JPS61256006A - 移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はクリーンルーム内等に於て発塵をなくすか、あ
るいは発塵を極めて抑制して物品を移動させるの番こ適
した移送装置に関するものである。

従来の技術とその問題点 従来クリーンルーム内での物品移送装置としてはガイド
ロッドにベアリングを介して移動体を投げ、この移動体
に物品の移送Ｓζ適したアタッチメント等を設けている
。このためガイドロッドと移動体との摩擦面にて物品の
摩耗等により発塵したり、この移動体の移動手段からの
発塵があったりする。

本発明の目的は固定側と移動側の機械的摩擦面をなくシ
、かつ移動手段を密閉したチューブ内にて行ない、これ
により発塵を防止せんとするものである。

問題点の解決手段 物品の移送範囲に応じて適当な長さと径とを有するガイ
ドチューブを１木又は回転防止をするため！水平行に配
役し、該チューブ内に永久磁石を具備した摺動体を摺動
自在にして嵌挿すると共にこの摺動体を前記ガイドチュ
ーブ内に加える流体圧あるいはガイドチューブ内に挿通
されるスクリューロッド又は索条と係止し、流体圧の加
える方向あるいはスクリューロッドの回動方向もしくは
索条の引張方向に応じてガイドチューブ内を往復移動さ
せ、ざらにこのガイドチューブの外周ニ機械的摺動面を
なくシ１円滑な移動が可能なよう（静圧スライダを配設
し、この静圧スライダに摺＃ｈ体に設けた磁石と互いＩ
Ｃ吸着するようにした磁石と、物品の移送に適したアタ
ッチメントとを備える。

実施例 以下本発明を図面に示す実施例にもとづいて説明する。

図に於て１はガイドチューブで、亦鉄金属。

合成樹脂、その他非磁性体製で、物品移送距離に応じて
適当な長さと、径とを存し、そのＷｉ端部を支持体（図
示省略）６ζて支持される。

そしてこのガイドチューブ１内に摺動体２が摺動自在に
嵌挿されるが、この摺動体２もガイドチューブ菖と同様
非磁性体製で、その外周面に永久磁石３を設ける。図示
の実施例ではリング状の永久磁石３の両側より鵞つ割と
しだ摺動体を合わせこの２つの摺動体間に貫通して連結
具を設け、この連結具にて鵞つの摺動体間にリング伏磁
石を挾持固定して一体としたものであるが、この磁石を
複数片とし。

摺動体周面に役けてもよいが、この場合各磁石の極性を
合わせることが必要である。そしてこの摺動体をチュー
ブ１内を円滑に摺動させるためｌ（は空気圧、液体圧、
スクリューロッド、索条等が用いられる。第１図の実施
例では空気圧あるいは液圧を用いるものである。

このためガイドチューブ１の両端部には流体を供給可能
番ζして密閉するよう端蓋４を設ける。また第意図に示
す実施例は摺動体をガイドチューブ内にて移送する手段
としてスクリューロッド５を用いた場合で、これはガイ
ドチューブ内にスクリュ−ロッド島を挿通し。

このスクリューロッド両端部を軸受ｓ、ｓＫて回動自在
に支持すると共にガイドチューブのいずれか片端部外方
よりモータ等の駆動体にて前記スクリューロッドＳを正
逆切換可能にして回動せしめ、このスクリューロッドに
前記摺動体２を螺合する。この場合もガイドチューブ端
には端蓋４が設けられ、ガイドチューブ内で発塵はチュ
ーブ外へ漏洩しないよう１ζなｔＩＳ また前記ガイドチューブは摺動体を流体圧にて行なう際
、直線状以外曲線的にすることも可能である。そしてそ
の曲率はガイドチューブ内に嵌挿した摺動体及び外部に
配役した静圧スライダーの摺動可能範囲として適当に定
められる。

またガイドチューブ１の外周には静圧スライダー側が嵌
挿され、このスライダー内方に空気を噴射し、ガイドチ
ューブと静圧スライダー間を直接接触することなく空気
層を介在せしめること膠こより機械的摩擦を防ぎ１円滑
な摺動と発塵の防止とを行なわしめる・この静圧スライ
ダーの内周面にも磁石８を設け、この磁石８と摺動体側
の磁石３とを互いに吸着するようにしてその極性を定め
る。そしてこの両磁石３．８の吸着力は静圧スライダー
側の移動体の重量及びこれにより移送される物品重量の
全部もしくは一部が支えられ、摺動体の移動にて静圧ス
ライダーが追随して移動できるようにして定められる。

またこの静圧スライダーにて移送物品を載置したり、引
掛けたり、吊型したりして係止し、ともに移送するに適
したアタッチメント等が設けられる。尚ガイドチューブ
に沿って静圧スライダーを有する移動体が往復移動する
際、この移動体の回動を防止するため、ガイドチューブ
を！水平行に配役するか、又はガイドチューブに平行１
ζ他のガイドレールを配役することもある。第１図に示
すものはストッカーの実施例を示す。

ベース１０上ＥＣガイドチューブ１１と移動体の回転防
止をするガイドレール１鵞とを樹立せしめ、このガイド
チューブｎｘｃ静圧ｘライダーを組み込んだ移動体１ｍ
を摺動自在に配役し、かつこの移動体１ｓの一部が外部
に突出する如くしてガイドチューブ１１．ガイドレール
１１を外筐１４にて覆うと共１ζこの外筐外１ζ突出し
た移動体に水射方向の１本のガイドチューブＩＭを具備
したフレーム１ｓを突設し、この水平なるガイドチュー
ブ１６にも移動体１７を摺動自在に嵌挿し、この移動体
１７に７オーグ１８を突設して成るもので、これにより
フォーク１８上に載置された物品をフォークの昇降と出
没とにより物品を所望位置へ移送するものである。尚こ
の実施例に於てもガイドチューブ１１．１６内≦ζは磁
石付の摺動体が嵌挿され、移動休日１１７側にも磁石叶
静圧スライダーが用いられ、互いに磁石の吸着力を利用
して移動休日１１７がガイドチューブ１１又はｍＩ５に
沿って移動するものである。

また上記実施例に於てガイドチューブは１本又は２本以
上を並列して使用し、これにより重量物品でも磁石の吸
着力にて移送可能とすることもある。さらに移動体をガ
イドチューブの中間位置で停止させんとする時は、中間
位置１ζ電磁石を配役し、中間位置停止時のみ、このｔ
＠石に通電すれば中間定位置停止も行なえる。

移動体の移動変速制御は流体圧を用いる場合、その圧力
や供給速噌を制御するととｆごより、スクリューロフト
方式にあってはスクＩＩニーロッドの回動連間の制御に
よって、索条式にあっては索条の引張速噌の制御によっ
て夫々行なわれる。

発明の効果 本発明による時は摩耗による発塵が生じる機械的移動機
構を密閉されたガイドチューブ内に嵌挿し、このチュー
ブの外１１に静圧スライダーを具備する移動体を配役し
、このチューブ内の機械的移動機構（摺動子）と移動体
とを磁石による吸着力にて連結して摺動子のチューブ内
移動に追随して移動体を移動するようになしているため
、構造が簡単でしかも発塵がなくクリーンルーム内での
作業に適する利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図、＠ｚ図は断面図、第１図はストッカーの外観図
、第４図はガイドチューブと移動体との関係を示す説明
図である。 １．１１はガイドチューブ、　　！は摺動体。 ｍ、ｓは永久磁石、　　４は端Ｉ１．　　５はスクリュ
ーロッＦ、　　ａは軸受、　　７は静圧スライダー、　
　１０はベース、　　ｌ鵞はガイドレール。 ＩＭ、１テは移動体、　　１４は外筐、　　１６はガイ
ドチューブ、　　　ｔｇはフレーム、　　１Ｂはフォー
ク。 特許出嘲人　　　日立機電工業株式会社外　　１名

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）移動体の移動範囲長もしくはそれより長くしたガ
   イドチューブ内に永久磁石を具備したピストン様の摺動
   体を嵌挿すると共に該ガイドチューブを閉塞し、かつそ
   の外部に所要の移動体を具備し、永久磁石を設けた静圧
   スライダを摺動自在に配役し、ガイドチューブ内の摺動
   体とチューブ外の静圧スライダ間を前記磁石の吸引力を
   利用して連結し、摺動体の移動に追随して移動体を往復
   移動させるようになしたことを特徴とする移送装置。
2. （２）ガイドチューブ内に嵌挿された摺動体をガイドチ
   ューブ両端部のいずれか片方より選択的に流体圧を加え
   ることにより摺動させるようになした特許請求の範囲第
   １項記載の移送装置。
3. （３）ガイドチューブ内に嵌挿された摺動体を、該チュ
   ーブ内に貫通したスクリューロッドに螺合し、該スクリ
   ューロッドをチューブ外より回動させることにより移動
   させるようになした特許請求の範囲第１項記載の移送装
   置。
4. （４）ガイドチューブ内を貫通した移動可能な索条にガ
   イドチューブ内に嵌挿された摺動体を係止し、索条の引
   張移動にて摺動体を移動させるようになした特許請求の
   範囲第１項記載の移送装置。