JPS61223568A - Interface board for ic tester - Google Patents

Interface board for ic tester

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Publication number
JPS61223568A
JPS61223568A JP6346485A JP6346485A JPS61223568A JP S61223568 A JPS61223568 A JP S61223568A JP 6346485 A JP6346485 A JP 6346485A JP 6346485 A JP6346485 A JP 6346485A JP S61223568 A JPS61223568 A JP S61223568A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tester
wiring
integrated circuit
terminal
interface board
Prior art date
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Pending
Application number
JP6346485A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akimitsu Tateishi
立石 昭光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS61223568A publication Critical patent/JPS61223568A/en
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Abstract

PURPOSE:To enable automatic interterminal wiring between an integrated circuit and an IC tester without labor, by arranging a memory element for memorizing interterminal wiring information corresponding to an integrated circuit to be inspected and a plurality of switching elements adapted to change over the interterminal wiring according to memory information of the memory elements. CONSTITUTION:Inter-terminal information between input and output terminals of an LSI10 and those of an IC tester 20 is previously memorized into a P-ROM40. According to information memorized in the P-ROM40, the ON-OFF state of switching elements and the delay of a variable delay element are set. With such an arrangement, out of the input and output terminals 11 of an integrated circuit 10, the input terminal is connected to a disired output terminal of the terminal 21 of IC tester 20 through a processing circuit 30. Likewise, the output terminal of the integrated circuit 10 has a switching element 33 and is connected to a desired detection terminal of the IC tester 20 through the processing circuit 30.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体集積回路のテストに用いるICテスタ
用インターフェースボードに係わり、特にポード中の配
線をプログラム可能なICテスタ用インターフェースボ
ードに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an interface board for an IC tester used for testing semiconductor integrated circuits, and more particularly to an interface board for an IC tester in which wiring in ports can be programmed.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

LSI等の半導体集積回路を検査するテスト装置におい
ては、集積回路とICテスタとの端子間のインターフェ
ースをとるため、インターフェースボードが使用されて
いる。第4図は上記テスト装置の概略構成を示す模式図
であり、検査されるLSI61は、インターフェースボ
ード62上に配置される。LSI61の入出力端子63
.64は、ICテスタ65に接続される。即ち、LSI
61の各入力端子63にはテスタ65の各出力端子66
が1:1の関係でそれぞれ接続され、同様にLSI61
の各出力端子64にはテスタ65の各入力端子(検出端
子)67が1:1の関係でそれぞれ接続される。ここで
、ICテスタ65は、その出力端子66に所望の論理値
情報を出力し、その入力端子67に入力した論理値情報
を判定するものである。
2. Description of the Related Art In test equipment for testing semiconductor integrated circuits such as LSIs, an interface board is used to provide an interface between terminals of the integrated circuit and an IC tester. FIG. 4 is a schematic diagram showing the general configuration of the test device, in which the LSI 61 to be tested is placed on an interface board 62. Input/output terminal 63 of LSI61
.. 64 is connected to an IC tester 65. That is, LSI
Each input terminal 63 of the tester 61 is connected to each output terminal 66 of the tester 65.
are connected in a 1:1 relationship, and similarly LSI61
Each input terminal (detection terminal) 67 of a tester 65 is connected to each output terminal 64 in a 1:1 relationship. Here, the IC tester 65 outputs desired logical value information to its output terminal 66 and judges the logical value information inputted to its input terminal 67.

従来、上記構成中のインターフェースボードについては
、第5図に示す通りLSIの入出力端子とテスタの入出
力端子との接続対応関係に従って、集積回路の品種毎に
ボード上のLSIパッケージ端子68とテスタへの接触
端子69との間を人手によって配線70が行われていた
。しかしながら、LSIの入出力端子数は最近120.
200.250と益々増加する傾向にあり、このためイ
ンターフェースボードの輪作が非常に複雑で困難なもの
となり、配線に専門的技術が必要となる上に製作期間及
びコストも増大してしまう等の問題があった。
Conventionally, for the interface board in the above configuration, the LSI package terminals 68 on the board and the tester have been connected for each type of integrated circuit according to the connection correspondence between the input/output terminals of the LSI and the input/output terminals of the tester, as shown in FIG. The wiring 70 was manually connected between the contact terminal 69 and the contact terminal 69. However, the number of input/output terminals of LSI has recently increased to 120.
200.250, which makes the rotation of interface boards extremely complicated and difficult, requiring specialized wiring skills and increasing production time and costs. was there.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的
とするところは、集積口路とICテスタとの閣の端子間
配線を人手を介することなく自動的に行うことができ、
且つ異なる品種の集積回路にあっても端子間配線を容易
に変えることができ、集積回路の動作テストに極めて有
効なICテスタ用インターフェースボードを提供するこ
とにある。
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned circumstances, and its purpose is to automatically perform wiring between the terminals of the IC tester and the terminals of the IC tester without any manual intervention.
Another object of the present invention is to provide an interface board for an IC tester that allows the wiring between terminals to be easily changed even for different types of integrated circuits, and is extremely effective in testing the operation of integrated circuits.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明の骨子は、端子間配線をスイッチング素子により
行うことにあり、且つスイッチング素子の0N−OFF
の選択を予め端子間配線情報を記憶した記憶素子の記憶
情報により行うことにある。
The gist of the present invention is to perform wiring between terminals using a switching element, and to perform ON-OFF switching of the switching element.
The purpose of this is to perform the selection based on information stored in a storage element that stores inter-terminal wiring information in advance.

半導体集積回路の検査に用いられるICテスタのインタ
ーフェースボードは、主にテスタ端子及び集積回路の入
出力端子の対応づけを行うものである。そして、このイ
ンターフェースボードを介することにより、テスタと集
積回路とが所望の関係に接続される。従って、インター
7エースボード上にプログラム可能な読込み専用の記憶
素子を設け、そこへ必要な配線の情報を書込んでおき、
その内容をスイッチング素子により処理することにより
、人手による配線を省略しプログラマブルなインターフ
ェースボードを実現することができる。また、端子間配
線も専門的技術を必要とせずに容易に行うことが可能と
なる。
An interface board of an IC tester used for testing semiconductor integrated circuits is mainly used to associate tester terminals with input/output terminals of the integrated circuit. Then, the tester and the integrated circuit are connected in a desired relationship via this interface board. Therefore, a programmable read-only memory element is provided on the Inter7Ace board, and necessary wiring information is written there.
By processing the contents using switching elements, manual wiring can be omitted and a programmable interface board can be realized. Further, wiring between terminals can be easily performed without requiring specialized skills.

本発明はこのような点に着目し、半導体集積回路の論理
値試験を行う際に用いられ、上記集積回路の入力端子、
出力端子とICテスタの出力端子。
The present invention focuses on such points, and is used when performing a logic value test of a semiconductor integrated circuit, and the input terminal of the integrated circuit,
Output terminal and IC tester output terminal.

検出端子との間の対応づけを行うインターフェースボー
ドにおいて、検査すべき集積回路に対応した端子間配線
情報を記憶する記憶素子と、この記憶素子の記憶情報に
応じて前記端子間配線を切換える複数のスイッチング素
子とを設けるようにしたものである。
An interface board that makes a connection with a detection terminal includes a memory element that stores terminal wiring information corresponding to an integrated circuit to be inspected, and a plurality of A switching element is provided.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、従来人手に頼っていたインク−フェー
スボード上の複雑な配線を省略でき、且つ専門的技術に
頼らずにその製作を行うことができる。しかも、結線情
報の入った記憶素子の内容或いは記憶素子自身を入替え
るだけで、他品種の集積回路にも容易に対応でき、ボー
ドの製作にがかる期間及び費用を大幅に削減することが
できる。
According to the present invention, the complicated wiring on the ink-face board, which conventionally required manual labor, can be omitted, and the ink-face board can be manufactured without relying on specialized technology. Moreover, by simply replacing the contents of the memory element containing connection information or the memory element itself, it is possible to easily adapt to other types of integrated circuits, and the time and cost required for manufacturing the board can be significantly reduced.

(発明の実施例) 以下、本発明の詳細を図示の実施例によって説明する。(Example of the invention) Hereinafter, details of the present invention will be explained with reference to illustrated embodiments.

第1図は、本発明の一実施例に係わるテスト装置の概略
構成を示すブロック図である。図中10は半導体集積回
路(LSI)、20はICテスタであり、これらの端子
11.21間には後述するようにスイッチング素子及び
可変遅延素子等からなる処理回路30が接続されている
。この処理回路30には、プログラム可能なメモリ (P−ROM)40が接続されている。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a test device according to an embodiment of the present invention. In the figure, 10 is a semiconductor integrated circuit (LSI), 20 is an IC tester, and a processing circuit 30 consisting of a switching element, a variable delay element, etc. is connected between these terminals 11 and 21, as will be described later. A programmable memory (P-ROM) 40 is connected to the processing circuit 30.

P−ROM40には、LSIl0の入出力端子とICテ
スタ20の入出力端子との端子間配線情報が予め記憶さ
れる。そして、P−ROM40に記憶された情報により
、上記スイッチング素子の0N−OFF状態及び可変遅
延素子の遅延量が設定されるものとなっている。これに
より、集積回路10の入出力端子11のうち、入力端子
は処理回路30を介してICテスタ20の端子21の所
望の出力端子に接続される。同様に、集積回路10の出
力端子は、処理回路30を介してICテスタ20の所望
の検出端子に接続されるものとなっている。
The P-ROM 40 stores in advance inter-terminal wiring information between the input/output terminals of the LSI 10 and the input/output terminals of the IC tester 20. The ON-OFF state of the switching element and the delay amount of the variable delay element are set by the information stored in the P-ROM 40. As a result, an input terminal of the input/output terminals 11 of the integrated circuit 10 is connected to a desired output terminal of the terminal 21 of the IC tester 20 via the processing circuit 30. Similarly, the output terminal of the integrated circuit 10 is connected to a desired detection terminal of the IC tester 20 via the processing circuit 30.

第2図(a)(b)は上記処理回路30及びP−ROM
40からなるインターフェースボードの構成を示す模式
図である。なお、(a)は表、(b)は裏から見た図で
ある。ボード50上には、前記LSIを配置するICパ
ッケージ60が設置され、このパッケージ60は表側配
線12を介して処理回路30に接続されている。また、
前記ICテスタ20の入出力端子21は、裏側配線22
を介して処理装置30に接続されている。
FIGS. 2(a) and 2(b) show the processing circuit 30 and P-ROM.
4 is a schematic diagram showing the configuration of an interface board consisting of 40. FIG. Note that (a) is a view from the front, and (b) is a view from the back. An IC package 60 in which the LSI is placed is installed on the board 50, and this package 60 is connected to the processing circuit 30 via the front wiring 12. Also,
The input/output terminals 21 of the IC tester 20 are connected to the backside wiring 22.
It is connected to the processing device 30 via.

前記処理回路30は、具体的には第3図に示す如く構成
されている。即ち、前記表側配線12はシフトレジスタ
やCOD等からなる可変遅延素子31を介して配線32
に接続され、この配線32は前記裏側配線22とマトリ
ックス状に配置されている。そして、マトリックスの各
交差点間には、MOSトランジスタからなるスイッチン
グ素子33がそれぞれ接続されている。また、図には示
さないがこの処理回路30には、前記P−ROM40の
記憶情報に応じて上記可変遅延素子31及びスイッチン
グ素子33を駆動する駆動回路が設けられている。そし
て、スイッチング素子33の0N−OFFG;tP−R
OM40(F)記憶情報により選択され、この選択によ
りLSlloの入出力端子とICテスタ20の入出力端
子との接続が自動的に行われる。同様に、可変遅延素子
31の遅延量もP−ROM40の記憶情報により設定さ
れ、この設定により端子間配線のそれぞれの遅延量が決
定されるものとなっている。
The processing circuit 30 is specifically configured as shown in FIG. That is, the front wiring 12 is connected to the wiring 32 via a variable delay element 31 consisting of a shift register, COD, etc.
This wiring 32 is arranged in a matrix with the back side wiring 22. Switching elements 33 made of MOS transistors are connected between each intersection of the matrix. Although not shown in the figure, the processing circuit 30 is provided with a drive circuit that drives the variable delay element 31 and the switching element 33 according to the information stored in the P-ROM 40. Then, 0N-OFFG of the switching element 33; tP-R
This selection is made based on the OM40 (F) storage information, and this selection automatically connects the input/output terminals of LSllo and the IC tester 20. Similarly, the delay amount of the variable delay element 31 is also set by the information stored in the P-ROM 40, and the delay amount of each terminal wiring is determined by this setting.

このようにして製作されたインターフェースボードは、
そのICパッケージ60にLS I 10を装着し、I
Cテスタ20に装着することにより、予めP−ROM4
0に記憶させた端子間配線情報に応じてLSlloとテ
スタ20との端子間を所望の状態に接続することができ
る。さらに、それぞれの配線の遅延量を任意に設定する
ことができる。従って、従来と同様のテストを行うこと
ができる。
The interface board manufactured in this way is
The LSI 10 is attached to the IC package 60, and the I
By installing it on the C tester 20, the P-ROM4
The terminals of LSllo and the tester 20 can be connected in a desired state according to the inter-terminal wiring information stored in 0. Furthermore, the amount of delay for each wiring can be set arbitrarily. Therefore, a test similar to the conventional one can be performed.

そしてこの場合、従来人手に頼っていたボード上の複雑
な配線を行う必要がないので、その製作が極めて容易と
なる。この効果は、入出力端子数が増大する傾向にある
今後のLSIにとっては特に有効である。さらに、可変
遅延素子を設けたことにより、結線長を配慮する必要も
なく、このことからも製作が容易となる。また、P−R
OMの内容或いはP−ROM自体を変えるだけで異なる
品種のLSIのテストに適用することもでき、その効果
は絶大である。
In this case, there is no need to perform complicated wiring on the board, which conventionally required manual labor, making production extremely easy. This effect is particularly effective for future LSIs where the number of input/output terminals tends to increase. Furthermore, since the variable delay element is provided, there is no need to consider the connection length, which also facilitates manufacturing. Also, P-R
By simply changing the contents of the OM or the P-ROM itself, it can be applied to testing different types of LSIs, and its effects are enormous.

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。例えば、前記スイッチング素子はMOSトランジス
タに限るものではなく、電気信号により0N−OFFが
選択できるものであればよい。同様に、可変遅延素子も
シフトレジスタやCOD等に限るものではなく、電気信
号により遅延量を可変できるものであればよい。さらに
、記憶素子としてP−ROMの代りにRAMを用い、テ
スト前にこのRAMに端°子間配線情報を記憶させるよ
うにしてもよい。また、テスト時における配線の遅延量
が問題とならない場合、前記可変遅延素子は省略しても
よい。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々
変形して実施することができる。
Note that the present invention is not limited to the embodiments described above. For example, the switching element is not limited to a MOS transistor, and may be any element that can be switched between ON and OFF by an electric signal. Similarly, the variable delay element is not limited to a shift register, COD, etc., and may be any element that can vary the amount of delay using an electrical signal. Further, a RAM may be used instead of the P-ROM as a storage element, and inter-terminal wiring information may be stored in the RAM before the test. Furthermore, if the amount of wiring delay during testing is not a problem, the variable delay element may be omitted. In addition, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例に係わるテスト装置の概略構
成を示すブロック図、第2図(a)(b)は上記装置に
用いたインターフェースボードの構成を示す模式図、第
3図は上記インターフェースボードの要部構成を示す回
路構成図、第4図は一般的なテスト装置の概略構成を示
す模式図、第5図は従来の人手配線によるインターフェ
ースボードの裏面図である。 10・・・半導体集積回路(LSI)、11・・・集積
回路端子、12・・・表側配線、20・・・ICテスタ
、21・・・テスタ端子、22・・・裏側配線、30・
・・処理回路、31・・・可変遅延素子、32・・・配
線、33・・・スイッチング素子、40・・・P−RO
M (記憶素子)、50・・・ボード、60・・・IC
パッケージ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 (a)       (b) 第3図 第4図 第5図
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a test device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 2(a) and (b) are schematic diagrams showing the configuration of an interface board used in the above device, and FIG. FIG. 4 is a schematic diagram showing the general configuration of a general test device, and FIG. 5 is a back view of a conventional interface board with manual wiring. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Semiconductor integrated circuit (LSI), 11... Integrated circuit terminal, 12... Front side wiring, 20... IC tester, 21... Tester terminal, 22... Back side wiring, 30...
... Processing circuit, 31... Variable delay element, 32... Wiring, 33... Switching element, 40... P-RO
M (memory element), 50...board, 60...IC
package. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 (a) (b) Figure 3 Figure 4 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】  半導体集積回路の論理値試験を行う際に用いられ、上
記集積回路の入力端子、出力端子とICテスタの出力端
子、検出端子との間の対応づけを行うインターフェース
ボードにおいて、検査すべき集積回路に対応した端子間
配線情報を記憶する記憶素子と、この記憶素子の記憶情
報に応じて端子間配線を切換える複数のスイッチング素
子とを具備してなることを特徴とするICテスタ用イン
ターフェースボード。 (2)前記スイッチング素子は、前記集積回路の入力端
子、出力端子と前記ICテスタの出力端子、検出端子と
からなるマトリックス配線の各交差点間にそれぞれ接続
されたものであることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のICテスタ用インターフェースボード。 (3)前記スイッチング素子は、MOSトランジスタか
らなるものであることを特徴とする特許請求の範囲第2
項記載のICテスタ用インターフェースボード。 (4)前記スイッチング素子には可変遅延素子が直列に
接続され、前記記憶素子は前記端子間配線情報と共に個
々の配線の遅延情報を記憶するものであることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のICテスタ用インター
フェースボード。
[Scope of Claims] An interface board used when performing a logic value test of a semiconductor integrated circuit, and for associating input terminals and output terminals of the integrated circuit with output terminals and detection terminals of an IC tester, comprising: An IC tester comprising: a memory element that stores inter-terminal wiring information corresponding to an integrated circuit to be tested; and a plurality of switching elements that switch inter-terminal wiring according to the information stored in the memory element. interface board. (2) A patent characterized in that the switching elements are connected between respective intersections of matrix wiring consisting of input terminals and output terminals of the integrated circuit and output terminals and detection terminals of the IC tester. Claim 1
Interface board for IC tester as described in section. (3) Claim 2, characterized in that the switching element is composed of a MOS transistor.
Interface board for IC tester as described in section. (4) A variable delay element is connected in series to the switching element, and the storage element stores delay information of each wiring along with the terminal wiring information. Interface board for IC tester as described in section.
JP6346485A 1985-03-29 1985-03-29 Interface board for ic tester Pending JPS61223568A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63269074A (en) * 1987-04-27 1988-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Universal peripheral circuit apparatus
JPS646777A (en) * 1987-06-29 1989-01-11 Advantest Corp Head for linear lsi test system

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