JPS61250696A - Active matrix display element - Google Patents

Active matrix display element

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JPS61250696A
JPS61250696A JP60092620A JP9262085A JPS61250696A JP S61250696 A JPS61250696 A JP S61250696A JP 60092620 A JP60092620 A JP 60092620A JP 9262085 A JP9262085 A JP 9262085A JP S61250696 A JPS61250696 A JP S61250696A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display element
active matrix
matrix display
signal line
line
Prior art date
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Pending
Application number
JP60092620A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
石津 顕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP60092620A priority Critical patent/JPS61250696A/en
Publication of JPS61250696A publication Critical patent/JPS61250696A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液晶と薄膜トランジスタ(以下TPTと略する
。)とからなるアクティブマトリクス表示素子、特にそ
の表示欠陥を大幅に低減させることによる表示画質の向
上および歩留シ向上に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to an active matrix display element consisting of a liquid crystal and a thin film transistor (hereinafter abbreviated as TPT), and particularly to an active matrix display element that improves display image quality by significantly reducing display defects thereof. This is related to improvement and yield improvement.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第3図は従来のアクティブマトリクス表示素子の画素の
断面を示し、1はガラス基板、2はガラス基板l上に設
けられた例えばアルミニウムから成るP−)電極、3は
r−)電極2の上部に設けられたP−)絶縁膜、4はダ
ート絶縁膜3上に設けられた半導体層、5,6はf−)
絶縁!N3および半導体層4の上部をおおうよう設けら
れたソース電極およびドレイン電極、7#:l:ブート
絶縁膜3およびドレイン電極6の上部に設けられた透明
導電膜よ構成る表示電極である。このように構成された
画素を用いてアクティブマトリクス表示素子を構成した
場合の等価回、路を第4図に示す。10゜11は交差す
るよう複数本づつ設けられた走査線と信号線で、その交
差部分にはTFT14のP −トおよびソースを接続す
る。TFT 14のドレインには液晶層12を接続し、
TF’T 14と液晶層12とによシ画素回路を構成す
る。13は画素回路の充電々流を示す。
FIG. 3 shows a cross section of a pixel of a conventional active matrix display element, in which 1 is a glass substrate, 2 is a P-) electrode made of aluminum, for example, provided on the glass substrate l, and 3 is the upper part of the r-) electrode 2. 4 is a semiconductor layer provided on the dirt insulating film 3, 5 and 6 are f-)
insulation! N3 and a source electrode and a drain electrode provided to cover the upper part of the semiconductor layer 4; 7#:l: a display electrode composed of a transparent conductive film provided above the boot insulating film 3 and the drain electrode 6; FIG. 4 shows an equivalent circuit when an active matrix display element is constructed using pixels configured in this manner. Reference numerals 10 and 11 designate a plurality of scanning lines and signal lines that are provided to intersect with each other, and the P-to and source of the TFT 14 are connected to the intersections thereof. The liquid crystal layer 12 is connected to the drain of the TFT 14,
The TF'T 14 and the liquid crystal layer 12 constitute a pixel circuit. 13 shows the charging current of the pixel circuit.

上記構成のアクティ1マトリクス表示素子において、1
個の画素は走査線10と信号+IH1の電圧条件によっ
て選択された場合にTFT 14がオン状態になシ、そ
のときの充電々流13によシ液晶層12に信号電圧が印
加され、画素が動作する。
In the Acti1 matrix display element having the above configuration, 1
When a pixel is selected according to the voltage conditions of the scanning line 10 and the signal +IH1, the TFT 14 is turned on, and a signal voltage is applied to the liquid crystal layer 12 by the charging current 13 at that time, and the pixel is turned on. Operate.

そして、この画素を多数個一体化して構成することKよ
シアクチイブマトリクス表示素子での画像表示が実現す
る。又、複数本の走査@10と複数本の信号線11を順
次時間をずらして切換えることによシ複数個の画素が順
次選択され、1つの画面が表示される。
By integrating a large number of pixels, an image can be displayed using an active matrix display element. Furthermore, by switching the plurality of scans @10 and the plurality of signal lines 11 sequentially at different times, a plurality of pixels are sequentially selected and one screen is displayed.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかるに、上記のようなアクティブマトリクス表示素子
においては、走査)illOと信号線11との間で短絡
が発生しないようにすることが必要である。もし、走査
線10と信号、1iillの間に短絡が発生すると、こ
の短絡した走査線10および信号1j[11に接続した
全ての画素が動作不能とな)、画面上では1点の短絡の
ために縦横2本の線欠陥として現れることになる。この
走査線10と信号)iil1間の短絡は主にTFT 1
4のr−)絶縁膜3のピンホールまたは静電破壊によ)
発生する場合が多く、数万個または数10万個の画素よ
シなるアクティブマトリクス表示素子ではこの短絡を零
に押えることは非常に困難である。
However, in the active matrix display element as described above, it is necessary to prevent a short circuit from occurring between the scanning illO and the signal line 11. If a short circuit occurs between the scanning line 10 and the signal 1iill, all pixels connected to the shorted scanning line 10 and signal 1j [11] will become inoperable. This will appear as two vertical and horizontal line defects. This short circuit between the scanning line 10 and the signal )i1 is mainly caused by the TFT1
4 r-) Due to pinholes or electrostatic breakdown in the insulating film 3)
This often occurs, and it is extremely difficult to suppress this short circuit to zero in an active matrix display element having tens of thousands or hundreds of thousands of pixels.

本発明は上記した従来の問題点を除去するために成され
たものであル、走査線と信号線の短絡が発生した場合で
も画面上に線欠陥を発生させず点欠陥に止めることによ
シ、画質向上および歩留ル向上を図ることができるアク
ティブマトリクス表示素子を得ることを目的とする。
The present invention has been made to eliminate the above-mentioned conventional problems, and even if a short circuit occurs between a scanning line and a signal line, it does not cause a line defect on the screen, but only a point defect. Another object of the present invention is to obtain an active matrix display element that can improve image quality and yield.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明に係るアクティブマトリクス表示素子は、TPT
のソース電極と信号線との間に抵抗を設けたものである
The active matrix display element according to the present invention includes TPT
A resistor is provided between the source electrode and the signal line.

〔作 用〕[For production]

信号線と走査線がTFTを介して短絡するような場合は
、ソース電極と信号線との間に設けた抵抗によシ短絡を
防止する。ただし、上記抵抗は画素回路の充電々流を抑
止しない程度のものとする。
If a signal line and a scanning line are short-circuited via a TFT, a resistor provided between the source electrode and the signal line prevents the short-circuit. However, the above-mentioned resistance is set to a level that does not inhibit the charging flow of the pixel circuit.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面とともに説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図において、ガラス基板1上には例えばアルミニウ
ムをスパッタで堆積しパターニングしてr−ト電極2を
形成する。次に、f−)絶縁膜3をガラスW CV D
によシ形成し、さらに半導体層4をプラズマCVDによ
シ堆積し、パターニングを行つ。次に、アルミニウムを
スパッタによシ堆積しパターニングして、信号線(ソー
ス線)11、ソース電極5およびドレイン電極6を形成
する。
In FIG. 1, aluminum, for example, is deposited by sputtering on a glass substrate 1 and patterned to form an r-to-electrode 2. As shown in FIG. Next, f-) The insulating film 3 is made of glass W CV D
After that, a semiconductor layer 4 is deposited by plasma CVD and patterned. Next, aluminum is deposited by sputtering and patterned to form a signal line (source line) 11, a source electrode 5, and a drain electrode 6.

次に、例えばリンをドープしたアモルファスシリコンを
プラズマCVDによシ堆積しパターニングして、信号線
11とソース電極5との間に抵抗層9を形成する。最後
に、透明導電膜により表示電極7を形成する。
Next, amorphous silicon doped with phosphorus, for example, is deposited by plasma CVD and patterned to form a resistance layer 9 between the signal line 11 and the source electrode 5. Finally, display electrodes 7 are formed using a transparent conductive film.

第2図は上記構成の等価回路を示し、もちろんソース電
極5とソース線である信号線11との間に抵抗層9が設
けられている。この抵抗層9はr−ト絶縁層3のピンホ
ール等によりr−ト電極2とソース電極5との間に短絡
が廃止した場合に、この短絡が走査線lOと信号線11
との間の短絡とならないよう保護抵抗として働くように
設計された抵抗値を有する必要がある。しかし、この抵
抗層9はTFTl 4のオン状態の充電々流13の回路
中に付加されたものであるため、充電々流13を抑止し
ない値であることも必要である。従って、この抵抗値は
保護抵抗としての必要条件および充電々流を抑止しない
条件の両方を満足するように設定される。抵抗層9の材
料としては、リン、ホウ素、その他不純物を比較的低濃
度でドープしたアモルファスシリコン、その他紙抗体と
して使用可能な抵抗材料が用いられる。
FIG. 2 shows an equivalent circuit of the above configuration, and of course a resistance layer 9 is provided between the source electrode 5 and the signal line 11 which is a source line. This resistance layer 9 is designed so that when a short circuit is eliminated between the r-to electrode 2 and the source electrode 5 due to a pinhole or the like in the r-to insulating layer 3, this short circuit is caused to occur between the scanning line lO and the signal line 11.
It is necessary to have a resistance value designed to act as a protective resistor to prevent short circuits between the However, since this resistance layer 9 is added to the circuit of the charging current 13 in the on state of the TFT 1 4, it is also necessary to have a value that does not suppress the charging current 13. Therefore, this resistance value is set so as to satisfy both the necessary conditions as a protective resistor and the conditions not to inhibit charging current. As a material for the resistance layer 9, amorphous silicon doped with phosphorus, boron, or other impurities at a relatively low concentration, or other resistance material that can be used as a paper antibody is used.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように本発明によれば、薄膜トランジスタのソー
ス電極と信号線との間に抵抗を設けてお!り、薄j[)
ランゾスタのr−)電極とソース電極との間に短絡が生
じた場合に上記抵抗により走査線と信号線間の短絡を防
止することができ、画面上での線欠陥の発生を防止する
ことができる。従って、アクティブマトリクス表示素子
の画質向上および歩留シ向上が可能となる。
As described above, according to the present invention, a resistor is provided between the source electrode of the thin film transistor and the signal line! ri, thin j[)
When a short circuit occurs between the r-) electrode and the source electrode of the Lanzoster, the above resistor can prevent the short circuit between the scanning line and the signal line, and prevent line defects from occurring on the screen. can. Therefore, it is possible to improve the image quality and yield of the active matrix display element.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は夫々本発明に係るアクティブマト
リクス表示素子の画素の断面図訃よび等価回路図、第3
図および第4図は夫々従来のアクティブマトリクス表示
素子の画素の断面図および等価回路図である。 1・・・ガラス基板、2・・・P−)電極、3・・・r
−)絶縁膜、5・・・ソース電極、9・・・抵抗層、1
0・・・走査線、11・・・信号線、12・・・液晶層
、14・・・薄膜トランジスタ。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
1 and 2 are a sectional view and an equivalent circuit diagram of a pixel of an active matrix display element according to the present invention, respectively, and FIG.
4 are a cross-sectional view and an equivalent circuit diagram of a pixel of a conventional active matrix display element, respectively. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Glass substrate, 2...P-) electrode, 3...r
-) Insulating film, 5... Source electrode, 9... Resistance layer, 1
0...Scanning line, 11...Signal line, 12...Liquid crystal layer, 14...Thin film transistor. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or corresponding parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)複数本の信号線と走査線を交差するよう配設し、
この交差部分にゲートが走査線に接続されるとともにソ
ースが信号線に接続された薄膜トランジスタを含む画素
回路を接続したアクテイブマトリクス表示素子において
、薄膜トランジスタのソース電極と信号線との間に、信
号線と走査線間の短絡を防止するとともに画素回路の充
電々流を抑止しない程度の抵抗値を有する抵抗を設けた
ことを特徴とするアクテイブマトリクス表示素子。
(1) Arrange multiple signal lines and scanning lines so that they intersect,
In an active matrix display element in which a pixel circuit including a thin film transistor whose gate is connected to a scanning line and whose source is connected to a signal line is connected to this intersection, a signal line is connected between the source electrode of the thin film transistor and the signal line. 1. An active matrix display element comprising a resistor having a resistance value that prevents short circuits between scanning lines and does not inhibit charging current of a pixel circuit.
JP60092620A 1985-04-29 1985-04-29 Active matrix display element Pending JPS61250696A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62222285A (en) * 1986-01-27 1987-09-30 フランス・テレコム・エタブリスマン・オウトノム・デ・ドロワ・パブリック Active matrix display screen and manufacture thereof
JPS63104081A (en) * 1986-10-22 1988-05-09 セイコーインスツルメンツ株式会社 Electrooptical apparatus
JPS6444419A (en) * 1987-08-11 1989-02-16 Fujitsu Ltd Liquid crystal display panel

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