JPS61212109A - Piezoelectric vibrator - Google Patents
Piezoelectric vibratorInfo
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- JPS61212109A JPS61212109A JP5264785A JP5264785A JPS61212109A JP S61212109 A JPS61212109 A JP S61212109A JP 5264785 A JP5264785 A JP 5264785A JP 5264785 A JP5264785 A JP 5264785A JP S61212109 A JPS61212109 A JP S61212109A
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- JP
- Japan
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- electrode
- external terminal
- frame
- piezoelectric film
- piezoelectric
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は圧電振動子に関し、特にたとえば広がり振動
、屈曲振動あるいは輪郭振動などの振動モードを利用す
る、圧電振動子に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a piezoelectric vibrator, and more particularly to a piezoelectric vibrator that utilizes a vibration mode such as spreading vibration, bending vibration, or contour vibration.
（従来技術）
圧電振動子の一例がたとえば実開昭５９−８４９２１号
公報などで知られている。この圧電振動子は、エリンバ
などのような恒弾性金属材料からなる基板を含み、この
基板がたとえばエツチングによって島状の振動子エレメ
ント部分およびこれを囲むフレームとして形成され、振
動子エレメント部分（振動基板）には圧電薄膜および電
極が順次積層的に形成される。そして、フレームが一方
電極として用いられ、そこに外部端子が接続されていた
。(Prior Art) An example of a piezoelectric vibrator is known from, for example, Japanese Utility Model Application Publication No. 59-84921. This piezoelectric vibrator includes a substrate made of a constant elastic metal material such as Elinva, and this substrate is formed by etching, for example, as an island-shaped vibrator element part and a frame surrounding it. ), a piezoelectric thin film and an electrode are sequentially formed in a laminated manner. The frame was used as one electrode, and an external terminal was connected thereto.
（発明が解決しようとする問題点）
従来、圧電振動子は、フレームなど不要な部分をマスク
して島状の振動子エレメントに酸化亜鉛（Ｚ ｎ Ｏ）
などをスパッタリングして圧電膜を形成していた。しか
し、スパッタマスクの取り付けのずれや浮き、およびス
パッタリングに際しての温度変化などによってスパッタ
マスクの浮きによって、ＺｎＯが廻り込んでフレームの
一部表面に付着する。圧電振動子が小型になるほど、マ
スキング処理が難しく、このＺｎＯの廻り込みが多くな
る。また、スパッタリング中の酸化性雰囲気によってフ
レームの一部に酸化膜が形成されることもある。したが
って、フレームを電極として利用する場合、その部分に
圧電膜や酸化膜が形成されれば、たとえばフレームに外
部端子を溶接する際に溶接の付きが悪く、また、フレー
ムに外部端子を圧接する際には接触不良が生じ易い。こ
のように、従来の圧電振動子は接続不良を生じ易い。(Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, piezoelectric vibrators have been manufactured by masking unnecessary parts such as the frame and using zinc oxide (ZnO) as an island-shaped vibrator element.
A piezoelectric film was formed by sputtering. However, due to the misalignment or lifting of the sputter mask, and the lifting of the sputter mask due to temperature changes during sputtering, ZnO gets around and adheres to a part of the surface of the frame. The smaller the piezoelectric vibrator becomes, the more difficult the masking process becomes, and the more ZnO wraps around the piezoelectric vibrator. Furthermore, an oxide film may be formed on a portion of the frame due to the oxidizing atmosphere during sputtering. Therefore, when using the frame as an electrode, if a piezoelectric film or oxide film is formed on that part, it may result in poor welding when welding an external terminal to the frame, or when pressure-welding an external terminal to the frame. poor contact is likely to occur. As described above, conventional piezoelectric vibrators are prone to connection failures.
それゆえに、この発明の主たる目的は、接続不良の生じ
ない圧電振動子を提供することである。Therefore, the main object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrator that does not cause poor connection.
（問題点を解決するための手段）
この発明は、恒弾性金属材料からなる振動基板と、基板
上に形成される圧電膜と、圧電膜上に形成される第１の
電極と、振動基板に一体的に連結される支持フレームと
、支持フレームの一部表面に形成されかつ外部端子に接
続される第２の電極とを備える、圧電振動子である。(Means for Solving the Problems) This invention provides a vibrating substrate made of a constant elastic metal material, a piezoelectric film formed on the substrate, a first electrode formed on the piezoelectric film, and a vibrating substrate made of a constant elastic metal material. The piezoelectric vibrator includes a support frame that is integrally connected to the support frame, and a second electrode formed on a part of the surface of the support frame and connected to an external terminal.
（作用）
フレームに形成された第２の電極に外部端子を接続する
。(Function) An external terminal is connected to the second electrode formed on the frame.
（発明の効果）
この発明によれば、支持フレームの一部表面に第２の電
極を形成しているので、この第２の電極と外部端子との
間には接続不良を生じることが少ない。(Effects of the Invention) According to the present invention, since the second electrode is formed on a part of the surface of the support frame, poor connection between the second electrode and the external terminal is less likely to occur.
また、第２の電極を第１の電極と同じ側の面に形成すれ
ば、組み立てが容易となり、さらに、第２の電極と第１
の電極を同じ材料で形成すれば、同時にこれら電極を形
成できるなどの利点がある。Furthermore, if the second electrode is formed on the same side as the first electrode, assembly becomes easier, and furthermore, the second electrode and the first
If the two electrodes are made of the same material, there is an advantage that these electrodes can be formed at the same time.
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.
（実施例）
図はこの発明の一実施例の斜視図である。この圧電振動
子１０は、恒弾性金属材料（機械振動が生じ易い合金）
からなる基板１２を含む。このような恒弾性金属材料と
しては、たとえばエリンバ、アンバ、コニリンパ、４２
アロイおよび３６アロイ （インバ）などが利用可能で
ある。基板１２は、たとえばプレス成型やエツチングな
どによって、四角形の島状の振動子エレメント１４とこ
れを囲む支持フレーム１６とに形成される。この振動基
板すなわち振動子エレメント１４は連結部１８ａおよび
１８ｂによって支持フレーム１６の対向する辺部分と連
結される。(Embodiment) The figure is a perspective view of an embodiment of the present invention. This piezoelectric vibrator 10 is made of a constant elastic metal material (an alloy that easily generates mechanical vibration).
It includes a substrate 12 consisting of. Examples of such constant elasticity metal materials include Erinba, Amba, Konirinpa, and 42
Alloy and 36 Alloy (Inva) are available. The substrate 12 is formed into a rectangular island-shaped vibrator element 14 and a support frame 16 surrounding the vibrator element 14 by, for example, press molding or etching. This vibrating substrate or vibrator element 14 is connected to opposing side portions of the support frame 16 by connecting portions 18a and 18b.
振動子エレメント１４の上面ないし一方主面上には、圧
電膜２０がスパッタリングなどによって形成される。こ
のとき、フレーム１６の大部分がマスクされ、この圧電
膜２０が、一方の連結部１８ａを通って支持フレーム１
６の１つの辺の上面まで引き出される形にスパッタリン
グなどによって形成される。圧電膜２０の材料としては
、酸化亜鉛（Ｚ ｎ Ｏ）の他に窒化アルミニウム（／
ｌ！Ｎ）などが利用可能である。A piezoelectric film 20 is formed on the upper surface or one main surface of the vibrator element 14 by sputtering or the like. At this time, most of the frame 16 is masked, and the piezoelectric film 20 passes through one of the connecting parts 18a to the supporting frame 1.
It is formed by sputtering or the like so as to extend up to the upper surface of one side of 6. The piezoelectric film 20 is made of aluminum nitride (ZnO) as well as zinc oxide (ZnO).
l! N) etc. are available.
さらに、振動子エレメント１４上に形成された圧電膜２
０の表面には、第１の電極２２が蒸着などによって形成
される。このとき、第１の電極２２は、連結部１８ａを
通って支持フレーム１６の１つの辺部分まで引き出され
て、引出電極２２ａに接続された形に蒸着などによって
形成される。Furthermore, the piezoelectric film 2 formed on the vibrator element 14
A first electrode 22 is formed on the surface of 0 by vapor deposition or the like. At this time, the first electrode 22 is drawn out to one side of the support frame 16 through the connecting portion 18a, and is formed by vapor deposition or the like in a form connected to the lead-out electrode 22a.
この第１の電極２２の材料としては、たとえばニッケル
、アルミニウム、 ＩＭおよび金などが利用可能である
。As the material of this first electrode 22, for example, nickel, aluminum, IM, gold, etc. can be used.
一方、引出電極２２ａの形成された支持フレーム１６の
辺と対向する辺の上面には、第２の電極２４が蒸着など
によって形成される。この第２の電極２４は、好ましく
は、第１の電極２２と同じ材料が用いられる。これによ
って、第１の電極２２と第２の電極２４が同じ工程で同
時に形成できるので、従来に比べて製造工程が増加する
ことばない。さらに、第１の電極２２すなわち引出電極
２２ａと第２の電極２４とを同じ側の面に形成するよう
にすれば、１枚の蒸着マスクで同時にその形成領域を規
定でき、この面でも製造コストの上昇はない。On the other hand, a second electrode 24 is formed by vapor deposition or the like on the upper surface of the side opposite to the side of the support frame 16 on which the extraction electrode 22a is formed. This second electrode 24 is preferably made of the same material as the first electrode 22. As a result, the first electrode 22 and the second electrode 24 can be formed simultaneously in the same process, so there is no need to increase the number of manufacturing steps compared to the conventional method. Furthermore, if the first electrode 22, that is, the extraction electrode 22a, and the second electrode 24 are formed on the same side, the formation area can be defined at the same time with one vapor deposition mask, which also reduces the manufacturing cost. There is no increase in
このように構成された圧電振動子１０は、第１の電極２
２すなわち引出電極２２ａが外部端子２６ａに、第２の
電極２４が外部端子２６ｂに、それぞれ溶接または圧接
などによって、接続して用いられる。この場合、外部端
子２６ｂと支持フレーム１６とが第２の電極２４を介し
て電気的に接続されるので、圧電膜２０をスパッタリン
グによって形成する際に、圧電膜や酸化膜が支持フレー
ム１６の一部に付着しても、フレームと外部端子との間
に接続不良が生じるのを防止できる。また、引出電極２
２ａと外部端子２６ａとの接続、および電極２４と外部
端子との接続をそれぞれ圧接構造にすれば接続が簡単と
なる。この場合、第１の電極２２すなわち引出電極２２
ａと第２の電極２４とを基板の同じ面に形成すれば、一
方面から圧接するだけですむので、組み立てが容易にな
る。The piezoelectric vibrator 10 configured in this way has a first electrode 2
In other words, the extraction electrode 22a is connected to the external terminal 26a, and the second electrode 24 is connected to the external terminal 26b by welding or pressure welding. In this case, since the external terminal 26b and the support frame 16 are electrically connected via the second electrode 24, when the piezoelectric film 20 is formed by sputtering, the piezoelectric film and the oxide film are connected to one part of the support frame 16. It is possible to prevent a connection failure between the frame and the external terminal even if it adheres to the frame and the external terminal. In addition, extraction electrode 2
If the connection between the electrode 2a and the external terminal 26a and the connection between the electrode 24 and the external terminal are made into a pressure contact structure, the connection becomes simple. In this case, the first electrode 22, that is, the extraction electrode 22
If a and the second electrode 24 are formed on the same side of the substrate, it is only necessary to press them together from one side, which facilitates assembly.
また、従来では圧電膜２０をスパッタリングで形成する
際に、圧電膜材料がスパッタリングマスクの浮いている
部分から廻り込んで支持フレーム１６に付着するのを低
減するために、振動子エレメント１４と支持フレーム１
６との間隔を大きくする必要があったが、この実施例の
ように第２の電極２４を形成すれば、絶縁膜材料の廻り
込みを殆ど問題としないので、振動子エレメント１４と
支持フレーム１６との間隔を小さくでき、圧電振動子ｌ
Ｏ全全体外形寸法を小さくできるという別の利点がある
。Conventionally, when forming the piezoelectric film 20 by sputtering, in order to prevent the piezoelectric film material from coming around from the floating part of the sputtering mask and adhering to the support frame 16, the vibrator element 14 and the support frame 1
However, if the second electrode 24 is formed as in this embodiment, there is almost no problem with the insulating film material getting around, so the distance between the vibrator element 14 and the support frame 16 It is possible to reduce the distance between the piezoelectric vibrator l
Another advantage is that the overall overall external dimensions can be reduced.
図面はこの発明の一実施例を示す斜視図である。
図において、１０は圧電振動子、１２は基板、１４は振
動子エレメント（振動基板）、１６は支持フレーム、２
０および２０ａは圧電膜、２２は第１の電極、２２ａは
引出電極、２４は第２の電極、２６ａおよび２６ｂは外
部接続端子を示す。The drawing is a perspective view showing an embodiment of the invention. In the figure, 10 is a piezoelectric vibrator, 12 is a substrate, 14 is a vibrator element (vibration substrate), 16 is a support frame, 2
0 and 20a are piezoelectric films, 22 is a first electrode, 22a is an extraction electrode, 24 is a second electrode, and 26a and 26b are external connection terminals.
Claims (1)
第１の電極、 前記振動基板に一体的に連結されて振動基板を支持する
支持フレーム、および 前記支持フレームの一部表面に形成されかつ外部端子に
接続されるべき第２の電極を備える、圧電振動子。 ２ 前記第２の電極は、前記第１の電極と同じ側の面に
形成される、特許請求の範囲第１項記載の圧電振動子。 ３ 前記第２の電極は、前記第１の電極と同じ材料で形
成される、特許請求の範囲第２項記載の圧電振動子。 ４ 前記圧電膜および前記第１の電極は、前記支持フレ
ーム上の前記第２の電極の形成位置とは異なる部分まで
引き出して形成される、特許請求の範囲第１項ないし第
３項のいずれかに記載の圧電振動子。[Scope of Claims] 1. A vibrating substrate made of a constant elastic metal material, a piezoelectric film formed on the vibrating substrate, a first electrode formed on the piezoelectric film and to be connected to an external terminal, and the vibrating substrate. A piezoelectric vibrator, comprising: a support frame that is integrally connected to the support frame to support a vibrating substrate; and a second electrode that is formed on a part of the surface of the support frame and is to be connected to an external terminal. 2. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the second electrode is formed on the same side as the first electrode. 3. The piezoelectric vibrator according to claim 2, wherein the second electrode is made of the same material as the first electrode. 4. Any one of claims 1 to 3, wherein the piezoelectric film and the first electrode are formed by being drawn out to a different position on the support frame from where the second electrode is formed. Piezoelectric vibrator described in.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264785A JPS61212109A (en) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | Piezoelectric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264785A JPS61212109A (en) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | Piezoelectric vibrator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61212109A true JPS61212109A (en) | 1986-09-20 |
Family
ID=12920632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5264785A Pending JPS61212109A (en) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | Piezoelectric vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61212109A (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537033A (en) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezo-electric vibrator |
| JPS59161084A (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | Optical control piezoelectric device |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP5264785A patent/JPS61212109A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537033A (en) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezo-electric vibrator |
| JPS59161084A (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-11 | Murata Mfg Co Ltd | Optical control piezoelectric device |
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