JPS61252504A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
- Publication number
- JPS61252504A JPS61252504A JP60094660A JP9466085A JPS61252504A JP S61252504 A JPS61252504 A JP S61252504A JP 60094660 A JP60094660 A JP 60094660A JP 9466085 A JP9466085 A JP 9466085A JP S61252504 A JPS61252504 A JP S61252504A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- container
- thin film
- airtight
- infrared
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光学簿膜を備えた光学部品を使用した光学装置
に関する。
に関する。
従来の技術
従来、ＫＲＳ−５結晶を素材とし、Ａｓ２Ｓｅ３とＫＣ
ρの三層反射防止膜を表面に形成した光学部品は、波長
１０．６μｍのＣＯ２レーザ光に対し、初期的には反射
損失が１％以下で、２０Ｋ Ｗ／ｃａｔ以上のエネルギ
ー密度に耐え得るものが可能である。
ρの三層反射防止膜を表面に形成した光学部品は、波長
１０．６μｍのＣＯ２レーザ光に対し、初期的には反射
損失が１％以下で、２０Ｋ Ｗ／ｃａｔ以上のエネルギ
ー密度に耐え得るものが可能である。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような光学部品を湿度下で連続照射すると
、短時間で反射損失が増大し、数十時間で反射′防止膜
は損傷を受ける。
、短時間で反射損失が増大し、数十時間で反射′防止膜
は損傷を受ける。
この理由の詳細はまだ明らかでないが、現象的には損傷
に到る時間と雰囲気の湿度との相関が明瞭である。この
様子を第２図に示す。第２図はＣ０２レーザ光を２０Ｋ
Ｗ／ｃｄで入射した場合である。すなわち、湿度が反射
防止膜の劣化の原因であることが聰解される。乾燥雰囲
気下では１０００時間経過後も劣化は見られない。湿度
雰囲気中で劣化した反射防止膜については、三層とも明
らかな膜厚の減少が見られた。Ｋ（ｌについては材料自
体に吸湿性があり、そのために劣化しやすいことが推定
される。Ａｓ２Ｓｅ３についての劣化メカニズムは不明
であるが、単層膜においても劣化を生じることから、Ａ
ｓ２Ｓｅ３自体の劣化が存在すると考えられる。
に到る時間と雰囲気の湿度との相関が明瞭である。この
様子を第２図に示す。第２図はＣ０２レーザ光を２０Ｋ
Ｗ／ｃｄで入射した場合である。すなわち、湿度が反射
防止膜の劣化の原因であることが聰解される。乾燥雰囲
気下では１０００時間経過後も劣化は見られない。湿度
雰囲気中で劣化した反射防止膜については、三層とも明
らかな膜厚の減少が見られた。Ｋ（ｌについては材料自
体に吸湿性があり、そのために劣化しやすいことが推定
される。Ａｓ２Ｓｅ３についての劣化メカニズムは不明
であるが、単層膜においても劣化を生じることから、Ａ
ｓ２Ｓｅ３自体の劣化が存在すると考えられる。
本発明はａ湿度の使用環境下においても、光学部品に形
成した光学薄膜が高エネルギーレーザ光照射下で劣化づ
るのを防止できる光学装置を提供することを目的とする
。
成した光学薄膜が高エネルギーレーザ光照射下で劣化づ
るのを防止できる光学装置を提供することを目的とする
。
問題点を解決するための手段
本発明の光学装置は、Ａｓ２Ｓｅ３あるいはＫＯ！ｌの
少くとも一方を構成材料とづる光学薄膜を表面に形成し
た光学部品を気密構造容器中に乾燥剤と共に収納したこ
とを特徴とする。
少くとも一方を構成材料とづる光学薄膜を表面に形成し
た光学部品を気密構造容器中に乾燥剤と共に収納したこ
とを特徴とする。
作用
この構成により、＾エネルギー密度のレーデ光が照射さ
れる場合でも、光学ａｌｌを有する光学部品は乾燥雰囲
気中にあるため、劣化を生じにくいものである。
れる場合でも、光学ａｌｌを有する光学部品は乾燥雰囲
気中にあるため、劣化を生じにくいものである。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。第１図は光学薄膜を表面に形成した光学部品として
、両端面に反射防止膜を有する赤外ファイバ１を用いた
場合の本発明の実施例である。赤外ファイバ１はＣＯ２
レーザメスやＣＯ２レーザ加工機において重要なる要素
部品であるが実用化されているものは少ない。それは、
これらの用途においては、伝送するエネルギー量と可撓
性を両立せしめるために、エネルギー密度として２０Ｋ
Ｗ／ａ１程度あるいはそれ以上の耐光力が必要とされる
。現在このような性能を有するものとして、Ｔｉｅｒと
ＴＱＩの混晶であるＫＲＳ−５多結晶赤外ファイバが有
望である。しかるに、この材料の屈折率はＣＯ２レーザ
光（波長１０．６μｓ）に対して、２．３７と非常に大
きく、人、出射端における反射損失は約３０％にも及ぶ
。従って、両端面反射防止膜を形成することは楊めて有
用である。
る。第１図は光学薄膜を表面に形成した光学部品として
、両端面に反射防止膜を有する赤外ファイバ１を用いた
場合の本発明の実施例である。赤外ファイバ１はＣＯ２
レーザメスやＣＯ２レーザ加工機において重要なる要素
部品であるが実用化されているものは少ない。それは、
これらの用途においては、伝送するエネルギー量と可撓
性を両立せしめるために、エネルギー密度として２０Ｋ
Ｗ／ａ１程度あるいはそれ以上の耐光力が必要とされる
。現在このような性能を有するものとして、Ｔｉｅｒと
ＴＱＩの混晶であるＫＲＳ−５多結晶赤外ファイバが有
望である。しかるに、この材料の屈折率はＣＯ２レーザ
光（波長１０．６μｓ）に対して、２．３７と非常に大
きく、人、出射端における反射損失は約３０％にも及ぶ
。従って、両端面反射防止膜を形成することは楊めて有
用である。
そして、反射防止膜の構成材料としては、耐光力の点に
おいて、Ａｓ２Ｓｅ３とＫＣρによる三層膜が有望なの
である。
おいて、Ａｓ２Ｓｅ３とＫＣρによる三層膜が有望なの
である。
前記ＫＲＳ−５多結晶の赤外フフイバ１の端面１ａ、１
ｂには膜厚がおよそ０．９μｓのＡ３２８８３ｇ１、同
０．８５ μｌのＫＣＱ１１同０．２６ｕ１のＡｓ２Ｓ
ｅ３躾を真空蒸着等により順次形成し反射防止膜が形成
されている。この赤外ファイバ１は金属製パイプ状容器
２に収納し、コレットチャック３で一端を保持する。前
記パイプ状容器２の両端部２Ａ、２Ｂは中間部に比して
大径に形成されており、コレットチャック３や後述のレ
ンズ等を収納できるものである。本実施例においては、
容器端部２Ａに乾燥剤４を収納づる空間を有し、かつ乾
燥剤４は多孔質の隔離材５によって保持されている。入
射側の容器端部２Ａは ７ｎ３ｅ等の赤外ウィンド６等
を用いて気密窓構造にする。７はそのための０リング、
８はネジ込み式の固定リングを示す。出射側の容器端部
２Ｂは、同じ＜Ｚｎ５ｅ等の赤外レンズ９等を用いて気
密構造にする。１０は０リング、１１は固定リングであ
る。
ｂには膜厚がおよそ０．９μｓのＡ３２８８３ｇ１、同
０．８５ μｌのＫＣＱ１１同０．２６ｕ１のＡｓ２Ｓ
ｅ３躾を真空蒸着等により順次形成し反射防止膜が形成
されている。この赤外ファイバ１は金属製パイプ状容器
２に収納し、コレットチャック３で一端を保持する。前
記パイプ状容器２の両端部２Ａ、２Ｂは中間部に比して
大径に形成されており、コレットチャック３や後述のレ
ンズ等を収納できるものである。本実施例においては、
容器端部２Ａに乾燥剤４を収納づる空間を有し、かつ乾
燥剤４は多孔質の隔離材５によって保持されている。入
射側の容器端部２Ａは ７ｎ３ｅ等の赤外ウィンド６等
を用いて気密窓構造にする。７はそのための０リング、
８はネジ込み式の固定リングを示す。出射側の容器端部
２Ｂは、同じ＜Ｚｎ５ｅ等の赤外レンズ９等を用いて気
密構造にする。１０は０リング、１１は固定リングであ
る。
なお、赤外ウィンド６や赤外レンズ９は、必ずしも本例
のとうりである必要はない。逆でもよい。
のとうりである必要はない。逆でもよい。
つまり、赤外レンズ９が端部２Ａ、赤外ウィンド６が２
８でもよい。また両端部２Ａ、２Ｂとも赤外ウィンド６
あるいは赤外レンズ９でもよい。これらの材質にＺｎ
Ｓｅ等の材料を用いるのは、これらの反射防止膜は湿度
を有する雰囲気中においても劣化を生じにクク、また一
般にこの部分でのエネルギー密度は内部のファイバ部に
比して小ざく出来るから、先に述べたＡｓ２Ｓｅ３やＫ
ＣＱを用いる必要がないからである。また乾燥剤４は端
部２Ｂ側に設けてもよい。
８でもよい。また両端部２Ａ、２Ｂとも赤外ウィンド６
あるいは赤外レンズ９でもよい。これらの材質にＺｎ
Ｓｅ等の材料を用いるのは、これらの反射防止膜は湿度
を有する雰囲気中においても劣化を生じにクク、また一
般にこの部分でのエネルギー密度は内部のファイバ部に
比して小ざく出来るから、先に述べたＡｓ２Ｓｅ３やＫ
ＣＱを用いる必要がないからである。また乾燥剤４は端
部２Ｂ側に設けてもよい。
このような構造にすることにより、光学部品としての赤
外ファイバ１を常に低湿度雰囲気に保つことが出来る。
外ファイバ１を常に低湿度雰囲気に保つことが出来る。
即ち、組立時に乾燥気体を封入した場合、本構造の気密
機能が低下して外部の湿気が混入する場合も、乾燥剤に
吸収され、長時間低湿度を保持することが可能である。
機能が低下して外部の湿気が混入する場合も、乾燥剤に
吸収され、長時間低湿度を保持することが可能である。
本発明は上記実施例に示したようなファイバの場合に限
らず、Ａｓ２ＳｅｘおよびＫＣρの少くとも一方を構成
物質とする光学薄膜を表面に形成した光学部品に対して
適用することが出来る。
らず、Ａｓ２ＳｅｘおよびＫＣρの少くとも一方を構成
物質とする光学薄膜を表面に形成した光学部品に対して
適用することが出来る。
発明の詳細
な説明のように本発明の光学装置は、Ａｇ２ＳＯ４また
はＫＣｊ２の少なくとも一方を構成物質とする光学薄膜
が表面に形成された光学部品を乾燥剤と共に気密構造容
器に収納したため、湿度雰囲気下で、高エネルギー密度
のレーザ光の測定、検出などを実施しても光学薄膜を有
する光学部品が劣化することなく、長期にわたり使用す
ることができる。
はＫＣｊ２の少なくとも一方を構成物質とする光学薄膜
が表面に形成された光学部品を乾燥剤と共に気密構造容
器に収納したため、湿度雰囲気下で、高エネルギー密度
のレーザ光の測定、検出などを実施しても光学薄膜を有
する光学部品が劣化することなく、長期にわたり使用す
ることができる。
第１図は本発明の光学装置の一実施例の断面図、第２図
はＡｓ２ Ｓｅ３．Ｋ（ｌの三重反射防止膜の劣化損傷
に到る時間と雰囲気湿度との相関図である。 １・・・赤外ファイバ、２・・・パイプ状容器、４・・
・乾燥剤、６・・・赤外ウィンド、９・・・赤外レンズ
代理人 森 本 義 弘 喝 ぐ 第２図
はＡｓ２ Ｓｅ３．Ｋ（ｌの三重反射防止膜の劣化損傷
に到る時間と雰囲気湿度との相関図である。 １・・・赤外ファイバ、２・・・パイプ状容器、４・・
・乾燥剤、６・・・赤外ウィンド、９・・・赤外レンズ
代理人 森 本 義 弘 喝 ぐ 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、三セレン化砒素（Ａｓ＿２Ｓｅ＿３）または塩化カ
リウム（ＫＣｌ）の少なくとも一方を構成物質とする光
学薄膜を表面に形成したファイバ等の光学部品を、気密
構造容器中に乾燥剤とともに収納した光学装置。 ２、光学部品を、ＫＲＳ−５多結晶赤外ファイバの両端
に、膜厚約０．９μｍのＡｓ＿２Ｓｅ＿３膜、同０．８
５μｍのＫＣｌ膜、同０．２６μｍのＡｓ＿２Ｓｅ＿３
膜を順次形成した反射防止膜付ファイバとする特許請求
の範囲第１項記載の光学装置。 ３、気密構造容器を、両端部において径を大きくした金
属製パイプ状容器と、前記両端部にウインドまたはレン
ズを用いた気密窓構造とし、前記両端部の少くとも一方
に乾燥剤を収納した特許請求の範囲第１項記載の光学装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60094660A JPS61252504A (ja) | 1985-05-01 | 1985-05-01 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60094660A JPS61252504A (ja) | 1985-05-01 | 1985-05-01 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61252504A true JPS61252504A (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=14116405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60094660A Pending JPS61252504A (ja) | 1985-05-01 | 1985-05-01 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61252504A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2385149A (en) * | 2002-02-06 | 2003-08-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Optical module containing desiccant or deoxidant |
| EP2233898A3 (en) * | 2009-03-26 | 2011-03-23 | Shimadzu Corporation | Infrared spectrophotometer and attachment therefor |
-
1985
- 1985-05-01 JP JP60094660A patent/JPS61252504A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2385149A (en) * | 2002-02-06 | 2003-08-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Optical module containing desiccant or deoxidant |
| US7139139B2 (en) | 2002-02-06 | 2006-11-21 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical module |
| EP2233898A3 (en) * | 2009-03-26 | 2011-03-23 | Shimadzu Corporation | Infrared spectrophotometer and attachment therefor |
| US8378303B2 (en) | 2009-03-26 | 2013-02-19 | Shimadzu Corporation | Infrared spectrophotometer and auxiliary device therefor |
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