JPH0187241U - - Google Patents
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- JPH0187241U JPH0187241U JP18346287U JP18346287U JPH0187241U JP H0187241 U JPH0187241 U JP H0187241U JP 18346287 U JP18346287 U JP 18346287U JP 18346287 U JP18346287 U JP 18346287U JP H0187241 U JPH0187241 U JP H0187241U
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- JP
- Japan
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- light
- reference mirror
- mirror
- light beams
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の構成図、第2図は
上記実施例のタイムチヤート、第3図は参照光の
光路図、第4図は測定光の光路図である。 1……光源部、2……参照鏡、3……測定鏡、
4,4′……開閉板、5,5′……開閉板駆動部
、6……半透過鏡、7……測定部、8……マイク
ロコンピユータ、9……光源強度測定部、10…
…半透過鏡、A,B,C……鏡支持部、F……入
射光。
上記実施例のタイムチヤート、第3図は参照光の
光路図、第4図は測定光の光路図である。 1……光源部、2……参照鏡、3……測定鏡、
4,4′……開閉板、5,5′……開閉板駆動部
、6……半透過鏡、7……測定部、8……マイク
ロコンピユータ、9……光源強度測定部、10…
…半透過鏡、A,B,C……鏡支持部、F……入
射光。
Claims (1)
- 光源部と、光源部から放射される光束を2光束
に分割する半透明鏡と、分割された一方の光束が
試料面に垂直に入射するように試料を保持する試
料保持部と、分割された他方の光束が参照鏡に垂
直に入射するように参照鏡を保持する参照鏡保持
部と、参照鏡又は試料面に入射する光を断続する
光開閉板と、光測定部とを設け、試料面及び参照
鏡で反射された2光束が上記半透明鏡で同一方向
に会合され、会合された光束が光測定部に入射す
るようにしたことを特徴とする垂直入射反射率測
定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18346287U JPH0187241U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18346287U JPH0187241U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0187241U true JPH0187241U (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=31474883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18346287U Pending JPH0187241U (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0187241U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213378A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-01 | Hitachi Ltd | Automatic measuring device for reflexibility distribution |
JPS61260141A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Mitsutoyo Mfg Corp | 光学要素の検査装置 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18346287U patent/JPH0187241U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5213378A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-01 | Hitachi Ltd | Automatic measuring device for reflexibility distribution |
JPS61260141A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Mitsutoyo Mfg Corp | 光学要素の検査装置 |