CN202793737U - 一种平面反射镜反射率检测系统 - Google Patents
一种平面反射镜反射率检测系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202793737U CN202793737U CN 201220059310 CN201220059310U CN202793737U CN 202793737 U CN202793737 U CN 202793737U CN 201220059310 CN201220059310 CN 201220059310 CN 201220059310 U CN201220059310 U CN 201220059310U CN 202793737 U CN202793737 U CN 202793737U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- reflectivity
- optical fiber
- detecting
- fiber collimator
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Abstract
本实用新型揭示了一种平面反射镜反射率检测系统，其特征在于：包括可调谐激光器、光纤准直器、六维调整架、旋转台、待测光学元件的夹具以及光功率计，其中所述的光纤准直器固定在六维调整架上，通过调整六维调整架的旋钮来调整光纤准直器的状态。该系统能够在特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下检测不同入射角的反射率的系统，具有成本较低、测试方法简单、测试速度较快等优点，适用于要求检测平面反射镜反射率的各个领域，尤其是适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种平面反射镜反射率检测系统，尤其是指一种对平面反射镜能够在特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下检测不同入射角的反射率的系统。本实用新型广泛适用于要求检测平面反射镜反射率的各个领域，尤其是适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的检测，成本低，速度快。
背景技术
目前，通信、仪器、测试等领域中越来越多的产品内部都包含有光学元件，其中最为普遍应用的就是平面反射镜，而且平面反射镜的表面加工质量反射率不仅直接影响系统的输出能量，而且对系统的质量、可靠性及寿命也至关重要。因此在检测环节对如实反映平面反射镜的反射率提出了很高的要求。另外，反射率的精确测量对改进平面反射镜的镀膜工艺，提高膜层质量具有重大的意义。
现在常用的检测平面反射镜反射率的光学测量方法主要有单次反射法、多次反射法和VW测量法。单次反射测量法用的是被测元件反射光强IR与入射光强I0的比值，但检测结果常常会因为在测量入射光强I0和反射光强IR时探测器各点灵敏度不同而引入较大的测量误差。多次反射法是被测元件对入射光源进行N次反射，然后再将反射光强与入射光强的比值开N次方根，此方法的测量精度比单次反射测量精度高，但测量结果常常会受到光源功率稳定性的影响。VW测量法可以兼顾单次反射法和多次反射法的不足，在测量过程中光电探测器位置不变，且反射次数为2次，因此其精度较单次反射测量法高，且测量结果受光源功率稳定性影响小。另外，以上三种测量方法的测量光源为单波长光源，因此不具备测量连续光谱范围的光学元件反射率的能力。
发明内容
为了快速方便精确的检测平面反射镜的反射率，本实用新型提供了一种对平面反射镜能够在特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下检测不同入射角的反射率的系统，该检测系统成本较低、测试方法简单、测试速度较快，适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的检测。
本实用新型所采用的技术方案为：
可调谐激光器出射的通过光纤准直器将一束平行光入射到待测平面反射镜，其中待测平面反射镜放置于可精密旋转刻度的旋转台上，经待测平面反射镜反射的平行光被另一光纤准直器所接收，两光纤准直器之间的距离为准直器的工作距离，接收反射光的准直器与功率计相连，可以读出所接收到的光的能量。因此，可以根据从可调谐激光器出射的光的能量及功率计接收的光的能量来计算平面反射镜的反射率。通过调整可调谐激光器出射光的波长以及旋转台的角度，则本实用新型能够在特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下检测不同入射角的反射率。
一种平面反射镜反射率的检测系统，其特征在于：包括可调谐激光器、光纤准直器、六维调整架、旋转台、待测光学元件的夹具以及光功率计，其中所述的光纤准直器固定在六维 调整架上，通过调整六维调整架的旋钮来调整光纤准直器的状态。
进一步地，前述的平面反射镜反射率检测系统，其特征在于使用可调谐激光器作为系统的光源，具备测量连续光谱范围的光学元件反射率的能力。
进一步地，前述的平面反射镜反射率检测系统，其特征在于将待测样品及其夹具放置于带刻度的旋转台上，可以通过调节旋转台从而得到检测所需要的不同入射角。
进一步地，前述的平面反射镜反射率检测系统，其特征在于使用光纤准直器接收反射光并通过光功率计测试接收到的光功率，成本低，精度高。
本实用新型广泛适用于要求检测平面反射镜反射率的各个领域，尤其是适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的检测，成本低，速度快。
附图说明
图1为一种平面反射镜反射率检测系统结构图。
图中各附图标记的含义为：
1～可调谐激光器及其支架；2～第一光纤准直器及第一六维调整架；3～旋转台；4～待测光学元件夹具；5～第二光纤准直器及第二六维调整架；6～光功率计。
具体实施方式
为了快速方便精确的检测平面反射镜的反射率，本实用新型提供了一种对平面反射镜能够在特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下检测不同入射角的反射率的系统。本实用新型检测方法成本较低、方法简单、速度较快，适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的检测。该反射率检测系统包括可调谐激光器及其支架1；第一光纤准直器及第一六维调整架2；旋转台3；待测光学元件夹具4；第二光纤准直器及第二六维调整架5；光功率计6。下面具体详细说明该平面反射镜的反射率检测系统的具体实施方式。
该平面反射镜的反射率检测系统的具体实施方式包含两个部分：
(一)系统的组装及调整：
如图1所示，将第一准直器与第二准直器放置在其有效工作距离之内时，将两个准直器对准，此时将待测平面反射镜移开，打开可调谐激光器，分别调整第一六维调整架和第二六维调整架，同时观察光功率计的读数，使光功率计的读数达到最大值时，将这个值记录为Pref，然后将待测平面反射镜放置于待测光学元件夹具上(待测光学元件夹具固定于旋转台上)，准备检测。
(二)反射率的检测
(1)特定的入射角下检测不同波长的反射效率：
将被测平面反射镜放置于待测光学元件夹具上，调节旋转台至所要测试入射角，锁紧旋转台，打开可调谐激光器并调节其波长至λ，通过调整第二六维架来调整第二准直器的位置使光功率计的读数达到最大值，记为Pλ，那么被测平面反射镜在该入射角的条件下，入射 波长为λ，其反射效率为R＝Pλ/Pref。如果需要测试不同的入射波长，则可以通过调节可调谐激光器出射光波长的设置则可得到该波长的反射率。
(2)在特定的波长下检测不同入射角的反射率：
将被测平面反射镜放置于待测光学元件夹具上，打开可调谐激光器并设定好所要测试的波长，调节旋转台至入射角为α，锁紧旋转台，通过调整第二六维架来调整第二准直器的位置使光功率计的读数达到最大值，记为Pα，那么被测平面反射镜在该入射波长的条件下，入射角为α，其反射效率为R＝Pα/Pref。如果需要测试不同的入射角，则可以通过调节旋转台从而调节入射角，再调整第二准直器的位置则可得到该入射角的反射率。
通过以上结构及检测方法的描述，本实用新型的实质性特征已明确，其效果主要归结为以下几点：
1、该实用新型可以快速检测出特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下不同入射角的反射率。
2、本实用新型的系统稳定、容易调试、对环境要求不高而且测量范围相对较大。
3、本实用新型尤其适用于大型企业对批量平面反射镜反射率的测试，成本低，速度快。
综上所述，本实用新型可以快速检测出特定的入射角下检测不同波长的反射效率以及在特定的波长下不同入射角的反射率，通过对实施例的具体描述，其结构特征及测试方法已被详细地公示，但凡基于上述实施例及其测试方法所作的等效替换或简单修改，均应该被包含于本实用新型专利请求的专利保护范围之内。
Claims (1)
1.一种平面反射镜反射率检测系统，其特征在于：包括可调谐激光器、光纤准直器、六维调整架、旋转台、待测光学元件的夹具以及光功率计，其中所述的光纤准直器固定在六维调整架上，通过调整六维调整架的旋钮来调整光纤准直器的状态。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220059310 CN202793737U (zh) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 一种平面反射镜反射率检测系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220059310 CN202793737U (zh) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 一种平面反射镜反射率检测系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202793737U true CN202793737U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47820981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220059310 Expired - Lifetime CN202793737U (zh) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 一种平面反射镜反射率检测系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202793737U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102607806A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-25 | 科纳技术(苏州)有限公司 | 一种平面反射镜反射率检测系统 |
| CN104132797A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-11-05 | 奉化市宇创产品设计有限公司 | 反射镜特性测试装置 |
| CN106441818A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-02-22 | 山东电力设备有限公司 | 全光纤电流互感器反射镜反射率的测试装置及方法 |
| CN109470183A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-15 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种棱镜平整度的检测系统 |
| CN116222984A (zh) * | 2023-05-09 | 2023-06-06 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种光栅尺反射率测量装置 |
-
2012
- 2012-02-23 CN CN 201220059310 patent/CN202793737U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102607806A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-25 | 科纳技术(苏州)有限公司 | 一种平面反射镜反射率检测系统 |
| CN104132797A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-11-05 | 奉化市宇创产品设计有限公司 | 反射镜特性测试装置 |
| CN106441818A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-02-22 | 山东电力设备有限公司 | 全光纤电流互感器反射镜反射率的测试装置及方法 |
| CN109470183A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-15 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种棱镜平整度的检测系统 |
| CN116222984A (zh) * | 2023-05-09 | 2023-06-06 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种光栅尺反射率测量装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202793737U (zh) | 一种平面反射镜反射率检测系统 | |
| CN102435418B (zh) | ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 | |
| CN109115690B (zh) | 实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法 | |
| CN105716756B (zh) | 一种光学材料微观应力空间分布的精确测量装置 | |
| CN109115730A (zh) | 基于可调谐激光的光谱透过率测试系统及方法 | |
| CN105066889A (zh) | 一种便携式薄膜测厚仪及其膜厚测量方法 | |
| US4453828A (en) | Apparatus and methods for measuring the optical thickness and index of refraction of thin, optical membranes | |
| CN103954589A (zh) | 一种光学材料折射率的精密测量装置及方法 | |
| CN111458696B (zh) | 手持式激光测距仪示值误差的校准方法 | |
| CN109211842A (zh) | 一种太赫兹频段材料反射系数定标测量装置及方法 | |
| CN102607806A (zh) | 一种平面反射镜反射率检测系统 | |
| CN105758625A (zh) | 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置及方法 | |
| CN103759675A (zh) | 一种用于光学元件非球面微结构的同步检测方法 | |
| CN100462773C (zh) | 运用Zernike系数精确确定激光收发同轴基准的方法 | |
| CN205607626U (zh) | 一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置 | |
| CN210664764U (zh) | 高精度激光功率取样测量装置 | |
| Azzam | NIRSE: Normal-incidence rotating-sample ellipsometer | |
| CN208847653U (zh) | 一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪 | |
| CN103278475B (zh) | 透明介质折射率的测量装置及测量方法 | |
| CN205038160U (zh) | 一种表面等离子体共振吸收检测仪 | |
| CN113776786A (zh) | 一种透过率和反射率测量仪及其测量方法 | |
| CN103575223A (zh) | 利用反射光谱测量硅基太阳能电池增透膜的方法 | |
| JP7041015B2 (ja) | 電場ベクトル計測の校正方法 | |
| CN220304798U (zh) | 一种五棱镜直角误差检测辅助装置 | |
| CN205404405U (zh) | 消除bsdf测量中激光光源功率变化误差的系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130313 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |