JPS6120920A - 投影レンズ - Google Patents
投影レンズInfo
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- JPS6120920A JPS6120920A JP14206084A JP14206084A JPS6120920A JP S6120920 A JPS6120920 A JP S6120920A JP 14206084 A JP14206084 A JP 14206084A JP 14206084 A JP14206084 A JP 14206084A JP S6120920 A JPS6120920 A JP S6120920A
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- JP
- Japan
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- lens
- lens group
- refractive power
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は投影露光装置によってＩＣ５ＬＳＩ等の集積回
路を製造するときの投影レンズに関し、特に波長１５０
ｎ＠〜４００ｎＷＬの範囲内の短波長の輝線に近い発
光スペクトルを放射する光源を用いて集積回路のパター
ンをシリコ／ウェハー等に焼付けるときに有効な投影レ
ンズに関するものである。
路を製造するときの投影レンズに関し、特に波長１５０
ｎ＠〜４００ｎＷＬの範囲内の短波長の輝線に近い発
光スペクトルを放射する光源を用いて集積回路のパター
ンをシリコ／ウェハー等に焼付けるときに有効な投影レ
ンズに関するものである。
従来より投影露光装置を用いＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路
のパターンをシリコンウェハーに焼付ける為の投影レン
ズには非常に高い解像力が要求されている。
のパターンをシリコンウェハーに焼付ける為の投影レン
ズには非常に高い解像力が要求されている。
一般に投影レンズによる投影像の解像力は使用する波長
が短かくなればなる程良くなる為に、なるべく短波長を
放射する光源が用−られている。例えば現在水銀灯によ
る波長４３６ ｎｍ又は３６５ ｎｕの光が投影露光装
置に多く用いられている。そして投影レンズには高い解
像力を得る為に収差を完全に補正した理論限界値に近い
解像力が得られるような光学系が要求されてきている。
が短かくなればなる程良くなる為に、なるべく短波長を
放射する光源が用−られている。例えば現在水銀灯によ
る波長４３６ ｎｍ又は３６５ ｎｕの光が投影露光装
置に多く用いられている。そして投影レンズには高い解
像力を得る為に収差を完全に補正した理論限界値に近い
解像力が得られるような光学系が要求されてきている。
特にパターンを焼付ける為に解像力は画面中心に限らず
全画面にわたり理論的な限界値に近い解像力が得られる
ように収差補正がなされている。例えば集積回路の製造
において杜集積回路のパターンの焼付工程を複数回行う
為に光学的な諸収差のうち歪曲枢着はほぼ完全に補正さ
れた投影レンズが用いられている。
全画面にわたり理論的な限界値に近い解像力が得られる
ように収差補正がなされている。例えば集積回路の製造
において杜集積回路のパターンの焼付工程を複数回行う
為に光学的な諸収差のうち歪曲枢着はほぼ完全に補正さ
れた投影レンズが用いられている。
本発明は波長１５０ｎ＠〜４００ ｎｍ程度の範囲内で
の比較的狭い発光スペクトル分布を有する光源を用いた
投影露光装置における高性能な投影レンズの提供を特徴
とする 特に本発明においては波長２４Ｂ、５ｎｍ を主たる
発光スペクトルとするエキシマレーザ−を用いインジエ
クショ／ロッキング等の手段によって波長幅を狭くした
場合に特有の効果を発揮する投影レンズの提供を目的と
している。
の比較的狭い発光スペクトル分布を有する光源を用いた
投影露光装置における高性能な投影レンズの提供を特徴
とする 特に本発明においては波長２４Ｂ、５ｎｍ を主たる
発光スペクトルとするエキシマレーザ−を用いインジエ
クショ／ロッキング等の手段によって波長幅を狭くした
場合に特有の効果を発揮する投影レンズの提供を目的と
している。
本発明の目的を達成する為の投影レンズの主たる特徴は
物体側より順に正、負そして正の屈折力の第１、第２そ
して第３レンズ群の３つのレンズ群を有し、前記第１レ
ンズ群は負の屈折力の第１−１レンズ群と正の屈折力の
第１−２レンズ群の２つのレンズ群を有しており前記第
１−１レンズ群は負の屈折力のレンズＬ□□、と物体側
に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ
□、２を有し、前記第１−２レンズ群は両レンズ面が凸
面のレンズＬ□２２と少表くとも１枚の物体側に凸面を
向けた正の屈折力のメニスカス形状のレンズ群Ｌ□２２
を有し、前記第２レンズ群は物体側に凸面を向けた負の
屈折力のメニスカス形状のレンズＬ２２と負の屈折力の
レンズＬ２２と像面側に凸面を向けた負の屈折力のメニ
スカス形状のレンズＬ２３を有し、前記第３レンズ群は
像面側に凸面を向けた正の屈折力のメニスカス形状のレ
ンズＬ３２と両レンズ面が凸面のレンズＬ３２と少なく
とも２枚の物体側に凸面を向けた正の屈折力のレンズＬ
３３と物体側の面が凸面の少なくとも１枚の正の屈折力
のメニスカス形状のレンズＬ３４を有しており前記レン
ズＬ２２の物体側と像面ｉｌｌ！のレンズ面の曲率半径
を各々Ｒ２Ｆ ’ Ｒ２ＨとしたときＩＲ２Ｆ＋ ＜
ｌＲ２Ｒ１・・・・・・・・・（１）なる条件を満足す
ることである。
物体側より順に正、負そして正の屈折力の第１、第２そ
して第３レンズ群の３つのレンズ群を有し、前記第１レ
ンズ群は負の屈折力の第１−１レンズ群と正の屈折力の
第１−２レンズ群の２つのレンズ群を有しており前記第
１−１レンズ群は負の屈折力のレンズＬ□□、と物体側
に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ
□、２を有し、前記第１−２レンズ群は両レンズ面が凸
面のレンズＬ□２２と少表くとも１枚の物体側に凸面を
向けた正の屈折力のメニスカス形状のレンズ群Ｌ□２２
を有し、前記第２レンズ群は物体側に凸面を向けた負の
屈折力のメニスカス形状のレンズＬ２２と負の屈折力の
レンズＬ２２と像面側に凸面を向けた負の屈折力のメニ
スカス形状のレンズＬ２３を有し、前記第３レンズ群は
像面側に凸面を向けた正の屈折力のメニスカス形状のレ
ンズＬ３２と両レンズ面が凸面のレンズＬ３２と少なく
とも２枚の物体側に凸面を向けた正の屈折力のレンズＬ
３３と物体側の面が凸面の少なくとも１枚の正の屈折力
のメニスカス形状のレンズＬ３４を有しており前記レン
ズＬ２２の物体側と像面ｉｌｌ！のレンズ面の曲率半径
を各々Ｒ２Ｆ ’ Ｒ２ＨとしたときＩＲ２Ｆ＋ ＜
ｌＲ２Ｒ１・・・・・・・・・（１）なる条件を満足す
ることである。
本発明は前述のような構成を採ることにより良好に収差
補正を行った投影し／ズを達成している。特に投影倍率
１１５、撮影画角１４ Ｘ １４削の範囲内において良
好なる結像性能を得ている。
補正を行った投影し／ズを達成している。特に投影倍率
１１５、撮影画角１４ Ｘ １４削の範囲内において良
好なる結像性能を得ている。
次に本発明の各ａ＋１４成ν件について詳述する。
第１−Ｉ レンズ群を負の屈折力のし７ズＬ□、□ と
物体１１ＵＩに凸面を向りた負の屈折力のメニスカス形
状のレンズＬ□□２で溝底することにより画面全体にわ
たり歪曲収差を良好に補正しマスクパターンを歪みなく
焼付けること全可能としている。そして第１−１レンズ
群の有する負の屈折力を２つのし／ズＬ□□０．Ｌ□□
２に適切に分担させることにより広画角化を図９焼付範
囲を拡大させてスループットの向上を図っている。
物体１１ＵＩに凸面を向りた負の屈折力のメニスカス形
状のレンズＬ□□２で溝底することにより画面全体にわ
たり歪曲収差を良好に補正しマスクパターンを歪みなく
焼付けること全可能としている。そして第１−１レンズ
群の有する負の屈折力を２つのし／ズＬ□□０．Ｌ□□
２に適切に分担させることにより広画角化を図９焼付範
囲を拡大させてスループットの向上を図っている。
レンズＬ□□１はレンズＬ１□２と同様に物体側に凸面
を向けたメニスカス形状で構成しても又は両レンズ面を
凹面となるように構成しても良好なる収差補正が可能で
ある。
を向けたメニスカス形状で構成しても又は両レンズ面を
凹面となるように構成しても良好なる収差補正が可能で
ある。
第１−２レンズ群を両レンズ面が凸面のレンズＬ０２、
と少なくとも１枚の物体側に凸面を向けた正の屈折力の
メニスカス形状のレンズ群Ｌ１２２ で構成することＫ
より第１−１レンズ群で発生する内向性のコマ収差とハ
ロー収差を補正し高解像力化を図っている。
と少なくとも１枚の物体側に凸面を向けた正の屈折力の
メニスカス形状のレンズ群Ｌ１２２ で構成することＫ
より第１−１レンズ群で発生する内向性のコマ収差とハ
ロー収差を補正し高解像力化を図っている。
レンズ群Ｌ１２２は１枚のレンズで構成しても２枚以上
のレンズで構成しても良い。２枚以上のレンズで構成す
ればより良好にコマ収差とＩ・ロー収差を補正すること
ができる。
のレンズで構成しても良い。２枚以上のレンズで構成す
ればより良好にコマ収差とＩ・ロー収差を補正すること
ができる。
第２レンズ群を物体側に凸面を向けた負の屈折力のメニ
スカス形状のレンズＬ２１と負の屈折力のレンズＬ２２
そして像面側に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス形
状のレンズＬ２３で構成することにより第１−２レンズ
群で発生ずる負の球面収差及び画面中間から周辺にかけ
てのサジタルフレアーを補正している。特にレンズＬ２
２により第１−２レンズ群で発生する負の球面収差及び
ハロー収差を、又レンズＬ２２とレンｘ Ｌ２３ Ｋよ
シ画面周辺でのサジタルフレアーを補正している。
スカス形状のレンズＬ２１と負の屈折力のレンズＬ２２
そして像面側に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス形
状のレンズＬ２３で構成することにより第１−２レンズ
群で発生ずる負の球面収差及び画面中間から周辺にかけ
てのサジタルフレアーを補正している。特にレンズＬ２
２により第１−２レンズ群で発生する負の球面収差及び
ハロー収差を、又レンズＬ２２とレンｘ Ｌ２３ Ｋよ
シ画面周辺でのサジタルフレアーを補正している。
第２レンズ群を前述の如く構成すると軸外光線の主光線
より上方側の光束が補正過剰となり外向性のコマ収差を
発生させる原因となる。そこで第３レンズ群を像面側に
凸面を向けた正の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ３
２と両レンズ面が凸面のレンズＬ３２そして少なくとも
２１枚の正の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ３３゜
Ｌ３４で構成することにより第２レンズ群で発生した外
向性りコマ収差と画面中間から周辺にかけての像面湾曲
及び歪曲収差を合わせてバランス良く補正している。
より上方側の光束が補正過剰となり外向性のコマ収差を
発生させる原因となる。そこで第３レンズ群を像面側に
凸面を向けた正の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ３
２と両レンズ面が凸面のレンズＬ３２そして少なくとも
２１枚の正の屈折力のメニスカス形状のレンズＬ３３゜
Ｌ３４で構成することにより第２レンズ群で発生した外
向性りコマ収差と画面中間から周辺にかけての像面湾曲
及び歪曲収差を合わせてバランス良く補正している。
条件（ｔ）はレンズＬ２２の物体側のレンズ面の屈折力
を像面側のレンズ面に些ぺて強める為のものでありこれ
により開口数０３近傍の球面収差及び画面周辺のサジタ
ルフレアーを良好に補正している。条件０）を外れると
球面収差及びサジタルフレアーを良好に補正するのが困
難となる。
を像面側のレンズ面に些ぺて強める為のものでありこれ
により開口数０３近傍の球面収差及び画面周辺のサジタ
ルフレアーを良好に補正している。条件０）を外れると
球面収差及びサジタルフレアーを良好に補正するのが困
難となる。
レンズＬ２２は両レンズ面が凹面であっても又は像面側
に凸面を向けたメニスカス形状であっても条件（１）を
満足するレンズ形状であれば良い。
に凸面を向けたメニスカス形状であっても条件（１）を
満足するレンズ形状であれば良い。
特に第１−１レンズ群のレンズＬ０□、が両凹レンズで
構成するときはレンズＬ２２を像面側に凸面を向けたメ
ニスカス形状で構成するのが収差補正上好ましい。
構成するときはレンズＬ２２を像面側に凸面を向けたメ
ニスカス形状で構成するのが収差補正上好ましい。
本発明の目的は以上の諸条件を満足することにより達成
されるものであるが更により良好に本発明の目的を達成
するには次の諸条件を満足するのが好ましい。
されるものであるが更により良好に本発明の目的を達成
するには次の諸条件を満足するのが好ましい。
前記第１１第２そして第３レンズ群の焦点距離を各々／
１ 、／２− 、／３、前記第１−１レンズ群と前記第
１−２レンズ群の焦点距離を各々ｆ、１．ｆ□２、前記
レンズＬ１□□の焦点距離を７１１１ ’前記レンズ
Ｌ１□、の物体側と像面側のレンズ面の曲率半径を各々
Ｒ、ＲとするとＩＦ ＩＲ き ０．８５（ｌＪ工／／２ ｌ （Ｚ ２ ・・・・
・・・・・（２）０．７５（げ、／ｆ２１ （１，４・
・・・・・・・・（３）１４＜げ０、／ｆ□２１＜Ｌ５
・・・・・・・・・（４）Ｌ２＜７□１□／ｆ１
１＜２−１ ・・・・・・・・・（５）ＩＲｌ
ｐｌ ） ＩＲＩＨｌ 曲・曲（６）
なる諸条件を満足することである。
１ 、／２− 、／３、前記第１−１レンズ群と前記第
１−２レンズ群の焦点距離を各々ｆ、１．ｆ□２、前記
レンズＬ１□□の焦点距離を７１１１ ’前記レンズ
Ｌ１□、の物体側と像面側のレンズ面の曲率半径を各々
Ｒ、ＲとするとＩＦ ＩＲ き ０．８５（ｌＪ工／／２ ｌ （Ｚ ２ ・・・・
・・・・・（２）０．７５（げ、／ｆ２１ （１，４・
・・・・・・・・（３）１４＜げ０、／ｆ□２１＜Ｌ５
・・・・・・・・・（４）Ｌ２＜７□１□／ｆ１
１＜２−１ ・・・・・・・・・（５）ＩＲｌ
ｐｌ ） ＩＲＩＨｌ 曲・曲（６）
なる諸条件を満足することである。
条件（２１、ｆ３＋はレンズ性能の基本の１つとしての
各レンズ群の屈折力を適切に設定することにより画面全
体の像面湾曲を良好に補正するためであり下限値を越え
るとペッツバール和か犬となり像面が補正不足となり、
上限値を越えると像面湾曲が補正過剰となり画面全体の
収差を良好に補正するのが困難となる。
各レンズ群の屈折力を適切に設定することにより画面全
体の像面湾曲を良好に補正するためであり下限値を越え
るとペッツバール和か犬となり像面が補正不足となり、
上限値を越えると像面湾曲が補正過剰となり画面全体の
収差を良好に補正するのが困難となる。
条件（４）は条件（２１、＋３１の屈折力配置のもとて
第１−１レンズ群に上る歪曲収差の補正と第１−２レン
ズ群による内向性のコマ収差とハロー収差の補正と共に
画面全体の像面湾曲を少なくして高解像力化を図る為の
ものである。条件（４）の下限値を越えると像面湾曲が
補正不足となり父上限値を越えると像面湾曲が補正過剰
となってくる。
第１−１レンズ群に上る歪曲収差の補正と第１−２レン
ズ群による内向性のコマ収差とハロー収差の補正と共に
画面全体の像面湾曲を少なくして高解像力化を図る為の
ものである。条件（４）の下限値を越えると像面湾曲が
補正不足となり父上限値を越えると像面湾曲が補正過剰
となってくる。
条着（５）は負の屈折力の第１−１レンズ群の物体側の
レンズＬ０□、に対する負の屈折力の分担を適切に設定
し歪曲収差を良好に補正す不為である。条件（５）の下
限値を越えると歪曲収差は補正不足となり又下限値を越
えると歪曲収差は補正過剰となってくる。
レンズＬ０□、に対する負の屈折力の分担を適切に設定
し歪曲収差を良好に補正す不為である。条件（５）の下
限値を越えると歪曲収差は補正不足となり又下限値を越
えると歪曲収差は補正過剰となってくる。
条件＋（１）はレンズＬ１□１の物体側のレンズ面の屈
折力を像面側のレンズ面の屈折力より弱くする為のもの
でありこれにより画面全体の歪曲収差を更に良好に補正
している。条件（６）を外れると歪曲収差が補正不足と
なってくるので好ましくない。
折力を像面側のレンズ面の屈折力より弱くする為のもの
でありこれにより画面全体の歪曲収差を更に良好に補正
している。条件（６）を外れると歪曲収差が補正不足と
なってくるので好ましくない。
本発明において第３レンズ群のレンズＬ３３ トレ／ズ
Ｌ３４を３つ品玉のレンズに分割して各レンズの屈折力
の負担を少なくすれば画面全体にわたりコマ収差及び像
面湾曲を更に良好に補正することが出来より高解像力化
が達成出来る。
Ｌ３４を３つ品玉のレンズに分割して各レンズの屈折力
の負担を少なくすれば画面全体にわたりコマ収差及び像
面湾曲を更に良好に補正することが出来より高解像力化
が達成出来る。
後述する数値実施例では使用波長幅が非常に狭い為に単
一のガラスで構成した場合を示したが使用波長幅に応じ
て複数のガラス例えばＣａＦ 、ＭｇＦ２等で構成し
ても良いことは当然である。
一のガラスで構成した場合を示したが使用波長幅に応じ
て複数のガラス例えばＣａＦ 、ＭｇＦ２等で構成し
ても良いことは当然である。
以上説明したように本発明によれば投影露光装置におい
て高解像力を有した高性能な投影レンズを達成すること
ができる。
て高解像力を有した高性能な投影レンズを達成すること
ができる。
次に本発明♀数値実Ｍｆｔｌ１１〜５の時数１１道を示
す。数値実施例においてＲ，は物体側より）脳に第１番
目のレンズ面の曲率半径、Ｄ、は物体側より順に第ｉ番
目のレンズ厚及び空気間隔、Ｎｉ は物体側より１駅
に第ｉ番目のレンズのガラスの屈折率である。
す。数値実施例においてＲ，は物体側より）脳に第１番
目のレンズ面の曲率半径、Ｄ、は物体側より順に第ｉ番
目のレンズ厚及び空気間隔、Ｎｉ は物体側より１駅
に第ｉ番目のレンズのガラスの屈折率である。
硝材の５ＩＯ２をを溶融石英であり波長２４８．５ｒｒ
ｙｒ＋での屈折率は１．５２１１３０である。
ｙｒ＋での屈折率は１．５２１１３０である。
数値実施例は投影倍率１５、ＮＡ−ｆｌ、３、画面範囲
１４ Ｘ １４の場合である。
１４ Ｘ １４の場合である。
数値実施例１
ヱ Ｄ 硝材
１ ２０００．５２７ ８．００ ８１０２２
２１５．９６Ｂ’ ６．８５３ ２１１．
０６０ ＆００ ８１０２４ １２８．６４
１ ６０．００５ １９５．９４２ ２４．０Ｏ
５ＩＯ２６−２１８，４７３１，００ ７’ ９９．７５１ ２０．０Ｏ５ＩＯ２８３８８，
３０４３０，００ ９７６，６２１２０，００８１０２ １０５０，４８４４０，００ １１−６７，４２２１ＺＯＯ５ＩＯ２ １２２９２Ｌ８７７ ６０．００ １３ −４＆９１５ ２α００ ５ＩＯ２１４−６７
，１２９ＬＯＯ １５−３８７，２３１１＆ＯＯ５ＩＯ２１６−１１７，
９８３１，００ １７３０７，３７９１６，５０５ＩＯ２１８−２３８，
７９４１，００ １９１３９，９９９１＆５０ ５ＩＯ２２０１４４４４
３５ＬＯＯ ２１８６，８２２２Ｑ、ＯＯ’ ５ＩＯ２数値実施例
２ １ Ｄ 硝材 １ −８５６．７１０ ８．０Ｏ５ＩＯ２２１９５
，５８８６，８２ ３２５６，８９０８，０Ｏ５ＩＯ２ ４１００，８５５７５，５０ ５２２９，８１９２４，００ＳＩＯ□ ６ −１５６．２７５ １．Ｃ１０７１１
１，４７８１５，０Ｏ５ＩＯ２ ８３００，９６０１７５ ９１９５，７９８１？、００ ８１０２１０ ４
５１．０７Ｇ ３．３５１１ ９６．３５
７ ４１０ ５ＩＯ２１２４５，１０６１５，００ １３−１１７，１１５１ＬＯＯ８Ｉ０２１４ −１
６＆６４０ ２ＬＯ０１５ −４３．２７０
４０．０Ｏ５ＩＯ２１６−７９，９３１４００ １７−９７８１０００１＆００ ５ＩＯ２１８−１１
７，９３０１９５ １９４２３，４８０１６，５０５ＩＯ２２０−２７０，
０２７２＋０Ｑ ２１ １７０．３４８ １＆５０ ８Ｉ０２２
２ ３２９．５９８ ２ａ００２３
８Ｌ４２４ ２α００ ＢＩＯ２２４１０７，２
７０ 数値実施例３ Ｒ，Ｄ 硝材 １ ４１６＆４１９ Ｂ、００ ８１０２２ ２
００．３６０ ６．８５ ３ ２２７．６２１ ＆ＯＯ５ＩＯ２４１２９゜
７ｇｌ ｓ５．ｏ。
２１５．９６Ｂ’ ６．８５３ ２１１．
０６０ ＆００ ８１０２４ １２８．６４
１ ６０．００５ １９５．９４２ ２４．０Ｏ
５ＩＯ２６−２１８，４７３１，００ ７’ ９９．７５１ ２０．０Ｏ５ＩＯ２８３８８，
３０４３０，００ ９７６，６２１２０，００８１０２ １０５０，４８４４０，００ １１−６７，４２２１ＺＯＯ５ＩＯ２ １２２９２Ｌ８７７ ６０．００ １３ −４＆９１５ ２α００ ５ＩＯ２１４−６７
，１２９ＬＯＯ １５−３８７，２３１１＆ＯＯ５ＩＯ２１６−１１７，
９８３１，００ １７３０７，３７９１６，５０５ＩＯ２１８−２３８，
７９４１，００ １９１３９，９９９１＆５０ ５ＩＯ２２０１４４４４
３５ＬＯＯ ２１８６，８２２２Ｑ、ＯＯ’ ５ＩＯ２数値実施例
２ １ Ｄ 硝材 １ −８５６．７１０ ８．０Ｏ５ＩＯ２２１９５
，５８８６，８２ ３２５６，８９０８，０Ｏ５ＩＯ２ ４１００，８５５７５，５０ ５２２９，８１９２４，００ＳＩＯ□ ６ −１５６．２７５ １．Ｃ１０７１１
１，４７８１５，０Ｏ５ＩＯ２ ８３００，９６０１７５ ９１９５，７９８１？、００ ８１０２１０ ４
５１．０７Ｇ ３．３５１１ ９６．３５
７ ４１０ ５ＩＯ２１２４５，１０６１５，００ １３−１１７，１１５１ＬＯＯ８Ｉ０２１４ −１
６＆６４０ ２ＬＯ０１５ −４３．２７０
４０．０Ｏ５ＩＯ２１６−７９，９３１４００ １７−９７８１０００１＆００ ５ＩＯ２１８−１１
７，９３０１９５ １９４２３，４８０１６，５０５ＩＯ２２０−２７０，
０２７２＋０Ｑ ２１ １７０．３４８ １＆５０ ８Ｉ０２２
２ ３２９．５９８ ２ａ００２３
８Ｌ４２４ ２α００ ＢＩＯ２２４１０７，２
７０ 数値実施例３ Ｒ，Ｄ 硝材 １ ４１６＆４１９ Ｂ、００ ８１０２２ ２
００．３６０ ６．８５ ３ ２２７．６２１ ＆ＯＯ５ＩＯ２４１２９゜
７ｇｌ ｓ５．ｏ。
５ ２０２ｈ９３０ ２４．０ＯＳＩＯ□６ −２
０１５７５ １．００ ７ ９７．００４ ２０．００ ８ＩＯ２８３７６，
９４６２ＬＯＧ ９ ７３．９５２ ２０．００ ５ＴＯＱ
１０ ４９．６９３ ４５．００１１
−６８．２６５ １２＋１Ｏ５ＴＯ２１２３２４，２
６０４０Ｊ１０ １３ −４５．２８（１２０，０Ｏ５ＩＯ２１４−６
３，０４８１，００ １５−３８２，８９８１８，００］０２１６ −１
０５．８０１ １．００１７ ３８０．６６２
１６．５ＯＳＩＯ□１８ −２２７．２２６
１．００１９ １４５．４２９ １８．５０
５ＩＯ２２０１９０３，５６０１，Ｑ０ ２１ ８７．３５３ ２０．０ＯＳＩＯ□２２
１０６．２７１ 数値実施例４ ＲＤ 硝材 １ −８５６．７１０ ８．０Ｏ５ＩＯ２２１９５
，５８８（ｉ、８２ ３ ２５６．８９０ ８．０Ｏ５ＩＯ２４１００，
８５５７５，５０ ５２２９，８１９２４，００５ＩＯ２ ５−１５６，２７５１，００ ７１１１，４７８１５，００５ＩＯ２ ８３００，９６０Ｚ７５ ９ １’９５．７９８ １７．０Ｏ５ＩＯ２１０
４５１，０７０、３，３５ Ｉｆ ９５．３５５ ４４０Ｏ５ＩＯ２１２
４４，９８０１５，００ １３−１１８，４４１１１０Ｏ５ＩＯ２２４−１７３，
７０６２ＺＯ０ １５−４１４８４４０，０Ｏ５ＩＯ２ 」６ −８ＬＯ５２４，００ １７−９７８３，０００１＆ＯＯ５ＩＯ２１Ｂ
−１１７，９３０１，９５１９４２＆４８０ １ａ
５０ ５ＩＯ２２０−２７０，０２７ＺＯＯ ２１１７ｏ、３４８ １ ＆５０ Ｓ １０ ｚ
２２ ３２９．５９８ ２５．００２３
８１．４２４ ２０．０Ｏ５ＩＯ２２４１０７，
２７０ 数値実施例５ 工 Ｄ 硝材 １ １６８Ｌ１８４８．０Ｏ５ＩＯ２ ２１６７，０６９６，８５ ３１６＆８３０ ８．００ ５ＩＯ２４１２７，６６
６６０，００ ５１９５，９４２２４００５ＩＯ２ ６−２１＆４７３ １．００ ７ ９９．７５１ ２０．００ ５ＩＯ２８３８＆３
０４ ３０．００ ９ ７ａ６２１ ２０．０Ｏ５ＩＯ２１０５０，４８
４４０，００ １１−６７，４２２１ＬＯＯ５ＩＯ２ １２２９ＳＬ８７７ ６０．００ １３ −４＆９１５ ２０．０’０ ８１０２１４
−６７．１２９ 、 １．００１５ −３８７
．２３１ １＆００ ５ＩＯ２１６−１１７，９８３１
，Ｑ Ｏ １７３０７，３７９１６，５０５ＩＯ２１８−２３１１
７９４ＬＯＯ １９ １３９．９９９ １＆５０ ５ＩＯ２２０
１４４４，４３５１，００ ２１８４４５３２０，００８Ｉ Ｏ□ ２２ ９７．９３７
０１５７５ １．００ ７ ９７．００４ ２０．００ ８ＩＯ２８３７６，
９４６２ＬＯＧ ９ ７３．９５２ ２０．００ ５ＴＯＱ
１０ ４９．６９３ ４５．００１１
−６８．２６５ １２＋１Ｏ５ＴＯ２１２３２４，２
６０４０Ｊ１０ １３ −４５．２８（１２０，０Ｏ５ＩＯ２１４−６
３，０４８１，００ １５−３８２，８９８１８，００］０２１６ −１
０５．８０１ １．００１７ ３８０．６６２
１６．５ＯＳＩＯ□１８ −２２７．２２６
１．００１９ １４５．４２９ １８．５０
５ＩＯ２２０１９０３，５６０１，Ｑ０ ２１ ８７．３５３ ２０．０ＯＳＩＯ□２２
１０６．２７１ 数値実施例４ ＲＤ 硝材 １ −８５６．７１０ ８．０Ｏ５ＩＯ２２１９５
，５８８（ｉ、８２ ３ ２５６．８９０ ８．０Ｏ５ＩＯ２４１００，
８５５７５，５０ ５２２９，８１９２４，００５ＩＯ２ ５−１５６，２７５１，００ ７１１１，４７８１５，００５ＩＯ２ ８３００，９６０Ｚ７５ ９ １’９５．７９８ １７．０Ｏ５ＩＯ２１０
４５１，０７０、３，３５ Ｉｆ ９５．３５５ ４４０Ｏ５ＩＯ２１２
４４，９８０１５，００ １３−１１８，４４１１１０Ｏ５ＩＯ２２４−１７３，
７０６２ＺＯ０ １５−４１４８４４０，０Ｏ５ＩＯ２ 」６ −８ＬＯ５２４，００ １７−９７８３，０００１＆ＯＯ５ＩＯ２１Ｂ
−１１７，９３０１，９５１９４２＆４８０ １ａ
５０ ５ＩＯ２２０−２７０，０２７ＺＯＯ ２１１７ｏ、３４８ １ ＆５０ Ｓ １０ ｚ
２２ ３２９．５９８ ２５．００２３
８１．４２４ ２０．０Ｏ５ＩＯ２２４１０７，
２７０ 数値実施例５ 工 Ｄ 硝材 １ １６８Ｌ１８４８．０Ｏ５ＩＯ２ ２１６７，０６９６，８５ ３１６＆８３０ ８．００ ５ＩＯ２４１２７，６６
６６０，００ ５１９５，９４２２４００５ＩＯ２ ６−２１＆４７３ １．００ ７ ９９．７５１ ２０．００ ５ＩＯ２８３８＆３
０４ ３０．００ ９ ７ａ６２１ ２０．０Ｏ５ＩＯ２１０５０，４８
４４０，００ １１−６７，４２２１ＬＯＯ５ＩＯ２ １２２９ＳＬ８７７ ６０．００ １３ −４＆９１５ ２０．０’０ ８１０２１４
−６７．１２９ 、 １．００１５ −３８７
．２３１ １＆００ ５ＩＯ２１６−１１７，９８３１
，Ｑ Ｏ １７３０７，３７９１６，５０５ＩＯ２１８−２３１１
７９４ＬＯＯ １９ １３９．９９９ １＆５０ ５ＩＯ２２０
１４４４，４３５１，００ ２１８４４５３２０，００８Ｉ Ｏ□ ２２ ９７．９３７
第１図は本発明の数値実施例１のレンズ断面図、第２図
〜第６図は各々本発明の数値実施例１〜５の諸収差図で
ある。 図中１．［１，璽は各々第１１第２、第３レンズ群、１
．１ は各々第１−１、第１−２しンズ群、Ｙ社像
高、Ｍはメリデイオナル像面、Ｓはサジタル像面である
。 特許出願人 ・キャノン株式会社 第 １ 図 箋 ２ Ｍ 第 ３ ロ − 第 ４ 図 第 ５ 図
〜第６図は各々本発明の数値実施例１〜５の諸収差図で
ある。 図中１．［１，璽は各々第１１第２、第３レンズ群、１
．１ は各々第１−１、第１−２しンズ群、Ｙ社像
高、Ｍはメリデイオナル像面、Ｓはサジタル像面である
。 特許出願人 ・キャノン株式会社 第 １ 図 箋 ２ Ｍ 第 ３ ロ − 第 ４ 図 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）物体側より順に正、負そして正の屈折力の第１、
第２そして第３レンズ群の３つのレンズ群を有し、前記
第１レンズ群は負の屈折力の第１−１レンズ群と正の屈
折力の第１−２レンズ群の２つのレンズ群を有しており 前記第１−１レンズ群は負の屈折力のレンズＬ＿１＿１
＿１と物体側に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス形
状のレンズＬ＿１＿１＿２を有し、前記第１−２レンズ
群は両レンズ面が凸面のレンズＬ＿１＿２＿１と少なく
とも１枚の物体側に凸面を向けた正の屈折力のメニスカ
ス形状のレンズ群Ｌ＿１＿２＿２を有し、 前記第２レンズ群は物体側に凸面を向けた負の屈折力の
メニスカス形状のレンズＬ＿２＿１と負の屈折力のレン
ズＬ＿２＿２と像面側に凸面を向けた負の屈折力のメニ
スカス形状のレンズＬ＿２＿３を有し、前記第３レンズ
群は像面側に凸面を向けた正の屈折力のメニスカス形状
のレンズＬ＿３＿１と両レンズ面が凸面のレンズＬ＿３
＿２と物体側に凸面を向けた正の屈折力のレンズＬ＿３
＿３と物体側の面が凸面の少なくとも１枚の正の屈折力
のメニスカス形状のレンズＬ＿３＿４を有しており 前記レンズＬ＿２＿２の物体側と像面側のレンズ面の曲
率半径を各々Ｒ＿２＿Ｆ、Ｒ＿２＿Ｒとしたとき｜Ｒ＿
２＿Ｆ｜＜｜Ｒ＿２＿Ｒ｜ なる条件を満足することを特徴とする投影レンズ。 （２）前記第１、第２そして第３レンズ群の焦点距離を
各々ｆ＿１、ｆ＿２、ｆ＿３、前記第１−１レンズ群と
前記第１−２レンズ群の焦点距離を各々ｆ＿１＿１、ｆ
＿１＿２、前記レンズＬ＿１＿１＿１の焦点距離をｆ＿
１＿１＿１、前記レンズＬ＿１＿１＿１の物体側と像面
側のレンズ面の曲率半径を各々Ｒ＿１＿Ｆ、Ｒ＿１＿Ｒ
とするとき ０．８５＜｜ｆ＿１／ｆ＿２｜＜２．２ ０．７５＜｜ｆ＿３／ｆ＿２｜＜１．４ １．４＜｜ｆ＿１＿１／ｆ＿１＿２｜＜２．５１．２＜
ｆ＿１＿１＿１／ｆ＿１＿１＜２．１｜Ｒ＿１＿Ｆ｜＞
｜Ｒ＿１＿Ｒ｜ なる諸条件を満足することを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の投影レンズ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14206084A JPS6120920A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 投影レンズ |
| GB08432300A GB2153543B (en) | 1983-12-28 | 1984-12-20 | A projection exposure apparatus |
| DE3447489A DE3447489C2 (de) | 1983-12-28 | 1984-12-27 | Verfahren und Vorrichtung zur Projektionsbelichtung |
| US07/212,148 US4977426A (en) | 1983-12-28 | 1988-06-24 | Projection exposure apparatus |
| US07/212,081 US4891663A (en) | 1983-12-28 | 1988-06-24 | Projection exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14206084A JPS6120920A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 投影レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120920A true JPS6120920A (ja) | 1986-01-29 |
| JPH0472204B2 JPH0472204B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=15306485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14206084A Granted JPS6120920A (ja) | 1983-12-28 | 1984-07-09 | 投影レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120920A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501097A (ja) * | 2004-05-28 | 2008-01-17 | シエフレル・コマンデイトゲゼルシヤフト | ころを有する転がり軸受用保持器 |
| US8740471B2 (en) | 2009-12-25 | 2014-06-03 | Ntn Corporation | Retainer segment for tapered roller bearing, tapered roller bearing, and method for mounting tapered roller bearing |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP14206084A patent/JPS6120920A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501097A (ja) * | 2004-05-28 | 2008-01-17 | シエフレル・コマンデイトゲゼルシヤフト | ころを有する転がり軸受用保持器 |
| JP4924951B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2012-04-25 | シエフレル・コマンデイトゲゼルシヤフト | ころを有する転がり軸受用保持器 |
| US8740471B2 (en) | 2009-12-25 | 2014-06-03 | Ntn Corporation | Retainer segment for tapered roller bearing, tapered roller bearing, and method for mounting tapered roller bearing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0472204B2 (ja) | 1992-11-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |