JPS61231455A - 質量分析計 - Google Patents

質量分析計

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Publication number
JPS61231455A
JPS61231455A JP60073811A JP7381185A JPS61231455A JP S61231455 A JPS61231455 A JP S61231455A JP 60073811 A JP60073811 A JP 60073811A JP 7381185 A JP7381185 A JP 7381185A JP S61231455 A JPS61231455 A JP S61231455A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion source
specimen
sample
gas
gcs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60073811A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenichi Shizukuishi
雫石 賢一
Tadao Watabe
渡部 忠雄
Toyonari Nakada
中田 豊哉
Yoko Numajiri
沼尻 陽子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP60073811A priority Critical patent/JPS61231455A/ja
Publication of JPS61231455A publication Critical patent/JPS61231455A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/04Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
    • H01J49/0422Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for gaseous samples
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/022Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/62Detectors specially adapted therefor
    • G01N30/72Mass spectrometers
    • G01N30/7206Mass spectrometers interfaced to gas chromatograph

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は質量分析計に係シ、特に複数のGCから試料を
J@序良くイオン源に導入し、同時の複数のデータを測
定するのに好適な質量分析計に関する。
〔発明の背景〕
従来のGC−MSは1台のGCを1台のMSに接合し、
G C75,ら流出する試料をMSで定量、定性を行っ
ていた。このように、M8はGCのディテクターであっ
たが、コストはGCの10倍以上と高価なうえ、GCの
分離能が上がり、l検体の試料を測定する、のに数時間
を要する今日、同時に数構体の試料を測定したいと要請
が強くなっている。GCから数構体の試料を測定するに
は、カラムを数時間掛けて昇温し、最初の試料が流出し
終ったら、数十分掛けてカラムの温度を下げ、次の試料
を注入する。そしてカラムの昇温・・・川のくり返しを
行ってhる。
又数種類のカラムを一度にGCに取付ることは不可能で
あったため、試料のタイプが変るとMSのイオン源部の
電源を切り、真空をやぶってカラムの交換を行った後、
再排気をしていた為、多くの無駄な時間と労力を必要と
していた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、一台のMSで同時に複数のGCからの
試料測定をすることのできる質量分析計を提供すること
にある。
〔発明の概要〕
本発明は、GCカラム出口とMSイオン源の間に試料セ
レクトユニットを設け、CPUから制御されたシグナル
により磁場のスキャンごとに試料制御ユニットを動作さ
せ、複数のGCからの流出試料を屓序良く測定すること
により、1台のMSで同時に複数のGCからの試料測定
をしようというものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例について説明する。
第1図には本発明に係る質量分析計の一実施例が示され
ている。
図において、質量分析計はガスクロlから流出した試料
は、イオン源3でイオン化され加速されてイオンビーム
4として磁場5に入れられ質量分散を受ける。磁場走査
電源13をスキャンすれば、イオンビーム4は質量スペ
クトルとしてコレクター7に入り、増巾器8を通ってC
PU8で処理されレコーダー10に書き出される。
ガスクロ(GCl 1とイオン源3との間には試料セレ
クトユニット2が設けられている。この試料セレクトユ
ニット2は第2図に示す如き構成を有している。すなわ
ち、試料がGC側管路よりMS側管路との間に間隙を設
け、この間隙に試料の流れ方向に直角にHeガスを吹き
つける管路を設けている。また、この3つの管路のガス
吹出口は小さくしぼられている。このような構成におい
て、GClからの試料をイオン源に入れない時は第2図
に示す如き動作、すなわち、GC側からの試料は、下側
のl(eガス吹き付は用パイプから圧力を掛けて吹き付
けられるl(eガスにより吹き飛ばされ、少量の)(e
のみがMS、のイオン源3に入ってゆく。一方%GCI
からの試料をイオン源3に入れる時は、第3図に示す如
<He吹きつけパイプからのl(eを止めておくと、G
CIから流出したキャリアガスに混じった試料は質量分
析計部が高真空なこともあり、イオン源に吹い込まれる
CPU9からのシグナルにより磁場走査電源13 K同
期サセ、 He iスコントロールバルプ11を順次開
閉させると、Heガスボンベ12からのl(eガスは開
部分のみ、試料セレクトユニット2に圧力を持って送ら
れGCIからのキャリアガスに混合された試料は吹き飛
ばされ、試料セレクトユニット12からの少量の)(e
のみがイオン源3に吹い込まれる。すなわち、第3図に
示される如きl(eガスコントロールバルブ11の閉の
部分を使用した試料セレクトユニットのみが、ガスクロ
からの試料をイオン源3に入れイオン化し、その試料ス
ペクトルを得ることが出来る。磁場走査ごとに%Heガ
スコントロールパルプを順次開閉し、CPU9にて得ら
れるデータごとに整理することによシ、数台のGCIか
らの試料を同時にマススペクトルとして処理することが
出来る。
したがって、本実施例によれば、複数のGCからの試料
を、CPUからのシグナルにより磁場のスキャンに同期
させた試料セレクトユニットにより順序よ<MSのイオ
ン源に導入し測定、コンピューターで整理することによ
り、数台のGCから流出される試料を、1台のMSで同
時に処理することが出来る。
また、本実施例によれば、試料のタイプが変って異った
カラムの使用が必要な場合もMSの真空をやぶることな
く、同時に数種類のカラムが出来るため、それらに費し
ていた時間労力を数分の・1とすることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、1台のMSで同
時の複数のGOからの試料測定をすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す構成図、第2図。 第3図は第1図図示試料セレクトユニットの構成図であ
る。 l・・・複数のGC,2・・・試料セレクトユニット、
3・・・イオン源、4・・・イオンビーム、5・・・磁
場、6・・・コレクタースリット、7・・・コレクター
、8・・・アンプ、9・・・コンピューター、lO・・
・レコーダー、11・・・Heガスコントロールパル7
”、12・・・Heガス、13・・・磁場走査電源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、ガスクロマトグラフのカラムから流出した試料をイ
    オン源でイオン化し、そのイオンビームを磁場を通し、
    特定の条件を満たすもののみをコレクターに取り込み、
    該コレクターから得た信号に基づき該試料のスペクトル
    を分析記録できる質量分析計において、上記ガスクロマ
    トグラフを複数台設け、各ガスクロマトグラフと上記イ
    オン源との間に、ガスクロマトグラフ側の試料供給管路
    とイオン源側の試料供給管路との間に間隙を設け、該間
    隙に試料流れ方向に直交するようにHeガスを吹きつけ
    る管路を設けて構成される試料セレクトユニットを設け
    たことを特徴とする質量分析計。
JP60073811A 1985-04-08 1985-04-08 質量分析計 Pending JPS61231455A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60073811A JPS61231455A (ja) 1985-04-08 1985-04-08 質量分析計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60073811A JPS61231455A (ja) 1985-04-08 1985-04-08 質量分析計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61231455A true JPS61231455A (ja) 1986-10-15

Family

ID=13528912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60073811A Pending JPS61231455A (ja) 1985-04-08 1985-04-08 質量分析計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61231455A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007003190A (ja) * 2005-06-21 2007-01-11 Shimadzu Corp ガスクロマトグラフ質量分析装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007003190A (ja) * 2005-06-21 2007-01-11 Shimadzu Corp ガスクロマトグラフ質量分析装置
JP4701855B2 (ja) * 2005-06-21 2011-06-15 株式会社島津製作所 ガスクロマトグラフ質量分析装置

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