JPS61269839A - 電磁レンズおよび該電磁レンズを用いる電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子顕微鏡、電子回折装置、（特に浴接にお
いて）部品全加工する定め、及び電子線ＩＪ　ｈグラフ
の定めの電子線装管等において用いられ得る電磁レンズ
に関し、ま１２本発明は、このｔｉレンズ全用いる電子
顕微鏡に関する。

〔従来の技術、および発明が解決しようとする問題点〕

いか々る電子光学系も、ａ数の異る磁界パラメータを有
する！！電磁レンズ組合せから成る。一般に、電磁レン
ズは、その中をπ流が流れる励磁巻線と該励磁巻線を堰
り囲む関心型磁心より成る０計励磁巻線によつて生起す
れ、電子流に作用する磁場け、核開心型磁心のクリアラ
ンスの部分に集中される口 電磁レンズ？、設計する際には、磁心のクリアランスの
中の＠場のある与えられた強さを保持しつつレンズの寸
法？小さくすること、オたけ、レンズの寸法を一定に保
持しつつ磁場を増大させるととという問題が発生する。

この問題は、電流が流れる励磁巻線によって放出される
熱の除去の効率によって決定される最大許容励磁巻線′
！！！流密度全増加上せることによつてのみ解決され得
るり該励磁巻線中の電流の最大許容密度を増加させる為
にけ、その冷却効率を改善することが必要である。

こうして、既知の技術としては、励磁巻線が、絶級熱伝
導被覆全施し念、正方形断面をもクワイヤから作られて
いる、電磁レンズがある。（Ｍ、　Ｅ。

Ｃ，Ｍａｃｌａｃｈａｎ：Ｉｎ　ＳｃａｎｎｌｎｇＥｌ
ｅｃｔｒｏｎＭｌｃｒｏａｃｏｐｙ　−８ｙｓｔｅｍｓ
　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ　、　ｅｄ　。

ｂｙ　Ｗ、　Ｃ，Ｎ１ｘｏｎ　（Ｉｎ５ｔｌｔｕｔｅ　
ｏｆ　Ｐｈ５ｓｌｃａ　。

Ｌｏｎｄｏｎ　Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　　５ｅｒｉｅｓ
　Ｍｌ　１８　、１９７３）ｐ、　ｐ、　　　　　’４
６〜４９参照）この電磁レンズでは、複数の水冷され念
銅板が該励磁巻線を巻回軸方向に複数の区域に分けてい
るう 該各区域の巻回軸方向の厚さは、これを超えると該各区
域が破損するかも知れない、該各区域の内側と外側との
間の許容し得る温ｅ差によって決定される。このような
冷却方法は、冷却をしない励Ｆｉ＆−４朦に比較して、
励磁巻線中の許容される電流密度？いくらか増加させる
こと全可能にする口しかし、水冷銅板による、巻線の間
接冷却によっては、レンズの寸法をかなり小さくするこ
とは不可能である。

他の既知の電磁レンズでは、許容される電流密度全増加
させるｔめに冷却物質による励！ａ％線のｉｆ接冷却を
用いる。この励磁巻線は、ある熱伝導のよい複合物の入
った容器に入れられ念１円形断面全もつ、絶縁されたワ
イヤ（Ｔ、　Ｍｕｌｆｆ　、　Ｃ，Ｄ−Ｎｅｗｍａｎ　
：　Ｉｎ　Ｓｃａｎｎｉｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｍ１
ｃｒｏ９ｃｏｐｙ　−３ｙｓｔｅｍｓ　ａｎｄ　Ａｐｐ
ｌｉｃａｔｉｏｎｓ　、　ｅｄ　、　ｂｙ　Ｗ、　Ｃ−
。

Ｎ１ｘｏｎ　（Ｉｒｕｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｐｈｙｓ
Ｉｃｓ　、　Ｌｏｎｄｏｎ　。

Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃ６５ｅｒｉ＠ａ　ｍ　１８．１９７
３）　ｐ、　ｐ。

１６〜２１参照）、または、絶縁中間層をもつ銅のテー
プ（Ｔ、　Ｍｕｌｖｙ　：　Ｉｎ　Ｓｃａｎｎｉｎｇ　
ＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ　　ｌ　９７４
　　、　ｅｄ、　ｂｙ　　ｏ−Ｊｏｈｏｒｉ　　、　　
Ｉ　。

Ｃｏｒｖｉｎ　（ＩＴＴＲＬ　Ｃｈｉｃａｇｏ　　、　
ｌ　９７４　　Ｐａｒｔ　　１゜ｐ、　ｐ、　４３〜４
９参照）から作られ得る。

該冷却物質により、直接冷却される励磁巻線の巻回軸方
同厚さも″ｉ念、該励磁巻線の内側及び外側の部分の間
の許容される′ｌＸ度差によって限定される口なぜなら
ば、熱はその外表面からのみ除去されるからである。４
ましい磁場の値全慢るためには、強力な′ＩＬ社レンズ
においては、磁心との間及び巻線同志の間にある間隔を
おいて設置され７’？、＆多数の巻線を提供することが
必要である。この間隔は冷却物質が流ルる１ヒめに必要
である。水が冷却物質として使われるときには、該巻線
の導線は、極めてａ！！な１造上の問題であるが、注意
深く節録されるべきである。このように励磁＠＠？設計
したｔ磁しンズＶ′！、　　１つのは心にいくつ力鳥の
巻線を必要とするため、及び水を冷却′＃５Ｎとして使
用することが実際上不可能であることから、広く使用さ
れるに致っていない。

既知の技術としてＦｉ、また、励磁巻線を収容する、１
つの密封されたケーシングを具備し、該ケーシング内一
部がある冷却物質で満されており、該ケーシングが１つ
の磁心の中に据え付けられている、は、冷却されたフレ
ームの上に巻かれ、熱交換条件を改善するためにセラミ
ヴクスの棒の形のスペーサが用いられている０該励磁巻
線の冷却は、冷却物質が熱せられ友部分から蒸発するこ
と、及びそれに続いて起こる冷却されたフレーム表面上
での蒸気の凝縮によって行われる口 巻線全体から熱を除去する上記の方法は、レンズの寸法
をかなり小さくすることを可能にするか、または、同じ
寸法で磁心のクリアランスでの磁場を増加させることを
可能にするりこのことは、強力電磁レンズを作り出すに
は、必要外ことである。

しかし、上述の電磁レンズでは冷却物質の蒸発とそれに
続く、冷却されたフレーム上での蒸気の凝縮による励磁
巻線の冷却を効果的なものにするＶＣは、フレームの表
面積が小さ過ぎること金試駿結果は示している。励磁巻
線中の電流密度の増加と共に、冷却物質の蒸発は、より
激しくなるが、密封されたケーシング内で圧力が上昇す
ること、その結果として、励磁巻線の温度を決定する、
冷却物質の節点が上昇することＶＣよって、冷却されて
いるフレーム表面上に蒸気が完全に凝縮するに十分な時
間はないつ励磁巻線だけでなく、冷却さレテイたい、密
封されたケーシングの壁及びレンズ全体も熱せられる。

既知の技術としては、また、電子銃、及び電磁レンズを
中心に組み立てられていて、１つの電子光学基金形成し
ている、１子ビ一ム収束部、対物レンズ部、投射レンズ
部、電子銃からの電子ビームの進路上直列な位置に設置
され九螢光スクリーンを具備する電子顕微鏡がある。

電子顕微鏡ＥＭＩＯＣ（西ドイツ０ＰＴＯＮのり一フレ
ヴト参照）においては、電子光学系の寸法を小さくする
ｔめに、電磁レンズの励磁巻線が、水冷された＠板によ
って複数９区域に分けられている。最もよい分解能に達
する几めに必要な最大加速電圧及び最大倍率での電子顕
微鏡の操作時においては、電磁レンズの磁心を熱する、
レンズ巻線電流は最大となっている。

その磁心クリアランスの中に試料を動かすための駆動装
置を具備する試料ホルダーが設置されていて、電子ビー
ム収束部や投射レンズ部の電磁レンズの磁場に比較して
、最大の磁界強度をもつ、対物レンズ部の電磁レンズの
穴めの温度条件の安定性に対しては、最も厳しい要求が
課せられる。

対物レンズ部のレンズの磁心の温度が上昇するとき、レ
ンズの磁気パラメータが変化するかも知れずそして、試
料ホルダーが電磁レンズの磁心に接触して動くために、
対物部の構成要素が温度上昇すると、その移動によって
、試料ホルダーの熱ドリフトラ生ずるかも知れない口こ
の過程は、全てのレンズの磁心において加熱と熱放散の
間の平衡状態が確立されるまで、生じるであろう口こう
して、電子顕微鏡の安定し九温度条件が確立されるため
に要する時間は、主に、対物レンズ部のレンズの励磁巻
線及びレンズ全体の冷却効率に依存すると同様に、対物
レンズ部の電磁レンズの励磁巻線内の電流密度に依存す
る。

電子顕微鏡ＥＭＩＱＣにおいては、対物レンズ部の電磁
レンズの巻線における高い電流密度及びその不適切な冷
却により、安定しｔ温度条件を確立するために要する時
間は、１．５から２時間であるり他の電子顕微鏡３Ｍ−
１２５（モスクワ。

ＭＡＳＨＰＲＩＢＯＲＩＮＴＯＲＧのリーフレット参照
）においては、安定し食温度条件を確立するために要す
る時間を少くするために、ｔＦａレンズの励磁巻線内の
電流密度が減小させられ、そのため、前述の電子顕微鏡
ＥＭＩＯＣに比較してやや大きい電磁レンズが必要とな
る。電子顕微鏡３Ｍ−１２５の電子光学系の安定し北温
度条件を確立する念めに要する時間は、３０〜４０分で
ある。

電子顕微鏡の安定しｔ温度条件を確立するためには、長
時間を要するため、例えば、写真のマガジンの再装填、
電子銃の陰極、試料、ダイヤフラムの交換の間、電磁レ
ンズの電源スイヅチを切ることは実際的でないので、１
つの試料の調査に要する時間及び電力消費は高いものと
なる０本発明は、電磁レンズ、及び該電磁レンズを用い
る電子顕微鏡に、該電磁レンズの寸法、及び該電子顕微
鏡の安定した温度条件を確立するために要する時間を少
くすることができるような該電磁レンズの励磁巻線の冷
却を提供する問題に基くり〔問題を解決するための手段
、および作用〕前述の問題は、１つの励磁巻線を収容す
る密封されたケーシングを具備し、該ケーシングの一部
がある冷却物質で満されており、該ケーシングが磁心の
中に据え付けられている。電子レンズが、本発明に従っ
て、該密封されたケーシングの中で、該励磁巻線の上方
で、冷却物質蒸気の流れの方向に配置され念、冷却物質
蒸気の凝縮のための装置を具備することによって解決さ
れるｔ核電磁レンズの中において、紋冷却物質蒸気凝縮
のための装置は、好適には、同心円環状の複数のチュー
ブの形であることが望ましい。

前述の問題は、また、 電子銃、そして、電磁レンズを中心に組み立てられてい
る電子ビーム収束部、対物レンズ部、及び投射レンズ部
、そして、電子銃からの電子ビームの進路上に直列か位
置に設置された螢光スクリーンを具備する電子顕微鏡に
おいて、 本発明に従って、少くとも対物レンズ部の電磁レンズが
、 一部分がある冷却物質で満たされていて、１つの励磁巻
線を収容する、密封され九ケーシング、該密封されたケ
ーシングの中で、該励磁巻暇の上方で、冷却物質蒸気の
流れの方向に配置された、冷却物質蒸気の凝縮のための
装置、 を具備し、 該ケーシングが１つの磁心の中に設置されていて、 かつ、核対物レンズ部の電磁レンズにおいては、該密封
されたケーシングと該磁心との間にある　　　　　　１
空間が定められ、この空間が冷却物質供給ラインと連絡
して、該励磁巻線及び電磁ひを冷却するためのチ謙ンバ
を形成するように、 該密封されたケーシングが、咳磁心内に設置されている
ことによって解決される。

冷却物質の蒸気の凝縮の究めに、該密封されたケーシン
グ内に配置された該冷却物質蒸気の凝縮のための装置の
提供は、冷却物質蒸気の凝縮の過程を加速することによ
り、該電磁レンズ励磁巻線の冷却の効率を改善すること
を可能にする０該冷却物質蒸気の凝縮のための装ｒ＃を
該励磁巻線の上方に配置することは、最も合理的な解決
策で、他のいかなる配貨と比較しても最もよい結果を与
える。該冷却物質蒸気の凝縮のための装置を同心円環状
の複数のチェープの形で提供することはその製造全非常
に容易にし、凝縮のｔめの大きな表面積を得ることを可
能にする０ 励磁巻線及び磁心の冷却のための付加的なチャンバに工
って、最も厳しい温度状態のもとにおいても機能する、
電子顕微鏡の対物レンズ部の電磁レンズを提供すること
け、該電磁レンズの磁心の温度上昇を避けること、及び
核電子顕微鏡全体の安定した温度条件を確立するために
要する時間を最小にすることを可能にする０更に、核付
加的な冷却用チ々ンパを提供することによって、冷却物
質蒸気が凝縮される表面積が増加されるｎこうして、該
電磁レンズ励磁巻線の冷却の効率Ｖｉ、改善され、許容
される電流密度は、電子顕微鏡３Ｍ−１２５と比較して
３倍に増加され、電子光学系の寸法は半分に縮小される
口 〔実施例〕 以下に１本発明の実施例について、添付の図面を参考に
しつつ述べる。

１つの電磁レンズが１つの磁心ｌ　（ＩＫＩ図及び簗２
図）を具備し、該磁心の中には、１つの励磁巻、１ｉ１
３（ｆｆ１図）と共に１つの密封されたケーシング２が
設置されているり該密封されたケーシングの一部分は、
沸点が低く、絶縁性のよいある冷却物質（図示せず）で
清されている一部に該冷却物質は、訪励６！ｉ巻線３の
ワイヤの絶縁物質を溶かしてＦｉ々ら々い一以下に記述
される実施例においてけ、核励磁巻線３Ｆｉ、円形断面
をもつ絶縁されたワイヤの形と々っているコ該巻θは、
各々の次に続く巻ＰＪ３の層が、前に巻かれた層のｇ！
胴となっている所に位置し１層と層の間の通路は、各層
の一端と次の１優の始まりの部分との、巻線の連絡部分
にシいて、巻回軸方向に形成されるう該電磁レンズは、
また、該°ケーシング２の中で、該励磁巻線３の上方に
、第１図で矢印で示したようｆｘ該冷却物質蒸気の流れ
の方向に配置された、冷却物質蒸気の凝縮のための装置
ｉｉ４を具備するｐ該励磁巻線３の最適な冷却のために
、冷却物質の分ｉｔは、該巻線３が該冷却物質の中に浸
され、該冷却物質蒸気の凝縮のための装＃４が、該冷却
物質の表面に接触しないようにすべきである。

該密封されるケーシング２より排気し、冷却物質を入れ
て、その後密封するために、該ケーシング２には、１つ
の弁５１及び１つの耐熱ガスケット６が備えられている
一複数の断熱スペーサ７は、該励磁巻線３と共に該密封
されたケーシング２を該磁心ｌから熱絶縁するために備
えられている。

ここに記述される実施例においては、冷却物質蒸気の凝
縮のための装置１４は、同心円環状の複数ノチェーフノ
形をしている。これらのチューブに該冷却物質液を供給
するために、該磁心ｌは１つのポー）８（８２図）を備
えており、該ケーシング２は全てのチ為−ブと連絡して
いる通路９を備えている〇 該ケーシング２の上側には、該励磁曲線３へ電圧印加す
るための、密封され友供給電源取入れ口ｌＯが設置され
ている口 電子顕微鏡Ｆｉ、 密封された容器１２の中に設置され、＊３図に矢印で示
したような電子ビームを形成する１つの電子銃１１１層
３図）、１つの電子ビーム収束部１３．１つの対物レン
ズ１１１４．１つの投射レンズ部１５％そして、ビーム
の進路上直列な位置に設置された１つの螢光スクリーン
１６を具備する。

該電子ビーム収束部１３Ｆｉ、電子ビームが該対物レン
ズ部１４上で焦点ケ結ぶための電磁レンズ１８及び１９
を収容する１つのケーシング１７１具備する口 該対物レンズ部は、第１図及び第２図に従って製作され
た＆１つの電磁レンズを中心に組立てられていて、磁心
ｌを具備している０核磁心ｌの中には、該励磁巻ｐＪ、
３、及び該冷却物質蒸気の凝縮のための装置４を収容す
る、密封されたケーシング２が設置されているり 該投射レンズ部１５は％１つのケーシング２０を具備し
、該ケーシングの中に、電磁レンズ２１゜２２及び２３
が、設置されている。

調べられるべき試料２４は、該対物レンズ部１４の電磁
レンズの磁心ｌのクリアランスの中に設置される。

ここに記述される電子顕微鏡の実施例においては、該電
子ビーム収束部１３の電磁レンズ１８及び１９Ｆｉ、該
投射レンス部１５１７）ｉＥｌａｔ／／ス２１１２２及
び２３と同様［。

冷却物質Ｍ気の凝縮のための装置を具備してい々いとい
う唯一の相違点以外は、主に、該対物レンズ部１４の電
磁レンズに類似しているロ該電子ビーム収束部１３及び
該投射レンズ部１５にｔｉ、該対物レンズ部１４に対し
て要求される程、温度条件の安定性について厳しい要求
Ｖｉａせられていないので、紋電子ビーム収束部及び該
投射レンズ部においては、冷却物質蒸気の凝縮は、冷却
され、密封されたケーシング２の壁で生じるが、これで
十分効果的である。

電子ビーム収束部１３及び投射レンズ部１５の電磁レン
ズ１８．１９，２１，２２及び２３が、対物レンズ部１
４の電磁レンズと同様であるような選択も可能である０ 対物レンズ部１４の温度条件全安定させるために、該対
物レンズ部の電磁レンズにおいて、密封されたケーシン
グ２と磁心ｌとの間に１つの空間が定められ、この空間
が、冷却物質供給ライン２６と連絡して、励磁巻線と該
磁心を冷却するためのチャンバ金形成するように、 該密封され九ケーシング２が該磁心ｌの中に設置されて
いる。該冷却物質供給ラインけ、１−［１ａしｙ、（１
Ｂ、１９，２１．．２２及び２３ｔ７）密封されたケー
シング２、及び該対物レンズ部１４の［！ａレンズの冷
却物質蒸気の凝縮のための装置４とも連絡している。

電子顕微鏡の排気は、複数の分岐管２７によって行われ
る。

以下に前述の電磁レンズの作用について記述するｐ 密封されたケーシング２１Ｅ１図及び第２図）の中に設
置され７’Ｃ％励磁巻線３（第１図）Ｋ電流が流れると
、熱が放散されて、該励磁巻線３が浸されている冷却物
質が激しく蒸発する０該励磁巻１ｉ１３のワイヤ表面に
おいて該冷却物質の蒸発の間に生成された蒸気は、該励
磁巻線３を貫く通路を通って流れ、凝縮装置４の表面に
凝縮される。凝縮された冷却物質は、再び、該励磁巻線
３の所へ流れ落ちる口この間、該冷却物質の温度条件は
一定のままである− 冷却物質の蒸発、及び蚊凝縮装置１４の拡大された表面
積の上での冷却物質蒸気の凝縮によって、該励磁巻線３
の全体積から熱が除去され、これによって、該励磁巻線
の電流督変金３倍に増加させ、一方％電磁レンズの寸法
を３分の２に、使用金属２１ｉ１？２分の１に減らすこ
とを可能にする。

以下に、前述のＩＩｆ磁レンズを用いた電子顕微鏡の作
用について記述するり 電子銃１１　（簗３図）によって作られた電子と−ムは
、電子ビーム収束部１３の電磁レンズ１８及び１９によ
って、対物レンズ部１４の電磁レンズの磁場の中に設置
された試料２４の上に焦点を結ぶ〇 該対物レンズ部１４の電磁レンズは、ｖ試料の上に一次
電子光学像を形成し、該−次電子光学像は、投射レンズ
部１５の電磁レンズ２１，２２及び２３によって拡大さ
れ、螢光スクリーン１６上に表示されるり冷却チ々ンバ
２５を通つて流れる冷却物質は、該対物レンズ部１４の
ｔｉレンズの磁心ｌの熱を除去する０該対物レンズ部１
４の電磁レンズの、安定した温度条件を確立するために
　　　　　　１要する時間、す々わち、該電子顕微鏡全
体の、安定した温度条件を確立するために要する時間は
、対物レンズ部の電磁レンズの励磁巻線３の安定した温
度条件を確立するに要する時間によって決定される。該
対物レンズ部の電磁レンズの励磁巻線３の高い冷却効率
によって、安定した温度条件を確立するに要する時間は
、１０分の１以下に減少サレ、約２分である。冷却チセ
ンパ２５’ｌ！用ｆる他の利点は、密封されたケーシン
グ２の壁を冷却することにより、冷却物質蒸気の凝縮の
ための表面積が拡大したことであり、これによって、励
磁巻線３の電流密度の増加を、そして、対物レンズ部の
寛容レンズの寸法、及び電子顕微鏡全体の寸法ケ小さく
することを可能、にする。

〔発明の効果〕

前述の電磁レンズ、及び該電磁レンズケ中心に組立てら
れ九電子顕微鏡の使用は、該レンズ及び該電子顕微鏡の
寸法と重ｉｔか々り減少させること、そして、温度条件
を安定ｒヒさせるに要する時間、及び電子顕微鏡使用中
の電力消費を減少させることを可能にし、つまり、この
改良は、生産性を向上させるものである口

【図面の簡単な説明】

箪五図は、本発明によるｔＦａレンズの縦断面図、第２
図は、本発明による電磁レンズの、駆１図に示されたＩ
Ｉ　−ＩＨの線に沿って切断した断面図、第３図は、本
発明による電子顕微鏡の縦断面図（符号の説明） １−磁心 ２−密封されたケーシング ３−励磁巻線 ４−冷却剤蒸気の凝縮のための装置 ５−弁 ６−耐熱ガスケット ７−断熱スペーサ ８−磁心に開けられた管接続口 ９−ケーシング中に作られた通路 ｌ〇−密封された電源取入口 １１−電子銃 １２−電子銃の密封された容器 １３−を子ビーム収束部 ｌ４一対物レンズ部 】５−投射レンズ部 １６−螢光スクリーン １７−を子ビーム収束部の１ｒｉＦｉＢレンズヲ収容す
るケーシング １８．１９−電子ビーム収束部の電磁レンズ２〇−投射
レンズ部の電磁レンズを収容するケーシング ２１．２２，２３−投射レンズ部の電磁レンズ２４−試
料 ２５一対物レンズ部のｇｔ電磁レンズ励磁巻線と磁心？
冷却するための千謙ンバ ２６一対物レンズ部の電磁レンズの励磁巻線と磁心を冷
却する九めのチャンバと連絡する、冷却剤供給ライン ２７−＠子顕微ｆｉ８全排気するための分岐管以下余日 Ｅ７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、１つの励磁巻線（３）を収容する１つの密封された
   ケーシング（２）を具備し、該ケーシングの一部分があ
   る冷却物質で満されており、該ケーシングが１つの磁心
   （１）の中に設置されている、電磁レンズであって、 該密封されたケーシング（２）の中で、該励磁巻線（３
   ）の上方で、該冷却物質の蒸気の流れの方向に設置され
   ている、該冷却物質蒸気の凝縮のための装置（４）を具
   備することによって特徴づけられる電磁レンズ。 ２、該冷却物質蒸気の凝縮のための装置（４）が、同心
   円環状の複数のチューブの形を成していることによって
   特徴づけられる、特許請求の範囲第１項に記載の電磁レ
   ンズ。 ３、１つの電子銃（１１）、電磁レンズを中心に組み立
   てられている１つの電子ビーム収束部（１３）、１つの
   対物レンズ部（１４）、及び、１つの投射レンズ部（１
   ５）、そして、該電子銃からの電子ビームの進路上に直
   列な位置に設置されている１つの螢光スクリーン（１６
   ）を具備する、電子顕微鏡であって、 少くとも、該対物レンズ部（１４）の電磁レンズが、１
   つの励磁巻線（３）を収容し、一部分が、ある冷却物質
   で満されている、１つの密封されたケーシング（２）、 及び、該励磁巻線（３）の上方で、該冷却物質の蒸気の
   流れの方向に配置された、冷却物質蒸気の凝縮のための
   装置（４）、 を具備し、 該ケーシングが１つの磁心（１）の中に設置され、かつ
   、該対物レンズ部（１４）の電磁レンズにおいては、 該密封されたケーシング（２）と該磁心（１）との間に
   １つの空間が定められ、この空間が、冷却物質供給ライ
   ン（２６）と連結して、該励磁巻線と該磁心を冷却する
   ためのチャンバ（２５）を形成するように、該密封され
   たケーシング（２）が、磁心（１）の中に、設置されて
   いることで特徴づけられる電子顕微鏡。