JPS6122265Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6122265Y2 JPS6122265Y2 JP1978132713U JP13271378U JPS6122265Y2 JP S6122265 Y2 JPS6122265 Y2 JP S6122265Y2 JP 1978132713 U JP1978132713 U JP 1978132713U JP 13271378 U JP13271378 U JP 13271378U JP S6122265 Y2 JPS6122265 Y2 JP S6122265Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- pressure
- pressure gauge
- cylindrical part
- thick
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力（差圧を含む）を振動子に与
え、この振動子の固有振動数から圧力を測定する
ような構成の圧力計に関するものである。
え、この振動子の固有振動数から圧力を測定する
ような構成の圧力計に関するものである。
従来のこの種の圧力計として第１図に示すもの
がある。この圧力計は、円筒容器でなる振動子Ａ
を、励振用コイルＣおよび検出用コイルＤを利用
して、振動させるものである。このときの振動子
Ａの振動数は、振動子Ａの内側と外側の圧力差に
対応した大きさとなる。この従来装置において
は、励振コイルＣ、検出コイルＤを支えているボ
デイＢに振動エネルギーの一部が吸引されたり、
外部振動が流入したりして、振動子Ａの見かけ上
のＱが低下している。これは、振動の腹の部分で
加振、検出していることが原因である。また、駆
動コイルＣに流れる電流の振幅や検出コイルＤに
流れているバイアス電流の変化によつて、振動子
Ａの固有振動数がかなり変化するという問題があ
る。さらに、振動子Ａの材質として非磁性の高耐
食性材料を用いることができないという問題もあ
る。
がある。この圧力計は、円筒容器でなる振動子Ａ
を、励振用コイルＣおよび検出用コイルＤを利用
して、振動させるものである。このときの振動子
Ａの振動数は、振動子Ａの内側と外側の圧力差に
対応した大きさとなる。この従来装置において
は、励振コイルＣ、検出コイルＤを支えているボ
デイＢに振動エネルギーの一部が吸引されたり、
外部振動が流入したりして、振動子Ａの見かけ上
のＱが低下している。これは、振動の腹の部分で
加振、検出していることが原因である。また、駆
動コイルＣに流れる電流の振幅や検出コイルＤに
流れているバイアス電流の変化によつて、振動子
Ａの固有振動数がかなり変化するという問題があ
る。さらに、振動子Ａの材質として非磁性の高耐
食性材料を用いることができないという問題もあ
る。
本考案の目的は、上記各問題を解決し、Ｑが高
く高精度の圧力測定が可能な圧力計を提供するこ
とになる。
く高精度の圧力測定が可能な圧力計を提供するこ
とになる。
以下図面を用いて本考案を詳細に説明する。
第２図は本考案に係る圧力計の一実施例を示す
断面図である。図において、１は段部１１を有す
る段付容器からなる振動子である。この振動子１
には中心軸にそつてあけられた穴１２によつて、
薄肉円筒部１３およびこれに連続した厚肉円筒部
１４が形成されている。また、振動子１の段部１
１付近の厚肉円筒部１４には外周面から内壁付近
まで達する二つの座ぐり穴１５，１６が形成され
ている。２，３はそれぞれ振動子１の座ぐり穴１
５，１６の底面に取付けられた励振用圧電素子、
検出用圧電素子である。この座ぐり穴の底部は平
面なので圧電素子２，３の固定が容易である。４
はボデイ、５は振動子１とボデイ４との間をシー
ルするＯリング、６は振動子１とボデイ４とを結
合するボルトである。ボデイ４には、振動子１内
に通ずる圧力溝入口４１が設けられている。
断面図である。図において、１は段部１１を有す
る段付容器からなる振動子である。この振動子１
には中心軸にそつてあけられた穴１２によつて、
薄肉円筒部１３およびこれに連続した厚肉円筒部
１４が形成されている。また、振動子１の段部１
１付近の厚肉円筒部１４には外周面から内壁付近
まで達する二つの座ぐり穴１５，１６が形成され
ている。２，３はそれぞれ振動子１の座ぐり穴１
５，１６の底面に取付けられた励振用圧電素子、
検出用圧電素子である。この座ぐり穴の底部は平
面なので圧電素子２，３の固定が容易である。４
はボデイ、５は振動子１とボデイ４との間をシー
ルするＯリング、６は振動子１とボデイ４とを結
合するボルトである。ボデイ４には、振動子１内
に通ずる圧力溝入口４１が設けられている。
この実施例においては、圧力導入口４１から振
動子１内に測定すべき圧力を導く。そして、振動
子１がその固有振動数で振動するように、励振
用、検出用の各圧電素子２，３は発振回路（図示
せず）に接続される。このとき、振動子１の振動
数ｆは次式を満足する。
動子１内に測定すべき圧力を導く。そして、振動
子１がその固有振動数で振動するように、励振
用、検出用の各圧電素子２，３は発振回路（図示
せず）に接続される。このとき、振動子１の振動
数ｆは次式を満足する。
ｆ／ｆ０＝√１＋（1−0） (1)
ただし、
α ：定数
P0：振動子１外部の圧力
P1：振動子１内部の圧力
f0：P1＝P0における振動子１の固有振動数
したがつて、f0およびαをあらかじめ求めておく
ことにより、振動数ｆから圧力（P1−P0）を求め
ることができる。振動子１外部を真空に保てば圧
力（P1−P0）は絶対圧となる。
ことにより、振動数ｆから圧力（P1−P0）を求め
ることができる。振動子１外部を真空に保てば圧
力（P1−P0）は絶対圧となる。
第３図は本考案に係る圧力計の他の実施例を示
す断面図である（第２図と同一部分には同一符号
を付し説明を省略する）。この実施例と第２図実
施例との相違は、振動子１の外側に密封室を作る
ため、Ｏリング７およびキヤツプ８を配置し、キ
ヤツプ８に形成された圧力導入口８１から振動子
１外部に圧力P0を導くように構成した点にある。
このように構成すれば、圧力P0として種々の値を
与えることができる。
す断面図である（第２図と同一部分には同一符号
を付し説明を省略する）。この実施例と第２図実
施例との相違は、振動子１の外側に密封室を作る
ため、Ｏリング７およびキヤツプ８を配置し、キ
ヤツプ８に形成された圧力導入口８１から振動子
１外部に圧力P0を導くように構成した点にある。
このように構成すれば、圧力P0として種々の値を
与えることができる。
上記各実施例においては、振動子１の振動の腹
の部分でなく節付近に外力が加わり、しかも圧電
素子が薄肉部に直接接触していないためＱが高
い。また電磁力を用いず圧電素子による力を利用
したものであるから、バイアス磁界変動による問
題が生じない。さらに、振動子１の材質はどんな
ものでも良く、非磁性の高耐食材料も使用でき
る。
の部分でなく節付近に外力が加わり、しかも圧電
素子が薄肉部に直接接触していないためＱが高
い。また電磁力を用いず圧電素子による力を利用
したものであるから、バイアス磁界変動による問
題が生じない。さらに、振動子１の材質はどんな
ものでも良く、非磁性の高耐食材料も使用でき
る。
なお、以上の説明では、振動子１に座ぐり穴１
５，１６を形成したものを示したが、溝等であつ
ても良い。また、一対の圧電素子２，３を用いた
ものを示したが、三以上の圧電素子を用いて振動
子１に複雑（高次）な振動モードを生じさせるよ
うに構成することも可能である。
５，１６を形成したものを示したが、溝等であつ
ても良い。また、一対の圧電素子２，３を用いた
ものを示したが、三以上の圧電素子を用いて振動
子１に複雑（高次）な振動モードを生じさせるよ
うに構成することも可能である。
以上説明したように、本考案によれば、Ｑが高
く高精度の圧力測定が可能な圧力計を実現でき
る。
く高精度の圧力測定が可能な圧力計を実現でき
る。
第１図は従来のこの種の圧力計を示す構成（断
面）図、第２図は実施例に係る圧力計の一実施例
を示す断面図、第３図は本考案に係る圧力計の他
の実施例を示す断面図である。 １……振動子、１１……段部、１３……薄肉円
筒部、１４……厚肉円筒部、２，３……圧電素
子、４……ボデイ、５，７……Ｏリング、６……
ボルト、８……キヤツプ。
面）図、第２図は実施例に係る圧力計の一実施例
を示す断面図、第３図は本考案に係る圧力計の他
の実施例を示す断面図である。 １……振動子、１１……段部、１３……薄肉円
筒部、１４……厚肉円筒部、２，３……圧電素
子、４……ボデイ、５，７……Ｏリング、６……
ボルト、８……キヤツプ。
Claims (1)
- 圧力を振動子に与え、この振動子の固有振動数
から圧力を測定するような構成の圧力計におい
て、薄肉円筒部およびこの円筒部に連続した厚肉
円筒部を有した段付容器で振動子を形成し、前記
厚肉円筒部の外周から内壁付近にまで達する底部
が平面を有する穴を設け、この穴の底面に圧電素
子を取付けたことを特徴とする圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978132713U JPS6122265Y2 (ja) | 1978-09-27 | 1978-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978132713U JPS6122265Y2 (ja) | 1978-09-27 | 1978-09-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5549238U JPS5549238U (ja) | 1980-03-31 |
| JPS6122265Y2 true JPS6122265Y2 (ja) | 1986-07-04 |
Family
ID=29100512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1978132713U Expired JPS6122265Y2 (ja) | 1978-09-27 | 1978-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122265Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
-
1978
- 1978-09-27 JP JP1978132713U patent/JPS6122265Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5549238U (ja) | 1980-03-31 |
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