JPS61260141A - 光学要素の検査装置 - Google Patents
光学要素の検査装置Info
- Publication number
- JPS61260141A JPS61260141A JP60103523A JP10352385A JPS61260141A JP S61260141 A JPS61260141 A JP S61260141A JP 60103523 A JP60103523 A JP 60103523A JP 10352385 A JP10352385 A JP 10352385A JP S61260141 A JPS61260141 A JP S61260141A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflecting mirror
- optical
- light beam
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、ミラー、プリズム等の反射率や透過：＄等の
光学特性を検査するための光学要素の検査装置に関する
。
光学特性を検査するための光学要素の検査装置に関する
。
【従来の技術１
従来、ミラーの反射率、プリズムの光透過率あるいは光
透過率と反射率を検査する装置としては、第３図に示す
如く、光源１０、入射コリメータ１２及びターゲット１
３を含む入射光学系８と、試料１４の検査部位を入射光
の光軸に対して角度変化可能に支持する、回動テーブル
１６及び目盛板１８からなるゴニオメータ１５と、検出
コリメータ２１、前記試料１４からの反射光を光電変換
する光電変換器２２及び前記ターゲット１３を１！察す
るモニタ２４を含む検出光学系２０とを備えたものが知
られている。 しかしながら、このような検査装置においては、試料１
４を除き、又は試料１４の代りに基準試料を置いて基準
光を検出し、その後、回動テーブル１６上に試料１４を
置いて、その反射率や透過率を測定するものであるため
、基準光と検査光とを同時的に検出する実時間測定がで
きない。従って、光線の拡散状態が変ったり、光電変換
器２２の特性が変化すると、正確な検査を行うことがで
きず、製品に１１度上許し難い誤差を生じ、ることがあ
る。 又、波長を変化させて検査するような場合には、波長が
変る毎に検出光学系２０を基準光学に対してその位置を
変化させて設定しなければならず、しかも同時に試料１
４の引出し、挿入を繰返さなければならず、作業能率が
悪い。更に、前記のような場合に、試料１４や検出光学
系２０を測定前後において特定角度に正確に設定するこ
とが至難であるばかりか、それらの移動手段等も１１密
に仕上げなければならず、経済的な負担も大きい等の問
題点を有していた。 一方、このような問題を解決するべく、第４図に示す如
く、前記入射コリメータ１２とゴニオメータ１５の間に
ビームスプリッタ３０を配設し、該ビームスプリッタ３
ｏにより分けられた光を基準光として、該基準光の光路
に専用の光電変換器３２及びモニタ３４を設けることも
行われている。 【発明が解決しようとする問題点】 しかしながら、後者の場合には、光電変換器が、基準光
用と検査光用の２台となるため、待に光電変換器として
、特有の構造敏感性を有する半導体光電変換素子を用い
た場合には、濃度変動等の影響も含め、同一特性に揃え
ることは実用上至難である。又、検査光は２乗特性等、
基準光側と興なる特性となるので、その補正換算等が繁
雑となり、検出回路の高級、複雑化を招ぐと同時に、補
正しきれない不確定要素も生じさせる。更に、試料の傾
斜角度を制限しなければならないという設備製作上の問
題も生じる。
透過率と反射率を検査する装置としては、第３図に示す
如く、光源１０、入射コリメータ１２及びターゲット１
３を含む入射光学系８と、試料１４の検査部位を入射光
の光軸に対して角度変化可能に支持する、回動テーブル
１６及び目盛板１８からなるゴニオメータ１５と、検出
コリメータ２１、前記試料１４からの反射光を光電変換
する光電変換器２２及び前記ターゲット１３を１！察す
るモニタ２４を含む検出光学系２０とを備えたものが知
られている。 しかしながら、このような検査装置においては、試料１
４を除き、又は試料１４の代りに基準試料を置いて基準
光を検出し、その後、回動テーブル１６上に試料１４を
置いて、その反射率や透過率を測定するものであるため
、基準光と検査光とを同時的に検出する実時間測定がで
きない。従って、光線の拡散状態が変ったり、光電変換
器２２の特性が変化すると、正確な検査を行うことがで
きず、製品に１１度上許し難い誤差を生じ、ることがあ
る。 又、波長を変化させて検査するような場合には、波長が
変る毎に検出光学系２０を基準光学に対してその位置を
変化させて設定しなければならず、しかも同時に試料１
４の引出し、挿入を繰返さなければならず、作業能率が
悪い。更に、前記のような場合に、試料１４や検出光学
系２０を測定前後において特定角度に正確に設定するこ
とが至難であるばかりか、それらの移動手段等も１１密
に仕上げなければならず、経済的な負担も大きい等の問
題点を有していた。 一方、このような問題を解決するべく、第４図に示す如
く、前記入射コリメータ１２とゴニオメータ１５の間に
ビームスプリッタ３０を配設し、該ビームスプリッタ３
ｏにより分けられた光を基準光として、該基準光の光路
に専用の光電変換器３２及びモニタ３４を設けることも
行われている。 【発明が解決しようとする問題点】 しかしながら、後者の場合には、光電変換器が、基準光
用と検査光用の２台となるため、待に光電変換器として
、特有の構造敏感性を有する半導体光電変換素子を用い
た場合には、濃度変動等の影響も含め、同一特性に揃え
ることは実用上至難である。又、検査光は２乗特性等、
基準光側と興なる特性となるので、その補正換算等が繁
雑となり、検出回路の高級、複雑化を招ぐと同時に、補
正しきれない不確定要素も生じさせる。更に、試料の傾
斜角度を制限しなければならないという設備製作上の問
題も生じる。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、光学要素の反射率や透過率等の光学特性を、高精
度で且つ簡易迅速に検査することができ、しかも、試料
の角度を容易に変えることができる光学要素の検査装置
を提供することを目的とする。
ので、光学要素の反射率や透過率等の光学特性を、高精
度で且つ簡易迅速に検査することができ、しかも、試料
の角度を容易に変えることができる光学要素の検査装置
を提供することを目的とする。
本発明は、光学要素の光学特性を検査するための光学要
素の検査装置において、光源を含む入射光学系と、該入
射光学系からの入射光を、第１゛反射鏡に向けた基準光
と試料を介して第２反射鏡に向けた検査光とに分けるビ
ームスプリッタと、前記試料の検査部位を、前記検査光
の光軸に対して角度変化可能に支持する可変角支持手段
と、前記基準光の光路と検査光の光路とを交互に遮断す
るチョッパと、該チョッパを介して交互に入光する、前
記第１反射鏡からの反射光と前記試料を中継する第２反
射鏡からの反射光とを光電変換する共通の光電変換器を
含む検出光学系と、前記光電変換器で変換された、前記
第１反射鏡からの反射光相当電気信号と前記第２反射鏡
及び試料からの反射光相当電気信号とを比較して、前記
試料の光学特性を求める検出回路とを備えることにより
、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実１１！Ｌ！！様は、前記第１反射鏡と第
２反射鏡を同一特性として、反射鏡の特性の違いによる
測定誤差が発生しないようにしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記ビームスプリッタの
光分岐点と第１反射鏡間の距離を、前記光分岐点と前記
試料を中継した第２反射鏡間の距離と等しくして、光路
長の違いによる測定誤差が発生しないようにしたもので
ある。 又、本発明の他の実施態様は、前記入射光学系にターゲ
ットを含めると共に、前記検出光学系に該ターゲットを
観察するモニタを含めて、光学系の設定を容易としたも
のである。 又、本発明の他の実施態様は、前記入射光学系又は検出
光学系に、特定波長の光のみを選択する分光手段を含め
て、光学要素の光学特性の波長依存性も容易に検査でき
るようにしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記チョッパを、光透過
部と光遮断部とを備えた円板状部材と、該円板状部材を
回転させる駆動手段とから構成して、同一条件での多数
繰返し測定を可能とし、平均値の測定により精度向上が
図れるようにしたものである。
素の検査装置において、光源を含む入射光学系と、該入
射光学系からの入射光を、第１゛反射鏡に向けた基準光
と試料を介して第２反射鏡に向けた検査光とに分けるビ
ームスプリッタと、前記試料の検査部位を、前記検査光
の光軸に対して角度変化可能に支持する可変角支持手段
と、前記基準光の光路と検査光の光路とを交互に遮断す
るチョッパと、該チョッパを介して交互に入光する、前
記第１反射鏡からの反射光と前記試料を中継する第２反
射鏡からの反射光とを光電変換する共通の光電変換器を
含む検出光学系と、前記光電変換器で変換された、前記
第１反射鏡からの反射光相当電気信号と前記第２反射鏡
及び試料からの反射光相当電気信号とを比較して、前記
試料の光学特性を求める検出回路とを備えることにより
、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実１１！Ｌ！！様は、前記第１反射鏡と第
２反射鏡を同一特性として、反射鏡の特性の違いによる
測定誤差が発生しないようにしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記ビームスプリッタの
光分岐点と第１反射鏡間の距離を、前記光分岐点と前記
試料を中継した第２反射鏡間の距離と等しくして、光路
長の違いによる測定誤差が発生しないようにしたもので
ある。 又、本発明の他の実施態様は、前記入射光学系にターゲ
ットを含めると共に、前記検出光学系に該ターゲットを
観察するモニタを含めて、光学系の設定を容易としたも
のである。 又、本発明の他の実施態様は、前記入射光学系又は検出
光学系に、特定波長の光のみを選択する分光手段を含め
て、光学要素の光学特性の波長依存性も容易に検査でき
るようにしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記チョッパを、光透過
部と光遮断部とを備えた円板状部材と、該円板状部材を
回転させる駆動手段とから構成して、同一条件での多数
繰返し測定を可能とし、平均値の測定により精度向上が
図れるようにしたものである。
本発明においては、入射光学系からの入射光を、第１反
割光に向けた基準光と試料を介して第２反射鏡に向けた
検査光とに分けるビームスプリッタと、前記試料の検査
部位を、前記検査光の光軸に対して角度変化可能に支持
する可変角支持手段と、前記基準光の光路と検査光の光
路とを交互に遮断するチョッパとを設け、該チョッパを
介して交互に入光する、前記第１反射鏡からの反射光と
前記試料を中継する第２反射鏡からの反射光とを共通の
光電変換器で光電変換し、両者を比較して試料の光学特
性を求めるようにしている。従って、時間差や光電変換
器の特性の差による変動を生じることなく、高精度で且
つ簡易迅速に光学要素の反射率や透過率を検査できる。 又、試料の角度を容易に変えることができる。
割光に向けた基準光と試料を介して第２反射鏡に向けた
検査光とに分けるビームスプリッタと、前記試料の検査
部位を、前記検査光の光軸に対して角度変化可能に支持
する可変角支持手段と、前記基準光の光路と検査光の光
路とを交互に遮断するチョッパとを設け、該チョッパを
介して交互に入光する、前記第１反射鏡からの反射光と
前記試料を中継する第２反射鏡からの反射光とを共通の
光電変換器で光電変換し、両者を比較して試料の光学特
性を求めるようにしている。従って、時間差や光電変換
器の特性の差による変動を生じることなく、高精度で且
つ簡易迅速に光学要素の反射率や透過率を検査できる。 又、試料の角度を容易に変えることができる。
以下図面を参照して、本発明に係る光学要素の検査装置
の実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第１図に示す如く、光ａ１０、入射コリメ
ータ１２及びターゲット１３を含む入射光学系８と、該
入射光学系８からの入射光を、第１反射１４０に向けた
基準光と、試料１４を介して第２反射鏡４２に向けた検
査光とに分けるビームスプリッタ４４と、前記試料１４
の検査部位を、前記検査光の光軸に対して角度変化可能
に支持する、回動テーブル１６及び目盛板１８を含むゴ
ニオメータ１５と、前記基準光の光路と検査光の光路と
を交互に遮断するチョッパ４６と、検出コリメータ２１
、前記チョッパ４６を介して交互に入光する、前記第１
反！）１１１４０からの反射光と前記試料１４を中継す
る第２反射鏡４２からの反射光とを光電変換する単一の
光電変換器２２及び前記ターゲット１３を観察するモニ
タ２４を含む検出光学系２０と、前記単一の光電変換器
２２で変換された、前記第１反射！＄１４０からの反射
光相当電気信号と前記第２反射鏡４２及び試料１４から
の反射光相当電気信号とを比較して、前記試料１４の反
射率や透過率等の光学特性を求める検出回路４８とから
構成されている。 前記第１反射鏡４０と第２反射鏡４２は、例えば同一物
体から切出して形成する等、同一特性とされている。こ
れらの第１反射１４０及び第２反ＭＭ４２と前記ビーム
スプリッタ４４とは、該ビームスプリッタ４４の光分岐
点と第１反射鏡４０間の距ｌＩＡが、前記光分岐点と前
記試料１４を中継した第２反射鏡４２間の距離Ｂ＋Ｃと
等しくなるように配設されている。 又、前記チョッパ４６は、光透過部と光遮断部とを備え
た円板状部材４６Ａと、該円板状部材４６Ａを回転させ
るモータ４６Ｂとから構成されている。 以下実施例の作用を説明する。 ミラー、プリズム等の光学要素の検査に際しては、まず
、該光学要素の試料１４をゴニオメータ１５の回動テー
ブル１６上に載置し、該試料１４の検査部位に対するビ
ームスプリッタ４４からの検査光の入射角θが測定方向
と一致するように、回動テーブル１６を回動して試料１
４の向きを調整すると共に、第２反射１４２の位置も調
整する。 この際、ターゲット１３及びモニタ２４を用いることに
よって、光学系の調整を迅速且つ容易に行うことができ
る。なお、回動テーブル１６の回動と連動して第２反射
１４２の′位置が自動的に調整されるように構成するこ
とも可能である。 次いで、モータ４６Ｂにより円板状部材４６Ａを回動さ
せながら、光［１０から測定波長λの入射光を入射する
。すると、該入射光の一部は、ビームスプリッタ４４で
反射され、チョッパ４６を介して第１反射鏡４０で反射
された後、検出光学系２０に基準光として入射される。 一方、次の瞬間には、チョッパ４６によりビームスプリ
ッタ４４を透過した入射光が検査光として試料１４に入
射され、第２反１）１１１４２で反射された後、再びビ
ームスプリッタ４４で反射されて検出光学系２０に入射
される。従って、光電変換器２２における受光波形は、
例えば第２図に示す如く、基準光による波形りと検査光
による波形Ｅとが交互に現れるものとなる。従って、検
出回路４８とチョッパ４６の同期をとって受光波形を評
価し、波形りとＥを比較分析することによって、試料１
４の反射率や透過率等の光学特性をほぼ実時間で正確に
測定することができる。 受光波形の評価は、例えば、検査対象や検査精度等に応
じて適宜選択した、波形のレベル、積分値又はＡ／Ｄ変
換したデジタル信号に基づいて行うことができる。 同様にして、入射角θを順次変更しながら測定を行えば
、様々な入射角θに対する光学特性が、迅速に測定可能
である。 又、入射光学系８又は検出光学系２０の共通光路に分光
器を設け、該分光器を用いて測定波長λを変化させなが
ら測定を行えば、波長依存性も容易に且つ迅速に測定す
ることができる。 本実施例においては、入射光学系８にターゲット１３を
含めると共に、検出光学系２０に該ターゲット１３を観
察するモニタ２４を含めているので、光学系の調整が容
易である。 又、本実施例においては、チョッパ４６を、光透過部と
光遮断部とを備えた円板状部材４６Ａと、該円板状部材
４６Ａを回転させるモータ４６Ｂとから構成しているの
で、同一条件での多数繰返し測定が可能となり、平均値
を得ることによって、測定精度を向上させることができ
る。なお、チョッパ４６の構成はこのような回転型に限
定されない。 更に、本実施例においては、ビームスプリッタ４４の光
分岐点と第１反射１４０間の距離Ａが、同じくビームス
プリッタ４４の光分岐点と前記試料１４を中継した第２
反射Ｒ４２間の距Ｉｔ （Ｂ十Ｃ）と等しくされている
ので、基準光の光路と検査光の光路の長さが等しくなり
、測定精度が特に高い。 又、本実施例においては、ゴニオメータ１５の回転テー
ブル１６の回動角を目盛板１８によって読取るようにし
ているので、構成が単純である。 なお、回動テーブル１６の回動角を読取る方法はこれに
限定されず、例えばロータリエンコーダ等の角度検出手
段を設けて、検出精度を向上することも可能である。 更に、本実施例においては、各部品が平面十字状に配置
されているので部品の配設が容易であるが、各部品の配
置はこれに限定されず、ａｍ、操作の便宜等から立体配
置としてもよい。
の実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第１図に示す如く、光ａ１０、入射コリメ
ータ１２及びターゲット１３を含む入射光学系８と、該
入射光学系８からの入射光を、第１反射１４０に向けた
基準光と、試料１４を介して第２反射鏡４２に向けた検
査光とに分けるビームスプリッタ４４と、前記試料１４
の検査部位を、前記検査光の光軸に対して角度変化可能
に支持する、回動テーブル１６及び目盛板１８を含むゴ
ニオメータ１５と、前記基準光の光路と検査光の光路と
を交互に遮断するチョッパ４６と、検出コリメータ２１
、前記チョッパ４６を介して交互に入光する、前記第１
反！）１１１４０からの反射光と前記試料１４を中継す
る第２反射鏡４２からの反射光とを光電変換する単一の
光電変換器２２及び前記ターゲット１３を観察するモニ
タ２４を含む検出光学系２０と、前記単一の光電変換器
２２で変換された、前記第１反射！＄１４０からの反射
光相当電気信号と前記第２反射鏡４２及び試料１４から
の反射光相当電気信号とを比較して、前記試料１４の反
射率や透過率等の光学特性を求める検出回路４８とから
構成されている。 前記第１反射鏡４０と第２反射鏡４２は、例えば同一物
体から切出して形成する等、同一特性とされている。こ
れらの第１反射１４０及び第２反ＭＭ４２と前記ビーム
スプリッタ４４とは、該ビームスプリッタ４４の光分岐
点と第１反射鏡４０間の距ｌＩＡが、前記光分岐点と前
記試料１４を中継した第２反射鏡４２間の距離Ｂ＋Ｃと
等しくなるように配設されている。 又、前記チョッパ４６は、光透過部と光遮断部とを備え
た円板状部材４６Ａと、該円板状部材４６Ａを回転させ
るモータ４６Ｂとから構成されている。 以下実施例の作用を説明する。 ミラー、プリズム等の光学要素の検査に際しては、まず
、該光学要素の試料１４をゴニオメータ１５の回動テー
ブル１６上に載置し、該試料１４の検査部位に対するビ
ームスプリッタ４４からの検査光の入射角θが測定方向
と一致するように、回動テーブル１６を回動して試料１
４の向きを調整すると共に、第２反射１４２の位置も調
整する。 この際、ターゲット１３及びモニタ２４を用いることに
よって、光学系の調整を迅速且つ容易に行うことができ
る。なお、回動テーブル１６の回動と連動して第２反射
１４２の′位置が自動的に調整されるように構成するこ
とも可能である。 次いで、モータ４６Ｂにより円板状部材４６Ａを回動さ
せながら、光［１０から測定波長λの入射光を入射する
。すると、該入射光の一部は、ビームスプリッタ４４で
反射され、チョッパ４６を介して第１反射鏡４０で反射
された後、検出光学系２０に基準光として入射される。 一方、次の瞬間には、チョッパ４６によりビームスプリ
ッタ４４を透過した入射光が検査光として試料１４に入
射され、第２反１）１１１４２で反射された後、再びビ
ームスプリッタ４４で反射されて検出光学系２０に入射
される。従って、光電変換器２２における受光波形は、
例えば第２図に示す如く、基準光による波形りと検査光
による波形Ｅとが交互に現れるものとなる。従って、検
出回路４８とチョッパ４６の同期をとって受光波形を評
価し、波形りとＥを比較分析することによって、試料１
４の反射率や透過率等の光学特性をほぼ実時間で正確に
測定することができる。 受光波形の評価は、例えば、検査対象や検査精度等に応
じて適宜選択した、波形のレベル、積分値又はＡ／Ｄ変
換したデジタル信号に基づいて行うことができる。 同様にして、入射角θを順次変更しながら測定を行えば
、様々な入射角θに対する光学特性が、迅速に測定可能
である。 又、入射光学系８又は検出光学系２０の共通光路に分光
器を設け、該分光器を用いて測定波長λを変化させなが
ら測定を行えば、波長依存性も容易に且つ迅速に測定す
ることができる。 本実施例においては、入射光学系８にターゲット１３を
含めると共に、検出光学系２０に該ターゲット１３を観
察するモニタ２４を含めているので、光学系の調整が容
易である。 又、本実施例においては、チョッパ４６を、光透過部と
光遮断部とを備えた円板状部材４６Ａと、該円板状部材
４６Ａを回転させるモータ４６Ｂとから構成しているの
で、同一条件での多数繰返し測定が可能となり、平均値
を得ることによって、測定精度を向上させることができ
る。なお、チョッパ４６の構成はこのような回転型に限
定されない。 更に、本実施例においては、ビームスプリッタ４４の光
分岐点と第１反射１４０間の距離Ａが、同じくビームス
プリッタ４４の光分岐点と前記試料１４を中継した第２
反射Ｒ４２間の距Ｉｔ （Ｂ十Ｃ）と等しくされている
ので、基準光の光路と検査光の光路の長さが等しくなり
、測定精度が特に高い。 又、本実施例においては、ゴニオメータ１５の回転テー
ブル１６の回動角を目盛板１８によって読取るようにし
ているので、構成が単純である。 なお、回動テーブル１６の回動角を読取る方法はこれに
限定されず、例えばロータリエンコーダ等の角度検出手
段を設けて、検出精度を向上することも可能である。 更に、本実施例においては、各部品が平面十字状に配置
されているので部品の配設が容易であるが、各部品の配
置はこれに限定されず、ａｍ、操作の便宜等から立体配
置としてもよい。
以上説明した通り、本発明によれば、測定に際して、試
料を着脱したり検出光学系を移動したりする必要がなく
、基準光と検査光をほぼ同時に検出することが可能とな
り、光源の拡散や光電変換器の特性が変化した場合にも
、正確な検査が可能となる。又、単一の光電変換器を用
いているため、温度変動等の影響にかかわらず、正確な
測定が可能となる。従って、測定時の時間差による変動
や光電変換器の特性の差等の影響を受けることなく、高
精度の測定を簡単且つ迅速に行うことができる。 更に、検出光学系を固定化することにより、ゴニオメー
タ周辺を小さくまとめることが可能となり、測定角度の
範囲を拡大することができる。又、試料の角度を容易に
変えることができる等の優れた効果を有する。
料を着脱したり検出光学系を移動したりする必要がなく
、基準光と検査光をほぼ同時に検出することが可能とな
り、光源の拡散や光電変換器の特性が変化した場合にも
、正確な検査が可能となる。又、単一の光電変換器を用
いているため、温度変動等の影響にかかわらず、正確な
測定が可能となる。従って、測定時の時間差による変動
や光電変換器の特性の差等の影響を受けることなく、高
精度の測定を簡単且つ迅速に行うことができる。 更に、検出光学系を固定化することにより、ゴニオメー
タ周辺を小さくまとめることが可能となり、測定角度の
範囲を拡大することができる。又、試料の角度を容易に
変えることができる等の優れた効果を有する。
第１図は、本発明に係る光学要素の検査装置の実施例の
構成を示す平面図、第２図は、前記実施例で用いられて
いる光電変換器の受光波形の例を示す線図、第３図は、
従来の光学要素の検査装置の一例の構成を示す平面図、
第４０は、同じく他の例の構成を示す平面図である。 ８・・・入射光学系、 １０・・・光源、１３
・・・ターゲット、 １４・・・試料、１５・
・・ゴニオメータ、 １６・・・回動テーブル、
２０・・・検出光学系、 ２２・・・光電変換器
、２４・・・モニタ、 ４０．４２・・・反
射鏡、４４・・・ビームスプリッタ、 ４６・・・チョ
ッパ、４６Ａ・・・円板状部材、 ４６Ｂ・・・モ
ータ、４８・・・検出回路。
構成を示す平面図、第２図は、前記実施例で用いられて
いる光電変換器の受光波形の例を示す線図、第３図は、
従来の光学要素の検査装置の一例の構成を示す平面図、
第４０は、同じく他の例の構成を示す平面図である。 ８・・・入射光学系、 １０・・・光源、１３
・・・ターゲット、 １４・・・試料、１５・
・・ゴニオメータ、 １６・・・回動テーブル、
２０・・・検出光学系、 ２２・・・光電変換器
、２４・・・モニタ、 ４０．４２・・・反
射鏡、４４・・・ビームスプリッタ、 ４６・・・チョ
ッパ、４６Ａ・・・円板状部材、 ４６Ｂ・・・モ
ータ、４８・・・検出回路。
Claims (6)
- （１）光学要素の光学特性を検査するための光学要素の
検査装置において、 光源を含む入射光学系と、 該入射光学系からの入射光を、第１反射鏡に向けた基準
光と試料を介して第２反射鏡に向けた検査光とに分ける
ビームスプリッタと、 前記試料の検査部位を、前記検査光の光軸に対して角度
変化可能に支持する可変角支持手段と、前記基準光の光
路と検査光の光路とを交互に遮断するチョッパと、 該チョッパを介して交互に入光する、前記第１反射鏡か
らの反射光と前記試料を中継する第２反射鏡からの反射
光とを光電変換する共通の光電変換器を含む検出光学系
と、 前記光電変換器で変換された、前記第１反射鏡からの反
射光相当電気信号と前記第２反射鏡及び試料からの反射
光相当電気信号とを比較して、前記試料の光学特性を求
める検出回路と、 を備えたことを特徴とする光学要素の検査装置。 - （２）前記第１反射鏡と第２反射鏡が同一特性とされて
いる特許請求の範囲第１項記載の光学要素の検査装置。 - （３）前記ビームスプリッタの光分岐点と第１反射鏡間
の距離が、前記光分岐点と前記試料を中継した第２反射
鏡間の距離と等しくされている特許請求の範囲第１項記
載の光学要素の検査装置。 - （４）前記入射光学系にターゲットが含まれると共に、
前記検出光学系に、該ターゲットを観察するモニタが含
まれている特許請求の範囲第１項記載の光学要素の検査
装置。 - （５）前記入射光学系又は検出光学系に、特定波長の光
のみを選択する分光手段が含まれている特許請求の範囲
第１項記載の光学要素の検査装置。 - （６）前記チョッパが、光透過部と光遮断部とを備えた
円板状部材と、該円板状部材を回転させる駆動手段とか
ら構成されている特許請求の範囲第１項記載の光学要素
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60103523A JPS61260141A (ja) | 1985-05-15 | 1985-05-15 | 光学要素の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60103523A JPS61260141A (ja) | 1985-05-15 | 1985-05-15 | 光学要素の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61260141A true JPS61260141A (ja) | 1986-11-18 |
Family
ID=14356281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60103523A Pending JPS61260141A (ja) | 1985-05-15 | 1985-05-15 | 光学要素の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61260141A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0187241U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | ||
| WO2003060458A1 (en) * | 2002-01-17 | 2003-07-24 | Agilent Technologies, Inc. | Determination of optical properties of a device under test in both directions in transmission and in reflection |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213378A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-01 | Hitachi Ltd | Automatic measuring device for reflexibility distribution |
-
1985
- 1985-05-15 JP JP60103523A patent/JPS61260141A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213378A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-01 | Hitachi Ltd | Automatic measuring device for reflexibility distribution |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0187241U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | ||
| WO2003060458A1 (en) * | 2002-01-17 | 2003-07-24 | Agilent Technologies, Inc. | Determination of optical properties of a device under test in both directions in transmission and in reflection |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6678046B2 (en) | Detector configurations for optical metrology | |
| US4999014A (en) | Method and apparatus for measuring thickness of thin films | |
| US5011295A (en) | Method and apparatus to simultaneously measure emissivities and thermodynamic temperatures of remote objects | |
| US5416594A (en) | Surface scanner with thin film gauge | |
| US6856384B1 (en) | Optical metrology system with combined interferometer and ellipsometer | |
| JPH10507833A (ja) | 分光偏光解析装置 | |
| CN110687051B (zh) | 一种检测设备及方法 | |
| EP0396409A2 (en) | High resolution ellipsometric apparatus | |
| JPH11211654A (ja) | 偏光解析装置 | |
| CN202793737U (zh) | 一种平面反射镜反射率检测系统 | |
| JPH0518896A (ja) | 小さな吸光量の検出用測定方法 | |
| CN117110205A (zh) | 一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法 | |
| CN102607806A (zh) | 一种平面反射镜反射率检测系统 | |
| JPS61260141A (ja) | 光学要素の検査装置 | |
| US4999010A (en) | Dual beam optical nulling interferometric spectrometer | |
| EP2698598B1 (en) | System and method for setting and compensating errors in AOI and POI of a beam of EM radiation | |
| US20080212095A1 (en) | Optical Monitoring Apparatus and Method of Monitoring Optical Coatings | |
| JPS61260140A (ja) | 光学要素の検査装置 | |
| US7999949B2 (en) | Spectroscopic ellipsometers | |
| WO2007127760A2 (en) | Spectroscopic ellipsometers | |
| JPH0875597A (ja) | 非球面偏心測定機 | |
| US3512891A (en) | Spherical interferometer | |
| JP2712987B2 (ja) | 偏光測定装置の調整方法 | |
| TWI428575B (zh) | 頻譜式橢偏儀 | |
| RU2172945C2 (ru) | Устройство для измерения коэффициента пропускания оптической пластины |