JPS61197163A - ピトリフアイド研摩砥石の製造法 - Google Patents

ピトリフアイド研摩砥石の製造法

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JPS61197163A
JPS61197163A JP3508185A JP3508185A JPS61197163A JP S61197163 A JPS61197163 A JP S61197163A JP 3508185 A JP3508185 A JP 3508185A JP 3508185 A JP3508185 A JP 3508185A JP S61197163 A JPS61197163 A JP S61197163A
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JP
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binder
grinding wheel
vitrified
abrasive
binder material
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Shoji Terada
寺田 召二
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、ビトリファイド研摩砥石の製造法に関する
。更に詳しくは結合剤ガラス質相内に多数の研摩砥粒と
独立気泡の分散した状態のビトリファイド研摩砥石の製
造法に関する。
(従来の技術) 従来のビトリファイド研摩砥石の構成は、第2図に示す
ように砥石の主要構成成分である砥粒/間をビトリファ
イド結合剤量(主としてガラス質物質)で結び付けるこ
とによって砥石として必要な機械的強度を保持させると
共に希望する形状、寸法の砥石に仕上げられている。ま
た砥石に存在する気孔部分3はビ) IJソファド研摩
砥石で各種被削材を研摩した場合に生ずるけずり屑を作
業系外に排除させる機能を有する。
(発明が解決しようとする問題点) 以上のような構造の、ビトリファイド研摩砥石において
は、砥粒量に対してあまり多量の結合剤を使用すると結
合剤部分2が増大し、これにつれて気孔部分3が次第に
減少し、遂には砥粒/と結合剤部分2のみの砥石、即ち
無気孔砥石になってしまう。
無気孔砥石では研摩作業にともなって生ずるけずり屑の
排除が進まず、このため被削材表面の汚染や、焼けの現
象が生ずる。逆にビトリファイド研摩砥石製造にあたっ
て、結合剤量を減らしていくと砥石内部の気孔は増加す
るが、その反面、砥石内部で砥粒間を結びつける結合剤
部分が減少するため、砥石の機械的強度は低下してしま
う。
したがって、従来のビトリファイド砥石製造方法を採用
するかぎり、砥粒に対する結合剤原料の配合比率には限
界があり、その限界は砥粒重量の10〜30 X程度と
されていた。そして、この配合比率を大きく逸脱した組
成をとるときは、得られた砥石の性質が不良となり、研
摩作業中に目詰りや、やけの現象を生じやすいものにな
る傾向が大きい。また、砥石製造面においてもいくつか
の難点が生じ、例えば粒径100ptn以下の細かい研
摩微粉を用いるビトリファイド砥石を製造しようとする
ときは焼成後の徐冷過程で砥石に亀裂の発生が生じやす
いなどの欠点が目立った。これは焼成後に砥粒と結合剤
の界面に、両者の熱膨張係数の差によって生ずるひずみ
、あるいは結合剤内部に生じた欠陥から生じるクラック
に起因するものである。こうした難点を解決し、砥粒保
持がすぐれ、しかも気孔率の大きいビ) IJソファド
研摩砥石の出現が待望されていた。
(問題点を解決するための手段) 以上の問題点を解決するため、この発明では細かい砥粒
と、結合剤原料としてけい酸塩鉱物粉末またはガラス粉
末を砥粒重量の70%以上と、発泡剤として窒化ほう、
素、窒化けい素微粉末の1種又は2種以上を結合剤原料
重量の1〜IOXとを配合し、該配合物を十分に混合し
た後、結合剤原料が溶融してガラス化する温度以上に焼
成するビトリファイド研摩砥石の製造法を提案するもの
であり、この方法に従えば第1図に示すような結合剤ガ
ラス質相弘の中に砥粒/および独立気泡5が分散して存
在するビトリファイド研摩砥石が得られる。
ここで、細かい砥粒としては例えば平均粒径が100μ
m以下のものを使用する。
即ち、平均粒径がZoo/j”以上の大きさになると、
第1図に示すような多泡質のビトリファイド砥石の形成
が著しく困難となり、更に砥粒が大きい場合は研削作業
にともなって生ずる被削材のけずり屑も大きくなるので
、砥石表面に散在する独立気泡Sに起因するくぼみでは
被削材けずり屑の排除が困難になる。
また結合剤原料としては長石等けい酸塩鉱物粉末または
ガラス粉末を使用し、これ等の結合剤原料は砥粒重量の
70%以上配合する。
結合剤原料の配合風が70%以下であると、結合剤ガラ
ス質相≠中に被剛材のけずり屑を作業系外に排除させる
だけの独立気泡Sを形成することができない。
また発泡剤として0aOOB 、 yifoo、などに
代表される各種炭酸塩を使用した場合、Q、OQ、 、
 Mfoo。
など炭酸塩の発泡作用はそれら炭酸塩が加熱により熱分
解した際に生じる炭酸ガスに起因するものであるため、
結合剤原料の溶融温度と炭酸塩の熱分解温度が適合しな
いと結合剤ガラス質相内に独立気泡を残すことができな
いという使−1上の難点があり、使用できる砥石結合剤
の組成が大幅に制限される。
更に、B、0 、 ssoなどで代表される炭化物を発
泡剤として使用した場合、炭酸塩とは異なり、結合剤原
料の焼成による溶融物で侵蝕された炭化物が、侵蝕と共
に酸化反応を受けCOまたは00、ガスを生じ、これが
結合剤ガラス質相中に独立気泡を作る。しかし、前記炭
化物の微粉を実際に発泡剤として使用した場合、その発
泡作用の進行は急激に進み、結合剤ガラス質内に生ずる
気泡の大きさを均一に制御することが非常に困難である
これに対して、この発明において発泡剤として窒化ほう
素、窒化けい素を使用する場合は、焼成段階で徐々に酸
化された窒化ほう素、窒化けい素微粉が溶融した結合剤
ガラス質相に溶込む際にN、ガスなどを発生し、これに
より結合剤ガラス質中に気泡を形成する。
そして、この気泡は前記炭化物微粉を発泡剤に用いた場
合に比べて非常に緩やかに発泡作用−直進行し、砥石結
合剤中に比較的気泡径が揃った独立気泡を形成する。
以上の理由により、この発明においては発泡剤としては
窒化ほう素、窒化けい素の1種又は2種以上を使用し、
ここで窒化ほう素としては六方晶のBN或いはこれを主
体とするものが好ま−しく、窒化けい素としてはβ型8
izN4或いはこれを主体とするものが好ましい。
また、発泡剤はその粒径が10ptn以下の微粉、好ま
しくは平均粒径が1〜2μmの微粉を使用した場合に良
好な発泡作用を呈する。
更に発泡剤は、その量が結合剤原料重量の1に以下のと
きは結合剤ガラス質相に十分な独立気泡が生じないし、
逆にその量が結合剤原料重量の10%以上になると、発
泡作用が進みすぎて独立気泡が結合剤ガラス質相から外
部に脱出したり、或いは連続気泡が形成きれ、気泡の大
ささが不揃いな状態となる。
以上のような配合割合の砥粒、結合剤原料、発泡剤を十
分に混合した後、結合剤原料が溶融角てガラス化する温
度以上に焼成することにより第1図に示すように結合剤
ガラス質相弘の中に多数の独立気泡よと細かい砥粒lを
包含したビトリファイド研摩砥石が得られる。
(発明の効果) 以上のように、この発明によれば結合剤ガラス質相μの
中に多数の独立気泡よと細かい砥粒lを包含したビトリ
ファイド研摩砥石が得られるが、この砥石によれば研摩
作業中細かい砥粒/により被削材の細かいけずり屑が形
成され、これ等の細かいけずり屑は独立気泡5より作業
系外に能率的に排除される。
なお−従来のビトリファイド砥石製造に二カいては、研
摩微粉をガラス質結合剤で結び付けるという製造方式を
採用していたため、砥石の組織は砥粒率(砥石内で砥粒
の占める容積比率)が40〜60%、ボンド率(砥石内
で結合剤の占める容積比率)は5〜30Kが限度・であ
ったが、この発明により製造されたビトリファイド砥石
は多数の独立気泡を含む結合剤ガラス質相の中に舅÷奔
微粉が散在しているという状態をとるため、砥石の砥粒
率を極端に低下させることができ、砥粒率5〜3ONと
いうビトリファイド砥粒砥石を製造することも可能であ
る。
したがって、この発明によれば砥粒保持の擾れたビトリ
7アイド研摩砥石が得られる。
またこの発明により得られたビトリファイド研摩砥石は
、従来のビトリファイド砥石に比べて砥粒微粉の使用量
が少なく、シかも多泡質な砥石であるため、非常に軽量
な研摩砥石が得られ、したがって研摩作業に際して必要
な動力が少なくて済み、同時に砥粒微粉の使用量が少な
いので砥石製造の原料費が節約できる利点もある。
更にこの発明により製造されたビトリファイド研摩砥石
は結合剤ガラス質相を母体としているため、従来の製造
法で作られたビトリファイド研摩砥石に比べ、砥石とし
ての硬度は低いが、プラスチックやゴムなど軟質で高弾
性の材料を研摩するには十分な研摩能力を発揮する。
なお、砥石としての硬さを調節する必要が生じた場合は
、結合剤原料を選択するか、或いは結合剤ガラス質相中
の独立気泡の気泡径や発生数を加減することによりある
程度の調節が可能である。
(実施例) 以下、この発明の実施例を示す。
実施例1 長石(8i0166.4%、At、0,19.3 X、
Fe12,0.1%、CaOO,6%、Mfo 0.1
%、K、 O9,7X、Nano :L7X)と葉長石
(8i0.77、ON 、 AA、0.17.5%、F
e20B 0.1%、OaOO,2%、Mfo 0.2
%、K、00.4%、Na、OO,1%、Liff1O
45%)を重量比率で7:3の割合に混合し、これをボ
ッ)ミルで粉砕したのち、これに4XのBN(六方晶)
の微粉(粒径l〜2μtn)を添加して再粉砕し、全原
料がφ325のふるいを全通させたものを結合剤原料と
して用意する。この結合剤原料を砥粒WA+1000と
等量に混合し、これに少量の成形用横材を入れてよく混
合したのち金型に入れて成形する。
7≦れを電気炉で1300℃に焼成したのち炉内で徐冷
する。室温まで冷却した試料を取出し外面の凹凸部を研
摩して除去して修整を加えて製品とする。こうして作ら
れた多泡質のビトリファイド砥石は、かさ比重1,3の
軽量な研摩用砥石であり、ゴム加工品など軟質材料の研
摩に適したものである。
実施例2 実施例1に示した化学組成の長石、葉長石の粉末を重量
比で7:3に混合し、これに重量比で3%のBN (粒
径1〜2μrn)と2N(7)β型Si BN4(平均
粒径2μrn)を添加した混合物を1280℃に仮焼す
る。この仮焼物は部分的に発泡しているが、これを乳鉢
で粉砕して170メツシユのふるいを全通させる。これ
を砥粒微粉(WAす320)100部に対して74部の
割合に加えて混合したのち、成形助剤としてデキストリ
ン水溶液を少を添加して加圧成形し乾燥させる。
これを電気炉において1320℃に焼成したのち徐冷し
て取出す。取出した焼成物は表面部分を1門して所望寸
法に仕上げる。こうして得られた多泡質のビトリファイ
ド研摩砥石は、かさ比重が約1.5の軽量なものである
実施例3 ガラ7、 (840,71,4%、Ai、0.0.I 
N、Too、 0.1%、Cα08,1%、Mf042
X、Nα、014.IX)の粉末を325メツシユふる
いにかけて全通させたものを用意し、砥粒微粉WAす2
500、BN微粉(粒径1〜2μm)を下記の割合に混
合する。
この混合物を金型に入れて加圧成形したのち、アルミナ
製のさやに入れて940 ℃に焼成する。
徐冷したのち取出して、表面の凹凸部分を切断して除去
し所望寸法の研摩用砥石に仕上げた。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明により製造されたビトリファイド研
摩砥石の内部組織を模式的に示す図、第2図は、従来の
製造法で作られたビトリファ)↓び*i;so内部11
05“吋1する。 図中、/は砥粒、弘は結合剤ガラス質相、jは独立気泡
。 指定代理人 手続補正書(自発) 昭和60年5月 9日 11許庁長官志賀  学殿    − 】、事件の表示 昭和60年特許願第35081号 2 発明の名称 ビl−IJファイド研鮎砥石の製造法 3、補正をする者 4、指定代理人 6、補正により増加する発明の数 0 7、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄補正の
内容 明細書第7頁第6行のr S + 2N4 JをrsI
aN<Jに訂正します。 指定代理人         〜2、−一。 工業技術院名古屋工業技術試験茜長   ゛長頗俊治

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 細かい砥粒と、結合剤原料としてけい酸塩鉱物粉末また
    はガラス粉末を砥粒重量の70%以上と、発泡剤として
    窒化ほう素、窒化けい素微粉末の1種又は2種以上を結
    合剤原料重量の1〜10%とを配合し、該配合物を十分
    に混合した後、結合剤原料が溶融してガラス化する温度
    以上に焼成することを特徴とするビトリファイド研摩砥
    石の製造法。
JP3508185A 1985-02-22 1985-02-22 ピトリフアイド研摩砥石の製造法 Granted JPS61197163A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6445577A (en) * 1987-08-11 1989-02-20 Lion Corp Polishing body of polishing tool
JP2006198737A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Disco Abrasive Syst Ltd ビトリファイドボンド砥石
JP2006203132A (ja) * 2005-01-24 2006-08-03 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハの研削方法
JP2017080847A (ja) * 2015-10-28 2017-05-18 株式会社アライドマテリアル ビトリファイドボンド超砥粒ホイールおよびそれを用いたウエハの製造方法

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