JPS61233301A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPS61233301A JPS61233301A JP7397885A JP7397885A JPS61233301A JP S61233301 A JPS61233301 A JP S61233301A JP 7397885 A JP7397885 A JP 7397885A JP 7397885 A JP7397885 A JP 7397885A JP S61233301 A JPS61233301 A JP S61233301A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- surface plate
- stand
- moving base
- supplied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、精密石定盤その他の定盤上において、接触式
、非接触式の高精度変位計その他の測定機器を備えたス
タンドその他の移動台を移動させて被測定物の形状を測
定する測定装置に関する。
、非接触式の高精度変位計その他の測定機器を備えたス
タンドその他の移動台を移動させて被測定物の形状を測
定する測定装置に関する。
「従来の技術」
プロックデークによる比較測定法において、近年、いろ
いろな点ですぐれている石定盤を用いることが多くなっ
た。ところで、この比較測定法においては、定盤上をダ
イヤルデーノ等の変位計を滑べらせることが多いが、従
来、摩耗による定盤またはスタンドの精度劣化や、定盤
上の塵埃あるいは汚れ等による測定精度の低下などの欠
点があった。
いろな点ですぐれている石定盤を用いることが多くなっ
た。ところで、この比較測定法においては、定盤上をダ
イヤルデーノ等の変位計を滑べらせることが多いが、従
来、摩耗による定盤またはスタンドの精度劣化や、定盤
上の塵埃あるいは汚れ等による測定精度の低下などの欠
点があった。
「発明が解決しようとする問題点」
本発明は、上述の欠点を解消するためになされたもので
あり、高精度の測定を可能ならしめる測定＊ｆｌ！ｆを
提供することを目的とする。
あり、高精度の測定を可能ならしめる測定＊ｆｌ！ｆを
提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段」
しかして、本発明によれば、測定機器を備えた移動台の
下面に空気吐出口を設け、その空気吐出口より所定圧の
圧縮空気を吐出させて移動台を定盤上より所定量浮上さ
せるように構成した測定茨置が提供される。
下面に空気吐出口を設け、その空気吐出口より所定圧の
圧縮空気を吐出させて移動台を定盤上より所定量浮上さ
せるように構成した測定茨置が提供される。
「作用」
上記構成によれば、移動台と定盤との接触部に静圧潤滑
が取り入れられ、その接触部の摩擦が極めて微小になる
。
が取り入れられ、その接触部の摩擦が極めて微小になる
。
「実施例」
次に、本発明の一実施例を図面について説明する。
°第１図（ａ）＝（ｂ）−（ｃ）、（ｄ）はこの一実施
例を示すスタンドの正面断面図、下面図、および給気孔
のその他の実施例を拡大して示す断面図である。第２１
！Ｉはこの一実施例における空気回路の回路図、第３図
は静圧平面輪受の負衡特性を示す特性図であゐ。
例を示すスタンドの正面断面図、下面図、および給気孔
のその他の実施例を拡大して示す断面図である。第２１
！Ｉはこの一実施例における空気回路の回路図、第３図
は静圧平面輪受の負衡特性を示す特性図であゐ。
第１図（ａ）、（ｂ）において、移動台をなすスタンド
Ｓは円形の平面軸受板１と蓋板２とから構成されており
、これらの平面軸受板１と蓋板２はボルト４により一体
に締着されでいる。ｌＩ蓋板の平面軸受板１と当接する
面には環状に空気溝５が？股されており、この空気ｒｌ
ｔ５の両側にはＯ−リング３が配設されている。平面軸
受板１の外周平面部１０には、環状の空気ｔ′Ｒ５に連
通して表面絞り型形状による給気孔６が等間隔に複数個
？設されている。また、平面軸受板１の内周四面１１に
開口するごとく、その平面軸受板および蓋板２を貫通す
る排気孔７が等間隔に複数個穿設さ代でいる。
Ｓは円形の平面軸受板１と蓋板２とから構成されており
、これらの平面軸受板１と蓋板２はボルト４により一体
に締着されでいる。ｌＩ蓋板の平面軸受板１と当接する
面には環状に空気溝５が？股されており、この空気ｒｌ
ｔ５の両側にはＯ−リング３が配設されている。平面軸
受板１の外周平面部１０には、環状の空気ｔ′Ｒ５に連
通して表面絞り型形状による給気孔６が等間隔に複数個
？設されている。また、平面軸受板１の内周四面１１に
開口するごとく、その平面軸受板および蓋板２を貫通す
る排気孔７が等間隔に複数個穿設さ代でいる。
蓋板２には、環状の前記空気溝５を介して給気孔６に圧
縮空気を供給するための給気用チューブ８が固設されて
おり、また￥Ｌ坂２の中心部上面には電気マイクロメー
タその他の任意な測定機器を支持するためのシャフト９
が固設されている。
縮空気を供給するための給気用チューブ８が固設されて
おり、また￥Ｌ坂２の中心部上面には電気マイクロメー
タその他の任意な測定機器を支持するためのシャフト９
が固設されている。
なお、給気孔６は第１図（ｃ）、（ｄ）に示すごとく、
それぞれオリフィス絞り、または面絞り形状によるもの
であってもよい。
それぞれオリフィス絞り、または面絞り形状によるもの
であってもよい。
静圧輪受は油と空気を用いる２つに大別されるが、油の
場合は測定機器等の汚れが発生するため、空気式の方が
このような汚れが発生しない点において本発明には適し
ていると考えられる。
場合は測定機器等の汚れが発生するため、空気式の方が
このような汚れが発生しない点において本発明には適し
ていると考えられる。
本発明の測定装置に用いる空気回路の一実施例を＄２図
に示す、第２図に示されるごとく、コンプレッサ１２に
よる圧縮空気は、ラインフィルタ１３、ドライヤ１４お
よびミストフィルタ１５を通しで清浄化され、精密レイ
ユレータ１６により圧力を調整さ軌て、切換バルブ１７
を介してスタンドＳに供給される。＊た、スタンドＳに
は切換バルブ１７を介して吸引ポンプ１８が接続されて
いる。平面軸受板１と精密石定盤１９との隙間りと負荷
Ｗとの特性は第３図に示すようになり、図中の変曲点Ａ
付近に設計値を持って行くようにすると、次式によって
表わされる軸剛性には最大になお、第２図に示された切
換パルプ１７は、マニュアル式（スプリングバック）ｔ
＊たけ電磁式のいずれでも良い。
に示す、第２図に示されるごとく、コンプレッサ１２に
よる圧縮空気は、ラインフィルタ１３、ドライヤ１４お
よびミストフィルタ１５を通しで清浄化され、精密レイ
ユレータ１６により圧力を調整さ軌て、切換バルブ１７
を介してスタンドＳに供給される。＊た、スタンドＳに
は切換バルブ１７を介して吸引ポンプ１８が接続されて
いる。平面軸受板１と精密石定盤１９との隙間りと負荷
Ｗとの特性は第３図に示すようになり、図中の変曲点Ａ
付近に設計値を持って行くようにすると、次式によって
表わされる軸剛性には最大になお、第２図に示された切
換パルプ１７は、マニュアル式（スプリングバック）ｔ
＊たけ電磁式のいずれでも良い。
上記構成において、スタンドＳを定盤１９上に移動させ
て測定を行なう場合には、切換バルブ１ワ色艙りに！Ｆ
Ｉ＋４キ歳ｋＹａ傭しｉ如僑二！−鎗２図の空気回路か
ら得られる清浄空気が切換パルプ１７を介してスタンド
Ｓに供給される。スタンドＳに供給された清浄空気は、
給気用チューブ８から環状の空気＠Ｓ内に供給され、こ
の空気ＩＩ５を介して給気孔６から所定の圧力、流量を
もって膜状に、外周平面部１０の外周側および内周凹所
１１側に吹出し、その静圧力によってスタンドＳを定盤
１９上から浮上させ、所定の隙間りをスタンドＳと定盤
１９との間に生じさせる。また、内周凹所１１外に吹出
した空気は排気孔７から大気中に排気される。
て測定を行なう場合には、切換バルブ１ワ色艙りに！Ｆ
Ｉ＋４キ歳ｋＹａ傭しｉ如僑二！−鎗２図の空気回路か
ら得られる清浄空気が切換パルプ１７を介してスタンド
Ｓに供給される。スタンドＳに供給された清浄空気は、
給気用チューブ８から環状の空気＠Ｓ内に供給され、こ
の空気ＩＩ５を介して給気孔６から所定の圧力、流量を
もって膜状に、外周平面部１０の外周側および内周凹所
１１側に吹出し、その静圧力によってスタンドＳを定盤
１９上から浮上させ、所定の隙間りをスタンドＳと定盤
１９との間に生じさせる。また、内周凹所１１外に吹出
した空気は排気孔７から大気中に排気される。
従って、この実施例によればスタンドＳが静圧平面輪受
をもつから、精密石定盤１９上を殆んど摩擦無しにスタ
ンドＳを移動させることができ、摩耗による定盤１９お
よびスタンドＳの精度劣下がないという利点がある。＊
た、スタンドＳと定盤１９の間に形成される空気膜によ
る平準化（アベレーシング）効果により高精度の測定が
可能である。さらに、給気孔６より吹出した空気は、定
盤１９上の塵埃を吹飛すため、定盤１９上の汚れを少く
することができる。
をもつから、精密石定盤１９上を殆んど摩擦無しにスタ
ンドＳを移動させることができ、摩耗による定盤１９お
よびスタンドＳの精度劣下がないという利点がある。＊
た、スタンドＳと定盤１９の間に形成される空気膜によ
る平準化（アベレーシング）効果により高精度の測定が
可能である。さらに、給気孔６より吹出した空気は、定
盤１９上の塵埃を吹飛すため、定盤１９上の汚れを少く
することができる。
スタンドＳを停止させる時には、第２図において切換パ
ルプ１７を上方に切換えると、コンプレッサ１２からの
圧縮空気の供給が止まるとともに、吸引ポンプ１８によ
ってスタンドＳが定盤１９上に吸引されるため、スタン
ドＳが強固に定盤１９に固定される。
ルプ１７を上方に切換えると、コンプレッサ１２からの
圧縮空気の供給が止まるとともに、吸引ポンプ１８によ
ってスタンドＳが定盤１９上に吸引されるため、スタン
ドＳが強固に定盤１９に固定される。
「その他の実施例」
上記の一実施例においては、精密石定盤１９が用いられ
たが通常の鋳鉄などによる定盤についても本発明を実施
することができる。スタンドＳの平面軸受板１の形状は
円形に図示したが、正方形。
たが通常の鋳鉄などによる定盤についても本発明を実施
することができる。スタンドＳの平面軸受板１の形状は
円形に図示したが、正方形。
矩形その他の任意な形状にすることができる。＊た、平
面軸受板１の内周凹所１１から圧縮空気を吹出す構造の
静圧軸受にすることも可能である。
面軸受板１の内周凹所１１から圧縮空気を吹出す構造の
静圧軸受にすることも可能である。
なお、本発明の上記実施例は、第４図に示すようにブロ
ックデージ２０と電気マイクロメータ２１を用いる形状
測定を想定したものであるが、測定機器は任意であり、
また本発明の測定装置は方向。
ックデージ２０と電気マイクロメータ２１を用いる形状
測定を想定したものであるが、測定機器は任意であり、
また本発明の測定装置は方向。
位置などを含めた広義の形状測定にも使用し得る。
「効果」
以上述べたように、本発明の測定装置は上記の構成を有
するから、移動台と定盤との摩擦が極めて微小となり、
高精度の測定が可能になるという優れた効果がある。
するから、移動台と定盤との摩擦が極めて微小となり、
高精度の測定が可能になるという優れた効果がある。
第１図（ａ）１（ｂ）および（ｅ）、（ｄ）は本発明の
測定装置におけるスタンドの一実施例を示す正面断面図
、下面図およびその給気孔のその他の実施例を拡大して
示す新面図であり、第２図は空気回路の回路図、第３図
は静圧平面軸受の負荷特性を示す特性図、第４図は全体
構成を示す斜視図である。 １・・・平面軸受板、２・・・蓋板、６・・・給気孔、
１２・・・コンプレッサ、１７・・・切換パルプ、１８
・・・吸引ボ′プ・２１°°°電気”イク°′−タ・
２．・、・ ２，６−：代理人 弁理士 後 藤
勇 作 ； 。 Ｉ（゛。 °− 第 １ 口 ５Ｆ）ＩＩ、ｆＪ 襖３０ 第４図
測定装置におけるスタンドの一実施例を示す正面断面図
、下面図およびその給気孔のその他の実施例を拡大して
示す新面図であり、第２図は空気回路の回路図、第３図
は静圧平面軸受の負荷特性を示す特性図、第４図は全体
構成を示す斜視図である。 １・・・平面軸受板、２・・・蓋板、６・・・給気孔、
１２・・・コンプレッサ、１７・・・切換パルプ、１８
・・・吸引ボ′プ・２１°°°電気”イク°′−タ・
２．・、・ ２，６−：代理人 弁理士 後 藤
勇 作 ； 。 Ｉ（゛。 °− 第 １ 口 ５Ｆ）ＩＩ、ｆＪ 襖３０ 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被測定物が載置された定盤上において測定機器を備えた
移動台を移動させて被測定物の形状を測定する測定装置
において、 前記移動台の下面に空気吐出口を設け、その空気吐出口
より所定圧の圧縮空気を吐出させて移動台を定盤上より
所定量浮上させるように構成した測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7397885A JPS61233301A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7397885A JPS61233301A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61233301A true JPS61233301A (ja) | 1986-10-17 |
Family
ID=13533693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7397885A Pending JPS61233301A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61233301A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104713446A (zh) * | 2015-04-02 | 2015-06-17 | 安徽江淮汽车股份有限公司 | 一种凹型面孔位面差检测装置 |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP7397885A patent/JPS61233301A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104713446A (zh) * | 2015-04-02 | 2015-06-17 | 安徽江淮汽车股份有限公司 | 一种凹型面孔位面差检测装置 |
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