JPS61220863A - インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト - Google Patents

インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト

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JPS61220863A
JPS61220863A JP60293409A JP29340985A JPS61220863A JP S61220863 A JPS61220863 A JP S61220863A JP 60293409 A JP60293409 A JP 60293409A JP 29340985 A JP29340985 A JP 29340985A JP S61220863 A JPS61220863 A JP S61220863A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、インク・ジェット・プリントに於て用いられ
るノズルのための被膜に係る。
Ｂ、従来技術 従来技術に於て、ＩＢＭテクニカル・ディスクロージャ
・ビュレテイン、第２６巻、第１号、１９８３年６月、
第４３１頁は、インク・ジェット。
ノズルのためにフルオロ−エポキシ被膜を用いることを
開示している。ＩＢＭテクニカル・ディスクロージャ・
ビュレテイン、第２０巻、第１２号。
１９７８年５月、第５２３３頁は、基板へのテトラフル
オロエチレンの付着性を増すために不飽和シランを用い
ることを開示している。米国特許第４０９１１６６号明
細書は、有機単量体と混合された三弗化硼素のプラズマ
でプラスチック表面を被膜することを開示している。米
国特許第４１２５１５２号明細書は、プラズマ重合され
たフルオロエチレン単量体で基板を被覆することを開示
している。米国特許第４２２６８９６号明細書は、金属
を含む重合体の被膜をプラズマ付着することを開示して
いる。米国特許第４２５２８４８号明細書は、完全に弗
素化された（ｐｅｒｆｌｕｏｒｉｎａｔｅｄ）重合体を
ペルフルオロシクロアルカンの存在下でグロー放電によ
り付着することを開示している。
米国特許第４３９１８４３号明細書は、完全に弗素化さ
れた重合体の被膜を窒素の存在下でグロー放電により形
成することを開示している。
Ｃ６発明が解決しようとする問題点 インク・ジェット・プリントに於ては、シリコン表面を
有するノズル・プレートが用いられている。その表面が
インク液で湿潤されると、好まし、本発明の目的は、新
規な被膜を設けることにより、性能を著しく改良したイ
ンク・ジェット・ノズル・プレートを提供することであ
る。
Ｄ０問題点を解決するための手段 本発明は、被膜を有するインクジェット・ノズル・プレ
ートに於て上記被膜が１部分的゛に弗素化されたアルキ
ル・シラン及び完全に弗素化されたアルカンを含み、上
記シラン化合物が、上記プレートに接触する部分に於て
より高い濃度を有し且つ上記プレートから離れた部分に
於てより低い濃度を有するように上記被膜中に分布し、
上記アルカン化合物が、上記プレートに接触する部分に
於てより低い濃度を有し且つ上記プレートから離れた部
分に於てより高い濃度を有するように上記被膜中に分布
していることを特徴とする。インク・ジェット・ノズル
・プレートを提供する。
本発明に於ては、インク・ジェット・ノズル・プレート
が、２つの成分を含む被膜で被覆される。
それらの一方の成分は部分的に弗素化されたアルキル・
シランであり、他方の成分は完全に弗素化されたアルカ
ンである。上記シラン化合物及び上記アルカン化合物は
、好ましくは、ノズル・プレートの表面を高周波グロー
放電に直接さらすことにより該表面上に付着される。上
記被膜はその化学的組成に於てエピタキシャルな勾配を
有し、上記シラン化合物が上記ノズル・プレートから離
れるに従って濃度が減少しており、上記アルカン化合物
が上記ノズル・プレートから離れるに従って濃度が増加
していることが極めて好ましい。
本発明の他の実施例に於て、上記シラン化合物が上記ノ
ズル・プレートに接触する別個の層として付着され、上
記アルカン化合物の層上に別個の層として付着されても
よい。
本発明に従って付着された被膜は、平滑であり、連続的
であり、平坦である。それらの被膜は、優れた付着性及
び耐摩耗性を有している。それらの被膜は、従来の接着
テープを用いたテストによって除去されず、又試料が破
壊されても、剥離しない、濡れた柔らかいスポンジで試
料を２００００回擦っても、幾つかの被膜に成る程度の
粗面化が観察されたが、いずれの被膜も何ら摩耗を生じ
なかった。それらの被膜は、疎水性であって、該被膜に
対する水の接触角が１０４度であり、１６ｅｒｇ／　ａ
ｊの環界（ｃｒｉｔｉｃａｌ）表面エネルギーを有して
いる。それらの被膜は、６０℃に於て蒸留水及びインク
液中に浸漬されても２安定である。剥離又は破壊が生じ
た痕跡は何ら観察されなかった。それらの被膜に対する
水の接触角は、６０℃に於て蒸留水又は黒色インク中に
３３日間浸漬されても何ら変化せず、５４日間浸漬され
た後に９４度に減少した。
Ｅ、実施例 ６５℃に保たれているチェンバ内で、被膜を形成した。
インク・ジェット・ノズル・プレートの表面を、アルゴ
ンとトリフルオロプロピルメチルジメトキシシランとの
混合物を導入した高周波グロー放電に対して直接さらし
た。上記の被覆を少し成長させた後、上記チェンバ内に
ペルフルオロプロパンを導入し、それらの３つの気体の
分圧が約１５０μｒａ　Ｈｇになるまで、上記ペルフル
オロプロパンの量を増加させた。アルミニウムのターゲ
ット及び１０乃至２０ワツトの入力電力を用いて、上記
グロー放電を維持した。アルゴン及びトリフルオロプロ
ピルメトキシシランの圧力は各々２５μ＋ｏ　Ｈｇであ
り、上記のように被膜が一部付着された後に導入された
ペルフルオロプロパンの圧力は約１００μｍ　Ｈｇであ
った。
本発明の他の実施例に於いては、ペルフルオロプロパン
の代りに、ヘキサフルオロエチレンからの重合体、又は
テトラフルオロメタン或はベルフルオロシクロアルカン
からの重合体を用いることができる。代替的に用いられ
るシラン化合物には、ペルフルオロプロポキシプロビル
メチルジクロロシラン、デキサメチルジシロキサン等が
ある。
本発明に従って形成されたインク・ジェット・ノズル・
プレートは、良好に用いられるために必要とされるすべ
ての規準を充たす、それらのプレートの被膜は、優れた
付着性及び耐摩耗性、並びに低い表面エネルギーを有し
ている。更に、それらの被膜は、水及びインク液に、６
０℃に於いて１０００時間の如き長時間に亘ってさらさ
れても。
安定である。
Ｆ１発明の効果 本発明による新規な被膜を有するため、著しく性能の改
良されたインク・ジェット・ノズル・プレートが得られ
る。
出願人　　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人　　弁理士　　岡　　１）　次　　生（外１名）

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被膜を有するインク・ジェット・ノズル・プレートに於
    て、上記被膜が部分的に弗素化されたアルキル・シラン
    及び完全に弗素化されたアルカンを含み、上記シラン化
    合物が、上記プレートに接触する部分に於て高い濃度を
    有し且つ上記プレートから離れた部分に於て低い濃度を
    有するように上記被膜中に分布し、上記アルカン化合物
    が、上記プレートに接触する部分に於て低い濃度を有し
    且つ上記プレートから離れた部分に於て高い濃度を有す
    るように上記被膜中に分布していることを特徴とする、
    インク・ジェット・ノズル・プレート。
JP60293409A 1985-03-22 1985-12-27 インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト Granted JPS61220863A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/714,770 US4643948A (en) 1985-03-22 1985-03-22 Coatings for ink jet nozzles
US714770 1985-03-22

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Publication Number Publication Date
JPS61220863A true JPS61220863A (ja) 1986-10-01
JPH03232B2 JPH03232B2 (ja) 1991-01-07

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ID=24871383

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JP60293409A Granted JPS61220863A (ja) 1985-03-22 1985-12-27 インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト

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EP (1) EP0195292B1 (ja)
JP (1) JPS61220863A (ja)
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DE (1) DE3666591D1 (ja)

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