JPS61192445U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61192445U JPS61192445U JP1985076988U JP7698885U JPS61192445U JP S61192445 U JPS61192445 U JP S61192445U JP 1985076988 U JP1985076988 U JP 1985076988U JP 7698885 U JP7698885 U JP 7698885U JP S61192445 U JPS61192445 U JP S61192445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- mask
- defect inspection
- range
- movement mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に於けるマスクホル
ダの構成を示す平面図、第２図は第１図に示すマ
スクホルダのスライド式ストツパの拡大詳細斜視
図、第３図はストツパの他の例を示す斜視図、第
４図はマスクホルダの他の例を示す斜視図、第５
図１乃至３は本考案に係るフオトマスク欠陥検査
装置による検査手順の説明に供する図である。 符号の説明、１：マスクホルダ、２：スライド
式ストツパ、３：固定用ツメ、４：フオトマスク
、５：抜きさし式ストツパ、６：マスクホルダ、
７，８：スキユリユーネジ。
ダの構成を示す平面図、第２図は第１図に示すマ
スクホルダのスライド式ストツパの拡大詳細斜視
図、第３図はストツパの他の例を示す斜視図、第
４図はマスクホルダの他の例を示す斜視図、第５
図１乃至３は本考案に係るフオトマスク欠陥検査
装置による検査手順の説明に供する図である。 符号の説明、１：マスクホルダ、２：スライド
式ストツパ、３：固定用ツメ、４：フオトマスク
、５：抜きさし式ストツパ、６：マスクホルダ、
７，８：スキユリユーネジ。
Claims (1)
- 所定のステージ移動範囲を有するフオトマスク
欠陥検査装置に於いて、マスク移動機構を有する
マスクホルダを設け、上記マスク移動機構によつ
てフオトマスクを移動させることにより、上記ス
テージ移動範囲を超える検査範囲を有するフオト
マスクの欠陥検査を可能としたことを特徴とする
フオトマスク欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985076988U JPS61192445U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985076988U JPS61192445U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61192445U true JPS61192445U (ja) | 1986-11-29 |
Family
ID=30619636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985076988U Pending JPS61192445U (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61192445U (ja) |
-
1985
- 1985-05-22 JP JP1985076988U patent/JPS61192445U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61192445U (ja) | ||
| JPS622250U (ja) | ||
| JPS6214727U (ja) | ||
| JPH0241252U (ja) | ||
| JPS58118746U (ja) | ウエハチヤツク | |
| JPS646044U (ja) | ||
| JPH01125547U (ja) | ||
| JPS63135268U (ja) | ||
| JPS5898639U (ja) | フオトマスクホルダ | |
| JPS6249232U (ja) | ||
| JPH0418426U (ja) | ||
| JPS6322730U (ja) | ||
| JPS63188938U (ja) | ||
| JPS59138231U (ja) | アライメントマ−ク | |
| JPH0358644U (ja) | ||
| JPS59109904U (ja) | 触針式形状測定機の測定位置検知装置 | |
| JPS62117559U (ja) | ||
| JPS5893859U (ja) | 単結晶のカツト面検査装置 | |
| JPH02110864U (ja) | ||
| JPS6128041U (ja) | Ｘ線非破壊検査装置用試料支持器 | |
| JPS6157519U (ja) | ||
| JPS63148864U (ja) | ||
| JPS5846442U (ja) | 平面位置出し装置 | |
| JPS63106138U (ja) | ||
| JPH0323935U (ja) |