JPS61226627A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPS61226627A JPS61226627A JP6740685A JP6740685A JPS61226627A JP S61226627 A JPS61226627 A JP S61226627A JP 6740685 A JP6740685 A JP 6740685A JP 6740685 A JP6740685 A JP 6740685A JP S61226627 A JPS61226627 A JP S61226627A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- housing
- pressure
- base plate
- sensing chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は圧カネ★出器に関し、特に圧力センサの支持
構造に係るものである。
構造に係るものである。
（ロ）従来の技術
一般に、圧力検出器には、第４図及び第５図に示すよう
なものがある。第４図の圧力検出器は、カップ状のハウ
ジングａ内に基台すが固着され、この基台す上にセンシ
ングチップＣが固着され、このセンシングチップＣ内が
切欠かれて圧力の導入室ｄが形成され、この導入室ｄに
連通ずる圧力の導入路ｅがハウジングａ及び基台すを貫
通して穿設される一方、センシングチップＣの上面の圧
力センサ（図示省略）が設けられ、この圧力センサがハ
ウジングａの外部接続用ターミナルｆにＩＪ−ド線ｇを
介して接続されて構成されている。この圧力検出器は、
圧力が導入路ｅより導入室ｄに作用し、この圧力によっ
てセンシングチップＣが歪み、この歪みから圧力センサ
で圧力を検出するようになっている。
なものがある。第４図の圧力検出器は、カップ状のハウ
ジングａ内に基台すが固着され、この基台す上にセンシ
ングチップＣが固着され、このセンシングチップＣ内が
切欠かれて圧力の導入室ｄが形成され、この導入室ｄに
連通ずる圧力の導入路ｅがハウジングａ及び基台すを貫
通して穿設される一方、センシングチップＣの上面の圧
力センサ（図示省略）が設けられ、この圧力センサがハ
ウジングａの外部接続用ターミナルｆにＩＪ−ド線ｇを
介して接続されて構成されている。この圧力検出器は、
圧力が導入路ｅより導入室ｄに作用し、この圧力によっ
てセンシングチップＣが歪み、この歪みから圧力センサ
で圧力を検出するようになっている。
また、第５図の圧力センサは、基台すがハウジングａよ
り間隙を存して離隔されたもので、導入室ｄに連通する
パイプｈがハウジングａ及び基台すを貫通して、このハ
ウジングａ及び基台すに固着されて成り、このパイプｈ
で基台す及びセンシングチップＣが支持されている。
り間隙を存して離隔されたもので、導入室ｄに連通する
パイプｈがハウジングａ及び基台すを貫通して、このハ
ウジングａ及び基台すに固着されて成り、このパイプｈ
で基台す及びセンシングチップＣが支持されている。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
上述した圧力検出器においては、基台すがハウジングａ
に接着固定されているため、ハウジングａの歪みが基台
すに伝達されるという問題があった。つまり、ハウジン
グａと基台すとの線膨張係数が異なるため、圧力や周囲
の温度変化等によって、ハウジングａと基台すとの間に
歪みが生じ、この歪みが圧力センサに悪影響を及ぼすこ
とになり、信頼性が低いという問題があった。
に接着固定されているため、ハウジングａの歪みが基台
すに伝達されるという問題があった。つまり、ハウジン
グａと基台すとの線膨張係数が異なるため、圧力や周囲
の温度変化等によって、ハウジングａと基台すとの間に
歪みが生じ、この歪みが圧力センサに悪影響を及ぼすこ
とになり、信頼性が低いという問題があった。
また、第５図の圧力検出器においては、基台がハウジン
グａより離隔されているので、歪みの影響を受けること
がない。しかしながら、パイプｈのみで基台す及びセン
シングチップＣを支持しているので、振動並びに衝撃に
弱いという問題があった。
グａより離隔されているので、歪みの影響を受けること
がない。しかしながら、パイプｈのみで基台す及びセン
シングチップＣを支持しているので、振動並びに衝撃に
弱いという問題があった。
（ニ）問題点を解決するたとの手段及び作用この発明は
、外部接続用ターミナルが設けられたハウジングと、こ
のハウジングに支持される基台と、この基台の上面に固
着され且つ基台より小型に形成されたセンシングチップ
と、このセンシングチップの上面に設けられ、前記ター
ミナルに接続された圧力センサと、前記基台とセンシン
グチップ間に形成された圧力の導入室と、前記ハウジン
グ及び基台に貫通して固着され前記導入室に連通した圧
力導入用パイプと、前記ハウジングに固着され且つ端部
が前記基台の縁部に接する板バネとより構成され、基台
を板バネによってハウジングに支持し、ハウジングから
歪みが基台に伝達されないことを特徴としている。
、外部接続用ターミナルが設けられたハウジングと、こ
のハウジングに支持される基台と、この基台の上面に固
着され且つ基台より小型に形成されたセンシングチップ
と、このセンシングチップの上面に設けられ、前記ター
ミナルに接続された圧力センサと、前記基台とセンシン
グチップ間に形成された圧力の導入室と、前記ハウジン
グ及び基台に貫通して固着され前記導入室に連通した圧
力導入用パイプと、前記ハウジングに固着され且つ端部
が前記基台の縁部に接する板バネとより構成され、基台
を板バネによってハウジングに支持し、ハウジングから
歪みが基台に伝達されないことを特徴としている。
（ホ）実施例
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図及び第２図に示すように、１は圧力検出器であっ
て、センシングチップ２の歪みより圧力を検出するよう
になっている。
て、センシングチップ２の歪みより圧力を検出するよう
になっている。
この圧力検出器１は、ハウジング３と基台４とセンシン
グチップ２とパイプ５と板バネ６とを備えて構成されて
いる。ハウジング３は、円形の床板３ａの周辺に側板３
ｂが立設されて成り、床板３ａの上面中央には円形凹所
３Ｃが削設される一方、側板３ｂには４つの切込み３ｄ
が形成されている。また、側板３ｂには外部接続用ター
ミナル７が上下に貫通して４つ設けられている。
グチップ２とパイプ５と板バネ６とを備えて構成されて
いる。ハウジング３は、円形の床板３ａの周辺に側板３
ｂが立設されて成り、床板３ａの上面中央には円形凹所
３Ｃが削設される一方、側板３ｂには４つの切込み３ｄ
が形成されている。また、側板３ｂには外部接続用ター
ミナル７が上下に貫通して４つ設けられている。
基台４は、凹所３Ｃよりやや大径の円盤状に形成され、
凹所３Ｃを閉鎖して床板３ａ上に載置されている。
凹所３Ｃを閉鎖して床板３ａ上に載置されている。
センシングチップ２は、基台４よりやや小径の円盤状に
形成されて基台４の上面に固着されており、センシング
チップ２より基台４の周縁部が突出している。センシン
グチップ２は半導体ダイヤプラムや水晶ダイヤフラムで
構成され、下面中央が円形に切欠かれて基台４との間に
圧力の導入室８が形成されている。更に、センシングチ
ップ２の上面には、図示しないが、ピエゾ抵抗素子や表
面弾性波センサ等の圧力センサが設けられ、例えば、半
導体ダイヤフラムにピエゾ抵抗素子を作成する、又、半
導体ダイヤフラムに圧電結晶を生成し、表面弾性波セン
サを設ける、あるいは、水晶ダイヤフラムに表面弾性波
センサを設けるなどして構成されている。そして、この
圧力センサは、リード線９を介してターミナル７に接続
されている。尚、基台４はセンシングチップ２と同一材
質、又は線膨張係数が略一致する別材料で形成されてい
る。
形成されて基台４の上面に固着されており、センシング
チップ２より基台４の周縁部が突出している。センシン
グチップ２は半導体ダイヤプラムや水晶ダイヤフラムで
構成され、下面中央が円形に切欠かれて基台４との間に
圧力の導入室８が形成されている。更に、センシングチ
ップ２の上面には、図示しないが、ピエゾ抵抗素子や表
面弾性波センサ等の圧力センサが設けられ、例えば、半
導体ダイヤフラムにピエゾ抵抗素子を作成する、又、半
導体ダイヤフラムに圧電結晶を生成し、表面弾性波セン
サを設ける、あるいは、水晶ダイヤフラムに表面弾性波
センサを設けるなどして構成されている。そして、この
圧力センサは、リード線９を介してターミナル７に接続
されている。尚、基台４はセンシングチップ２と同一材
質、又は線膨張係数が略一致する別材料で形成されてい
る。
パイプ５はハウジング３の床板３ａ及び基台４の中央を
貫通して導入室８に連通されており、床板３ａ及び基台
４に固着されている。
貫通して導入室８に連通されており、床板３ａ及び基台
４に固着されている。
板バネ６は、基台４をハウジング３に支持するもので、
リング状に形成され、内径が基台４の外径よりやや小径
で、外径が側板３ｂの内径よりやや小径に形成されてい
る。この板バネ６は２枚のみ設けられ、内生部が上向き
の傾斜部６ａとなっており、４つの小片６ｂが遠心方向
に延設されている。この小片６ｂは、切込み３ｄに挿入
されてポル）１０で固定され、傾斜部６ａは基台４の上
縁部に接して、該基台４を床板３ａに押圧支持している
。
リング状に形成され、内径が基台４の外径よりやや小径
で、外径が側板３ｂの内径よりやや小径に形成されてい
る。この板バネ６は２枚のみ設けられ、内生部が上向き
の傾斜部６ａとなっており、４つの小片６ｂが遠心方向
に延設されている。この小片６ｂは、切込み３ｄに挿入
されてポル）１０で固定され、傾斜部６ａは基台４の上
縁部に接して、該基台４を床板３ａに押圧支持している
。
従って、検出する圧力は、パイプ５を通って導入室８に
導かれ、この圧力の作用により、ダイヤフラムであるセ
ンシングチップ２が歪み、この歪みを圧力センサで検知
して圧力を測定する。
導かれ、この圧力の作用により、ダイヤフラムであるセ
ンシングチップ２が歪み、この歪みを圧力センサで検知
して圧力を測定する。
この圧力検出器１において、基台４はハウジング３の床
板３ａに接触しているのみで、且つその接触面積は凹所
３Ｃで減少されており、基台４とハウジング３間で、圧
力や熱による歪みの発生が防止されている。また、基台
４は板バネ６により内方に押圧され、堅牢に支持されて
いる。
板３ａに接触しているのみで、且つその接触面積は凹所
３Ｃで減少されており、基台４とハウジング３間で、圧
力や熱による歪みの発生が防止されている。また、基台
４は板バネ６により内方に押圧され、堅牢に支持されて
いる。
第３図は、基台４の他の支持手段を示しており、２枚の
板バネ６．６で基台４を挟圧支持している。
板バネ６．６で基台４を挟圧支持している。
２枚の仮バネ６．６は同径のリング状に形成されて重畳
され、前記実施例と同様に、小片６ｂ、６ｂでハウジン
グ３に固定されている。そして、傾斜部６ａ、６ａは、
上方の仮バネ６が上方に、下方の仮バネ６が下方に傾斜
し、それぞれ基台４の上縁部と下縁部に接している。こ
の基台４は床板３ａより離隔され、画板バネ６．６で支
持されている。これにより、ハウジング３の歪みが基台
４に伝達されないように構成されている。その他の構成
・作用は、前実施例と同様である。
され、前記実施例と同様に、小片６ｂ、６ｂでハウジン
グ３に固定されている。そして、傾斜部６ａ、６ａは、
上方の仮バネ６が上方に、下方の仮バネ６が下方に傾斜
し、それぞれ基台４の上縁部と下縁部に接している。こ
の基台４は床板３ａより離隔され、画板バネ６．６で支
持されている。これにより、ハウジング３の歪みが基台
４に伝達されないように構成されている。その他の構成
・作用は、前実施例と同様である。
なお、各実施例における仮バネ６の形状や固定手段は、
実施例に限られないことは勿論である。
実施例に限られないことは勿論である。
（へ）発明の効果
以上のように、この発明の圧力検出器よれば、基台を板
バネによってハウジングに支持するようにしたために、
圧力や温度変化等により基台とハウジング間に歪みが生
起することがないので、圧力センサが圧力歪みや熱歪み
の影響を受けることがないから、信頼性の高い圧力検出
を行うことができる。
バネによってハウジングに支持するようにしたために、
圧力や温度変化等により基台とハウジング間に歪みが生
起することがないので、圧力センサが圧力歪みや熱歪み
の影響を受けることがないから、信頼性の高い圧力検出
を行うことができる。
また、基台をパイプで支持するのに比し、板バネで支持
するため、振動も衝撃に対して堅牢とすることができる
。更に、パイプは支持機能を備える必要がないので、小
径とすることができるから、パイプからの歪み伝達も小
さくすることができる。
するため、振動も衝撃に対して堅牢とすることができる
。更に、パイプは支持機能を備える必要がないので、小
径とすることができるから、パイプからの歪み伝達も小
さくすることができる。
第１図乃至第３図は、この発明の実施例を示し、第１図
は、圧力検出器の中央縦断面図、第２図は同平面図、第
３図は、他の支持手段を示す同中央断面図、第４図及び
第５図は、それぞれ従来の圧力検出器を示す中央縦断面
図である。 １：圧力検出器、 ２：センシングチップ、３：ハウジ
ング、 ４：基台、 ５：パイプ、 ６：板バネ、 ７：ターミナル、 ８：導入室。
は、圧力検出器の中央縦断面図、第２図は同平面図、第
３図は、他の支持手段を示す同中央断面図、第４図及び
第５図は、それぞれ従来の圧力検出器を示す中央縦断面
図である。 １：圧力検出器、 ２：センシングチップ、３：ハウジ
ング、 ４：基台、 ５：パイプ、 ６：板バネ、 ７：ターミナル、 ８：導入室。
Claims (3)
- （１）外部接続用ターミナルが設けられたハウジングと
、このハウジングに支持される基台と、この基台の上面
に固着され且つ基台より小型に形成されたセンシングチ
ップと、このセンシングチップの上面に設けられたター
ミナルに接続された圧力センサと、前記基台とセンシン
グチップ間に形成された圧力の導入室と、前記ハウジン
グ及び基台に貫通して固着され、前記導入室に連通した
圧力導入用のパイプと、前記ハウジングに固着され且つ
端部が前記基台の縁部に接する板バネとより構成されて
いることを特徴とする圧力検出器。 - （２）前記板バネは１枚設けられ、基台の上縁部に接し
てこの基台をハウジングに押圧支持していることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の圧力検出器。 - （３）前記板バネは２枚重畳して設けられ、それぞれ基
台の上下縁部に接し、この基台を挟持してハウジングに
支持していることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6740685A JPS61226627A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6740685A JPS61226627A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61226627A true JPS61226627A (ja) | 1986-10-08 |
Family
ID=13344021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6740685A Pending JPS61226627A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61226627A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070241A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ、及びその製造方法 |
| WO2012027853A1 (de) | 2010-09-01 | 2012-03-08 | Kistler Holding Ag | Drucksensor mit piezoresistivem sensorchip-element |
| WO2024058217A1 (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | ヤマシンフィルタ株式会社 | 測定装置 |
-
1985
- 1985-03-30 JP JP6740685A patent/JPS61226627A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070241A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ、及びその製造方法 |
| WO2012027853A1 (de) | 2010-09-01 | 2012-03-08 | Kistler Holding Ag | Drucksensor mit piezoresistivem sensorchip-element |
| US8567256B2 (en) | 2010-09-01 | 2013-10-29 | Kistler Holding, Ag | Pressure sensor having a piezoresistive sensor chip element |
| CH703737A1 (de) * | 2010-09-13 | 2012-03-15 | Kistler Holding Ag | Drucksensor mit piezoresistivem sensorchip-element. |
| WO2024058217A1 (ja) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | ヤマシンフィルタ株式会社 | 測定装置 |
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