JPS6123377A - 出力安定レ−ザ付き平面光導波路 - Google Patents
出力安定レ−ザ付き平面光導波路Info
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- JPS6123377A JPS6123377A JP59144697A JP14469784A JPS6123377A JP S6123377 A JPS6123377 A JP S6123377A JP 59144697 A JP59144697 A JP 59144697A JP 14469784 A JP14469784 A JP 14469784A JP S6123377 A JPS6123377 A JP S6123377A
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- Japan
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- light
- light beam
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- laser
- optical waveguide
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- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、出力安定レーザ付き平面光導波路に関するも
のである。
のである。
光φ音響（ＡＯ）コリレータ、ＡＯスペクトラムアナラ
イザ等は信号処理の小型化、高性能化をもたらす重要な
デバイスである。これらのデバイスでは、光源、光源か
ら放射された光をコリメートする平面レンズ、出力信号
を検出する受光器からな、ている。
イザ等は信号処理の小型化、高性能化をもたらす重要な
デバイスである。これらのデバイスでは、光源、光源か
ら放射された光をコリメートする平面レンズ、出力信号
を検出する受光器からな、ている。
平面レンズは、焦点距離１口径等、その形態を選択する
事により極めて簡単に光ビームを制御できる特徴を有す
る。
事により極めて簡単に光ビームを制御できる特徴を有す
る。
ＡＯコリレータ、ＡＯスペクトラムアナライザのハイプ
リ、ド化及び、モノリシ、り化に用いられる光源として
の半導体レーザは、そのレーザパワー出力を駆動電流に
より簡単に制御できる特徴を有する。
リ、ド化及び、モノリシ、り化に用いられる光源として
の半導体レーザは、そのレーザパワー出力を駆動電流に
より簡単に制御できる特徴を有する。
平面レンズには、コリメート作用、収束作用。
発散作用などがあり、この場合、光ビーム幅を決めるも
のは光ビームの幅方向の平面レンズの口径である。すな
わち、平面レンズの光ビーム幅方向の寸法が平面レンズ
に入射する光ビーム幅より小さい時、平面レンズに入射
しない光は平面レンズの影響を受けずに平面先導波路を
伝搬する。
のは光ビームの幅方向の平面レンズの口径である。すな
わち、平面レンズの光ビーム幅方向の寸法が平面レンズ
に入射する光ビーム幅より小さい時、平面レンズに入射
しない光は平面レンズの影響を受けずに平面先導波路を
伝搬する。
このレンズ作用を受けずに伝搬する光ビームは、光平面
導波路を用いたＡＯスペクトラムアナライザ、ＡＯコリ
レータ等の機能にとっては不要信号であ、９、ＡＯスペ
クトラムアナライザ、ＡＯコリレータ等の誤動作等の原
因にもなる。
導波路を用いたＡＯスペクトラムアナライザ、ＡＯコリ
レータ等の機能にとっては不要信号であ、９、ＡＯスペ
クトラムアナライザ、ＡＯコリレータ等の誤動作等の原
因にもなる。
一方、光源としての半導体レーザは、温度変動等により
、そのレーザ出力パワーも変動し、平面光導波路を伝搬
する光の強度が変動するとともに、経時変化等により半
導体レーザと平面光導波路のバ、トカ、プリング状態が
変化し、半導体レーザから放射されたレーザ出力パワー
の平面光導波路への結合が変動する。すなわち、平面光
導波路を伝搬する光の強度が変動する０平面光導波路金
伝搬する光の強度の変動は、ＡＯスペクトラムアナライ
ザ、ＡＯコリレータ等の出力信号の変動につながる。
、そのレーザ出力パワーも変動し、平面光導波路を伝搬
する光の強度が変動するとともに、経時変化等により半
導体レーザと平面光導波路のバ、トカ、プリング状態が
変化し、半導体レーザから放射されたレーザ出力パワー
の平面光導波路への結合が変動する。すなわち、平面光
導波路を伝搬する光の強度が変動する０平面光導波路金
伝搬する光の強度の変動は、ＡＯスペクトラムアナライ
ザ、ＡＯコリレータ等の出力信号の変動につながる。
前記出力信号の変動は、ＡＯスペクトラムアナライザ、
ＡＯコリレータにおいて、弾性表面波の信号強度を検知
するには好ましくなく、ＡＯスペクトラムアナライザ、
ＡＯコリレータの誤動作の原因となる。従、て、ＡＯス
ペクトラムアナライザ、ＡＯコリレータにとって平面先
導波路を伝搬する光の強度を安定化することは必須のも
のである。
ＡＯコリレータにおいて、弾性表面波の信号強度を検知
するには好ましくなく、ＡＯスペクトラムアナライザ、
ＡＯコリレータの誤動作の原因となる。従、て、ＡＯス
ペクトラムアナライザ、ＡＯコリレータにとって平面先
導波路を伝搬する光の強度を安定化することは必須のも
のである。
前記不要信号を抑制する方法として第１図に示すように
、平面レンズに入射する光ビームに対して空間フィルタ
を用いる方法が提案されている。
、平面レンズに入射する光ビームに対して空間フィルタ
を用いる方法が提案されている。
すなわち、第１図に示す誘電体表面に設けた平面光導波
路１１は、たとえば拡がｐ角を有する光ビームを特定の
光ビーム幅を肩するコリメート光に変換する場合に２い
て、誘電体表面に設けた平面光導波路１１に平面レンズ
、および空間フィルタ１３が設けられており、光源２０
からの光ビームがコリメート光１４と不要光ビーム１５
とに分離されるが、空間フィルタ１３を透過する透過光
１６および散乱光１７と、更に回折光１８および空間フ
ィルタ１３の工、ヂ部での散乱光１９とが生じていた。
路１１は、たとえば拡がｐ角を有する光ビームを特定の
光ビーム幅を肩するコリメート光に変換する場合に２い
て、誘電体表面に設けた平面光導波路１１に平面レンズ
、および空間フィルタ１３が設けられており、光源２０
からの光ビームがコリメート光１４と不要光ビーム１５
とに分離されるが、空間フィルタ１３を透過する透過光
１６および散乱光１７と、更に回折光１８および空間フ
ィルタ１３の工、ヂ部での散乱光１９とが生じていた。
更にこの平面光導波路１１は平面レンズ１２としてはグ
レーティングレンズ、フレネルレンズ、ジオデシ、クレ
ンメ等からなるが、空間フィルタについては、いまだ具
体的な提案はされていない。
レーティングレンズ、フレネルレンズ、ジオデシ、クレ
ンメ等からなるが、空間フィルタについては、いまだ具
体的な提案はされていない。
したがって、空間フィルタを用いた平面光導波路は、光
源２０としての半導体レーザそのもののレーザ出力パワ
ー変動を、平面光導波路１１と接しているレーザ光出射
面の裏面からの出射光を検出することにより、制御され
るが、平面光導波路１１を伝搬している光の強度の変動
の検出、及び制御を行なうことはできず、従って、前述
した経時変化等により、半導体レーザと平面光導波路の
バ、トカ、プリング状態変化による平面光導波路を伝搬
する光の強度の変動を制御することは困難である等の欠
点を有していた。
源２０としての半導体レーザそのもののレーザ出力パワ
ー変動を、平面光導波路１１と接しているレーザ光出射
面の裏面からの出射光を検出することにより、制御され
るが、平面光導波路１１を伝搬している光の強度の変動
の検出、及び制御を行なうことはできず、従って、前述
した経時変化等により、半導体レーザと平面光導波路の
バ、トカ、プリング状態変化による平面光導波路を伝搬
する光の強度の変動を制御することは困難である等の欠
点を有していた。
本発明の目的は、従来の平面光導波路におけるかかる欠
点を除去し、出力を安定せしめるようにした出力安定レ
ーザ付きの平面光導波路を提供することにある。
点を除去し、出力を安定せしめるようにした出力安定レ
ーザ付きの平面光導波路を提供することにある。
本発明によれば、誘電体表面に形成され半導体レーザよ
り放射される光ビームを伝搬する平面光導波路において
、前記平面光導波路を伝搬する光ビームの幅方向に互い
に隣接せしめて配置した複数の平面レンズと、複数の平
面レンズのうち、１個以上の平面レンズにより導びかれ
た不要光を検出するレーザパワー検出器と、前記レーザ
パワー検出器からの検出信号により半導体レーザの駆動
電流を制御し、前記半導体レーザの出力を安定せしめる
手段とを含むことを特徴とする出力安定レーザ付き平面
光導波路が得られる。
り放射される光ビームを伝搬する平面光導波路において
、前記平面光導波路を伝搬する光ビームの幅方向に互い
に隣接せしめて配置した複数の平面レンズと、複数の平
面レンズのうち、１個以上の平面レンズにより導びかれ
た不要光を検出するレーザパワー検出器と、前記レーザ
パワー検出器からの検出信号により半導体レーザの駆動
電流を制御し、前記半導体レーザの出力を安定せしめる
手段とを含むことを特徴とする出力安定レーザ付き平面
光導波路が得られる。
次に本発明の実施例について図面を用いて詳細に説明す
る。
る。
第２図は、本発明の一実施例を示す。第２図において、
本実施例は光源３０より放射された拡がり角を有する光
ビームをコリメート光に変換する＝ ６− だめの平面レンズ及び、光源３０のレーザ出力を一定に
するためのレーザ出力安定化回路の構成例で、誘電体表
面に形成された平面導波路２１に３個の平面レンズ２２
，２３．２４が形成されているＯ この実施例では誘電体としてニオブ酸リチウム（Ｌ ｉ
Ｎｂ Ｏｓ ）を用い、このＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏｓ表
面全面にチタン（Ｔｉ）を拡散して平面光導波路を形成
し、その後、平面レンズを形成せしめる領域のみを安息
香酸を用い、リチウム（Ｌｉ ）と水素（Ｈ）のイオン
交換を行ない平面レンズを形成する。
本実施例は光源３０より放射された拡がり角を有する光
ビームをコリメート光に変換する＝ ６− だめの平面レンズ及び、光源３０のレーザ出力を一定に
するためのレーザ出力安定化回路の構成例で、誘電体表
面に形成された平面導波路２１に３個の平面レンズ２２
，２３．２４が形成されているＯ この実施例では誘電体としてニオブ酸リチウム（Ｌ ｉ
Ｎｂ Ｏｓ ）を用い、このＬ ｉ Ｎ ｂ Ｏｓ表
面全面にチタン（Ｔｉ）を拡散して平面光導波路を形成
し、その後、平面レンズを形成せしめる領域のみを安息
香酸を用い、リチウム（Ｌｉ ）と水素（Ｈ）のイオン
交換を行ない平面レンズを形成する。
平面レンズ２２，２３．２４は凸レンズ作用を有する例
えばフレネルレンズからなり、あるビーム幅を有する光
ビームがこれら平面レンズ２２゜２３．２４に入射する
ように、入射する前記光ビームの幅方向に隣接して配置
されてる。これらの平面レンズ２２，２３．２４は口径
寸法、及び、焦点距離等性能を同一にする必要はなく、
多種類の組合せが許される。レーザ出力安定化回路は、
レーザパワー検出器２５と、該レーザパワー検出器２５
からの検出信号を増幅する前置増幅器２６と、該前置増
幅器２６からの信号により光源３０への駆動電流を調整
する制御器２７と、前記制御器２７により制御される光
源を駆動する駆動器２８とよりなる。
えばフレネルレンズからなり、あるビーム幅を有する光
ビームがこれら平面レンズ２２゜２３．２４に入射する
ように、入射する前記光ビームの幅方向に隣接して配置
されてる。これらの平面レンズ２２，２３．２４は口径
寸法、及び、焦点距離等性能を同一にする必要はなく、
多種類の組合せが許される。レーザ出力安定化回路は、
レーザパワー検出器２５と、該レーザパワー検出器２５
からの検出信号を増幅する前置増幅器２６と、該前置増
幅器２６からの信号により光源３０への駆動電流を調整
する制御器２７と、前記制御器２７により制御される光
源を駆動する駆動器２８とよりなる。
第３図は、本発明の一実施例の構造及び動作原理を示す
。第３図において、この一実施例は拡がり角を有する光
ビームをコリメート光に変換する場合であり、同時に光
源のレーザパワー出力を安定化している。
。第３図において、この一実施例は拡がり角を有する光
ビームをコリメート光に変換する場合であり、同時に光
源のレーザパワー出力を安定化している。
すなわち、この実施例は平面レンズ３１，３２゜３３が
拡が９角を有する光ビームの幅方向成分をすべて覆り配
置になっているので、この平面レンズ３１，３２．３３
に、光源４３より放射された拡がり角αを有する光ビー
ムが入射した場合、平面レンズ３２に入射する角度βの
光ビーム部分だけがコリメート光３４となり、拡がり角
ｒｌ、及び、γ２の光ビーム部分は、平面レンズ３１．
及び、３２に入射し、不要光ビーム吸収、及び、散乱端
面領域３７．及び、３８に到達する０この領域３７．３
８に何もなければ、不要光ビーム３５゜３６はここから
外部に出ていく。この結果、誤動作の原因となる迷光を
除去できる。この不要光ビーム３５．３６は光源４３か
ら放射されたレーザビームの一部であり、何も変調を受
けておらず、従って、不要光ビーム３５．３６のレーザ
パワー出力は、光源４３のレーザパワー出力と直線性の
関係を有する。すなわち、光源４３のレーザパワー出力
が温度等、何らかのシ、、りにより変動すると、不要光
ビーム３５．３６のレーザ出力も同じ割合で変動する。
拡が９角を有する光ビームの幅方向成分をすべて覆り配
置になっているので、この平面レンズ３１，３２．３３
に、光源４３より放射された拡がり角αを有する光ビー
ムが入射した場合、平面レンズ３２に入射する角度βの
光ビーム部分だけがコリメート光３４となり、拡がり角
ｒｌ、及び、γ２の光ビーム部分は、平面レンズ３１．
及び、３２に入射し、不要光ビーム吸収、及び、散乱端
面領域３７．及び、３８に到達する０この領域３７．３
８に何もなければ、不要光ビーム３５゜３６はここから
外部に出ていく。この結果、誤動作の原因となる迷光を
除去できる。この不要光ビーム３５．３６は光源４３か
ら放射されたレーザビームの一部であり、何も変調を受
けておらず、従って、不要光ビーム３５．３６のレーザ
パワー出力は、光源４３のレーザパワー出力と直線性の
関係を有する。すなわち、光源４３のレーザパワー出力
が温度等、何らかのシ、、りにより変動すると、不要光
ビーム３５．３６のレーザ出力も同じ割合で変動する。
レーザ出力安定化回路は不要光ビーム３５のレーザパワ
ー出力を検出する検出器３９と、該検出信号を増幅する
前置増幅器４０と前記前置増幅器４０からの信号により
駆動電流を調整する制御器４１と、光源４３を駆動する
駆動器４２とによ多構成されている。レーザパワー出力
検出器３９で検出された信号は前置増幅器４０で増幅さ
れ、更に制御器４１に入力されて、光源４３の駆動電流
を制御する駆動器４２に入力され、光源４３のレ−ザパ
ワー出力を安定にする。従って、この実施例においては
温度変動等、もしなんらかのショックで、光源４３のレ
ーザパワー出力が変動した場合、レーザパワー出力検出
器３９．前置増幅器４０゜制御器４１．駆動器４２．光
源４３からなるループで、その変動を元に戻すことがで
きる。レーザパワー出力検出器３９には例えば、フォト
ダイオードを用い、光源４３には例えば半導体レーザを
用いる。制御器４１に差動増幅器を用いた場合は初めに
、半導体レーザのレーザパワー出力を駆動器４２により
、所定の値にセットする。そしてもし温度変動等のショ
ックにより、レーザパワー出力に変動が起これば、前述
のループで、その変動を元に戻すことができる。
ー出力を検出する検出器３９と、該検出信号を増幅する
前置増幅器４０と前記前置増幅器４０からの信号により
駆動電流を調整する制御器４１と、光源４３を駆動する
駆動器４２とによ多構成されている。レーザパワー出力
検出器３９で検出された信号は前置増幅器４０で増幅さ
れ、更に制御器４１に入力されて、光源４３の駆動電流
を制御する駆動器４２に入力され、光源４３のレ−ザパ
ワー出力を安定にする。従って、この実施例においては
温度変動等、もしなんらかのショックで、光源４３のレ
ーザパワー出力が変動した場合、レーザパワー出力検出
器３９．前置増幅器４０゜制御器４１．駆動器４２．光
源４３からなるループで、その変動を元に戻すことがで
きる。レーザパワー出力検出器３９には例えば、フォト
ダイオードを用い、光源４３には例えば半導体レーザを
用いる。制御器４１に差動増幅器を用いた場合は初めに
、半導体レーザのレーザパワー出力を駆動器４２により
、所定の値にセットする。そしてもし温度変動等のショ
ックにより、レーザパワー出力に変動が起これば、前述
のループで、その変動を元に戻すことができる。
本発明の一実施例は出力安定レーザ付き平面光導波路の
構造にすることによ、９ＡＯスペクトラムアナライザ、
ＡＯコリレータ等の誤動作の原因となる迷光を簡単に除
去できるとともに、光導波路上で何の変調等、信号処理
を施されていない迷光を用いて、光源そのもののレーザ
パワー出力を安定に制御できる特徴を有する。
構造にすることによ、９ＡＯスペクトラムアナライザ、
ＡＯコリレータ等の誤動作の原因となる迷光を簡単に除
去できるとともに、光導波路上で何の変調等、信号処理
を施されていない迷光を用いて、光源そのもののレーザ
パワー出力を安定に制御できる特徴を有する。
なお、実施例では、３個の平面レンズに拡が９角を有す
る光ビームのコリメート光への変換のため凸レンズ作用
を有するものを用いているが、平面レンズは凸レンズに
限定されるものではなく、また、光ビームの変換はコリ
メート光に限定されるものでなく、かつ、用いる平面レ
ンズの個数は３個に限定されるものではなく、最低１個
の平面レンズを用いて、迷光をレーザ出力安定化回路に
導けばよい。
る光ビームのコリメート光への変換のため凸レンズ作用
を有するものを用いているが、平面レンズは凸レンズに
限定されるものではなく、また、光ビームの変換はコリ
メート光に限定されるものでなく、かつ、用いる平面レ
ンズの個数は３個に限定されるものではなく、最低１個
の平面レンズを用いて、迷光をレーザ出力安定化回路に
導けばよい。
本発明は以上説明したように、複数の平面レンズおよび
レーザ出力安定化回路を用いることにより、レーザパワ
ー出力を安定に制御し得る効果がある。
レーザ出力安定化回路を用いることにより、レーザパワ
ー出力を安定に制御し得る効果がある。
第１図は、従来の平面光導波路を示す概略図、第２図お
よび第３図は本発明の一実施例を示す平面図である。 １１．２１・・・・・・平面光導波路、１２，２２゜２
３．２４，３１，３２．３３・・・・・・平面レンズ、
１４．３４・・・・・・コリメート光、１５，３５．３
６・・・・・・不要光ビーム、１６・・・・・・透過光
、１７．１９・・・・・・散乱光、１８・・・・・・回
折光、２０，３０．４３・・・・・・光源、３７．３８
・・・・・・不要光ビーム吸収、及び散乱端面領域、２
５．３９・・・・・・レーザパワー出力検出器、２６．
４０・・・・・・前置増幅器、２７．４１・・・・・・
制御器、２８，４２・・・・・・駆動器。 ４１ ４θ 第３図
よび第３図は本発明の一実施例を示す平面図である。 １１．２１・・・・・・平面光導波路、１２，２２゜２
３．２４，３１，３２．３３・・・・・・平面レンズ、
１４．３４・・・・・・コリメート光、１５，３５．３
６・・・・・・不要光ビーム、１６・・・・・・透過光
、１７．１９・・・・・・散乱光、１８・・・・・・回
折光、２０，３０．４３・・・・・・光源、３７．３８
・・・・・・不要光ビーム吸収、及び散乱端面領域、２
５．３９・・・・・・レーザパワー出力検出器、２６．
４０・・・・・・前置増幅器、２７．４１・・・・・・
制御器、２８，４２・・・・・・駆動器。 ４１ ４θ 第３図
Claims (1)
- 誘電体表面に形成され、半導体レーザより放射される光
ビームを伝搬する平面光導波路において、前記平面光導
波路を伝搬する光ビームの幅方向に互いに隣接せしめ配
置した複数の平面レンズと、複数の平面レンズのうち、
１個以上の平面レンズにより、導びかれた不要光を検出
するレーザパワー検出器と、前記レーザパワー検出器か
らの検出信号により半導体レーザの駆動電流を制御し、
前記半導体レーザの出力を安定化せしめる手段とを含む
ことを特徴とする出力安定レーザ付き平面光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59144697A JPS6123377A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 出力安定レ−ザ付き平面光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59144697A JPS6123377A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 出力安定レ−ザ付き平面光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123377A true JPS6123377A (ja) | 1986-01-31 |
Family
ID=15368166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59144697A Pending JPS6123377A (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 出力安定レ−ザ付き平面光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123377A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024908A1 (de) * | 1995-02-08 | 1996-08-15 | Linotype-Hell Ag | Optoelektronisches aufzeichnungsorgan |
| US5768010A (en) * | 1995-08-28 | 1998-06-16 | Minolta Co., Ltd. | Acousto-optic scanning device |
| US6423383B1 (en) | 1987-04-27 | 2002-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma processing apparatus and method |
| US7373030B2 (en) | 2002-11-12 | 2008-05-13 | Finisar Corporation | Planar optical circuit |
| CN113376845A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-10 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种杂散光吸收装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316449B2 (ja) * | 1972-03-22 | 1978-06-01 | ||
| JPS5522844A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-18 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor laser |
-
1984
- 1984-07-12 JP JP59144697A patent/JPS6123377A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5316449B2 (ja) * | 1972-03-22 | 1978-06-01 | ||
| JPS5522844A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-18 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor laser |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6423383B1 (en) | 1987-04-27 | 2002-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma processing apparatus and method |
| WO1996024908A1 (de) * | 1995-02-08 | 1996-08-15 | Linotype-Hell Ag | Optoelektronisches aufzeichnungsorgan |
| US5768010A (en) * | 1995-08-28 | 1998-06-16 | Minolta Co., Ltd. | Acousto-optic scanning device |
| US7373030B2 (en) | 2002-11-12 | 2008-05-13 | Finisar Corporation | Planar optical circuit |
| CN113376845A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-10 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种杂散光吸收装置 |
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