JPS61276680A - 空気液化分離方法 - Google Patents

空気液化分離方法

Info

Publication number
JPS61276680A
JPS61276680A JP11837685A JP11837685A JPS61276680A JP S61276680 A JPS61276680 A JP S61276680A JP 11837685 A JP11837685 A JP 11837685A JP 11837685 A JP11837685 A JP 11837685A JP S61276680 A JPS61276680 A JP S61276680A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
column
nitrogen gas
air
nitrogen
product
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11837685A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0563716B2 (ja
Inventor
岡田　英武
登美男 倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
Original Assignee
Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Oxygen Co Ltd, Nippon Sanso Corp filed Critical Japan Oxygen Co Ltd
Priority to JP11837685A priority Critical patent/JPS61276680A/ja
Publication of JPS61276680A publication Critical patent/JPS61276680A/ja
Publication of JPH0563716B2 publication Critical patent/JPH0563716B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04642—Recovering noble gases from air
    • F25J3/04648—Recovering noble gases from air argon
    • F25J3/04654—Producing crude argon in a crude argon column
    • F25J3/04666—Producing crude argon in a crude argon column as a parallel working rectification column of the low pressure column in a dual pressure main column system
    • F25J3/04672—Producing crude argon in a crude argon column as a parallel working rectification column of the low pressure column in a dual pressure main column system having a top condenser
    • F25J3/04678—Producing crude argon in a crude argon column as a parallel working rectification column of the low pressure column in a dual pressure main column system having a top condenser cooled by oxygen enriched liquid from high pressure column bottoms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
    • F25J3/04333—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
    • F25J3/04351—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams of nitrogen
    • F25J3/04357—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams of nitrogen and comprising a gas work expansion loop
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04406—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a dual pressure main column system
    • F25J3/04412—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a dual pressure main column system in a classical double column flowsheet, i.e. with thermal coupling by a main reboiler-condenser in the bottom of low pressure respectively top of high pressure column
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
    • F25J2200/50—Processes or apparatus using separation by rectification using multiple (re-)boiler-condensers at different heights of the column
    • F25J2200/52—Processes or apparatus using separation by rectification using multiple (re-)boiler-condensers at different heights of the column in the high pressure column of a double pressure main column system
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
    • F25J2245/42—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams the recycled stream being nitrogen

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は空気を液化精留することにより酸素。
窒素およびアルゴンを採取する空気液化精留分離方法に
関し、詳しくは複精留塔の性能を向上させ上記製品ガス
の純度を維持しつつ、収率を高め且つ製品需要の変動に
対応して安価な製品加圧ガスを供給し得る空気液化精留
分離方法に関する。
〔従来の技術〕
複精留塔を用いて空気を液化精留分離する従来の方法の
主なものは、いわゆる全低圧型といわゆる中圧型である
。全低圧型は第２図に示す如く、原料空気圧縮機１によ
り空気Ａを５〜６Ｎ５Ｆ／ｃｏｔａｂに圧縮し、可逆式
熱交換器６．６′において水分および炭酸ガスを除去す
ると共に空気の液化点適（迄冷部した後、その大部分を
複精留塔７の下部塔８に導入して予備精留を行ない、更
に上部塔１５で精留を行なって上部塔１５頂部から管２
８を経て高純窒素ガスＧＮ２　、上部塔１５中部から管
４７．４８を経て不純窒素ガスＲＮ２　、上部塔１５底
部から管２４．２５を経て純酸素ガスＧＯ２とを分離、
採取する。同時にアルゴン原料ガスも上部塔１５中間段
より管２１を経て粗アルゴン塔１７で採取する。また前
記精製冷却空気の一部を熱交換器６′により若干加熱温
度回復後、膨張タービン３５で約５Ｋｓ／ｃｄａｂから
大気圧付近迄断熱膨張し必要な寒冷を発生させ、生成し
た低圧低温空気を上部塔１５に吹き込んでいる。前記管
２８を経て採取する高純窒素ガスＧＮ２は需要先へ加圧
状態で供給する場合、窒素圧縮機３１′により加圧供給
する。また複精留塔７の凝縮器２０からは管４６を経て
液体酸素１０２が採取される。
また中圧型は第３図に示す如く、原料空気圧縮８１１に
より空気Ａを１．ＯＫ！ｉ／ｃｄａｂ以上に圧縮し、不
純物除去工程４で水分、炭酸ガスを除去して熱交換器６
において１１５〜１６０’に迄冷却した後２分し、その
一部を更に冷却して液化し、他の一部は膨張タービン３
５で約５腹／Ｃｄａｂまで断熱膨張し、両者を再び合流
して複精留塔７の下部塔８へ導入して予備精留を行なっ
た後、上部塔１５にて更に精留を行なって、上部塔１５
頂部から管２８．３２を経て高純窒素ガスＧＮ２を、上
部塔１５底部から管２４．２５を経て酸素ガスＧＯ２を
分離採取する。同時に上部塔１５中間段より管２１を経
てアルゴン原料ガスも粗アルゴン塔１７に採取する。こ
の場合も管３２よりの高純窒素ガスＧ　Ｎ　２が加圧状
態で供給する必要がある時は窒素圧縮機（図示せず）に
より加圧供給していた。
（発明が解決しようとする問題点〕 前記全低圧型はガス酸素の製造を主目的としており、そ
の収率は約７９％と高いが製品として同時に採取する高
純窒素ガスの収率は低く原料空気中の窒素凶の８２％以
下が普通である。またアルゴンの収率も通常５５％以下
である。
また中圧型は窒素製造用として広く用いられているが、
近年半導体工業等に用いられる窒素は純度に対する要求
が厳しく例えば９９．９９９％以上であることが必要と
されるが、この要求に適合させるには製品窒素の収率を
犠牲にしなければならない。またアルゴンの需要も急速
に増大しているが、本型式の装置でも５０％以上のアル
ゴン収率を確保することは難しい。更に製品窒素の需要
変動に対する装置の運転追従性が充分でない。更にまた
製品ガスが加圧状態で必要な場合はほぼ常圧で得られる
ガスを別に設けた圧縮機により加圧供給しなければなら
ない等の欠点がある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記問題点を解決するために、製品窒素ガスを
加圧供給するための窒素圧縮機を利用して独特の窒素循
環系を形成し、精留塔の還流比を向上させ純度を上げる
還流液を増量し、また蒸化熱源とすると共に膨張タービ
ンの作動ガスの検討を持たせ、これによって極めて高純
度の窒素を高い収率でしかも低動力原単位で採取し得る
様にしたものである。また液体窒素を外部から系内に供
給することにより、膨張タービンを減量運転ないしは停
止した場合にタービン量の減少に相当する量の窒素ガス
を製品として圧送することが出来る様にして、需要変動
に応じて効率の高い増量、減量運転が出来る様にしたも
のである。
即ち、第１発明は、空気を５〜７醇／ｃｄａｂに圧縮し
含有する水分と炭酸ガスを除去すると共に液化点付近迄
冷却した後、複精留塔に導入して液化精留分離して酸素
および窒素を採取し、必要に応じて上部塔中間段からア
ルゴン原料ガスを抽出しアルゴン精留塔で生成してアル
ゴンを分離し、上記分離ガスのうち少なくともガス状の
ものは熱交換器に導入して常温にし製品として取出す空
気液化分離方法において、上記熱交換により昇温した製
品窒素ガスを窒素圧縮機によって圧縮して２分し、その
一方を製品加圧窒素ガスとして送出し、他方を更に２分
しその第１の流れは膨張タービンに導入して降圧降温し
た後上記製品窒素ガスと合流させ、その第２の流れは上
記複精留塔下部塔の蒸化器に導入して液化後導出して下
部塔上部または上部塔上部へ還流液として導入すること
を特徴とする空気液化分離方法であり、更に第２発明は
第１発明において、貯槽に貯留してある液体窒素を複精
留塔上部塔上部または下部塔上部に供給し、膨張タービ
ンを減量運転または停止してその減量分または供給停止
分の窒素ガスを製品として送出すると共に、製品窒素の
増加に応じて必要となる原料空気の増加量を予備的に設
けた小型補助空気圧縮機を起動することによって効率良
く製品ガスを製品することを特徴とする空気液化分離方
法である。
〔作　用〕
上記のように構成することにより、精留塔の還流液を増
加させ、又蒸化熱源を与えたことにより上昇ガスを増加
させて精留能力を増強させ、高純度の加圧窒素ガスを高
収率で且つ低い動力原単位で採取し得、同時にアルゴン
も高収率で採取し得る様になった。更に需要変動に対応
して効率良く増量または減量生産を行なうことが可能と
なった。
（実施例〕 第１図は本発明の一実施例の系統図である。
原料空気３，３００　Ｎｍ／ｈが空気圧縮機１ａによっ
て６．　Ｏ幻／ｃｌａｂに圧縮され、次いで冷却器２に
導入されて圧縮熱による温度上昇分を冷却し、気液分離
器３に入って凝縮水を分離排出する。
凝縮水を分離した圧縮空気は更に前処理装置４′に導入
されて含有する水分と炭酸ガスが除去され、管５を経て
熱交換器６の流路６ａに導入される。
流路６ａ中で液化点付近の温度迄冷却された後、複精留
塔７の下部塔８に導入され、ここで液化精留１分離され
て頂部に窒素を底部に酸素富化液体空気を分離する。該
下部塔８には底部に後記する蒸化器３８が設けられてお
り、上記酸素富化液体空気の蒸発を促進して塔内上昇ガ
スを増量させていると共に該下部塔８頂部からは後記す
る液体窒素５０ＯＮｉＴ１ｍ／ｈが弁４０より供給され
て還流液を増強しており、この両者によって空気の分離
度が高められている。下部塔８頂部に生成した液体窒素
は管９より１．９００　Ｎイ／ｈの量が取り出され適冷
器１０に入り向流する上部塔１５よりの製品窒素ガスと
熱交換して過冷却され弁１１によって膨張し更に降温し
て管１２より１．５ＫＩｌｄａｂの圧力下にある上部塔
１５内に還流液として供給される。また下部塔８底部か
らは酸素３７％を含む液体空気１．９００　Ｎ−ｒｒ？
／ｈが導管１３Ｊ：り取出され適冷器１０に入って前記
と同様に過冷却された後導出して２分し、その一方は弁
１４で膨張して１．５ＮＩＦ／ｃｍａｂとなり上部塔１
５の中間段に供給され、他の一方は弁１６で膨張後、粗
アルゴン塔１７の凝縮器１８に導入され、ここで気化し
て管１９より導出し上部塔１５の中間段（前記弁１４よ
り液体空気を導入した段より下方の中間段）へ導入され
る。
上部塔１５においてはこの様に管１２よりの液体窒素、
弁１４よりの液体空気の導入により精留が行なわれて上
部に窒素、底部の凝縮器２ｏに液体酸素が留出する。更
に該上部塔１５の中間段より管２１を経てアルゴン原料
ガスが導出されて前記粗アルゴン塔１７に導入され、こ
こでアルゴンが濃縮され、該塔１７上部の管２３より液
体粗アルゴンとして２５　Ｎ−ｍ”／ｈが取り出され次
の精製工程へ向けられる。粗アルゴン塔１７底部からは
アルゴンを分離された液体酸素が管２２を経て前記上部
塔１５の中間段へ戻される。
上部塔１５において精留分離が行なわれ、頂部に分離さ
れた不純物１０ｐｐＩｌｌ以下の窒素ガス３゜００、Ｏ
Ｎ−ｍ’／ｈは管２８より導出されて適冷器１０、導管
２９を流れ、後記する管３６からの膨張タービン吐出ガ
ス８００　Ｎｍ／ｈと合流し、３゜８０ＯＮ−ｍ’／ｈ
となって前記熱交換器６の流路６ｄに入り常温迄加温さ
れて管３ｏに導出し、循環圧縮機３１に入る。循環圧縮
１ｍ１３１で９に９／ｃｄａｂに圧縮された窒素ガスは
導出後２分し、その一方２．５００８ｍ’／ｈは導管３
２より製品窒素として需要先へ供給される。分岐した他
の一方１，３００　Ｎｍ／ｈの窒素ガスは管３３を経て
前記熱交換器６の流路６ｅに入り冷却されるが約１３０
’に迄冷却した所で更に２分し、その一方８００　ＮＭ
？／ｈの窒素ガスは管３４ａを経て取り出され、膨張タ
ービン３５に入ってこれを駆動し、１〜２　Ｋｇ／ｃｄ
ａｂ迄膨張降渇した後管３６へ導出して前記管２９より
の窒素ガス流に合流する。なお膨張タービン駆動用ガス
として抽出されるガスの分岐路は上記管３４ａに限らず
任意の温度レベルに応じて熱交換器６の前よりの分岐流
路３４ｂあるいは該熱交換器６の後の分岐流路３４Ｇの
いずれかを選択しても良い。
約１３０°にで分岐した他の一方５００？ｎ’／ｈの窒
素ガスは更に熱交換器６の流路６ｅをそのまま流れて液
化点近くの温度迄冷却されて導管３７に導出し、次いで
前記下部塔８の底部に設けた蒸化器３８に入って該塔８
塔底の酸素富化液化空気の蒸発熱源となり、この液体空
気の蒸発を活発ならしめて塔内上野ガスを増量させ、自
身は液化し管３９へ導出し膨張弁４０で膨張後下部基８
頂部に供給される。この液体窒素は下部塔８および管９
．１２を介して上部塔１５の３！流液に加えられ、精留
分離能力を増強した後、気化して分離された高純窒素と
合流して前記導管２８に導出し、上記の流路を逐次流れ
て循環系を完結する。また上記液体窒素は直接上部塔１
５頂部へ導入しても良い。
この窒素循環系、統を設けたことによって製品窒素およ
び製品酸素の収率を高めることにより廃ガス量およびそ
れに含まれて捨てられるアルゴン損失を押えることにな
りアルゴン収率を大幅に高めることが出来た。また原料
空気量が減ったことにより水分と炭酸ガスを除去する予
備精製の負担を小さくすることができる。
更に液体窒素貯槽４１を設け、ローリ−車による輸送に
より外部からの液体窒素を供給貯液するか、あるいは製
品窒素ガス需要の少ない時、膨張タービンの余剰寒冷で
生成した液体窒素を管９゜管４２．弁４３を経て導入し
て貯液しておく。
製品窒素ガスの需要の多い時にはこの液体窒素を管４４
．弁４５．管１２を経て上部塔１５頂部へ補給すること
により寒冷補給を行ない、これに応じて膨張タービン３
５を減量または停止して、その減量分に相当する窒素ガ
スを余分に前記管３２より需要先へ送る。この際製品窒
素の増加に必要な原料空気の増加が必要であるが、予備
的に設けられた小型の空気圧縮機１ｂを起動することに
よってまかなわれる。この場合窒素ガスの分離（大気圧
近くの窒素ガスの発生）に必要な６．０Ｋｇ／ｃｄａｂ
の圧縮空気の増加により窒素圧縮機の増加なしに圧力９
Ｎ５Ｆ／ｃＩＩｌａｂの製品窒素が相当回前られるから
、増加分の電力消費が小さく有利であることは明らかで
ある。あるいは液体窒素の供給時膨張タービン３５を減
量または停止した際、その減」分だけ窒素圧縮機３１を
減量して動力節減を計ることもできる。この場合は゛側
斜空気量および需要先へ送る製品窒素量は通常運転時と
変らない。
以上のように窒素循環系統と液体窒素貯槽４１からの液
体窒素供給を組合せて運転することにより需要変動に応
じて効率良く需要先へのガス供給ができる。
次に上部塔１５底部の凝縮器２０に分離留出した酸素に
ついては、管２４より酸素ガス６５ＯＮＭ？／ｈが取り
出され、熱交換器６の流路６ｂを通って常温迄加温され
導管２５より製品酸素ガスとして装置外へ導出される。
また管４６より液体酸素が必要に応じ取り出される。
上部塔１５の上部中間段からは更に導管４７により窒素
を主成分とする廃ガスが導出され、前記熱交換器６の流
路６Ｃを通って寒冷を回収され管４８より装置外へ放出
される。また前記凝縮器２０の頂部からは管４９を経て
水素、ヘリウム等を含んだ廃ガスが抽出、放出される。
本実施例において液体窒素の補給が夫々ＯＮｄ／ｈ　、
１００　Ｈｄ／ｈ　、８００　Ｎｎ／ｈで純度９９．９
９９容量％以上、圧力９Ｋｇ／ｃｄａｂの窒素ガス２．
５００　Ｎ−ｒｆ／ｈまたは３．３００　Ｎ−ｒｆ／ｌ
ｌを製造した場合に収率、電力、消費量、副製品のｍ等
についての比較を行ったが、その結果は次表のごとくで
あった。
〔発明の効果〕
製品窒素ガス圧送用の圧縮機を利用して製品窒素系統に
独特の循環系を形成させ、これによって精留塔の還流液
を増加、上昇ガスを増加させて精留能力を増加させ、高
純度の加圧窒素ガスを高収率で且つ低い動力原単位で採
取供給し、同時にアルゴンも従来より高収率で採取し得
る様になった。
これらの値の比較は上記表に示した通りである。
また加圧窒素ガスを１Ｒ要変動に対応して効率良く増量
または減ｍ生産を行うことが出来、動力原単位を低くす
ることが出来た。従って近年特に需要の増大している半
導体工業向の高純度窒素を必要壜に応じて安価に供給し
得、またアルゴンも安価に提供し得る様になった。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明方法の一実施例を示す系統図、第２図は
全低圧型の、第３図は中圧型の複精留塔を用いて空気を
液化精留分離する系統図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、空気を圧縮し含有する水分と炭酸ガスを除去すると
    共に液化点付近迄冷却した後、複精留塔に導入して酸素
    および窒素を液化精留分離して採取し必要に応じて上部
    塔中間段からアルゴン含有ガスを抽出し、粗アルゴン塔
    に導入して粗アルゴンを分離する空気液化分離方法にお
    いて、製品窒素ガスを熱交換により昇温後圧縮して２分
    し、その一方を製品加圧窒素ガスとして送出し、他方を
    更に２分しその第１の流れは膨張タービンに導入して降
    圧降温した後上記製品窒素ガスと合流させ、その第２の
    流れは上記複精留塔下部塔の蒸化器に導入液化後導出し
    、下部塔上部または上部塔上部へ還流液として導入する
    ことを特徴とする空気液化分離方法。 ２、空気を圧縮し含有する水分と炭酸ガスを除去すると
    共に液化点付近迄冷却した後、複精留塔に導入して酸素
    および窒素を液化精留分離して採取し必要に応じて上部
    塔中間段からアルゴン含有ガスを抽出し、粗アルゴン塔
    に導入して粗アルゴンを分離する空気液化分離方法にお
    いて、製品窒素ガスを熱交換により昇温後圧縮して２分
    し、その一方を製品加圧窒素ガスとして送出し、他方を
    更に２分してその第１の流れは膨張タービンに導入して
    降圧降温した後上記製品窒素ガスと合流させ、その第２
    の流れは上記複精留塔下部塔の蒸化器に導入液化後導出
    し、下部塔上部または上部塔上部へ還流液として導入す
    ると共に、貯槽に貯留してある液体窒素を複精留塔上部
    塔上部または下部塔上部に供給し、あるいは同時に原料
    空気量を増量し、膨張タービンを減量運転または停止し
    てその減量分または供給停止分の窒素ガスを製品として
    送出することを特徴とする空気液化分離方法。
JP11837685A 1985-05-31 1985-05-31 空気液化分離方法 Granted JPS61276680A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11837685A JPS61276680A (ja) 1985-05-31 1985-05-31 空気液化分離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11837685A JPS61276680A (ja) 1985-05-31 1985-05-31 空気液化分離方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61276680A true JPS61276680A (ja) 1986-12-06
JPH0563716B2 JPH0563716B2 (ja) 1993-09-13

Family

ID=14735168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11837685A Granted JPS61276680A (ja) 1985-05-31 1985-05-31 空気液化分離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61276680A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007003097A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Air Water Inc 窒素発生方法およびそれに用いる装置
US20230052938A1 (en) * 2021-08-11 2023-02-16 Zhengrong Xu Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle
US20230050296A1 (en) * 2021-08-11 2023-02-16 Zhengrong Xu Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007003097A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Air Water Inc 窒素発生方法およびそれに用いる装置
US20230052938A1 (en) * 2021-08-11 2023-02-16 Zhengrong Xu Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle
US20230050296A1 (en) * 2021-08-11 2023-02-16 Zhengrong Xu Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle
US11933539B2 (en) * 2021-08-11 2024-03-19 Praxair Technology, Inc. Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle
US11933541B2 (en) * 2021-08-11 2024-03-19 Praxair Technology, Inc. Cryogenic air separation unit with argon condenser vapor recycle

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0563716B2 (ja) 1993-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11353262B2 (en) Nitrogen production method and nitrogen production apparatus
JP2875206B2 (ja) 高純度窒素製造装置及び方法
JPS61110872A (ja) 窒素製造方法
US4192662A (en) Process for liquefying and rectifying air
JPH1163810A (ja) 低純度酸素の製造方法及び装置
JPH07151458A (ja) 圧力下のガス状酸素及び／又はガス状窒素の製造方法並びに設備
JPS61276680A (ja) 空気液化分離方法
JP3992387B2 (ja) 空気分離装置
JP4520667B2 (ja) 空気分離方法および装置
JP3748677B2 (ja) 低純度酸素の製造方法及び装置
JP3738213B2 (ja) 窒素製造方法及び装置
JP2859663B2 (ja) 窒素ガスおよび酸素ガス製造装置
JP3737612B2 (ja) 低純度酸素の製造方法及び装置
JP3181546B2 (ja) 空気からの窒素およびアルゴンの製造方法および装置
JP3044564B2 (ja) ガス分離方法及び装置
JP2000180051A (ja) 超高純度窒素製造法
JP2001336876A (ja) 窒素製造方法及び装置
JP4698989B2 (ja) 酸素製造装置
JP2000018813A (ja) 窒素製造方法及び装置
JP2000258054A (ja) 低純度酸素の製造方法及び装置
JPS6060485A (ja) 空気分離方法
JPS61243273A (ja) 空気液化分離方法
JPH0195280A (ja) 一酸化炭素の深冷分離方法およびその装置
JPH0128311B2 (ja)
JPH1062062A (ja) 窒素製造方法及び装置