JPS61232758A - カラ−フオトセンサアレイ - Google Patents
カラ−フオトセンサアレイInfo
- Publication number
- JPS61232758A JPS61232758A JP60073937A JP7393785A JPS61232758A JP S61232758 A JPS61232758 A JP S61232758A JP 60073937 A JP60073937 A JP 60073937A JP 7393785 A JP7393785 A JP 7393785A JP S61232758 A JPS61232758 A JP S61232758A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- photo sensor
- array
- color
- sensor array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はカラー図形・文字等を光学的に検知し、電気信
号に変換するカラーイメージセンサに関する。
号に変換するカラーイメージセンサに関する。
従来、カラー画像・文字等を光学的に検知し、電気信号
に変換する手段としてＭＯＳ型やＣＣＯを用いたＩＣセ
ンナが知られている０ しかしながら、これらのＩＣセンサを用いたイメージセ
ンサは縮小レンズ系とともに用いられるため、長い光路
長確保の必要があ！Ｄ！Ｆｅ置内に大きな空間を有して
いる。このため装置の小型化が難かしい。一方、原稿と
１対１に対応する長さの感光部を有する密着型イメージ
セ／すは、縮小レンズ系を用いないため長い光路長確保
の必要はなく装置の大幅な小型化が達成される（１９８
２ インターナシ目ナル エレクトロン テハイス ミ
ーティング テクニカル ダイジェスト（１９８２ＩＢ
ＥＥ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｍｅ
ｅｔｉｎｇ ＴｅｃｈｎｉｃａｌＤｉｇｅｓｔ）Ｐ３
２６）。
に変換する手段としてＭＯＳ型やＣＣＯを用いたＩＣセ
ンナが知られている０ しかしながら、これらのＩＣセンサを用いたイメージセ
ンサは縮小レンズ系とともに用いられるため、長い光路
長確保の必要があ！Ｄ！Ｆｅ置内に大きな空間を有して
いる。このため装置の小型化が難かしい。一方、原稿と
１対１に対応する長さの感光部を有する密着型イメージ
セ／すは、縮小レンズ系を用いないため長い光路長確保
の必要はなく装置の大幅な小型化が達成される（１９８
２ インターナシ目ナル エレクトロン テハイス ミ
ーティング テクニカル ダイジェスト（１９８２ＩＢ
ＥＥ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｍｅ
ｅｔｉｎｇ ＴｅｃｈｎｉｃａｌＤｉｇｅｓｔ）Ｐ３
２６）。
との密着型イメージセンサをカラー化するには第３図、
第４図に示す様にガラス等の絶縁性基板１上にセンサ素
子に対厄した島状に形成された第１の電極２を形成する
。その上に非晶質シリコン感光層１９および透明樽電膜
２０．Ｊ元用導電膜２１を形成しフォトセンサアレイを
形成する。この時フォトセンサ素子は第１の電極と透明
筒電膜２０が交差している領域で主走査方向に一列に並
んでいるカラー７オトセンサアレイを形成するにはフォ
トセンサアレイ上部に透明樹脂層１４を形成し、フォト
リソ技術を用いて、第４図に示される様に各７オトセン
サ素子に対応する位置に例えば赤用色素（Ｒ）線用色素
（Ｇ）青用色素ＣＢ）を透明樹脂層にくり返して熱拡散
させ、カラーフィルタ２２を形成する。
第４図に示す様にガラス等の絶縁性基板１上にセンサ素
子に対厄した島状に形成された第１の電極２を形成する
。その上に非晶質シリコン感光層１９および透明樽電膜
２０．Ｊ元用導電膜２１を形成しフォトセンサアレイを
形成する。この時フォトセンサ素子は第１の電極と透明
筒電膜２０が交差している領域で主走査方向に一列に並
んでいるカラー７オトセンサアレイを形成するにはフォ
トセンサアレイ上部に透明樹脂層１４を形成し、フォト
リソ技術を用いて、第４図に示される様に各７オトセン
サ素子に対応する位置に例えば赤用色素（Ｒ）線用色素
（Ｇ）青用色素ＣＢ）を透明樹脂層にくり返して熱拡散
させ、カラーフィルタ２２を形成する。
（発明の解決すべき問題点）
しかし、この方法でカラーイメージセンナを構成するに
は例えば８ ｌ ｉｎｅ／’ｒｒＩｍの分解能を有する
イメージセンサにおいては赤、緑、ｆに感度を有する７
オトセンサが必要であるため、通常の白。
は例えば８ ｌ ｉｎｅ／’ｒｒＩｍの分解能を有する
イメージセンサにおいては赤、緑、ｆに感度を有する７
オトセンサが必要であるため、通常の白。
黒のイメージセンナにくらべて３倍の２４素子／画の素
子密度を有するイメージセンサが必要となる口このため
、素子面積低下のための元信号出力の低下や素子密度の
増加によりフォトダイオードとカラーフィルタの目合わ
せ精度がきびしくなシ歩どま）低下の問題がでてぐる。
子密度を有するイメージセンサが必要となる口このため
、素子面積低下のための元信号出力の低下や素子密度の
増加によりフォトダイオードとカラーフィルタの目合わ
せ精度がきびしくなシ歩どま）低下の問題がでてぐる。
また、この構造はフォトセ／す上部にカラーフィルタを
直接形成するため熱的に弱い非晶質シリ＝ｒ７フオトセ
ンサを用いた場合にはカラーフィルタ形成における熱拡
散の温度を２００ｔｌ：以下にする制約が生じてくるり 本発明は以上の問題点を解決し、歩留まりの高いイメー
ジセンナを供給する事にある。すなわち、絶縁性基板上
に主歩査方向に複数個に分割された島状の第１の電極を
設け該第１の電極上に光電変換層を用は該光電変換層の
上に前記主走査方向と直交する方向（副走査方向）に透
明電極を巻む第２の電極を複数個設けて構成されるイメ
ージセンサにおいて受光部の上部に前記主走査方向と直
交する方向（副走査方向）に複数のカラーフィルタアレ
イを有する透明性基板を前記第２の電極とカラーフィル
タが重ねられるように設置した事を特徴としたカラー７
オトセンサアレイが得られる。
直接形成するため熱的に弱い非晶質シリ＝ｒ７フオトセ
ンサを用いた場合にはカラーフィルタ形成における熱拡
散の温度を２００ｔｌ：以下にする制約が生じてくるり 本発明は以上の問題点を解決し、歩留まりの高いイメー
ジセンナを供給する事にある。すなわち、絶縁性基板上
に主歩査方向に複数個に分割された島状の第１の電極を
設け該第１の電極上に光電変換層を用は該光電変換層の
上に前記主走査方向と直交する方向（副走査方向）に透
明電極を巻む第２の電極を複数個設けて構成されるイメ
ージセンサにおいて受光部の上部に前記主走査方向と直
交する方向（副走査方向）に複数のカラーフィルタアレ
イを有する透明性基板を前記第２の電極とカラーフィル
タが重ねられるように設置した事を特徴としたカラー７
オトセンサアレイが得られる。
本発明においては、例えば第１図（断面図）。
第２図（平面図）に示されるように、絶縁性基板ｌ上に
島状の第１の電極２が複数本横列配置されその上部に光
電変換層３． ４． ５と透明電極６゜７．８を含む第
２の電極９，１０．１１が３列副走査方向に縦列配置さ
れ、これによ９３列の７オトセンサアレイが形成されて
いる構造ニおいて、３列の７オトセンサアレイを例えば
それぞれ赤。
島状の第１の電極２が複数本横列配置されその上部に光
電変換層３． ４． ５と透明電極６゜７．８を含む第
２の電極９，１０．１１が３列副走査方向に縦列配置さ
れ、これによ９３列の７オトセンサアレイが形成されて
いる構造ニおいて、３列の７オトセンサアレイを例えば
それぞれ赤。
緑、青の光に感光するフォトセンサアレイとなる様に、
元が透過することができる透明基板１５上に形成された
３列のカラーフィルタアレイヲ貼り合わせることにより
カラー７オトセンサアレイが形成される口このため、フ
ォトセンサアレイとカラーフィルタアレイとは別々の工
程で形成されるため、従来の様にカラーフィルタアレイ
の形成において温度制限がなくなる０また、フォトセン
チアレイの良品とカラーフィルタアレイの良品を組みあ
わせてカラー７オトセンサアレイを形成できるため歩留
まり良く製造できる。
元が透過することができる透明基板１５上に形成された
３列のカラーフィルタアレイヲ貼り合わせることにより
カラー７オトセンサアレイが形成される口このため、フ
ォトセンサアレイとカラーフィルタアレイとは別々の工
程で形成されるため、従来の様にカラーフィルタアレイ
の形成において温度制限がなくなる０また、フォトセン
チアレイの良品とカラーフィルタアレイの良品を組みあ
わせてカラー７オトセンサアレイを形成できるため歩留
まり良く製造できる。
従来構造においてこの株なフォトセンサアレイとカラー
フィルタアレイを貼）あわせる事は第４図に示す様なカ
ラーフィルタアレイを考えると一列に並んだ素子上に例
えば、赤、緑、ｆの細分化されたカラーフィルタアレイ
をはりあわせなければならず、位置精度がきびしい。と
ころが、本構造の７オトセンサアレイにおいては、第２
図に示す様、例えば赤、緑、ｆの３列のカラーフィルタ
アレイと３列に並んだフォトセンサアレイを貼シあわせ
れば良く、位置精度は全く問題はなくなる。
フィルタアレイを貼）あわせる事は第４図に示す様なカ
ラーフィルタアレイを考えると一列に並んだ素子上に例
えば、赤、緑、ｆの細分化されたカラーフィルタアレイ
をはりあわせなければならず、位置精度がきびしい。と
ころが、本構造の７オトセンサアレイにおいては、第２
図に示す様、例えば赤、緑、ｆの３列のカラーフィルタ
アレイと３列に並んだフォトセンサアレイを貼シあわせ
れば良く、位置精度は全く問題はなくなる。
このイメージセンサの動作においては、副走査方向に並
んだ例えば赤、緑、ｆの色に感するフォトセンサのそれ
ぞれの信号を合成する事によりカラー信号を得るためそ
れぞれのフォトセンサの副走査方向の位置づれの分だけ
時間的に補正しなくてはならないが、ラインメモリを用
いる事によシ簡単に時間的に補正する事ができ問題では
ない。
んだ例えば赤、緑、ｆの色に感するフォトセンサのそれ
ぞれの信号を合成する事によりカラー信号を得るためそ
れぞれのフォトセンサの副走査方向の位置づれの分だけ
時間的に補正しなくてはならないが、ラインメモリを用
いる事によシ簡単に時間的に補正する事ができ問題では
ない。
むしろ副走査方向にそれぞれの色に感する７オトセンサ
をづらした事により、フォトセンナの空間的な配列に予
裕ができる。例えば８１ｉｎｅ／ｍｍのイメージセンナ
を得るためには、第１図に示した従未例においては主走
査方向に２４素子／ｍｍの例の７オトセンサアレイであ
ったもので、本発明におけるフォトセンサアレイにおい
ては主走査方向に８素子／−のフォトセンサアレイをｌ
ｌｉ査方肉方向列用いることによシ達成できる。換言す
れば、素子面積を３倍にすることができ充電流の増大に
よる８７Ｎの増加が期待できる口 〔実施例〕 以下に本発明による実施例を第１図（断面図）第２図（
平面図）を用いて説明する。
をづらした事により、フォトセンナの空間的な配列に予
裕ができる。例えば８１ｉｎｅ／ｍｍのイメージセンナ
を得るためには、第１図に示した従未例においては主走
査方向に２４素子／ｍｍの例の７オトセンサアレイであ
ったもので、本発明におけるフォトセンサアレイにおい
ては主走査方向に８素子／−のフォトセンサアレイをｌ
ｌｉ査方肉方向列用いることによシ達成できる。換言す
れば、素子面積を３倍にすることができ充電流の増大に
よる８７Ｎの増加が期待できる口 〔実施例〕 以下に本発明による実施例を第１図（断面図）第２図（
平面図）を用いて説明する。
第１図、第２図において、ｌはセラミックまたはガラス
等の絶縁性基板であ夛、この上に第１ （７’）電極（
個別電極）２８島状に形成する。この島のピッチはイメ
ージセンナの所望の分解能によって決定され、８素子／
ｍｍの場合には１２５μｍである。次に、非晶質シリコ
ン等の感光層を形成し、必要に応じてドライエツチング
プロセスに工９素子分割し、感光素子３．４．５を形成
する。その後（絶縁層１２を形成する。透明電極６，７
．８遮光性導電膜９，１０．１１を形成することによシ
複数の第２の電極（共通電極）を形成し、フォトセンサ
アレイを完成させる。
等の絶縁性基板であ夛、この上に第１ （７’）電極（
個別電極）２８島状に形成する。この島のピッチはイメ
ージセンナの所望の分解能によって決定され、８素子／
ｍｍの場合には１２５μｍである。次に、非晶質シリコ
ン等の感光層を形成し、必要に応じてドライエツチング
プロセスに工９素子分割し、感光素子３．４．５を形成
する。その後（絶縁層１２を形成する。透明電極６，７
．８遮光性導電膜９，１０．１１を形成することによシ
複数の第２の電極（共通電極）を形成し、フォトセンサ
アレイを完成させる。
カラーフィルタアレイはガラス等の透明性基板の上に透
明樹脂１４をスピンコードした後、例えば赤、緑、青の
染料を次々にポリマー上に熱拡散させ３列の島状のカラ
ーフィルタアレイ１６，１７゜１８を形成する０ここで
染色工程に用いた染色剤としては青用としてはイースト
マンポリエステルブルー４几り色素、赤用にイーストマ
ンポリエステルレッド９０１色素、縁周にイーストマン
イエロー Ｒ−ＧＦＤ色累とイーストマンＢＧＮ色素
を用いた。これらカラーフィルタの１ねの島の形状は、
例えばＡ４判用、８素子／ｍｍのイメージセンナでは１
８０μｍＸ２２０μｍであったりこのようにして得られ
たカラーフィルタアレイは透明樹脂１３を塗布したフォ
トセンサアレイ上に接着され、カラー７オトセンサアレ
イが完成される。
明樹脂１４をスピンコードした後、例えば赤、緑、青の
染料を次々にポリマー上に熱拡散させ３列の島状のカラ
ーフィルタアレイ１６，１７゜１８を形成する０ここで
染色工程に用いた染色剤としては青用としてはイースト
マンポリエステルブルー４几り色素、赤用にイーストマ
ンポリエステルレッド９０１色素、縁周にイーストマン
イエロー Ｒ−ＧＦＤ色累とイーストマンＢＧＮ色素
を用いた。これらカラーフィルタの１ねの島の形状は、
例えばＡ４判用、８素子／ｍｍのイメージセンナでは１
８０μｍＸ２２０μｍであったりこのようにして得られ
たカラーフィルタアレイは透明樹脂１３を塗布したフォ
トセンサアレイ上に接着され、カラー７オトセンサアレ
イが完成される。
また、この実施例では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青ＣＢ）
の３色のカラーフィルタを用いているが、この他、白（
Ｗ）、黄色（Ｙ）、シアン（Ｃｙ）や＊０）１黄色（Ｙ
）、シアン（Ｃｙ）等種々の組合せが考えられるが、い
づれの場合でも本発明は有効である〇〔発明の効果〕 本発明によれば、良品の７オトセンサアレイと良品のカ
ラーフィルタアレイとを用いてカラー７オトセンサアレ
イを裏道するため製造歩どまシの改善が期待されるほか
、熱工程に比較的弱いフォトセンサアレイがカラーフィ
ルタ形成工程で劣化することも少なくなり、歩と１９改
善がなされる。
の３色のカラーフィルタを用いているが、この他、白（
Ｗ）、黄色（Ｙ）、シアン（Ｃｙ）や＊０）１黄色（Ｙ
）、シアン（Ｃｙ）等種々の組合せが考えられるが、い
づれの場合でも本発明は有効である〇〔発明の効果〕 本発明によれば、良品の７オトセンサアレイと良品のカ
ラーフィルタアレイとを用いてカラー７オトセンサアレ
イを裏道するため製造歩どまシの改善が期待されるほか
、熱工程に比較的弱いフォトセンサアレイがカラーフィ
ルタ形成工程で劣化することも少なくなり、歩と１９改
善がなされる。
また、７オトセンサの受光面積が３倍となシ、８７Ｎが
３倍向上する事が確かめられた。
３倍向上する事が確かめられた。
実際に本発明によるカラー７オトセンサアレイの歩どま
りは、従来例の６２％から７２％に改善され、本発明の
有効性が明らかになったコ
りは、従来例の６２％から７２％に改善され、本発明の
有効性が明らかになったコ
第１図、第２図は本発明のカラーフォトセンサアレイの
１実施例を示す断面図と平面図をそれぞれ示す０また、
第３図、第４図は従来例によるカラーフォトセンサアレ
イの断面図と平面図をそれぞれ示す。 １・・・絶縁性基板、２・・・第１の電極、３，４，５
゜１９・・・感光素子、 ６．７．８． ２０・・・透
明電極、９．１０，１１，２１・・・遮光性導電膜、１
２・・・絶縁膜、１３・・・透明樹脂、１４・・・透明
樹脂、１５・・・透明基板、１６，１７，１８，２２・
・・カラーフィルタ〇 第１図 第２図 第３図
１実施例を示す断面図と平面図をそれぞれ示す０また、
第３図、第４図は従来例によるカラーフォトセンサアレ
イの断面図と平面図をそれぞれ示す。 １・・・絶縁性基板、２・・・第１の電極、３，４，５
゜１９・・・感光素子、 ６．７．８． ２０・・・透
明電極、９．１０，１１，２１・・・遮光性導電膜、１
２・・・絶縁膜、１３・・・透明樹脂、１４・・・透明
樹脂、１５・・・透明基板、１６，１７，１８，２２・
・・カラーフィルタ〇 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 絶縁性基板上に主走査方向に複数個に分割された島状の
第１の電極を設け、該第１の電極上に光電変換層を設け
該光電変換層の上に前記主走査方向と直交する方向に透
明電極を含む第２の電極を複数個設けて構成されるイメ
ージセンサにおいて受光部の上部に前記主走査方向と直
交する方向に複数のカラーフィルタ列を有する透明性基
板を前記第２の電極とカラーフィルタが重ねられるよう
に設置した事を特徴としたカラーフォトセンサアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60073937A JPS61232758A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | カラ−フオトセンサアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60073937A JPS61232758A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | カラ−フオトセンサアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61232758A true JPS61232758A (ja) | 1986-10-17 |
Family
ID=13532527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60073937A Pending JPS61232758A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | カラ−フオトセンサアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61232758A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01145143U (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-05 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192362A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 密着形カラ−イメ−ジセンサ |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP60073937A patent/JPS61232758A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60192362A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 密着形カラ−イメ−ジセンサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01145143U (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-05 |
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