JPS61219823A - 表面粗さ計測プロ−ブを有する計測装置 - Google Patents
表面粗さ計測プロ−ブを有する計測装置Info
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- JPS61219823A JPS61219823A JP6085185A JP6085185A JPS61219823A JP S61219823 A JPS61219823 A JP S61219823A JP 6085185 A JP6085185 A JP 6085185A JP 6085185 A JP6085185 A JP 6085185A JP S61219823 A JPS61219823 A JP S61219823A
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- stylus
- surface roughness
- measurement
- probe
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、表面粗さ計測プローブを有する計測装置に係
り、加工後のワークの寸法や形状計測と同特に１表面粗
ざ計測の自動化に利用できる。
り、加工後のワークの寸法や形状計測と同特に１表面粗
ざ計測の自動化に利用できる。
［背景技術とその問題点］
従天１機械加工されたワークの検査を行うに当って、ワ
ークの寸法や形状については三次元測定機を利用して行
うことができるが、ワークの表面粗ざについては三次元
測定機とは別個の表面粗さ計を用いて行わなければなら
ない。
ークの寸法や形状については三次元測定機を利用して行
うことができるが、ワークの表面粗ざについては三次元
測定機とは別個の表面粗さ計を用いて行わなければなら
ない。
従って、三次元測定機の定盤等にセットしたワークを１
寸法や形状等の計測後に、表面粗さ計ヘセットし直さな
ければならないので、寸法や形状とともに表面粗さの計
測が必要なワークについては、計測に時間と労力がかか
つていた。
寸法や形状等の計測後に、表面粗さ計ヘセットし直さな
ければならないので、寸法や形状とともに表面粗さの計
測が必要なワークについては、計測に時間と労力がかか
つていた。
このようなことから、ワークの寸法壱形状計測と同時に
１表面粗さ計測が可能な計測装置が要請されている。
１表面粗さ計測が可能な計測装置が要請されている。
ここに１本発明の目的は、このような要請に応れた手順
に従って多次元方向へ自動的に移動される計測機本体と
、この計測機本体の計測主軸にプローブ本体を介して着
脱自在に取付けられかつ被測定物の計測面に接触される
スタイラスの変位を検出する変位検出部およびスタイラ
スを移動させるための駆動装置を宥する表面粗さ計と、
前記プローブ本体に設けられ前記計測機本体側から与え
らえるスタート信号に基づさ前記駆動機構を介してスタ
イラスを移動させる一方、スタイラスの移動によって検
出される粗ざ計測データを前記計測機本体側へ送出する
制御回路と、を具備したことを特徴としている。
に従って多次元方向へ自動的に移動される計測機本体と
、この計測機本体の計測主軸にプローブ本体を介して着
脱自在に取付けられかつ被測定物の計測面に接触される
スタイラスの変位を検出する変位検出部およびスタイラ
スを移動させるための駆動装置を宥する表面粗さ計と、
前記プローブ本体に設けられ前記計測機本体側から与え
らえるスタート信号に基づさ前記駆動機構を介してスタ
イラスを移動させる一方、スタイラスの移動によって検
出される粗ざ計測データを前記計測機本体側へ送出する
制御回路と、を具備したことを特徴としている。
［実施例］
第１図は本発明の計測装置の一実施例を示している。同
図において、ベッドｌの上面後部には、案内溝２に沿っ
てサドル３が駆動装置４の駆動によりベッドｌの左右方
向（Ｘ軸方向）へ移動自在に設けられている。前記駆動
上２！４は、前記ベッドｌの上面にＸ軸方向に沿って回
転可能に支持さ沿ってコラム１３が駆動上２１１４の駆
動によりヘッド１の前後方向（Ｘ軸方向）へ移動自在に
設けられている。前記駆動１ｌｉｆｉ１４は、前記サド
ル３の上面にＸ軸方向に沿って回転可能に支持されかつ
前記コラム１３と螺合する送りねじ軸１５と、この送り
ねじ軸１５を回転させるモータ１６とから構成されてい
る。
図において、ベッドｌの上面後部には、案内溝２に沿っ
てサドル３が駆動装置４の駆動によりベッドｌの左右方
向（Ｘ軸方向）へ移動自在に設けられている。前記駆動
上２！４は、前記ベッドｌの上面にＸ軸方向に沿って回
転可能に支持さ沿ってコラム１３が駆動上２１１４の駆
動によりヘッド１の前後方向（Ｘ軸方向）へ移動自在に
設けられている。前記駆動１ｌｉｆｉ１４は、前記サド
ル３の上面にＸ軸方向に沿って回転可能に支持されかつ
前記コラム１３と螺合する送りねじ軸１５と、この送り
ねじ軸１５を回転させるモータ１６とから構成されてい
る。
また、前記コラム１３には１図示しない案内を介して主
軸ｇＡ２１が駆動上Ｗ２４の駆動により前記べ、ド１の
上下方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられている。前
記駆動上ｆｉ２４は、前記コラム１３にＹ軸方向に沿っ
て回転可能に支持されかつ前記三軸頭２１と螺合する送
りねじ軸２５と。
軸ｇＡ２１が駆動上Ｗ２４の駆動により前記べ、ド１の
上下方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられている。前
記駆動上ｆｉ２４は、前記コラム１３にＹ軸方向に沿っ
て回転可能に支持されかつ前記三軸頭２１と螺合する送
りねじ軸２５と。
この送りねじ軸２５を回転させるモータ２６とから構成
されている。
されている。
更に、前記主軸ｌＡ２１には、先端に複数種の計測プロ
ーブ２２１〜２２ａ、２２ｎを選択的に装着する計測主
軸２３が回転可能に支持されている。ここにおいて１以
上説明したべ一７ドｌ、サド種の計測プローブ２２１〜
２２＜、２２ｎをストックしそれを選択的に前記計測主
軸２３へ取付ける計測プローブ自動交換装２２３１と、
較正スタンド３２とがそれぞれ設けられている。計測プ
ローブ自動交検装２２３１は、複数種の計測プローブ２
２１〜２２４，２２ｎを予め保持する複数のプローブス
トッカ３３１〜３３５を有し、これらが選択的に上下方
向（Ｙ軸方向）へ！￥−降できるようになっている。プ
ローブ交換に当って、計測プローブ２２１〜２２４．２
２ｎのうち１例えば計測プローブ２２．が次の計測工程
で指定されると、その＝土用プローブ２２１のプローブ
スト−／力３３、と空のプローブスト−７力３３５とが
上昇される。この状態において、計測主軸２３に装着さ
れている計測プローブ２２ｎが空のプローブストッカ３
３５に保持された後、計測主軸２３の三次元方向への移
動によりプローブスト７カ３３゜の計測プローブ２２．
が計測主軸２３へ装着される。この後、上昇したプロー
ブスト−／力３３１ 。
ーブ２２１〜２２ａ、２２ｎを選択的に装着する計測主
軸２３が回転可能に支持されている。ここにおいて１以
上説明したべ一７ドｌ、サド種の計測プローブ２２１〜
２２＜、２２ｎをストックしそれを選択的に前記計測主
軸２３へ取付ける計測プローブ自動交換装２２３１と、
較正スタンド３２とがそれぞれ設けられている。計測プ
ローブ自動交検装２２３１は、複数種の計測プローブ２
２１〜２２４，２２ｎを予め保持する複数のプローブス
トッカ３３１〜３３５を有し、これらが選択的に上下方
向（Ｙ軸方向）へ！￥−降できるようになっている。プ
ローブ交換に当って、計測プローブ２２１〜２２４．２
２ｎのうち１例えば計測プローブ２２．が次の計測工程
で指定されると、その＝土用プローブ２２１のプローブ
スト−／力３３、と空のプローブスト−７力３３５とが
上昇される。この状態において、計測主軸２３に装着さ
れている計測プローブ２２ｎが空のプローブストッカ３
３５に保持された後、計測主軸２３の三次元方向への移
動によりプローブスト７カ３３゜の計測プローブ２２．
が計測主軸２３へ装着される。この後、上昇したプロー
ブスト−／力３３１ 。
３３５が元の位数まで下降され、一連のプローブｎのう
ち、表面粗ざ計測プローブ２２３ｔよ、第２図に示す如
く、プローブ本体４１と、このプローブ本体４１にＬ！
！のブラケット４２を介して取付けられた表面粗さ計４
３とを含む０表面粗さ計４３は、前記ブラケット４２に
固定された筐体４４と、この筐体４４内に駆動装置４５
によって上下方向および前後方向へ移動可能に設けられ
た可動子４６と、この可動子４６に基端側が上下方向へ
ば動自在に支持されかつ先端が筐体４４の外部へ突出さ
れた揺動軸４７と、この揺動軸４７のと一ド方向の変位
量を電気信号として検出する変位検出部４８とを含む、
前記揺動軸４７の先端には、上下方向および前後方向へ
位！！調整可能な調整機構４９を介してスタイラス５０
が取付（すられてし翫る。
ち、表面粗ざ計測プローブ２２３ｔよ、第２図に示す如
く、プローブ本体４１と、このプローブ本体４１にＬ！
！のブラケット４２を介して取付けられた表面粗さ計４
３とを含む０表面粗さ計４３は、前記ブラケット４２に
固定された筐体４４と、この筐体４４内に駆動装置４５
によって上下方向および前後方向へ移動可能に設けられ
た可動子４６と、この可動子４６に基端側が上下方向へ
ば動自在に支持されかつ先端が筐体４４の外部へ突出さ
れた揺動軸４７と、この揺動軸４７のと一ド方向の変位
量を電気信号として検出する変位検出部４８とを含む、
前記揺動軸４７の先端には、上下方向および前後方向へ
位！！調整可能な調整機構４９を介してスタイラス５０
が取付（すられてし翫る。
また、前記プローブ本体４１は、前記計測主軸２３の先
端にその中心軸と同軸上に嵌合されるテーパシャンク５
１を有する第１の筒部５２と。
端にその中心軸と同軸上に嵌合されるテーパシャンク５
１を有する第１の筒部５２と。
この第１の筒部５２に連結された第２の摘部５３り５１
が前記計測主軸２３に装着された際そめ計測主軸２３内
のチャックに係止される係止ビン５６が設けられている
とともに、外問面に回転トランスの二次側５７が設けら
れている。
が前記計測主軸２３に装着された際そめ計測主軸２３内
のチャックに係止される係止ビン５６が設けられている
とともに、外問面に回転トランスの二次側５７が設けら
れている。
ここで５表面粗さ計測プローブ２２３が計測主軸２３に
装着された状態において、回転トランスの二次側５７と
対応する計測主軸２３の内周面には回転トランスの一次
側６１が設けられている（第３図参照）０回転トランス
の一次側６１および二次ｇＩ／４５７は、ＮＣ装置ｔ６
２からのコマンドＣＭＤを制御回路５５へ与える一方、
制御回路５５から与えられる信号のうちタッチ信号をゲ
ート回路６３およびタッチ信号チェック回路６４を介し
て、粗さデータおよび計測終了信号をゲート回路６３を
介してＮＣ装２１６２へ与える。
装着された状態において、回転トランスの二次側５７と
対応する計測主軸２３の内周面には回転トランスの一次
側６１が設けられている（第３図参照）０回転トランス
の一次側６１および二次ｇＩ／４５７は、ＮＣ装置ｔ６
２からのコマンドＣＭＤを制御回路５５へ与える一方、
制御回路５５から与えられる信号のうちタッチ信号をゲ
ート回路６３およびタッチ信号チェック回路６４を介し
て、粗さデータおよび計測終了信号をゲート回路６３を
介してＮＣ装２１６２へ与える。
前記制御回路５５は、第３図に示す如く、前記表面粗さ
計４３の変位検出部４８で検出された信号を所定処理す
る信号処理回路７１と、ゲート回路７２と、このゲート
回路７２を通じて与えられ信号のうちタッチ信号を増幅
するタッチ信号用アンプ７４と、このタッチ信号用アン
プ７４および粗さ計算回路７３からの信号をデジタル信
号に変換して前記回転トランスの二次側５７へ与えるＡ
／Ｄ変換回路７５と１回転トランスの二次側５７から与
えられコマンドＣＭＤ等に応じて前記駆動装２４５．ゲ
ート回路７２および粗ざ計算回路７３をＩｖ１遍するタ
イミング制御回路７６とを含む。
計４３の変位検出部４８で検出された信号を所定処理す
る信号処理回路７１と、ゲート回路７２と、このゲート
回路７２を通じて与えられ信号のうちタッチ信号を増幅
するタッチ信号用アンプ７４と、このタッチ信号用アン
プ７４および粗さ計算回路７３からの信号をデジタル信
号に変換して前記回転トランスの二次側５７へ与えるＡ
／Ｄ変換回路７５と１回転トランスの二次側５７から与
えられコマンドＣＭＤ等に応じて前記駆動装２４５．ゲ
ート回路７２および粗ざ計算回路７３をＩｖ１遍するタ
イミング制御回路７６とを含む。
タイミング制御回路７６は、前記回転トランスの二次側
５７および一次側６１を通じて前記ＮＣ装２１６２から
計Ｕ＊ａモード指令、つまりコマンドＣＭＤ’ｌｌ″が
与えられたとき、前記粗さ計算回路７３をリセットし、
更に前記ゲート回路７２をタッチ信号用アンプ７４側へ
切換えるとともに、前記駆動装置４５を駆動させ可動子
４６を下降、つまりスタイラス５０を下降させる。また
。
５７および一次側６１を通じて前記ＮＣ装２１６２から
計Ｕ＊ａモード指令、つまりコマンドＣＭＤ’ｌｌ″が
与えられたとき、前記粗さ計算回路７３をリセットし、
更に前記ゲート回路７２をタッチ信号用アンプ７４側へ
切換えるとともに、前記駆動装置４５を駆動させ可動子
４６を下降、つまりスタイラス５０を下降させる。また
。
粗さ計測モード指令、つまりコマンドＣＭＤ’ ０１゛
が与えられたとき、前記ゲート回路７２を粗なったとき
、前記粗さ計算回路７３によって粗さ計算を行なわせる
。
が与えられたとき、前記ゲート回路７２を粗なったとき
、前記粗さ計算回路７３によって粗さ計算を行なわせる
。
次に、本実施例の作用を第４図および第５図を参照して
説明する。計測プローブ自動交！！！！装置３１の各プ
ローブストッカ３３１〜３３５にストックされた複数の
計測プローブ２２１〜２２４．２２ｎが選択的に計測主
軸２３に取付けられ、ワークの寸法や形状等が自動的に
計測されていく過程において、ワークの表面粗さ計測の
工程に進むと、計測主軸２３に表面粗さ計測プローブ２
２゜が自動的に取付けられた後、各駆ｔｂ装！！４，１
４．２４の駆動によりスタイラス５０がワークの計測面
の上方へ位置決めされる。
説明する。計測プローブ自動交！！！！装置３１の各プ
ローブストッカ３３１〜３３５にストックされた複数の
計測プローブ２２１〜２２４．２２ｎが選択的に計測主
軸２３に取付けられ、ワークの寸法や形状等が自動的に
計測されていく過程において、ワークの表面粗さ計測の
工程に進むと、計測主軸２３に表面粗さ計測プローブ２
２゜が自動的に取付けられた後、各駆ｔｂ装！！４，１
４．２４の駆動によりスタイラス５０がワークの計測面
の上方へ位置決めされる。
ここで、ＮＣ装置６２から計測準備モード指令、つまり
コマンドＣＭＤ’ｌｌ″が回転トランスの一次側６１お
よび二次側５７を通じてタイミング制御回路７６へ与え
らえると、タイミング制御回路７６は、粗さ計算回路７
３のデータをリセットし、更にゲート回路７２をタッチ
信号アンするので、拙動軸４７の変位が変位検出部４８
でタッチ信号として検知される。タッチ信号は、信号処
理回路７１およびゲート回路７２からタッチ信号用アン
プ７４を通ってＡ／Ｉ）＆検回路７５でデジタル信号に
変換された後、回転トランスの二次側５７並びに−次側
６１．ゲート回路６３およびタッチ信号チェー、り回路
６４を介して計測許可信号としてＮＣ装と６２へ与えら
れる。この結果、ＮＣ装２１６２から停止コマンドがタ
イミングＸＩ ｔａ回路７６へ出されることにより、駆
動装ｚ４５の駆動が停止される。
コマンドＣＭＤ’ｌｌ″が回転トランスの一次側６１お
よび二次側５７を通じてタイミング制御回路７６へ与え
らえると、タイミング制御回路７６は、粗さ計算回路７
３のデータをリセットし、更にゲート回路７２をタッチ
信号アンするので、拙動軸４７の変位が変位検出部４８
でタッチ信号として検知される。タッチ信号は、信号処
理回路７１およびゲート回路７２からタッチ信号用アン
プ７４を通ってＡ／Ｉ）＆検回路７５でデジタル信号に
変換された後、回転トランスの二次側５７並びに−次側
６１．ゲート回路６３およびタッチ信号チェー、り回路
６４を介して計測許可信号としてＮＣ装と６２へ与えら
れる。この結果、ＮＣ装２１６２から停止コマンドがタ
イミングＸＩ ｔａ回路７６へ出されることにより、駆
動装ｚ４５の駆動が停止される。
続いて、ＮＣ装置６２から粗さ計測モード指令、つまり
コマンドＣＭＤ’Ｏ１“が回転トランスの一次側６１お
よび二次側５７を通じてタイミング制御回路７６へ与え
られると、タイミング制御回路７６は、ゲート回路７２
を粗ざ計算回路７３へ切換えるとともに、駆動装Ｍ４５
を駆動させ、スタイラス５０を前進または後退させる。
コマンドＣＭＤ’Ｏ１“が回転トランスの一次側６１お
よび二次側５７を通じてタイミング制御回路７６へ与え
られると、タイミング制御回路７６は、ゲート回路７２
を粗ざ計算回路７３へ切換えるとともに、駆動装Ｍ４５
を駆動させ、スタイラス５０を前進または後退させる。
この間、駆動装ｆｉ４５からは計測中信号がタイミン等
の粗さ計算が行なわれる。
の粗さ計算が行なわれる。
粗さ計算回路７３で求められた粗さデータは。
Ａ／Ｄ変検回路７５でデジタル信号に変換された後１回
転トランスの二次側５７および一次側６１、ゲート回路
６３を通じてＮＣ装置６２へ取込まれる。
転トランスの二次側５７および一次側６１、ゲート回路
６３を通じてＮＣ装置６２へ取込まれる。
このようにして、ワークの表面粗ざが自動的に計測され
る。
る。
従って、本実施例によれば、ワークの寸法や形状計測の
ほかに１表面粗さ計測も自動的に行うことができるので
、ワークの全ての計＊’Ｊｌ目を短時間にかつ能率よく
行うことができる。
ほかに１表面粗さ計測も自動的に行うことができるので
、ワークの全ての計＊’Ｊｌ目を短時間にかつ能率よく
行うことができる。
また、粗さ計測に当っては、計測準備モード指令が与え
られたとき、駆動装ｆｆ１４５を介してスタイラス５０
を下縫させるようにしたので、計測のための準−動作を
も自動的に行うことができる。
られたとき、駆動装ｆｆ１４５を介してスタイラス５０
を下縫させるようにしたので、計測のための準−動作を
も自動的に行うことができる。
しかも、スタイラス５０が被測定物に出接したときのタ
ッチ信号を計測許可信号として出力し、これによってス
タイラス５０の下縫を停止させ、か疋物に接したときの
タッチ信号が出力されたことを条件として粗さ計測モー
ド指令、つまり計測スタート信号を出力し、これにより
計測動作を行なうようにしたので、計測動作が正確かつ
円滑である。
ッチ信号を計測許可信号として出力し、これによってス
タイラス５０の下縫を停止させ、か疋物に接したときの
タッチ信号が出力されたことを条件として粗さ計測モー
ド指令、つまり計測スタート信号を出力し、これにより
計測動作を行なうようにしたので、計測動作が正確かつ
円滑である。
なお、実施に出って、計測主＋ｔｈ２３については 上
記実施例で述べた三次元方向への移動に限らず、二次元
方向への移動でもよい、この場合、被測定物を残りの一
軸方向へ移動可能とすれば、上記実施例と同様な効果が
期待できる。
記実施例で述べた三次元方向への移動に限らず、二次元
方向への移動でもよい、この場合、被測定物を残りの一
軸方向へ移動可能とすれば、上記実施例と同様な効果が
期待できる。
また、上記実施例では、粗さ計算回路７３において１表
面粗さ計４３の変位検出部４８で検出された粗ざ計測デ
ータから最大高さを求めるようにしたが、表面粗さの算
出にｈっでは最大高ざに限らず１例えばモ均粗さ等公知
の表面粗さを算出することが可能である。
面粗さ計４３の変位検出部４８で検出された粗ざ計測デ
ータから最大高さを求めるようにしたが、表面粗さの算
出にｈっでは最大高ざに限らず１例えばモ均粗さ等公知
の表面粗さを算出することが可能である。
Ｅ発！ｙ１の効果〕
以上のｉす１本発明によれば、ワークの寸法や形状計測
と同時に、表面粗さ計測が回旋な″；＋測装ζ、を提供
することができる。
と同時に、表面粗さ計測が回旋な″；＋測装ζ、を提供
することができる。
で、第１図は全体の外観を示す斜視図、第２図は表面粗
さ計測プローブを示す断面図、第３図は回路構成を示す
ブロック図、第４図はフローチャート、第５図はタイミ
ングチャートである。
さ計測プローブを示す断面図、第３図は回路構成を示す
ブロック図、第４図はフローチャート、第５図はタイミ
ングチャートである。
２３・・・計測主軸、３０・・・計測機本体、４１・・
・プローブ本体、４３・・・表面粗さ計、４５・・・駆
動装置、４８・・・変位検出部、５０・・・スタイラス
、５５・・・制御回路、７３・・・粗さ計算回路、７４
・・・タッチ信号用アンプ。
・プローブ本体、４３・・・表面粗さ計、４５・・・駆
動装置、４８・・・変位検出部、５０・・・スタイラス
、５５・・・制御回路、７３・・・粗さ計算回路、７４
・・・タッチ信号用アンプ。
特許出願人 工業技術院長 等々力 連第１図
第４図
、１／１ノーグースへ
第５図
Claims (3)
- （１）計測主軸が予め設定された手順に従って多次元方
法へ自動的に移動される計測器本体と、この計測器本体
の計測主軸にプローブ本体を介して着脱自在に取付けら
れかつ被測定物の計測面に接触されるスタイラスの変位
を検出する変位検出部およびスタイラスを移動させるた
めの駆動装置を有する表面粗さ計と、 前記プローブ本体に設けられ前記計測機本体側から与え
らえるスタート信号に基づき前記駆動機構を介してスタ
イラスを移動させる一方、スタイラスの移動によって検
出される粗さ計測データを前記計測機本体側へ送出する
制御回路と、 を具備したことを特徴とする表面粗さ計測プローブを有
する計測装置。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記制御回路に
は、前記表面粗さ計によって検出された粗さ計測データ
から表面粗さを求める粗さ計算回路が含まれていること
を特徴とする表面粗さ計測プローブを有する計測装置 - （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、前
記制御回路には、前記表面粗さ計のスタイラスが被測定
物に接したときのタッチ信号を計測許可信号として出力
する回路が含まれていることを特徴とする表面粗さ計測
プローブを有する計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085185A JPS61219823A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 表面粗さ計測プロ−ブを有する計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085185A JPS61219823A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 表面粗さ計測プロ−ブを有する計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219823A true JPS61219823A (ja) | 1986-09-30 |
Family
ID=13154292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6085185A Pending JPS61219823A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 表面粗さ計測プロ−ブを有する計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61219823A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63289410A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49128755A (ja) * | 1973-04-10 | 1974-12-10 |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP6085185A patent/JPS61219823A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49128755A (ja) * | 1973-04-10 | 1974-12-10 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63289410A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Mitsutoyo Corp | 三次元測定機 |
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