JPS6119907B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6119907B2 JPS6119907B2 JP52061299A JP6129977A JPS6119907B2 JP S6119907 B2 JPS6119907 B2 JP S6119907B2 JP 52061299 A JP52061299 A JP 52061299A JP 6129977 A JP6129977 A JP 6129977A JP S6119907 B2 JPS6119907 B2 JP S6119907B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- temperature
- conveyor
- matsufuru
- heated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 26
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000008331 Pinus X rigitaeda Nutrition 0.000 description 1
- 235000011613 Pinus brutia Nutrition 0.000 description 1
- 241000018646 Pinus brutia Species 0.000 description 1
- JXBFBSYDINUVRE-UHFFFAOYSA-N [Ne].[Ar] Chemical compound [Ne].[Ar] JXBFBSYDINUVRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N chromium copper Chemical compound [Cr][Cu][Cr] ZTXONRUJVYXVTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/40—Arrangements of controlling or monitoring devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/02—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity of multiple-track type; of multiple-chamber type; Combinations of furnaces
- F27B9/021—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity of multiple-track type; of multiple-chamber type; Combinations of furnaces having two or more parallel tracks
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
- F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace being carried by a conveyor
- F27B9/243—Endless-strand conveyor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D21/0014—Devices for monitoring temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/06—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated
- F27B9/08—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated heated through chamber walls
- F27B9/082—Muffle furnaces
- F27B9/084—Muffle furnaces the muffle being fixed and in a single piece
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D5/00—Supports, screens, or the like for the charge within the furnace
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炉の温度を監視するための装置に関
し、更に詳細には、二次輻射型の端開放式炉
(openended furnace)の内部に置かれた被加熱
物の温度を監視するための装置に関する。
し、更に詳細には、二次輻射型の端開放式炉
(openended furnace)の内部に置かれた被加熱
物の温度を監視するための装置に関する。
炉は直列的に配列された複数の加熱領域と、炉
を通して被加熱物を運ぶめのコンベアとを含む。
本発明の装置は、炉内の複数の加熱領域の温度を
調節できる様に設けらる。
を通して被加熱物を運ぶめのコンベアとを含む。
本発明の装置は、炉内の複数の加熱領域の温度を
調節できる様に設けらる。
ガス・パネル(ガス放電デイスプレイ・パネ
ル)を製造する場合、パネルの最終動作特性に影
響を与えると考えられる製造工程が数多く用いら
れる。代表的には、交流型のパネルを製造する場
合は先ず、1対のガラス・プレートの各々の主表
面に、クロム−銅−クロムの金属層が付着され、
次にプレート上に導線を形成するため、半導体分
野で周知の適当なフオトレジスト技法により金属
層が食刻される。適当な清浄化処理の後、プレー
トの表面は例えばガラス・フリツトの様な誘電体
安定化層で覆われる。次いで、該安定化層は炉内
でレフロー(再溶融)され、そしてその後酸化マ
グネシウムの層がガラス誘電体層の上に付着され
る。一方のプレートの周囲部に封止用のロツドが
置かれるとともにスペーサ・ロツドもこのプレー
ト上に置かれる。1対のプレートの導線が互いに
直交するように残りのプレートがその上に置か
れ、そしてこの組立体は炉に通される。封止ロツ
ドはこれよりも小さな直径のスペーサ・ロツドよ
りも低い融点をもつているので、炉内でこの組立
体の温度が適当な温度になると封止ロツドが溶
け、上側のプレートが降下してスペーサ・ロツド
と接触する。この結果、周囲部の封止された2つ
のプレート相互間にポケツト又は空胴が形成され
る。封止温度は微妙であり、極めて狭い範囲内で
制御されなければならない。例えば478℃乃至492
℃の範囲内で制御されなければならない。封止ロ
ツドが少なくとも478℃に達していない場合、好
ましくない封止が形成される。一方492℃以上の
温度では、誘電体安定化層のひび割れが生じる。
従つて、封止を行なう炉の温度制御は正確に行な
わなければならない。
ル)を製造する場合、パネルの最終動作特性に影
響を与えると考えられる製造工程が数多く用いら
れる。代表的には、交流型のパネルを製造する場
合は先ず、1対のガラス・プレートの各々の主表
面に、クロム−銅−クロムの金属層が付着され、
次にプレート上に導線を形成するため、半導体分
野で周知の適当なフオトレジスト技法により金属
層が食刻される。適当な清浄化処理の後、プレー
トの表面は例えばガラス・フリツトの様な誘電体
安定化層で覆われる。次いで、該安定化層は炉内
でレフロー(再溶融)され、そしてその後酸化マ
グネシウムの層がガラス誘電体層の上に付着され
る。一方のプレートの周囲部に封止用のロツドが
置かれるとともにスペーサ・ロツドもこのプレー
ト上に置かれる。1対のプレートの導線が互いに
直交するように残りのプレートがその上に置か
れ、そしてこの組立体は炉に通される。封止ロツ
ドはこれよりも小さな直径のスペーサ・ロツドよ
りも低い融点をもつているので、炉内でこの組立
体の温度が適当な温度になると封止ロツドが溶
け、上側のプレートが降下してスペーサ・ロツド
と接触する。この結果、周囲部の封止された2つ
のプレート相互間にポケツト又は空胴が形成され
る。封止温度は微妙であり、極めて狭い範囲内で
制御されなければならない。例えば478℃乃至492
℃の範囲内で制御されなければならない。封止ロ
ツドが少なくとも478℃に達していない場合、好
ましくない封止が形成される。一方492℃以上の
温度では、誘電体安定化層のひび割れが生じる。
従つて、封止を行なう炉の温度制御は正確に行な
わなければならない。
適当な冷却期間の後、パネルは他の炉内に置か
れ、そしてパネルに予じめ形成されている排気/
充填用のガラス管を排気装置に接続して、制御さ
れた条件のもとでベーキング処理され、パネルか
ら出るガスの排出が行なわれる。次いで、空胴が
ネオン−アルゴン混合物で満されそしてガラス管
のまわりに設けられた抵抗加熱器によりガラス管
の封止が行われる。
れ、そしてパネルに予じめ形成されている排気/
充填用のガラス管を排気装置に接続して、制御さ
れた条件のもとでベーキング処理され、パネルか
ら出るガスの排出が行なわれる。次いで、空胴が
ネオン−アルゴン混合物で満されそしてガラス管
のまわりに設けられた抵抗加熱器によりガラス管
の封止が行われる。
分離している加熱領域をもち、かつ被加熱物を
運搬するためのコンベアが上記加熱領域を通過し
ている様な端開放式の炉は、通常、炉ケーシング
の内部ではあるがマツフルの外側に置かれるよう
に感温素子を設置することによりマツフルの温度
を監視すると共に、炉内の様々な領域の温度制御
を行なつていた。しかし、炉内温度を極めて狭い
範囲内に制御しなければならない様な被加熱物の
場合は、ガス・パネルの製造に関連して先に述べ
た如く、炉内温度が処理温度の上限及び下限を越
えない様に極めて正確に監視されなければならな
い。従来は、この様な監視は、熱電対のような感
熱素子の取付けられたダミーの被加熱物をコンベ
アに乗せて炉に通し、そして、炉内を通過してい
る被加熱物の温度を適当な間隔で監視し、監視結
果に基づいて適当な加熱領域を夫々調整すること
によつて行なわれていた。更に、熱電対の取付け
られた別のダミー被加熱物が再び炉に通され、更
に調整がなされる。被加熱物が所要の温度範囲で
処理されるように炉を適正に制御するためには大
抵の場合、4日乃至5日間の調整期間を必要と
し、又時には2週間も費やす様な場合もある。清
浄な雰囲気(クラス100又はそれ以上)を保つた
めの装置が設けられている部屋に炉が設置される
場合、加熱領域の精密制御の問題が一層大きくな
る。絶えず循環する空気が炉の開放された両端か
ら入り込むため“すき間風”が生じ、いくつかの
加熱領域の温度に悪影響を及ぼす。
運搬するためのコンベアが上記加熱領域を通過し
ている様な端開放式の炉は、通常、炉ケーシング
の内部ではあるがマツフルの外側に置かれるよう
に感温素子を設置することによりマツフルの温度
を監視すると共に、炉内の様々な領域の温度制御
を行なつていた。しかし、炉内温度を極めて狭い
範囲内に制御しなければならない様な被加熱物の
場合は、ガス・パネルの製造に関連して先に述べ
た如く、炉内温度が処理温度の上限及び下限を越
えない様に極めて正確に監視されなければならな
い。従来は、この様な監視は、熱電対のような感
熱素子の取付けられたダミーの被加熱物をコンベ
アに乗せて炉に通し、そして、炉内を通過してい
る被加熱物の温度を適当な間隔で監視し、監視結
果に基づいて適当な加熱領域を夫々調整すること
によつて行なわれていた。更に、熱電対の取付け
られた別のダミー被加熱物が再び炉に通され、更
に調整がなされる。被加熱物が所要の温度範囲で
処理されるように炉を適正に制御するためには大
抵の場合、4日乃至5日間の調整期間を必要と
し、又時には2週間も費やす様な場合もある。清
浄な雰囲気(クラス100又はそれ以上)を保つた
めの装置が設けられている部屋に炉が設置される
場合、加熱領域の精密制御の問題が一層大きくな
る。絶えず循環する空気が炉の開放された両端か
ら入り込むため“すき間風”が生じ、いくつかの
加熱領域の温度に悪影響を及ぼす。
本発明の装置によれば、直列状に配置された複
数の加熱領域をもつ従来の二次輻射型の端開放式
の炉を、従来のように数日がかりでなく、わずか
数時間で所定の動作範囲に精密に調整でき、又、
空気の流れによる過度の温度変化を受けることな
く浄化雰囲気中で使用できる。
数の加熱領域をもつ従来の二次輻射型の端開放式
の炉を、従来のように数日がかりでなく、わずか
数時間で所定の動作範囲に精密に調整でき、又、
空気の流れによる過度の温度変化を受けることな
く浄化雰囲気中で使用できる。
従つて、本発明の目的は、直列状に配置された
複数の加熱領域及びこれらの加熱領域を通して被
加熱物を運ぶためのコンベアを有する端開放式の
二次輻射型炉において加熱領域の温度を極く短時
間で適正な動作温度に調整できるようにするため
の簡単で効果的な監視技術を提供することであ
る。
複数の加熱領域及びこれらの加熱領域を通して被
加熱物を運ぶためのコンベアを有する端開放式の
二次輻射型炉において加熱領域の温度を極く短時
間で適正な動作温度に調整できるようにするため
の簡単で効果的な監視技術を提供することであ
る。
本発明の他の目的は、炉を停止させることなく
マツフル内の感温素子の取替えを容易に行なうこ
とができる、上述の型式の加熱炉のための簡単で
効果的な監視装置を提供するにある。
マツフル内の感温素子の取替えを容易に行なうこ
とができる、上述の型式の加熱炉のための簡単で
効果的な監視装置を提供するにある。
本発明の更に他の目的は、炉が清浄雰囲気中に
置かれている場合であつても、加熱領域の温度を
精密に制御できるように、開放式炉のマツフル内
の温度を監視する装置を提供することである。
置かれている場合であつても、加熱領域の温度を
精密に制御できるように、開放式炉のマツフル内
の温度を監視する装置を提供することである。
第1図を参照するに、B、T、U、又は
Watkins−Johnson社によつて製造された様な代
表的な14ゾーン炉10が示されている。炉10は
開放された入口端11と出口端12をもち、且つ
直列状に配列された複数の加熱領域を含んでい
る。各加熱領域には、隣接し合う加熱領域が互い
に連通し合つていても夫々の加熱領域の温度を調
節できる様に、加熱器13が夫々設けられてい
る。第3図に示されている様に、炉10は外側ケ
ーシング15及びこれに隣接する耐火れんが16
を有し、中心部分に空胴17を形成している。加
熱器13は送風機19の排気室18にも装着され
うる。第1図に示された排気室18は、特定の加
熱領域において空胴17に接続されている。空胴
17の内部には、炉の長手方向に延びた通常のの
マツフル20が設けられている。このマツフル2
0は加熱器13(例えば電気的加熱器)から熱を
受取りそしてコンベア(この例では1対のコンベ
ア22及び23が設けられている)で運ばれる被
加熱物21を加熱する。この例では被加熱物とし
てパネル組立体が示されており、このパネル組立
体21はプラテン24とおおい板25の間に置か
れ、おおい板25の上には封止処理を助けるため
の重し26が置かれている。
Watkins−Johnson社によつて製造された様な代
表的な14ゾーン炉10が示されている。炉10は
開放された入口端11と出口端12をもち、且つ
直列状に配列された複数の加熱領域を含んでい
る。各加熱領域には、隣接し合う加熱領域が互い
に連通し合つていても夫々の加熱領域の温度を調
節できる様に、加熱器13が夫々設けられてい
る。第3図に示されている様に、炉10は外側ケ
ーシング15及びこれに隣接する耐火れんが16
を有し、中心部分に空胴17を形成している。加
熱器13は送風機19の排気室18にも装着され
うる。第1図に示された排気室18は、特定の加
熱領域において空胴17に接続されている。空胴
17の内部には、炉の長手方向に延びた通常のの
マツフル20が設けられている。このマツフル2
0は加熱器13(例えば電気的加熱器)から熱を
受取りそしてコンベア(この例では1対のコンベ
ア22及び23が設けられている)で運ばれる被
加熱物21を加熱する。この例では被加熱物とし
てパネル組立体が示されており、このパネル組立
体21はプラテン24とおおい板25の間に置か
れ、おおい板25の上には封止処理を助けるため
の重し26が置かれている。
コンベア22及び23は炉10を通つて移動
し、炉の一端からパネル組立体21を中に入れ、
他端から取出すようになつている。製品21が炉
10に入つている時間を調節するため、コンベア
にはコンベアの速度を調節できる駆動装置27が
ある。更に、この型式の炉の場合には一般的であ
るが、各加熱領域を別々に制御するための制御装
置を有する制御パネル28が設けられている。例
えば、炉がこの例のように電気的に加熱される場
合、制御装置は加減抵抗器でよい。
し、炉の一端からパネル組立体21を中に入れ、
他端から取出すようになつている。製品21が炉
10に入つている時間を調節するため、コンベア
にはコンベアの速度を調節できる駆動装置27が
ある。更に、この型式の炉の場合には一般的であ
るが、各加熱領域を別々に制御するための制御装
置を有する制御パネル28が設けられている。例
えば、炉がこの例のように電気的に加熱される場
合、制御装置は加減抵抗器でよい。
本発明によれば、マツフル20内を通つて感温
素子保持体が設けられ、感温素子はこれによつて
支持されて、被加熱物上の所定位置に保持され
る。この目的のため、第1図、第3図及び第4図
に示されるように、本発明の実施例の場合、感温
素子保持体としてケーブル30が用いられ、この
ケーブル30の一端は例えばかぎホツクの様な適
当な手段によりマツフルの一端31で固定され、
他端は滑車32を通つて重し33と接続されてい
る。重し33はケーブルの張りを保ち炉の加熱に
よるケーブルの好ましくないたるみを防止する。
代表的には、ケーブルは略0.8mmの直径をもつス
テンレス鋼である。感温素子には多くの種類があ
るが、Omega Engineering Corporation社製の
タイプK熱電対の様な熱電対で良い。好ましく
は、熱電対は2の孔を持つ石英管内に装着され
る。第1の孔34は、ケーブル30に巻き付けら
れているステンレス鋼製のワイヤ35を通すため
のものであり、第2の孔36は上記の如き熱電対
を保持している。熱電対から延びているワイヤ・
リード37(ワイヤ対)はケーブル30にゆるく
巻かれ、そして炉10の入口端11又は出口端1
2まで延ばされ、ここで増幅器38に接続されて
いる。増幅器38はチヤート記録装置、アナログ
読出し装置などへ普通に接続されうる。この場
合、増幅器38は特定の加熱領域の温度を直接示
すため、デイスプレイ或はデイジタル読出し装置
へ、又は上記の如き直接読出し装置或は記録装置
にアナログ信号を送る。
素子保持体が設けられ、感温素子はこれによつて
支持されて、被加熱物上の所定位置に保持され
る。この目的のため、第1図、第3図及び第4図
に示されるように、本発明の実施例の場合、感温
素子保持体としてケーブル30が用いられ、この
ケーブル30の一端は例えばかぎホツクの様な適
当な手段によりマツフルの一端31で固定され、
他端は滑車32を通つて重し33と接続されてい
る。重し33はケーブルの張りを保ち炉の加熱に
よるケーブルの好ましくないたるみを防止する。
代表的には、ケーブルは略0.8mmの直径をもつス
テンレス鋼である。感温素子には多くの種類があ
るが、Omega Engineering Corporation社製の
タイプK熱電対の様な熱電対で良い。好ましく
は、熱電対は2の孔を持つ石英管内に装着され
る。第1の孔34は、ケーブル30に巻き付けら
れているステンレス鋼製のワイヤ35を通すため
のものであり、第2の孔36は上記の如き熱電対
を保持している。熱電対から延びているワイヤ・
リード37(ワイヤ対)はケーブル30にゆるく
巻かれ、そして炉10の入口端11又は出口端1
2まで延ばされ、ここで増幅器38に接続されて
いる。増幅器38はチヤート記録装置、アナログ
読出し装置などへ普通に接続されうる。この場
合、増幅器38は特定の加熱領域の温度を直接示
すため、デイスプレイ或はデイジタル読出し装置
へ、又は上記の如き直接読出し装置或は記録装置
にアナログ信号を送る。
感温素子は任意所望の位置に配置することがで
きる。例えば、第3図では各コンベアの真上に1
本ずつ、合わせて2本のケーブル30A及び30
Bが示されているが、マツフル内の任意所望の面
に沿つた温度勾配を与えるように付加的なケーブ
ルを他の位置に設けることもできる。各ケーブル
には、その長さに沿つて複数個の感温素子が直列
的に取付けられ保持されている。
きる。例えば、第3図では各コンベアの真上に1
本ずつ、合わせて2本のケーブル30A及び30
Bが示されているが、マツフル内の任意所望の面
に沿つた温度勾配を与えるように付加的なケーブ
ルを他の位置に設けることもできる。各ケーブル
には、その長さに沿つて複数個の感温素子が直列
的に取付けられ保持されている。
コンベアに載せられた被加熱物21がマツフル
を通る時の被加熱物21の温度を正確に決定する
ようにマツフル内に適正な動作温度を与える場
合、加熱器制御のための種々の操作手順を全手動
的に行なうこともできるが、この例においては増
幅器38はIBMシステム7の如き計算機40に監
視出力信号を与える集配インターフエイス39に
接続される。計算機40は適当なプログラムによ
り、炉の夫々の加熱領域の感温素子から実際に得
られた温度と、炉のための理想的な温度状態とを
比較する。実際の温度と理想とする温度との差は
グラフイツク・ターミナル41上に適当に表示さ
れる。1つ以上の加熱領域の温度が所望の範囲の
外側にある場合、操作者は加減抵抗器28により
適当な調整を行なう。更に、特定の加熱領域が過
度に加熱されていることを感温素子が示す場合
は、炉内の製品を保護するため、操作者は、被加
熱物が炉内に入つている時間を制限するようにコ
ンベアの速度を調節できる。
を通る時の被加熱物21の温度を正確に決定する
ようにマツフル内に適正な動作温度を与える場
合、加熱器制御のための種々の操作手順を全手動
的に行なうこともできるが、この例においては増
幅器38はIBMシステム7の如き計算機40に監
視出力信号を与える集配インターフエイス39に
接続される。計算機40は適当なプログラムによ
り、炉の夫々の加熱領域の感温素子から実際に得
られた温度と、炉のための理想的な温度状態とを
比較する。実際の温度と理想とする温度との差は
グラフイツク・ターミナル41上に適当に表示さ
れる。1つ以上の加熱領域の温度が所望の範囲の
外側にある場合、操作者は加減抵抗器28により
適当な調整を行なう。更に、特定の加熱領域が過
度に加熱されていることを感温素子が示す場合
は、炉内の製品を保護するため、操作者は、被加
熱物が炉内に入つている時間を制限するようにコ
ンベアの速度を調節できる。
感温素子が取付けられているケーブル30の設
置又は除去は、炉が動作中であつても比較的簡単
である。ケーブル取付け体がコンベア上に置かれ
てそしてケーブルが取付けられる。上記取付け体
は、当然ケーブルが被加熱物と触れない様にする
に十分な高さを持つている。
置又は除去は、炉が動作中であつても比較的簡単
である。ケーブル取付け体がコンベア上に置かれ
てそしてケーブルが取付けられる。上記取付け体
は、当然ケーブルが被加熱物と触れない様にする
に十分な高さを持つている。
従つて本発明によれば、炉を若干修正するだけ
で、被加熱物(例えばガス・パネル)を、前もつ
て知られている所望のパラメータに従つて処理で
きる様に夫々の加熱領域の温度を最適に監視する
ことが可能になる。感温素子保持装置として使用
されるケーブルはロツドであつても良く、又感温
素子を取替え又は修理のために炉から更に容易に
取外せる様に例えばケーブルの取付け及び取外し
のできるドラムのような種々の方法でケーブルの
張りを保つようにすることもできよう。
で、被加熱物(例えばガス・パネル)を、前もつ
て知られている所望のパラメータに従つて処理で
きる様に夫々の加熱領域の温度を最適に監視する
ことが可能になる。感温素子保持装置として使用
されるケーブルはロツドであつても良く、又感温
素子を取替え又は修理のために炉から更に容易に
取外せる様に例えばケーブルの取付け及び取外し
のできるドラムのような種々の方法でケーブルの
張りを保つようにすることもできよう。
本発明の利点は下記のとおりである。
(1) マツフル内に感温素子を配置したので、被加
熱物付近の温度を正確に監視することができ
る。
熱物付近の温度を正確に監視することができ
る。
(2) 感温素子を取付けた感温素子保持装置を、端
開放マツフル内を貫通してコンベアの上に渡す
ようにしたので、感温素子の取付けに当つて
は、感温素子保持装置をコンベアに載せて運ぶ
ことにより感温素子保持装置を簡単にマツフル
内に通すことができ、したがつて取付け作業が
容易であり、また感温素子保持装置をマツフル
から抜き取るだけですべての感温素子を炉から
取出すことができるから、炉の他の部分に触れ
ることなく、感温素子の点検、交換、修理など
の作業を容易に行なうことができる。
開放マツフル内を貫通してコンベアの上に渡す
ようにしたので、感温素子の取付けに当つて
は、感温素子保持装置をコンベアに載せて運ぶ
ことにより感温素子保持装置を簡単にマツフル
内に通すことができ、したがつて取付け作業が
容易であり、また感温素子保持装置をマツフル
から抜き取るだけですべての感温素子を炉から
取出すことができるから、炉の他の部分に触れ
ることなく、感温素子の点検、交換、修理など
の作業を容易に行なうことができる。
(3) 感温素子保持装置の配置及び感温素子の取付
け位置を選択することにより、感温素子をマツ
フル内の任意所望の位置に配置でき、非常に融
通性があり、また各感温素子に一様な測定条件
を与えるように位置設定することも容易に行な
うことができる。
け位置を選択することにより、感温素子をマツ
フル内の任意所望の位置に配置でき、非常に融
通性があり、また各感温素子に一様な測定条件
を与えるように位置設定することも容易に行な
うことができる。
第1図は本発明の装置を組込んだ代表的な炉の
一部断面立面図で、第2図は炉の複数の加熱領域
の温度を監視するための代表的な構成を示す図、
第3図は第1図の線3−3に沿つて得られた断面
図、第4図は本発明に使用するための代表的な感
温装置を示す図である。 10……炉、13……加熱器、20……マツフ
ル、21……被加熱物、22,23……コンベ
ア、30……ケーブル、37……感温素子から延
びるリード。
一部断面立面図で、第2図は炉の複数の加熱領域
の温度を監視するための代表的な構成を示す図、
第3図は第1図の線3−3に沿つて得られた断面
図、第4図は本発明に使用するための代表的な感
温装置を示す図である。 10……炉、13……加熱器、20……マツフ
ル、21……被加熱物、22,23……コンベ
ア、30……ケーブル、37……感温素子から延
びるリード。
Claims (1)
- 1 端開放のマツフル、該マツフルの外側にこれ
に沿つて直列的に配列された複数の加熱装置、上
記マツフル内を通して被加熱物を運ぶためのコン
ベア、及び上記加熱装置の温度を調節するための
手段を含む二次輻射型の端開放式炉における炉温
監視装置にして、上記コンベアの上を通つて上記
マツフル内を貫通して設けられた少なくとも1個
の感温素子保持装置と、該保持装置に沿つて取付
けられた複数個の感温素子と、上記炉の外部で監
視を行なうため各感温素子を上記炉の外部へ接続
する手段とを含む炉温監視装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/695,604 US4070148A (en) | 1976-06-14 | 1976-06-14 | Apparatus for monitoring product temperature in an open ended, secondary emission, product carrying conveyor furnace |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS52153265A JPS52153265A (en) | 1977-12-20 |
JPS6119907B2 true JPS6119907B2 (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=24793702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6129977A Granted JPS52153265A (en) | 1976-06-14 | 1977-05-27 | Furnace temperature monitor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4070148A (ja) |
JP (1) | JPS52153265A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL179624C (nl) * | 1981-02-03 | 1986-10-16 | Pol Ovenbouw B V V D | Inrichting voor het regelen van de temperatuur in een bakkerij tunneloven of tunnelovensectie. |
US6062728A (en) | 1998-02-27 | 2000-05-16 | Electronic Controls Design, Inc. | Method and apparatus for profiling a conveyor oven |
DE102013104806A1 (de) * | 2013-05-08 | 2014-11-13 | Sandvik Materials Technology Deutschland Gmbh | Bandofen |
CN109990837A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-07-09 | 马鞍山市科泰电气科技有限公司 | 一种冷轧锌鼻子的监控方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1230035A (en) * | 1916-08-09 | 1917-06-12 | Thomas Royston | Thermometer-support. |
US2646681A (en) * | 1950-04-18 | 1953-07-28 | Shell Dev | Automatic temperature indicating system |
US2712241A (en) * | 1952-06-03 | 1955-07-05 | Alfred P D Stokes | Automatic instrument positioning and control apparatus |
US3247364A (en) * | 1962-08-29 | 1966-04-19 | United States Steel Corp | Apparatus for measuring temperature differences |
US3582054A (en) * | 1969-06-04 | 1971-06-01 | Btu Eng Corp | Furnace muffle |
BE793161A (fr) * | 1971-12-22 | 1973-04-16 | British Iron Steel Research | Mesure de temperatures |
-
1976
- 1976-06-14 US US05/695,604 patent/US4070148A/en not_active Expired - Lifetime
-
1977
- 1977-05-27 JP JP6129977A patent/JPS52153265A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4070148A (en) | 1978-01-24 |
JPS52153265A (en) | 1977-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100762157B1 (ko) | 온도제어방법, 열처리장치 및 반도체장치의 제조방법 | |
US7311520B2 (en) | Heat treatment apparatus | |
JPH0583172B2 (ja) | ||
JPH0855810A (ja) | 拡散炉 | |
EP1182692A2 (en) | Heat-processing apparatus and method for semiconductor process | |
KR100217542B1 (ko) | 열 처리 방법 | |
US3764285A (en) | Manufacture of float glass having controlled width | |
JPS6119907B2 (ja) | ||
JP4847803B2 (ja) | 温度制御方法、熱処理装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP3014901B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP4393009B2 (ja) | 縦型熱処理装置 | |
US5273424A (en) | Vertical heat treatment apparatus | |
US4060377A (en) | Temperature monitoring furnace | |
EP0078135A1 (en) | Method of controlling the heating of sheet material in a conveyor furnace | |
JPS63278227A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2002352938A (ja) | 熱処理装置のヒ−タ素線の断線予測方法及び熱処理装置 | |
TWI784215B (zh) | 熱處理裝置 | |
JPH04359125A (ja) | 温度測定装置とこれを用いた被加熱体の温度測定装置 | |
JPH0997787A (ja) | 処理装置 | |
JP4422525B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP3641193B2 (ja) | 縦型熱処理装置及び熱処理方法並びに保温ユニット | |
JP4618920B2 (ja) | 熱処理装置用ヒータの結線方法及び熱処理装置 | |
JPH0637025A (ja) | 熱処理装置 | |
JPH07283159A (ja) | 熱処理装置 | |
JP4892620B2 (ja) | 熱処理装置、温度制御方法、半導体装置の製造方法及び補正値取得方法 |