JPS61202027A - クリ−ンル−ムの壁体構造 - Google Patents

クリ−ンル−ムの壁体構造

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Publication number
JPS61202027A
JPS61202027A JP60041658A JP4165885A JPS61202027A JP S61202027 A JPS61202027 A JP S61202027A JP 60041658 A JP60041658 A JP 60041658A JP 4165885 A JP4165885 A JP 4165885A JP S61202027 A JPS61202027 A JP S61202027A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
panel
wall
base board
suction port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60041658A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Sugimura
杉村 義夫
Haruo Nishiguchi
西口 晴夫
Yuiji Tokunaga
徳永 結司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd filed Critical Nihon Spindle Manufacturing Co Ltd
Priority to JP60041658A priority Critical patent/JPS61202027A/ja
Publication of JPS61202027A publication Critical patent/JPS61202027A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は浄化空気(温湿度が調節された浄化空気を含む
)が循環供給される室(以下、クリーンルームという)
′4J−形慮すふ賠体潅浩に馴すみへ従来の技術 クリーンルームの室内空気浄化装置としては)例えは第
6図に示す構造のものがあるOこの浄化袋@40はクリ
ーンルームAを形成する天井42に取付けられるファン
付空気噴出器41と、壁体招の下方に形成される吸引口
11この吸引口aに連設される帰還ダクト45とを備え
、帰還ダク)45は、空気噴出器41の吸引側に接続さ
れる。この空気噴出器41にはフィルタ栃を内蔵し、該
フィルタ柘によりf過された清浄空気を室A内に吹込み
、室内空気は吸引口材から吸引され、帰還ダクト45を
介して空気噴出器41内に至り、再びフィルタ柘により
r過され室A内に吹き出される。その他の室内空気浄化
装置としては、上記帰還ダクト45は適所に設けられる
空調機(FI!J示省略)に連結されS濾過と共に温湿
度が調節され、調節された空気は上記空気噴出器41に
導かれ1更にr過されて室内Aに放出する構造のものも
ある@図中47は吸引口材に取付けられるグリル、絽は
吸引口材と帰還ダクト45とを接続するためのリターン
チャンバである。
発明が解決しようとする問題点 上記クリーンルームAを形成する壁体43は1周知の如
く床面IFLに敷設される幅木50と、該幅木(資)上
に取付けられるパネル51とよりなるもので、吸引口材
は通常パネル51の下部を貫通して形成される。また吸
引口封附近の風速は通常1〜2m/秒と遅く、従って吸
引口材から下方の8部はいわゆる死角となって空気が滞
留して塵芥が蓄積し、作業員の移動等によってこれを巻
き上げる等の問題がある。更に帰還ダクト45は壁体4
3の後方に突出している故、隣室の機械、器具等の設置
に支障をきたし、あるいは作業通路を狭める等の問題が
あることを目的とする。
問題点を解決するための手段 上記目的を達成するための本発明の構成を実施例に対応
する第1図乃至第5図を用いて説明する。本発明はクリ
ーンルームAを構成する壁体1に室内空気浄化装置30
の一部の機能を有するようにしたもので、この室内空気
浄化装置30は室内に浄化空気を吹き込む空気噴出器3
2を備えると共に、室内空気を吸引し、これをr過し再
び空気噴出器30から噴出するようにしたものである。
壁体1は前述の如く幅木2と1この幅木2に取付けられ
るパネル3とより構成される。パネル3には全長に亘り
帰還空気通路20を形成し、上部にはこの帰還空気通路
器に開口する空気排出口21を形成する◇この空気排出
口21は上記空気噴出器32に連設されるものである。
幅木2には、上記帰還空気通路四に連通し1かつ室内に
面する側に床面FLに接して開口する吸引口5を開設す
る。
作用 空気排出口21は連結管22により空気噴出器32に接
続される。この場合、空気排出口21は直接空気噴出器
32に接続される場合、あるいは適宜の空調機を介して
接続される場合もある。室内空気浄化装置30の作動に
より空気噴出器32より浄化空気が室内に吹き込まれる
と共に吸引口5から室内空気が吸引される。この場合、
吸引口5は床面に接して開口しており、従って床面隅部
においても空気の滞留を生ずることがない。吸引された
空気はパネル3の帰還空気通路器を通って上記空気噴出
器32に移行する。
実施例 第1図乃至第5図は本発明の実施例に関し、クリーンル
ームA(第5図参照)を形成する壁体1は、床面に敷設
された断面U字状の幅木2と、該幅木2上に取付けられ
るパネル3とよりなる。
幅木2は周知の如くクリーンルームAを形成する囲壁の
一側の長さを有し1パネル3は通常の規格寸法の輻(例
えば900111前後)と、上方に取付けられる天井4
より所要長突出する長さを有せしめる。パネル3は内壁
10及び外壁11を備え、両壁10゜11は連結部材1
2により所定間隔を存して対向して取付けられ、下端は
上記幅木2に嵌挿するための嵌挿部13が形成され、上
端には覆蓋14が取付けられている。また両側は隣接パ
ネルとの接合部15a。
15 bが形成され、この接合部15&、15t)によ
って隣接パネル3とボルト等によって結合される。16
は接合部を覆う目地である。
パネル3はまた、必要によって透視窓を設ける場合があ
る。図例はその透視窓17を設けた例を示すもので、1
8はこの透視窓17に取付けられたガラス、19はこの
ガラス18を取付ける取付枠である。
上記連結部材12は、第2図に示す如く、は丈舟形とし
、中央部は上記透視窓17を挾む幅に形成する。この連
結部材12の外側と内壁10と外壁11とにより帰還空
気通路20.20を形成し1この帰還空気通路20.2
0の下部は前記幅木2の内部に連通される。上記幅木2
には室内に開口する吸引口5を備える。この吸引口5は
床面FLに接して設けられ、好ましくは上記パネル3の
幅の長さを有せしめ、内外壁2a、2′bは間隔を存し
て配置される連結部材6により連結される。パネル3に
は更に天井4の取付位置の上方に帰還空気通路2oに連
通ずる空気排出口21を設ける。この空気排出口21に
は連結管22を取付け、該連結管22には室内空気浄化
装置30の連結ダクト31を連結する。この室内空気浄
化装置30は浄化した空気をクリーンルームAに循環供
給するようにしたもので、必要によっては温湿度調節機
構(゛図示省略)が並設される0図は説明を簡単とする
ため温湿度調節機構を省略した構造を示す。即ち図示の
室内空気浄化装置30は、天井4に取付けられるファン
付き空気噴出器32を備え、この噴出器32内にはフィ
ルタおが収納され、吸引側には前記連結ダクト31が接
続される。即ち室内空気浄化装置30は、ファン付空気
噴出器32と、壁体1と連結ダクト31とにより構成さ
れる。
上記構成において、空気噴出器32から浄化空気がクリ
ーンルームム内に吹き出され、室内空気は吸引口5から
吸引され壁体1を通り連結ダク) 31を介して空気噴
出器32に送り込まれ、フィルタおによりr過され、再
び室内に吹き出される。この場合、吸引口5は床面11
′Lに接して設け−られる故1、 従来の如き床面に死
角を生ずることがない〇尚床面ILは幅木2の取付面よ
り高く形成した例を示したが、これは鎖111FLaで
示す如く幅木2の取付面と同一平面としてもよい。
また第5図はクリーンルームAt−fllJjEする一
側壁すべてに上記構造のパネル3を並列し、従って幅木
2は全長に亘って吸引口5を形成した例を示したが、こ
れは例えば通常のパネル3aと交互に設け、幅木2の吸
引口5は、上記パネル3に対応する部分のみ形成するこ
とも勿論可能である。
発明の効果 ・ 以上の如く本発明によるときは、室内空気の吸引口は床
面に接して設けたから、最も塵芥の溜り易い床面隅部に
おいて空気の滞留を生ずることがなく、確実に吸引し、
従って室′内の清浄度を一層向上することができる。更
に幅木及びパネル内部を帰還空気の通路としたから、従
来の帰還ダクトを省略し、構造簡単とすると共に隣接す
る部屋等に突出物が形成されることがない等の効果を有
する。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図は本発明のクリーンルームの壁体構造
に関し、第1図は壁体の縦断面図、第2図はその正面図
、第3図は幅木の斜視図、第4図は第2図におけるX−
X1iに沿う断面図、第5図はクリーンルームの斜視図
、第6図は従来の室内空気浄化装置の説明図である。 lは壁体、2は幅木、3はパネル、5は吸引口、20は
帰還空気通路、21は空気排出口、(資)は室内空気浄
化装置、32は空気噴出器、人はクリーンルーム、?L
は床面である。 第1図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 浄化空気を室内に吹き込む空気噴出器を有する室内空気
    浄化装置を備えたクリーンルームであつて、該クリーン
    ルームを形成する壁体は床面に敷設される幅木と、この
    幅木に取付けられるパネルとより構成され、パネルは内
    部に全高に亘って帰還空気通路を形成し、かつ上部には
    該帰還空気通路に開口し、かつ上記空気噴出器に連通さ
    れる空気排出口を設け、幅木には室内に面する側に上記
    帰還空気通路に連通し、かつ床面に接する吸引口を開口
    したことを特徴とするクリーンルームの壁体構造。
JP60041658A 1985-03-01 1985-03-01 クリ−ンル−ムの壁体構造 Pending JPS61202027A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01150707U (ja) * 1988-03-28 1989-10-18
JP2019112822A (ja) * 2017-12-22 2019-07-11 株式会社フジタ 玄関
US10968630B1 (en) * 2019-08-08 2021-04-06 AES Clean Technology, Inc. Modular clean room gas supply raceway apparatus, system and method

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57204741A (en) * 1981-05-26 1982-12-15 Suteiido Robaatsu Gurahamu Module type wall and ceiling system

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