヘイズ値は５．４％であった。この樹脂を２４０℃
で厚さ０−５ｍｍの圧縮成形シートに成形した。
（２，２，１）ヘプト−２−二ン（ＭＢＨと略）の共重
合反応、それにつづく精製、造粒を行った。共重合体の
エチレン含量は６２モル％、極限粘度は１，７９６ｉ／
に、ガラス転移温度１００℃、誘電率２．４、誘電体正
接２，０Ｘ１１１ 、屈折率１．５１９であった。ま
た−ヘイズ値は５．４％であった。この樹脂を２４０℃
で厚さ０−５ｍｍの圧縮成形シートに成形した。
基板温度を４０°Ｃにした以外は実施例１と同様に行っ
た。その結果、ＩＴＯ膜厚５８ｏＯλ、比抵抗４×１０
Ωα、光透過率７０％の良好な透明導電性フイＭムが
得られた。
た。その結果、ＩＴＯ膜厚５８ｏＯλ、比抵抗４×１０
Ωα、光透過率７０％の良好な透明導電性フイＭムが
得られた。
実施例３
実施例１の共重合体を厚さ０．５ｍｍのプレスシートに
成形した。実施例１と同様にして工ｎ２ｏ３／９モＭ％
Ｓ ｎ Ｏ２の酸化物ターゲットを用い、基板温麿りＯ
℃、Ａｒガス中でスパッター圧４ Ｘ １０−２ｔｏｒ
ｒで、ＲＦ出力ｉｒ＋ｏｗ、スパッター速度４０λ／
ｍ ｉ ｎの条件でＩＴＯ膜を形成した。
成形した。実施例１と同様にして工ｎ２ｏ３／９モＭ％
Ｓ ｎ Ｏ２の酸化物ターゲットを用い、基板温麿りＯ
℃、Ａｒガス中でスパッター圧４ Ｘ １０−２ｔｏｒ
ｒで、ＲＦ出力ｉｒ＋ｏｗ、スパッター速度４０λ／
ｍ ｉ ｎの条件でＩＴＯ膜を形成した。
その結果、導電層の膜厚４００１１λ、光透過率８０％
、比抵抗Ｉ Ｘ １０−３Ωαの良好な透明導電性フィ
ルムが得られた。
、比抵抗Ｉ Ｘ １０−３Ωαの良好な透明導電性フィ
ルムが得られた。
実施例４
実施例５と同じシートを用い、スパッター装置でＣＴＯ
＠を形成した。ターゲットはＣｄ Ｏ／ Ｓ ｎ Ｏ２
＝２／１（重量比）、反応ガスは０２／Ａｒ ＝ １３
／ ８７（％）、スパッター圧２ Ｘ Ｉ Ｑ−２Ｔｏ
ｒｒ 、 ＲＦ出カ１θＯＷ、スパッター速ｑ５０Ａ／
ｍｉｎで行った。その結果、導電層膜厚５４１１０＾／
ｍｉｎ、光透過率８５％、比抵抗２ Ｘ １０−３Ωα
の透明導電性フイＩレムが得られた。
＠を形成した。ターゲットはＣｄ Ｏ／ Ｓ ｎ Ｏ２
＝２／１（重量比）、反応ガスは０２／Ａｒ ＝ １３
／ ８７（％）、スパッター圧２ Ｘ Ｉ Ｑ−２Ｔｏ
ｒｒ 、 ＲＦ出カ１θＯＷ、スパッター速ｑ５０Ａ／
ｍｉｎで行った。その結果、導電層膜厚５４１１０＾／
ｍｉｎ、光透過率８５％、比抵抗２ Ｘ １０−３Ωα
の透明導電性フイＩレムが得られた。
実施例５
実施例１に示した共重合体を使用して１次の条件で電解
重合を行った。白金１１１’Ｍ（５Ｘ５ａＩＩ）の両面
に共重合フィルム（１０μｌ厚さ）を加熱圧着し、この
電極を陽極とし、陰極にも白金板を雨いた。電解質液と
して、ビロール、テトラエチｌレアンモニウム塩（ＢＦ
Ｍ）のアセトニトリｌし液を用い、印加電圧２．１■で
１，５分間電解重合を行った。得られた透明導電性フィ
ルムは光透過率６０％、比抵抗５５Ω口であった。
重合を行った。白金１１１’Ｍ（５Ｘ５ａＩＩ）の両面
に共重合フィルム（１０μｌ厚さ）を加熱圧着し、この
電極を陽極とし、陰極にも白金板を雨いた。電解質液と
して、ビロール、テトラエチｌレアンモニウム塩（ＢＦ
Ｍ）のアセトニトリｌし液を用い、印加電圧２．１■で
１，５分間電解重合を行った。得られた透明導電性フィ
ルムは光透過率６０％、比抵抗５５Ω口であった。
以上述べてきたように本発明の透明導電性フィルムは、
■ 透明性に優れる。
■酸及びアルカリに対して強い抵抗性を示す、すなわち
耐薬品性に優れる。
耐薬品性に優れる。
■ メタノール、メ千ルエ千ルケトン、酢酸二千〜、ヘ
キサンなどに不溶であって耐溶剤性に優れる、 ■ 加工性がよく大面積化が可能である、■ ａｍでか
つフレキシビリティに富む、■ 薄膜化が可能である。
キサンなどに不溶であって耐溶剤性に優れる、 ■ 加工性がよく大面積化が可能である、■ ａｍでか
つフレキシビリティに富む、■ 薄膜化が可能である。
■ 耐熱性に優れる、
といった数々の特徴を有している。
そして本発明の透明導電性フィルムは次のような用途に
使用できる。すなわち導電膜上に必要に応じてポリビニ
ＭカＭバゾールや硫化カドミウムなどの光導を本や誘導
体の薄膜を形成させて、ＯＨＰ、第２原図、スライドフ
ィルム、マイクロフィルムなどの電子写真記録用途、Ｋ
Ｌ（エレクトロルミネッセンス）、液晶、エレクトロク
ロミック、電気泳動表示などの固体ディスプレイ用途、
サーモプラスチックレコーディング、強誘電体メモリー
などの光メモリー用途、透明タブレットなどの端末機器
−メーター類の窓、ＴＶブラウン管、クリーンル−ムの
窓や床、半導体装材料、電磁波遮蔽用途、太＠電池の窓
、光増幅器などの光電変換妻子、熱線反射用途、自動車
や航空機のデフロスタなどの面発熱体用途等に好適であ
る。
使用できる。すなわち導電膜上に必要に応じてポリビニ
ＭカＭバゾールや硫化カドミウムなどの光導を本や誘導
体の薄膜を形成させて、ＯＨＰ、第２原図、スライドフ
ィルム、マイクロフィルムなどの電子写真記録用途、Ｋ
Ｌ（エレクトロルミネッセンス）、液晶、エレクトロク
ロミック、電気泳動表示などの固体ディスプレイ用途、
サーモプラスチックレコーディング、強誘電体メモリー
などの光メモリー用途、透明タブレットなどの端末機器
−メーター類の窓、ＴＶブラウン管、クリーンル−ムの
窓や床、半導体装材料、電磁波遮蔽用途、太＠電池の窓
、光増幅器などの光電変換妻子、熱線反射用途、自動車
や航空機のデフロスタなどの面発熱体用途等に好適であ
る。
Claims (6)
- （１）少なくとも式（１）で示されるモノマー成分を含
む重合体であって、重合体中において前記モノマー成分
が式（２）で示される構造をとり、１５５℃、デカリン
中で測定した極限粘度〔η〕が０．５〜２０ｄｌ／ｇで
ある重合体のフィルムの表面に、光透過率５０％以上及
び比抵抗 １００Ωｃｍ以下の導電膜を設けてなることを特徴とす
る透明導電性フィルム。 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿１〜Ｒ＿１＿２は水素、アルキル基又はハロ
ゲンであって各同一又は異なっていてもよく、更にＲ＿
９又はＲ＿１＿０とＲ＿２＿２又はＲ＿１＿２は互に環
を形成していてもよい。ｎは０又は１以上の正数であっ
て、Ｒ＿５〜Ｒ＿８が複数回繰り返される場合にはこれ
らは各同一又は異なっていてもよい。） - （２）重合体が式（１）のモノマー成分及びα−オレフ
ィン及び／又は式（１）以外の環状オレフィンとからな
る特許請求の範囲第１項記載の透明導電性フィルム。 - （３）重合体が式（１）のモノマー成分及びエチレンの
２成分を含む特許請求の範囲第１項又は第２項記載の透
明導電性フィルム。 - （４）式（１）のモノマー成分においてｎ＝１である特
許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の透
明導電性フィルム。 - （５）重合体フィルムがヘイズ４０％以下、誘電率（１
ＫＨｚ）１．５〜４．０、誘電正接（１ＫＨｚ）５×１
０＾−＾３〜５×１０＾−＾５、ガラス転移温度１０〜
２２０℃、及び屈折率１．４７〜１．５８の範囲にある
特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の
透明導電性フィルム。 - （６）重合体フィルムの表面に設ける導電膜が、金属薄
膜、金属酸化物合金薄膜、半導体薄膜、多層薄膜、高分
子電解質薄膜及び導電性高分子薄膜からなる群より選ば
れる特許請求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記
載の透明導電性フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60122556A JPH0618086B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60122556A JPH0618086B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 透明導電性フイルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61281404A true JPS61281404A (ja) | 1986-12-11 |
| JPH0618086B2 JPH0618086B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=14838809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60122556A Expired - Fee Related JPH0618086B2 (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618086B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992017529A1 (en) * | 1991-03-29 | 1992-10-15 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Thermoplastic saturated norbornene resin sheet and production thereof |
| JPH08142263A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-06-04 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 金属・環状オレフィン系樹脂積層体およびその製造方法 |
| WO2003084741A1 (fr) * | 2002-04-09 | 2003-10-16 | Jsr Corporation | Film lamine |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP60122556A patent/JPH0618086B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992017529A1 (en) * | 1991-03-29 | 1992-10-15 | Nippon Zeon Co., Ltd. | Thermoplastic saturated norbornene resin sheet and production thereof |
| JPH08142263A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-06-04 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 金属・環状オレフィン系樹脂積層体およびその製造方法 |
| WO2003084741A1 (fr) * | 2002-04-09 | 2003-10-16 | Jsr Corporation | Film lamine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0618086B2 (ja) | 1994-03-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |