JPS61264214A

JPS61264214A - 流量計

Info

Publication number: JPS61264214A
Application number: JP60105412A
Authority: JP
Inventors: Shizuo Kaneko; 静夫金子
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 1985-05-17
Filing date: 1985-05-17
Publication date: 1986-11-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は流量計に係り、特に分流された流体の流量を計
測するセンサを有するセンサ流路と、分流比を設定する
絞りとを有して微小流量を計測しうる流量計に関する。

従来の技術従来の流量計としては、例えば第３図に示すように流体
が通過する２点間の温度差より微小な質最流世を計測す
る熱式質量流量計がある。このような熱式質吊流缶計で
は本体１内に複数の分流板よりなる絞り２を設けたバイ
パス流路３と、バイパス流路３より分流された流量を計
測するセンサ流路４とを有しており、自己加熱抵抗体５
ａ。

５ｂによりセンサ流路４の２点間の温度差に基づく抵抗
値の変化を検出し自己加熱抵抗体５ａ。

５ｂの抵抗変化より質量流量を計測する構成とされてい
た。

発明が解決しようとする問題点しかしながら、上記従来の流１では第３図に示すように
本体１内のバイパス流路３内には絞り２がバイパス流路
３を塞ぐように設けられ、Ｕ字形状に折曲されたセンサ
流路４が絞り２の上流側でバイパス流路３より分流して
絞り２の下流側でバイパス流路３に合流するよう本体１
の上部に突出して設けられていた。このため、従来の流
量計は細長い管を折曲したセンサ流路４がゴミによりつ
まりやすく、また、本体１よりセンサ流路４が突出して
いるのでその弁装置が大型化してしまうといった欠点が
あった。また、センサ流路４の長さ寸法が大であるため
、センサ流路４での圧力損失が比較的大となり、その分
絞り２の流路面積を小にして分流比を設定する必要があ
り、絞り２がゴミによりつまりやすくなるといった欠点
があった。

そこで、本発明は上記欠点を除去した流量計を提供する
ことを目的とする。

問題点を解決するための手段及び作用本発明は上記構成になる流量計において、流Ｍ針本体の
流路内に絞りを設けると共に、センサ流路を設けてなる
ため、センサ流路の長さ寸法を短くして装置を小型化す
ると共にセンサ流路及び絞りのゴミつまりを防止するよ
うにしたものである。

実施例第１図（Ａ）、（Ｂ）及び第２図に本発明になる流量計
の一実施例を示す。両区中、６は流量計測ユニットで、
ユニット本体６ａに分流ユニット（絞り）７とセンサ流
路を形成するセンサバイブ８とを組付けられている。分
流ユニット７は中心１７　ａに複数の細管よりなる分流
素子９を嵌入されており、ユニット本体６ａのメネジ部
６ａ＋螺入されている。センサバイブ８は分流ユニツ１
−７と平行となるようユニット本体６の取付孔６ａ２゜
５ａ３に挿通されている。したがって、センサバイブ８
は分流ユニット７と略同−長さ寸法の直線形状に形成さ
れているので、圧力損失が小さくて済み、また折曲部も
ないのでゴミがつまりにくい。

１０はパツキンで、分流ユニット７とメネジ部６ａ＋　
との間を気密にシールしている。１１はＯリングで、セ
ンサバイブ８の両端部と取付孔６ａ２゜６ａ３との間を
気密にシールしている。

また、センサバイブ８は中間の部分がユニット本体６ａ
の上部に形成された四部６ｂ内に装架されている。この
四部６ｂ内のセンサバイブ８にはコイル状の一対の自己
加熱抵抗体１２．１３が所定間隔＃１間して設けられて
いる。また、自己加熱抵抗体１２．１３の両端は凹部６
ｂの底面に螺合したネジ１４ａ〜１４ｄに夫々接続され
ている。

１５ａ〜１５ｄはリード線で、夫々ネジ１４ａ〜１４ｄ
を介して自己加熱抵抗体１２．１３に接続されている。

このように、自己加熱抵抗体１２゜１３の両端及びリー
ト線１５ａ〜１５ｄがネジ１４ａ〜１４ｄに固定されて
接続されているので、振動及び衝撃等が作用しても断線
するおそれが無い。１６．１７は夫々テフロン（登録商
標）製のシール部材で、分流ユニット７、センサバイブ
８に対向連通する連通孔１６ａ、１６ｂ、１７ａ。

１７ｂを穿設されており、ユニット本体６ａの両端に当
接している。１９は固定ネジで、流ｍ針本体２０の取付
部２０ａに装着された流量４測ユニット６を固定する。

また、固定ネジ１９は、流量計本体２０の流路２０ｂに
連通する貫通孔１９ａを有している。この固定ネジ１９
を矢印×１方向に締付けることにより、ユニット本体６
ａが取付部２０ａの内壁にシール部材１７を介して押圧
されてシール部材１６．１７が圧縮され、ユニット本体
６ａと流ｍ針本体２０及び固定ネジ１９との問が気密に
シールされる。

このように、固定ネジ１９の締付けにより流量計測ユニ
ット６が流量本体２０の取付部２０ａに固定されると、
流量計測ユニット６内のセンサバイブ８及び分流ユニッ
ト７が流量計本体２ｏ内の流路２０ｂに連通した状態に
装着される。

なお、センサバイブ８は分流ユニット７と単行な直線形
状であるため、流量計本体２０より突出せず取付部２Ｏ
ａ内に収納され、流量計の外観形状が小型化されている
。また、センサバイブ８及び分流ユニット７を有する流
ｍ計測ユニット６を容易に流量計本体２０に装着できる
ので、点検及び修理等を行う際の作業性が良い。したが
って、速やかに点検、修理等を実施しうる。

なお、第３図に示す従来のものでは、高圧流体を計測す
る場合、センサ流路４が上方に押し出されてしまうとい
った事故が生じやすい。ところが、流慴計測ユニツ１〜
６の圧力損失は比較的小さいため、センサバイブ８の上
流側と下流側との流体の圧力は略等しいと考えられる。

したがって、流路２Ｏｂ内に高圧流体が流入した場合で
もセンサバイブ８が流体圧力により下流側に押し出され
るといった事故が生じるおそれが無い。

即ち、高圧流体を計測する際の信頼性が高く、センサバ
イブ８の両端のシール構造及び取付構造を過剰に強固に
する必要がなく設計上有利である。

第２図に示す如く、流通計測ユニット６を流量計本体２
０の取付部２０ａに取付け、固定ネジ１９を締付けた後
、流量計本体２０の開口２０Ｃが蓋２１により閉蓋され
る。なお、蓋２１は取付ボルト２２により流量計本体２
０の上面にパツキン２３を介して固定される。

このように、蓋２１はパツキン２３を介在して強固に固
定されているため、例えば流体がセンサバイブ８と０リ
ング１１との間より漏れて取付部２０ａ内に侵入した場
合でもパツキン２３により取付部２０ｂより漏れること
がない。したがって、第３図に示す従来の如くセンサ流
路４のシール部材を強固にシールする構造にする必要が
なく、またセンサ流路４の周囲の蓋の構造を補強する必
要もない。即ち、Ｏリング１１及びシール部材１６゜１
７のシール構造に厳密なシール効果が要求されず、若干
の漏れを容認しうるので、０リング１１及びシール部材
１６．１７のシール構造を設計する際有利である。

また、蓋２１の流量計測ユニット６に対向する中央部分
にはリード線１５ａ〜１５ｄの接続端子２４ａ　〜２４
ｄが挿通される貫通孔２１ａ〜２１ｄが穿設されている
。この貫通孔２１ａ〜２１ｄ内には絶縁材２５が充填さ
れている。

このように構成された流量計本体２０は両端のメネジ部
２０ｄ、２０ｅに螺入された配管継手２６．２７を介し
て上流側配管２８とＦ流側配管２９との間に配設される
。

ここで、流体が上流側配管２８より流量計本体２０の流
路２０ｂに流入すると分流ユニット７の分流素子９の流
路面積及び数の選定により設定された分流比に応じた流
量の流体がセンサバイブ８内を通過する。また、センサ
バイブ８及び分流ユニット７を通過した流体は再び合流
して下流側配管２９を介して流量制御弁装置（図示せず
）に至り、その流量を制御される。

流量制御と共にセンサバイブ８を通過する流体の質量流
量を計測するのに際して一定電流を供給されて加熱され
た一対の自己加熱抵抗体１２゜１３はセンサバイブ８内
を通過する流体の流量に応じて温度差が生じると、夫々
の抵抗値が変化し、この信号をリード線１５ａ〜１５ｄ
を介して回路部３０に出力する。ブリッジ回路を有する
検出回路３１は自己加熱抵抗体１２．１３の抵抗変化に
よりセンサバイブ８内を流れる流体の質量流量に応じた
信号を増幅補正回路３２に出力する。そして、増幅補正
回路３２より増幅補正された流量信号ｑが出力され、流
量制御弁装置の弁体駆動制御部（図示せず）に供給され
る。したがって、弁体駆動制御部は回路部３０からの流
量信号ｑに基づいて弁開度を調整して微小流量を制御す
る。

なお、流量計測ユニット６は流量計本体２０に組み込ま
れてユニット化されており、配管継手２６．２７を介し
て容易に上、下流側配管２８゜２つに取付けあるいは取
外しを行える。また、分流ユニット７による分流比の設
定を変える場合には流量計測ユニット６を流量計本体２
０より外し、流路面積の異なる分流素子９を有する分流
ユニット７と交換すれば良く、点検、修理等を容易に行
うことができるのでメインテナンスの面でも有利である
。

発明の効果上述の如く、本発明になる流量計によれば、流量計本体
の流路中にセンサ流路と絞りを設けたため、センサ流路
が流量計本体より突出せず流量計の小型化を図ることが
でき、また、細い管よりなるセンサ流路を折曲せず直線
的な形状にしうるため、ゴミつまりを軽減できると共に
センサ流路の圧力損失を低減できる。したがって、絞り
の流路面積を従来よりも大とすることができ、その分校
りにおけるゴミつまりを軽減しつるので微小流量を計測
する際の信頼性を向上しえ、またユニット構造であるた
め保守点検、流量レンジ切換等が容易となる等の特長を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、（Ｂ）は夫々本発明になる流量計の一実
施例に適用された流過計測ユニットを説明するための縦
断面図及び側面図、第２図は第１図に示す流量計測ユニ
ットを装着された流量計を説明するための図、第３図は
従来の流量計を説明するための縦断面図である。６・・・流量計測ユニット、７・・・分流ユニット、８
・・・センサバイブ、９・・・分流素子、１２．１３・
・・自己加熱抵抗体、１５ａ〜１５ｄ・・・リード線、
２０・・・流量計本体、２０ｂ・・・流路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）分流された流体の流量に応じた信号を検出する流
量検出センサを設けたセンサ流路と、流路面積を選定し
て分流比を設定する絞りとを有する流量計において、流
量計本体の流路内に上記絞りを設けると共に、上記セン
サ流路を設けてなることを特徴とする流量計。
（２）該センサ流路は該流量計本体の流路内に絞りと平
行に設けてなる特許請求の範囲第１項記載の流量計。