JPS61203545U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例装置の縦断面図、第
２図は従来装置の概要を示す斜視図である。 １……回転ブラシ、２……被処理物（ウエハ）
、３……洗浄処理槽、４……ノズル、５……ブラ
シ洗浄槽、６……プリー、７……歯車、８……エ
アシリンダー、９……ラツク、１０……支軸、１
１……腕、２０……回転ブラシ、２１……杆材、
２２……内槽、２３……外槽、２４……ノズル、
２５……洗浄液、２６，２８……排液管、２７…
…流量調節弁、２９……励振機。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 洗浄部材の少なくとも一部を洗浄液中に浸
   漬して回転可能に保持する洗浄槽と、該洗浄槽に
   保持された前記洗浄部材の外周に接触する位置に
   洗浄部材の軸に平行方向に架設した杆材と、前記
   洗浄槽内において前記洗浄部材に向けて洗浄液を
   噴射するノズルとよりなる洗浄部材の洗浄装置。 (2) 洗浄槽に洗浄液を満たし、ノズルを液中に
   配設したことを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第(1)項に記載の洗浄部材の洗浄装置。 (3) ノズルが洗浄部材に平行方向に配設した中
   空パイプに複数個の液噴出孔を洗浄部材に向けて
   設けたものである実用新案登録請求の範囲第(2)
   項に記載の洗浄部材の洗浄装置。 (4) 杆材がステンレス鋼製の円材である実用新
   案登録請求の範囲第(1)項に記載の洗浄部材の洗
   浄装置。 (5) 洗浄液を洗浄槽の上縁からオーバーフロー
   させるとともに、槽底に流量調節弁を備える排液
   管を連設し、該流量調節弁の流量を、ノズルから
   洗浄槽に供給される液量よりも小さくしたことを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項に記
   載の洗浄部材の洗浄装置。 (6) 洗浄部材が回転ブラシである実用新案登録
   請求の範囲第(1)項ないし第(5)項のいずれかに記
   載の洗浄部材の洗浄装置。 (7) 回転ブラシが、弾性を有する剛毛を植立し
   たものである実用新案登録請求の範囲第(6)項に
   記載の洗浄部材の洗浄装置。 (8) 回転ブラシが、回転の遠心力により直立状
   態になる比較的柔軟な毛を植立したものである実
   用新案登録請求の範囲第(6)項に記載の洗浄部材
   の洗浄装置。 (9) 洗浄部材がスポンジ・ロールである実用新
   案登録請求の範囲第(1)項ないし第(5)項のいずれ
   かに記載の洗浄部材の洗浄装置。